JP3063569B2 - 気体レーザ装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、レーザ装置に関し、特
にレーザ出力光の光強度や装置内の光学系の状態変化を
モニター可能な気体レーザ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、レーザ出力光自体の光強度を
モニターしたり、光学系の状態変化をモニターできる気
体レーザ装置は種々提案されてきている。

【０００３】一般に、気体レーザ装置は、壁面に一対の
光透過窓を設けたレーザ容器中に気体レーザ媒質を封入
して構成されている。この光透過窓は、寄生発振を抑制
するために光共振器の光軸に対して斜めに傾けて設置さ
れる。

【０００４】そして、気体レーザ媒質を励起させて得ら
れた誘導放出光が、レーザ容器両側に設置された光共振
器により増幅されてレーザ発振が起こり、レーザ出力光
が外部に出射される。

【０００５】このレーザ出力光強度は、外部から加えら
れる電圧または電流により制御が可能であり、レーザ出
力光の一部を光検出器等により検出して、フィードバッ
ク制御を行ない、出力の安定化がなされている。

【０００６】光検出器としては、多くのレーザ装置には
ホトダイオードに代表される光電素子が用いられ、レー
ザ出力を電気信号に変換して出力を測定している。

【０００７】又、レーザ出力をモニターする手段とし
て、レーザ出力側の光路上にビームスプリッターを挿入
し、このビームスプリッターの反射光を用いてモニター
する手段や、光共振器を構成している全反射鏡の透過光
を用いてモニターする手段が一般に用いられている。

【０００８】例えば、一種のビームスプリッターを用い
たモニターの構成としては、図９に示す特開平４−２６
２５８５号公報記載のイオンレーザ管があげられる。

【０００９】図９において、５１はレーザ管で、その両
端に設けられた反射鏡５２と出力結合鏡５３とで光共振
器を構成している。

【００１０】そして、５４はレーザ管５１内に配置した
光電素子で、光共振器中に挿入されているブリュースタ
窓５５からの反射光５６を受光し、光強度を電気信号に
変換する。

【００１１】又、５７はレーザ出力光、５８は出力表示
装置、５９は放電電流を制御する電源、６０は陰極、６
１は陽極で、電源５９に接続している。

【００１２】以上のように構成されたイオンレーザ管に
ついて、以下動作の説明をする。まず、レーザ管５１中
の陽極６１と陰極６０との間でレーザ放電を発生させ、
出力光５７は光共振器外部に出射されるが、光共振器中
のレーザ光の一部がレーザ管５１内に配置されたブリュ
ースタ窓５５で反射され、この反射光５６をその光路上
に配置されている光電素子５４で受光する。

【００１３】そして、この反射光５６の光強度で、出力
光５７の光強度を検知することができる。この検知した
出力光５７の光強度を利用して、フィードバック制御を
行ない、出力の安定化を図っている。

【００１４】更に、気体レーザ装置は、放電を利用して
レーザ媒質を励起しているため、長期間の使用をする
と、放電電極が磨耗して粉塵となりレーザ容器内を浮遊
し、レーザ容器内面や透過窓に付着する。

【００１５】この粉塵が光透過窓に付着した場合、光透
過窓でのレーザ光の透過率が減少しレーザ出力が著しく
低下する。

【００１６】このため、定期的に光透過窓に付着した粉
塵の除去が必要になるが、従来はレーザ出力光の強度の
低下を基準に、粉塵除去を行なう時期を判断をしてい
た。

【００１７】この構成であると、レーザ出力減少の要因
が粉塵の付着によるものか、電極等の消耗部品の磨耗に
よるものか、ガスの劣化によるものか区別することは困
難でもあり、正確な判断ができていなかった。

【００１８】

【発明が解決しようとする課題】従来の一般的な出力光
の強度をモニターする構成では、レーザ出力光を分岐す
るためにその光路上にビームスプリッターを挿入するの
で、出力光の強度自体が減少し、光学部品点数及び機構
的複雑性の増大に起因した良好な組立性、信頼性を確保
するに困難であり、かつコスト高になる課題を有してい
た。

