JPS5841588B2 - 磁気バブルメモリチップ - Google Patents
磁気バブルメモリチップInfo
- Publication number
- JPS5841588B2 JPS5841588B2 JP2542178A JP2542178A JPS5841588B2 JP S5841588 B2 JPS5841588 B2 JP S5841588B2 JP 2542178 A JP2542178 A JP 2542178A JP 2542178 A JP2542178 A JP 2542178A JP S5841588 B2 JPS5841588 B2 JP S5841588B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- magnetic bubble
- memory chip
- bubble memory
- memory area
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は磁気バブルメモリチップ、特に作製されたチッ
プのパターン寸法を精度よくかつ効率よくできるメモリ
チップに関するものである。
プのパターン寸法を精度よくかつ効率よくできるメモリ
チップに関するものである。
第１図に磁気バブルメモリチップの外観を示す。
同図に示すように磁気バブルメモリチップ１の大部分は
、第２図に示すような各種の微細パターンでうめられて
いる有効メモリエリア部２で占められている。
、第２図に示すような各種の微細パターンでうめられて
いる有効メモリエリア部２で占められている。
この有効メモリエリア部２はメモリ動作を行なう部分で
、情報の記憶、書き込み、読み出しなどの機能をもって
いる。
、情報の記憶、書き込み、読み出しなどの機能をもって
いる。
有効メモリエリア部２の周囲は余白部を形成する外囲部
３から有効メモリエリア部２を保護するガードレール４
で囲まれている。
３から有効メモリエリア部２を保護するガードレール４
で囲まれている。
そして、このような磁気バブルメモリチップの現在の代
表的なものは、その容量が６４キロ〜２５６キロビツト
で、チップのサイズは５〜１０關角、外囲部の幅は０．
５〜１．０ｉｎ程度である。
表的なものは、その容量が６４キロ〜２５６キロビツト
で、チップのサイズは５〜１０關角、外囲部の幅は０．
５〜１．０ｉｎ程度である。
さて、実際に作製された磁気バブルメモリチップ１は、
その有効メモリエリア部２を形成している第２図のよう
な各種微細パターンが設計値どおりに作製されているか
どうか管理しなければならない。
その有効メモリエリア部２を形成している第２図のよう
な各種微細パターンが設計値どおりに作製されているか
どうか管理しなければならない。
このパターン寸法管理は、有効メモリエリア部２内の各
種の微細パターンの出来上り寸法を作成された多数個の
メモリチップに対して顕微鏡下で測定することにより行
なわれる。
種の微細パターンの出来上り寸法を作成された多数個の
メモリチップに対して顕微鏡下で測定することにより行
なわれる。
ところが従来の磁気バブルメモリチップに対してこのよ
うな微細パターンの寸法管理を行なった場合、次のよう
な問題があった。
うな微細パターンの寸法管理を行なった場合、次のよう
な問題があった。
第１に第２図に例示したような有効メモリエリア部を形
成している各種微細パターンは、顕微鏡下で寸法測定す
るのに測定しにくい形状をしているために測定精度が±
２０％程度で非常に悪い。
成している各種微細パターンは、顕微鏡下で寸法測定す
るのに測定しにくい形状をしているために測定精度が±
２０％程度で非常に悪い。
第２に寸法測定の対象となる各種微細パターンがメモリ
チップ１の大部分の領域を占有している有効メモリエリ
ア部２に散在しているため、目的パターンを探して顕微
鏡の視野中に入れる操作に測定時間の大部分を費やされ
効率が悪い。
チップ１の大部分の領域を占有している有効メモリエリ
ア部２に散在しているため、目的パターンを探して顕微
鏡の視野中に入れる操作に測定時間の大部分を費やされ
効率が悪い。
本発明は上記従来の問題を解消するためになされたもの
で、パターン寸法管理をする際の寸法測定が精度よくか
つ効率よく行なえる磁気バブルメモリチップを提供する
ことを目的とする。
で、パターン寸法管理をする際の寸法測定が精度よくか
つ効率よく行なえる磁気バブルメモリチップを提供する
ことを目的とする。
以下本発明を図示の実施例により説明する。
第３図は本発明になる磁気バブルメモリチップの一実施
例を示す正面図である。
例を示す正面図である。
同図に示すように外囲部３の四隅に寸法測定測定用各種
パターンを集中させたパターン寸法管理部分５を設けて
なる。
パターンを集中させたパターン寸法管理部分５を設けて
なる。
このパターン寸法管理部分５のパターンは有効メモリエ
リア部２を構成する各種パターンを形成すると同時に形
成する。
リア部２を構成する各種パターンを形成すると同時に形
成する。
このパターン寸法管理部分５は特に四隅に限定されるも
のではなく、外囲部３の任意の場所に設けても勿論差支
えない。
のではなく、外囲部３の任意の場所に設けても勿論差支
えない。
またその数も限定されるものではない。
またパターン寸法管理部分５に集中して設ける寸法測定
用各種パターンは、第４図に示すように測定しやすい形
状に単純化したものを用いてもよく、また有効メモリエ
リア部２に形成されている各種微細パターンをそのまま
形成してもよい。
用各種パターンは、第４図に示すように測定しやすい形
状に単純化したものを用いてもよく、また有効メモリエ
リア部２に形成されている各種微細パターンをそのまま
形成してもよい。
第４図において、６は複数の矩形をＸ方向およびＹ方向
に配夕］ルたパターンの例を示し、Ｔは複Ｏの矩形を斜
め方向に配夕１ルたパターンの例である。
に配夕］ルたパターンの例を示し、Ｔは複Ｏの矩形を斜
め方向に配夕１ルたパターンの例である。
このようなパターンを用いると寸法測定がしやすくなる
。
。
このようにメモリチップのメモリ動作に対して何の悪い
影響を与えることのない余白部である外囲部３に寸法測
定パターンを形成したパターン寸法管理部分５を形成し