【００１９】更に、特開平４−２６２５８５号公報記載
の構成では、光共振器中にブリュースタ窓を挿入するの
で、直線偏光のレーザ光しか取り出せないことや、レー
ザ菅に光共振器を構成する光学部品が固定されている内
部鏡型直線偏光レーザ発振器であるので外部共振器方式
のレーザ装置には適用できないという課題を有してい
た。

【００２０】そして、いずれにせよ出力光の光強度のみ
をモニターしているので、レーザ出力低下の原因を、光
透過窓に付着した粉塵による透過率の減少か、レーザガ
スの劣化か、放電状況の変動などかを区別することがで
きないという課題をも有していた。

【００２１】本発明は、上記した従来の課題を解決する
もので、光軸上に光学部品を挿入せずにレーザ出力光の
強度を検出できる気体レーザ装置、光透過窓に付着した
粉塵量を検出できる気体レーザ装置、及びそれらの双方
の機能を兼ね備えた気体レーザ装置を提供することを目
的とする。

【００２２】

【課題を解決する手段】この目的を達成するために、本
発明の気体レーザ装置の主構成は、気体レーザ媒質を包
含したレーザ容器と、前記レーザ容器の両側に設けられ
た出力結合手段と全反射手段とから構成される光共振器
と、前記光共振器の間であって前記レーザ容器の壁面に
前記光共振器の光軸に垂直な方向から寄生発振を防止す
べく微小角度傾斜して延在するように配置された一対の
光透過窓とを含むレーザ発振器と、前記出力結合手段か
ら出射するレーザ出力光は受光しないが、前記一対の光
透過窓の一方で反射された反射光を受光可能なように前
記反射光の光路上に設置された光検出手段とを有する気
体レーザ装置である。

【００２３】ここで、光検出手段は、反射光を出力結合
鏡を介して受光可能なように、前記反射光の光路上に設
置されていることが好適である。

【００２４】又、光検出手段は、光強度検出器であても
よいし、反射光が入射する蛍光体と、前記蛍光体からの
発した光が入射する画像取込器であってもよい。

【００２５】更に、本発明の気体レーザ装置の他の主形
態は、気体レーザ媒質を包含したレーザ容器と、前記レ
ーザ容器の両側に設けられた出力結合手段と全反射手段
とから構成される光共振器と、前記光共振器の間であっ
て前記レーザ容器の壁面に延在して配置された一対の光
透過窓とを含むレーザ発振器と、前記出力結合手段から
出射するレーザ出力光は受光しないが、前記一対の光透
過窓からの散乱光を受光可能なように設置された光検出
手段とを有する気体レーザ装置である。

【００２６】この場合、一対の光透過窓は、レーザ容器
の壁面に前記光共振器の光軸に垂直な方向から寄生発振
を防止すべく微小角度傾斜して延在するように配置さ
れ、光検出手段は、前記一対の光透過窓からの反射光の
光路上に設置され且つ前記一対の光透過窓からの散乱光
を出力結合手段を介して受光可能であることが好適であ
る。

【００２７】また、光検出手段は、反射光と散乱光とが
入射する蛍光体と、前記蛍光体から発した光が入射する
画像取込器であってもよい。

【００２８】なお、一対の光透過窓からの散乱光は、前
記光透過窓に付着した粉塵によるものが支配的である。

【００２９】そして、更に、上記２つの主形態の構成を
兼備した、気体レーザ媒質を包含したレーザ容器と、前
記レーザ容器の両側に設けられた出力結合手段と全反射
手段とから構成される光共振器と、前記光共振器の間で
あって前記レーザ容器の壁面に前記光共振器の光軸に垂
直な方向から寄生発振を防止すべく微小角度傾斜して延
在するように配置された一対の光透過窓とを含むレーザ
発振器と、前記出力結合手段から出射するレーザ出力光
は受光しないが、前記一対の光透過窓の一方で反射され
た反射光を前記出力結合手段を介して受光可能なように
前記反射光の光路上に設置された第１光検出手段と、前
記出力結合手段から出射するレーザ出力光は受光しない
が、前記一対の光透過窓からの反射光の光路上に設置さ
れ且つ前記一対の光透過窓からの散乱光を前記出力結合
手段を介して受光可能なように設置された第２光検出手
段とを有する気体レーザ装置であってもよい。

【００３０】

【作用】上記構成によって、レーザ出力光の光路上に出
力光を分岐するビームスプリッターを挿入することなし
に、レーザ光をモニタすることができる。

【００３１】さらに、光透過窓に付着した粉塵による散
乱光を検知することで、光透過窓に付着した粉塵を除去
する時期を知ることができる。

【００３２】

【実施例】以下、本発明の各実施例について、図面を参
照しながら詳細に説明をする。

【００３３】（実施例１）以下、本発明の第１の実施例
について、図面を参照しながら説明をする。

【００３４】図１は、本実施例におけるレーザ装置の構
成図を示す。図１において、１はレーザ媒質を含むレー
ザ容器、２は全反射鏡、３は出力結合鏡であり、光共振
器２、３を構成している。４と５は光共振器の光軸に対
して寄生発振を防止すべく斜めに設置されたレーザ容器
１を封じる光透過窓、６はレーザ光を検出し得る光検出
器でありレーザ光の光強度を電気信号に変換する光電素
子からなる。７は光共振器間で増幅された後、外部に出
射された出力光、８は透過窓４で反射された反射光であ
る。そして、９は光検出器６の出力信号を変換して表示
する出力表示器、１０は出力信号を受けて制御される放
電電流及び電圧の制御電源である。

【００３５】以上のように構成され、レーザ媒質として
気体を用いた気体レーザ装置について、その動作を以下
説明をする。

【００３６】まず、レーザ容器１内の気体レーザ媒質
は、外部に設置されている制御電源１０により励起さ
れ、誘導放出光を生じる。

【００３７】そして、誘導放出光はレーザ容器１の外部
に設けられた光共振器、つまり全反射鏡２と出力結合鏡
３間で往復し、共振条件を満たすものが出力光７として
外部に出射されることになる。

【００３８】又、透過窓４は光共振器の光軸に対して微
小角度（３°±０．２°程度）斜めに取り付けられてい
るため、光透過窓４の表面で反射された反射光８は、出
力光７とは異なる方向に進む。

【００３９】更に、この反射光７は、光透過窓４の法線
方向と光共振器の光軸とのなす角が充分小さく設定がな
されているため、出力結合鏡３を通過し、反射光８の光
路上に設置している光検出器６に検出され、その光強度
が電気信号に変換される。

【００４０】但し、光検出器６は、出力光７を検出せず
反射光８のみを受光するように、出力光７のビーム幅よ
りも外側に配置されている。

【００４１】ここで、光透過窓４の反射率をＲ２、出力
光７の光強度をＰ１、反射光８の光強度をＰ２とし、光
学損失を無視すると、Ｐ２＝Ｐ１×Ｒ２の関係があり、
Ｐ１とＰ２は比例関係にある。

【００４２】すなわち、光透過窓４での反射光８の光強
度を測定することで、出力光７の光強度を知ることがで
きることになる。

【００４３】図２に気体レーザ装置の１種であるエキシ
マレーザ装置を用いた場合の、出力光７と反射光８の関
係を示す。

【００４４】この図からも、出力光７の光強度は、反射
光８の光強度に比例していることがわかる。

【００４５】これにより反射光８の光強度を光検出器６
で検出し、この検出信号を出力表示器９で確認しながら
制御電源１０を用いてフィードバック制御をし、出力光
７の光強度の安定化が可能となった。

【００４６】以上のように、本実施例によれば、出力光
７の光路方向よりもわずかに異なった光路方向を有する
反射光８の光路上に、出力結合鏡３を介し、光検知器６
を設けて、外部共振器構成の無偏光レーザに対してレー
ザ出力光の光路上にビームスプリッターを挿入すること
なく光強度の測定ができる。

【００４７】これにより、新たに光検出用の光学部品を
用いる必要が無くなり、機構的に簡素化がなされ、装置
の信頼性が向上するとともに、低コストの外部共振器型
の気体レーザ装置を提供することができる。