てなり、その寸法測定パターンは有効メモリエリア部の
各種パターンと同時に形成してなるので、有効メモリエ
リア部の各種パターンと同じ精度で作成され、寸法測定
パターンを測定することにより容易に有効メモリエリア
部の各種パターン精度を知ることができる。
影響を与えることのない余白部である外囲部３に寸法測
定パターンを形成したパターン寸法管理部分５を形成し
てなり、その寸法測定パターンは有効メモリエリア部の
各種パターンと同時に形成してなるので、有効メモリエ
リア部の各種パターンと同じ精度で作成され、寸法測定
パターンを測定することにより容易に有効メモリエリア
部の各種パターン精度を知ることができる。
またその寸法測定パターンは測定しやすい形状にするこ
とができ、測定精度が向上する。
とができ、測定精度が向上する。
また各種寸法測定用パターンを特定場所に集中して設け
ることができるため、目的パターンを探がして顕微鏡の
視野中にもってくる操作が不要となり、測定時間の短縮
が図れる。
ることができるため、目的パターンを探がして顕微鏡の
視野中にもってくる操作が不要となり、測定時間の短縮
が図れる。
以上の説明から明らかな如く、本発明によれば、作製さ
れた磁気バブルメモリチップのパターン寸法測定が精度
よく効率よくできる。
れた磁気バブルメモリチップのパターン寸法測定が精度
よく効率よくできる。
第１図は従来の磁気バブルメモリチップの正面図、第２
図は有効メモリエリア部に形成された微細パターンの一
例を示すパターン図、第３図は本発明になる磁気バブル
メモリチップの一実施例を示す正面図、第４図はパター
ン寸法管理部分に形成された寸法測定用パターンの一例
を示すパターン図である。 １・・・・・・磁気バブルメモリチップ、２・・・・・
・有効メモリエリア部、３・・・・・・外囲部、４・・
・・・・ガードレール、５・・・・・・パターン寸法管
理部分。
図は有効メモリエリア部に形成された微細パターンの一
例を示すパターン図、第３図は本発明になる磁気バブル
メモリチップの一実施例を示す正面図、第４図はパター
ン寸法管理部分に形成された寸法測定用パターンの一例
を示すパターン図である。 １・・・・・・磁気バブルメモリチップ、２・・・・・
・有効メモリエリア部、３・・・・・・外囲部、４・・
・・・・ガードレール、５・・・・・・パターン寸法管
理部分。
Claims (1)
- １ 有効メモリエリア部を囲むように設けられたガード
レールでチップの外囲部から保護する磁気バブルメモリ
チップにおいて、前記有効メモリエリア部を構成する各
種パターンを形成すると同時に、前記外囲部に各種寸法
測定パターンを集中させて形成したパターン寸法管理部
分を具備してなる磁気バブルメモリチップ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2542178A JPS5841588B2 (ja) | 1978-03-08 | 1978-03-08 | 磁気バブルメモリチップ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2542178A JPS5841588B2 (ja) | 1978-03-08 | 1978-03-08 | 磁気バブルメモリチップ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS54118740A JPS54118740A (en) | 1979-09-14 |
| JPS5841588B2 true JPS5841588B2 (ja) | 1983-09-13 |
Family
ID=12165479
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2542178A Expired JPS5841588B2 (ja) | 1978-03-08 | 1978-03-08 | 磁気バブルメモリチップ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5841588B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6074312A (ja) * | 1983-09-30 | 1985-04-26 | 豊田合成株式会社 | ゴムスイツチ接点 |
| JPS6136928U (ja) * | 1984-08-07 | 1986-03-07 | 株式会社 レツドマン | 感圧式簡易スイツチ |
| JPS6166831U (ja) * | 1984-10-09 | 1986-05-08 | ||
| JPS6187426U (ja) * | 1984-11-13 | 1986-06-07 | ||
| JPH0435851B2 (ja) * | 1982-09-03 | 1992-06-12 | Alps Electric Co Ltd |
-
1978
- 1978-03-08 JP JP2542178A patent/JPS5841588B2/ja not_active Expired
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0435851B2 (ja) * | 1982-09-03 | 1992-06-12 | Alps Electric Co Ltd | |
| JPS6074312A (ja) * | 1983-09-30 | 1985-04-26 | 豊田合成株式会社 | ゴムスイツチ接点 |
| JPS6136928U (ja) * | 1984-08-07 | 1986-03-07 | 株式会社 レツドマン | 感圧式簡易スイツチ |
| JPS6166831U (ja) * | 1984-10-09 | 1986-05-08 | ||
| JPS6187426U (ja) * | 1984-11-13 | 1986-06-07 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS54118740A (en) | 1979-09-14 |
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