【００４８】更に、光検知のために出力光の一部をさく
必要が無くなり、その結果、外部にとりだす出力を減少
させない気体レーザ装置をも提供することができる。

【００４９】なお、本実施例では光検出器６を、光強度
を測定する光電素子としたが、もちろんビーム形状の測
定、ビーム位置の検出、またはレーザ波長の測定する機
能を有していて、これらの安定化を図るものであっても
よい。

【００５０】（実施例２）以下、本発明の第２の実施例
について、図面を参照しながら説明をする。

【００５１】図３は、本実施例のレーザ装置の構成図を
示す。図３において、実施例１のレーザ装置と同様の構
成には同じ符号を付したが、１はレーザ媒質を含むレー
ザ容器、２は全反射鏡、３は出力結合鏡であり、光共振
器２、３を構成している。４と５は光共振器の光軸に対
して斜めに設置されたレーザ容器１を封じる光透過窓、
６はレーザ光を検出し得る光検出器でありレーザ光の光
強度を電気信号に変換する光電素子からなる。７は光共
振器間で増幅された後、外部に出射された出力光、８は
光透過窓４で反射された反射光である。１２はレーザ光
と同一波長の光が照射されると発光する蛍光体、１３は
蛍光体１２の発光を検出する検出器で、本実施例ではＣ
ＣＤカメラのような画像取込器からなる。１４は画像取
込器１２の出力信号を処理する信号処理器である。１５
は透過窓４に付着した粉塵、１６は粉塵１５の散乱光で
ある。

【００５２】以上のように構成され、レーザ媒質として
気体を用いた気体レーザ装置について、その動作を以下
説明をする。

【００５３】実施例１の場合と同様に、レーザ容器１内
の気体レーザ媒質は、不図示の外部電源により励起され
誘導放出光を発生し、光共振器である全反射鏡２と出力
結合鏡３間で往復しながら、共振条件を満たすものが出
力光７として外部に取り出される。

【００５４】そして、光透過窓４は光共振器の光軸に対
して斜めに取り付けられているため、光透過窓４表面で
反射された反射光８は出力光７とは異なる方向に進む
が、透過窓４の法線方向と光共振器の光軸とのなす角
は、実施例１と同様に充分小さいために、反射光８は、
出力結合鏡３を通過し、反射光８の光路上に設置してい
る蛍光体１２に照射される。

【００５５】ここで、蛍光体１２は、出力光７は受光せ
ず反射光８のみを受光するように、出力光７のビーム幅
よりも外側に配置されている。

【００５６】結果として、図４（ａ）に示すように、蛍
光体のうち照射された領域が反射光発光領域１７として
発光する。

【００５７】この反射光発光領域１７の画像を画像取込
器１３に取り込み、信号処理器１４で処理して反射光７
のビーム形状を測定する。

【００５８】ここで、光透過窓４の表面に粉塵１５が付
着することで散乱光１６が生じ、蛍光体１２面上に、散
乱光１６と反射光７とが共に照射されることになる。

【００５９】この状態を図４（ｂ）に示す。図４（ｂ）
において、１８は散乱光１６の照射によって蛍光を発す
る散乱光発光領域である。

【００６０】このように散乱光１６が生じることで、蛍
光体１２の発光領域は見掛け上、反射光発光領域１７か
ら散乱光発光領域１８に広がる。

【００６１】この発光領域を、蛍光体１２の後方に設け
た画像取込器１３により取り込み、信号処理器１４で発
光領域の広がりを検出する。

【００６２】よって、一定以上に散乱光発光領域１８が
広がった場合に、光透過窓４に付着した粉塵１５の除去
をうながす信号を発し、操作者は粉塵１５を除去する時
期を知ることができる。

【００６３】以上のように、本実施例では、出力光の光
路方向よりもわずかに異なった光路方向を有する反射光
の光路上に蛍光体を配置し、その発光を画像処理するこ
とで発光領域の変化、例えば透過窓に付着した粉塵量を
定性的に測定でき、粉塵除去の時期を明らかにすること
が可能となり、簡便なメンテナンスが可能となる。

【００６４】なお、本実施例では、光検知器として、Ｃ
ＣＤカメラのような画像取込器としたが、光電変換素子
のような光量を測定する素子を用いて、粉塵量を測定し
てもよい。

【００６５】また、粉塵以外でも、発光領域等の異常を
生じる事象であれば、同様に測定が可能である。

【００６６】（実施例３）以下、本発明の第３の実施例
について、図面を参照しながら説明する。

【００６７】図５は、本実施例のレーザ装置の構成図を
示す。図５（ａ）において、実施例１のレーザ装置と同
様の構成には同じ符号を付したが、１はレーザ媒質を含
むレーザ容器、２は全反射鏡、３は出力結合鏡であり、
光共振器２、３を構成している。４と５は光共振器の光
軸に対して斜めに設置されたレーザ容器１を封じる光透
過窓、１９は光透過窓４と出力結合鏡３との間に配置さ
れ、光共振器中のレーザ光が通る部分が開口した開口部
１９ａを有する環状構造の光検出器、及び２０は光検出
器１９から出力を表示する光量表示器である。

【００６８】図５（ｂ）は、光検出器１９の周囲を拡大
した拡大構成図であり、１５は光透過窓４の表面に付着
した粉塵、１６は粉塵１５により散乱された散乱光であ
る。

【００６９】図６（ａ）は、光検出器１９の詳細構成図
であり、２１は出力光７と反射光８が通過するレーザ光
通過領域、２２はレーザ光通過領域を取り囲むように配
置された各光検出素子であり、本実施例では光電変換素
子を用いている。

【００７０】そして、図６（ｂ）は図６（ａ）に対し
て、光透過窓４上に粉塵１５が付着した場合の状態を示
し、粉塵１５により散乱光１６が発生し、レーザ光通過
領域２１の周囲に散乱光照射領域２３が生じている。

【００７１】以上のように構成された気体レーザ装置の
動作は、レーザ出力光８を出射することは実施例２と同
様であり、光透過窓４上に粉塵１５が発生し、散乱光１
６が発生することも同様である。

【００７２】本実施例では、光透過窓４上に粉塵１５が
付着していないと、図６（ａ）に示すように出力光７、
反射光８は光検出器１９の開口部１９ａを通過する。

【００７３】そして、光透過窓４上に粉塵１５が付着し
た場合には、図６（ｂ）に示すように粉塵１５での散乱
光１６は、光検出器１９面上の散乱光照射領域２３を照
射することになる。

【００７４】この散乱光照射領域２３には、光検出器１
９上に設けられた光検出素子２２が位置するから、光検
出素子２２により、散乱光１４の光強度が測定されるこ
とになる。

【００７５】この光検出素子２２からの出力を、光量表
示器２０でモニターすることにより、実施例２と同様
に、光透過窓４に付着した粉塵１５を除去する時期を検
知することができる。

【００７６】以上より、本実施例によれば、出力光の光
路上であって光透過窓と出力結合鏡の間に光検出器を配
置し、散乱光の光量を測定することで、光透過窓に付着
した粉塵量を定性的に測定でき、粉塵除去の時期を明ら
かにすることができる。

【００７７】なお、本実施例では、光検出器は、光電変
換素子を環状に複数配置した構成としたが、レーザ出力
光と光透過窓での反射光が入射しない場所に光電変換素
子を配置するものであれば、この構成に限られないこと
はもちろんである。

【００７８】（実施例４）以下、本発明の第４の実施例
について、図面を参照しながら説明する。

【００７９】図７は、本実施例のレーザ装置の構成図を
示す。図７（ａ）において、実施例１のレーザ装置と同
様の構成には同じ符号を付したが、１はレーザ媒質を含
むレーザ容器、２は全反射鏡、３は出力結合鏡であり、
光共振器２、３を構成している。４と５は光共振器の光
軸に対して斜めに設置されたレーザ容器１を封じる光透
過窓、２４は光透過窓４と出力結合鏡３との間に配置さ
れ、光共振器中のレーザ光が通る部分が開口した開口部
２４ａを有した構造の蛍光体、及び２５は蛍光体２４の
光量検出器である。

【００８０】図７（ｂ）は、蛍光体２４の周囲を拡大し
た拡大構成図であり、１５は光透過窓４の表面に付着し
た粉塵、１６は粉塵１５により散乱された散乱光であ
る。

【００８１】図８（ａ）は、蛍光体２４の詳細構成図で
あり、２６は出力光７と反射光８が通過する開口部２４
ａ内のレーザ光通過領域である。

【００８２】そして、図８（ｂ）は図８（ａ）に対し
て、光透過窓４上に粉塵１５が付着した場合の状態を示
し、粉塵１５により散乱光１６が発生し、レーザ光通過
領域２６の周囲に散乱光照射領域２７が生じている。

【００８３】以上のように構成された気体レーザ装置の
動作は、出力光７を出射することは実施例２と同様であ
り、透過窓４上に粉塵１５が発生し、散乱光１６が発生
することも同様である。

【００８４】本実施例では、光透過窓４上に粉塵１５が
付着していないと、図８（ａ）に示すように出力光７、
反射光８は光検出器１９の開口部を通過する。

【００８５】そして、光透過窓４上に粉塵１５が付着し
た場合には、図８（ｂ）に示すように粉塵１５での散乱
光１６は、蛍光体２４面上の散乱光照射領域２７を照射
することになり、この散乱光照射領域２７が発光する。

【００８６】この発光量を、外部に設けた光量検知器２
５により測定すれば、光透過窓４に付着した粉塵１５を
除去する時期を明らかにできる。

【００８７】以上のように、本実施例の構成によれば、
光透過窓と出力結合鏡の間に開口部を有する蛍光体を配
置し、その発光量を測定することで、透過窓に付着した
粉塵量を定性的に測定でき、粉塵除去の時期を明らかに
することができる。

【００８８】なお、以上の実施例１又は２の構成と、実
施例３又は４の構成とを兼備した気体レーザ装置とする
ことももちろん可能である。

【００８９】又、実施例３又は４における開口部を有す
る光検出器又は蛍光体は、出力光の光路上においてそれ
に対称に配置してもよいし、反射光の光路上においてそ
れに対称に配置してもよい。

【００９０】更に、以上の全実施例について、光共振器
を構成する全反射鏡の代わりに、同様の機能を有する例
えば回折格子等も使用できることはもちろんである。

【００９１】

【発明の効果】以上のように、本発明により、光透過窓
の反射光路上に出力結合鏡と光検出器を設けることで出
力光の光路上にビームスプリッタを挿入する必要がなく
なるため、新たに光検知用の光学部品を用いる必要が無
くなり、機構的に簡素化がなされ、装置の信頼性が向上
する。その結果として、低価格化した気体レーザ装置を
提供できる。

【００９２】そして、光検知のために出力光の一部をさ
く必要がなくなり、その結果、外部にとりだす出力を減
少させない気体レーザ装置を提供できる。

【００９３】更に、本発明による、透過窓の反射光路上
に出力結合鏡と蛍光体と光検知器を設ける構成や、透過
窓と出力結合鏡の間に光検出器または蛍光体を設ける構
成とにより、透過窓に付着した粉塵を除去する時期を検
知できる気体レーザ装置を提供できる。

【００９４】そして、更に、上記効果を兼備した気体レ
ーザ装置をも実現が可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例におけるレーザ装置の構
成図

【図２】同第１の実施例における出力光強度と透過窓で
の反射光強度との関係を示す図

【図３】同第２の実施例におけるレーザ装置の構成図

【図４】同第２の実施例におけるレーザ装置の動作説明
のための模式図

【図５】同第３の実施例におけるレーザ装置の構成図

【図６】同第３の実施例におけるレーザ装置の動作説明
のための模式図

【図７】同第４の実施例におけるレーザ装置の構成図

【図８】同第４の実施例におけるレーザ装置の動作説明
のための模式図

【図９】従来のレーザ装置の構成図

【符号の説明】

１ レーザ容器 ２ 全反射鏡 ３ 出力結合鏡 ４ 光透過窓 ５ 光透過窓 ６ 光検出器 ７ 出力光 ８ 反射光 ９ 出力表示器 １０ 放電電流電圧制御電源 １２ 蛍光体 １３ 画像取込器 １４ 信号処理器 １５ 粉塵 １６ 散乱光 １７ 反射光発光領域 １８ 散乱光発光領域 １９ 光検出器 ２０ 光量表示器 ２１ レーザ光通過領域 ２２ 光検出素子 ２３ 散乱光照射領域 ２４ 蛍光体 ２５ 光量検出器 ２６ レーザ光通過領域 ２７ 散乱光照射領域 ５１ レーザ管 ５２ 反射鏡 ５３ 出力結合鏡 ５４ 光電素子 ５５ ブリュースタ窓 ５６ 反射光 ５７ 出力光 ５８ 出力表示装置 ５９ 放電電流電圧電源 ６０ 陰極 ６１ 陽極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−350179（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−117380（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−3354（ＪＰ，Ａ) 特開 昭53−118395（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−262585（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−245685（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−312288（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−152643（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−173680（ＪＰ，Ａ) 実開 昭53−132275（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01S 3/13 - 3/139 H01S 3/00 H01S 3/034

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 気体レーザ媒質を包含したレーザ容器
   と、前記レーザ容器の両側に設けられた出力結合手段と
   全反射手段とから構成される光共振器と、前記光共振器
   の間であって前記レーザ容器の壁面に前記光共振器の光
   軸に垂直な方向から寄生発振を防止すべく微小角度傾斜
   して延在するように配置された一対の光透過窓とを含む
   レーザ発振器と、前記出力結合手段から出射するレーザ
   出力光は受光しないが、前記一対の光透過窓の一方で反
   射された反射光を前記出力結合手段を介して受光可能な
   ように前記反射光の光路上に設置された光検出手段とを
   有する気体レーザ装置。
2. 【請求項２】 光検出手段は、光強度検出器である請求
   項１記載の気体レーザ装置。
3. 【請求項３】 光検出手段は、反射光が入射する蛍光体
   と、前記蛍光体から発した光が入射する画像取込器であ
   る請求項１記載の気体レーザ装置。
4. 【請求項４】 気体レーザ媒質を包含したレーザ容器
   と、前記レーザ容器の両側に設けられた出力結合手段と
   全反射手段とから構成される光共振器と、前記光共振器
   の間であって前記レーザ容器の壁面に前記光共振器の光
   軸に垂直な方向から寄生発振を防止すべく微小角度傾斜
   して延在するように配置された一対の光透過窓とを含む
   レーザ発振器と、前記出力結合手段から出射するレーザ
   出力光は受光しないが、前記一対の光透過窓からの反射
   光の光路上に設置され且つ前記一対の光透過窓からの散
   乱光を前記出力結合手段を介して受光可能なように設置
   された光検出手段とを有する気体レーザ装置。
5. 【請求項５】 光検出手段は、反射光と散乱光とが入射
   する蛍光体と、前記蛍光体から発した光が入射する画像
   取込器である請求項４記載の気体レーザ装置。
6. 【請求項６】 一対の光透過窓からの散乱光は、前記光
   透過窓に付着した粉塵による請求項４または５記載の気
   体レーザ装置。
7. 【請求項７】 気体レーザ媒質を包含したレーザ容器
   と、前記レーザ容器の両側に設けられた出力結合手段と
   全反射手段とから構成される光共振器と、前記光共振器
   の間であって前記レーザ容器の壁面に前記光共振器の光
   軸に垂直な方向から寄生発振を防止すべく微小角度傾斜
   して延在するように配置された一対の光透過窓とを含む
   レーザ発振器と、前記出力結合手段から出射するレーザ
   出力光は受光しないが、前記一対の光透過窓の一方で反
   射された反射光を前記出力結合手段を介して受光可能な
   ように前記反射光の光路上に設置された第１光検出手段
   と、前記出力結合手段から出射するレーザ出力光は受光
   しないが、前記一対の光透過窓からの反射光の光路上に
   設置され且つ前記一対の光透過窓からの散乱光を前記出
   力結合手段を介して受光可能なように設置された第２光
   検出手段とを有する気体レーザ装置。