JPS582809A - カラ−フイルタ−の製造方法 - Google Patents
カラ−フイルタ−の製造方法Info
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- JPS582809A JPS582809A JP56100810A JP10081081A JPS582809A JP S582809 A JPS582809 A JP S582809A JP 56100810 A JP56100810 A JP 56100810A JP 10081081 A JP10081081 A JP 10081081A JP S582809 A JPS582809 A JP S582809A
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- dyed
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- dyeing
- dye
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-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0005—Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
- G03F7/0007—Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明線色分解用カラーフィルターの製造方法に−ｒる
。
。
ｃｃｏ、ｇａｐあるいはＭＯａｌｔどの固体撮像−子を
１偵あるいは２個使用して構成されるカラーカメラには
色分解用のモザイク状あるいはスＦライブ状のカラーフ
ィルターが必要である。
１偵あるいは２個使用して構成されるカラーカメラには
色分解用のモザイク状あるいはスＦライブ状のカラーフ
ィルターが必要である。
従来これらのカラーフィルターはイラチ／、カゼイ／、
グルニーなどの友ん白質系樹脂あるいはポリビニールア
ルコール、アクリル、ポリカーボネート、ポリアミド、
ポリエステルなどのり撃性＃脂層を染色してｍ１ｌｌ、
ｌ！される。
グルニーなどの友ん白質系樹脂あるいはポリビニールア
ルコール、アクリル、ポリカーボネート、ポリアミド、
ポリエステルなどのり撃性＃脂層を染色してｍ１ｌｌ、
ｌ！される。
従来、カラーフィルターの製造方法として２−ＩｓＯ製
造万沫がよく知られている。第１の製造方法について第
１図！用いて説明する。４１図ｔａＺに示すように例え
ばガラスなどの透光性支持体ｌの上？ζ単一性の可染性
樹脂層２を形成し、次に＋ｂ）に示すように例えばフォ
トレジストなと−（よって第１ａ染色マスク３１ｉ形成
し、そのし１０部から可染性４＃脂膚２を例えばＢ悼）
に染色して第１の峻色ｉｌｉ域２１ｔ−形成する。次に
染色ｉスフ３１を剥−し、第２の染色マスクを形成し、
例えば１ｊ（−の總２の染色領域２２を形成する（、Ｊ
。同様にして＃１３の染色１１１城を例えばＢ（青）に
形成して３０８３色のカラーフィルタが製造される（ｄ
）。
造万沫がよく知られている。第１の製造方法について第
１図！用いて説明する。４１図ｔａＺに示すように例え
ばガラスなどの透光性支持体ｌの上？ζ単一性の可染性
樹脂層２を形成し、次に＋ｂ）に示すように例えばフォ
トレジストなと−（よって第１ａ染色マスク３１ｉ形成
し、そのし１０部から可染性４＃脂膚２を例えばＢ悼）
に染色して第１の峻色ｉｌｉ域２１ｔ−形成する。次に
染色ｉスフ３１を剥−し、第２の染色マスクを形成し、
例えば１ｊ（−の總２の染色領域２２を形成する（、Ｊ
。同様にして＃１３の染色１１１城を例えばＢ（青）に
形成して３０８３色のカラーフィルタが製造される（ｄ
）。
次に菖ＺＯ＠造方＊について第２図を用いて説―する。
３Ｂ崗−に示すようＫ例えばガラスなどｏｊＩ元−支持
体１０上に第１＃鍮亀−域４１にのみ町蜘性樹鮨層を彫
威し、（ｂ）に示すように嬉ｌの色例えばＢＫ勤もする
０次に耐染色性の中間層５１を形成して第１の染色領域
４１を被覆し、第１ｏＱ色領域が他の６で染色されるの
を防止する。
体１０上に第１＃鍮亀−域４１にのみ町蜘性樹鮨層を彫
威し、（ｂ）に示すように嬉ｌの色例えばＢＫ勤もする
０次に耐染色性の中間層５１を形成して第１の染色領域
４１を被覆し、第１ｏＱ色領域が他の６で染色されるの
を防止する。
次に中間層５五上（嬉２の染色領域４２を形成し。
嬉８０色例えばＧＫ染色し、その上Ｋｍ鍮色性中間層ｓ
２を形成すゐ（−）、同様にしてｇａｏｍ色領域ｓｓを
形成して第３０色例えばＢＫ染色すれば＆（１ｊｉ３色
のカラーフィルターが製造される（ｄ）。
２を形成すゐ（−）、同様にしてｇａｏｍ色領域ｓｓを
形成して第３０色例えばＢＫ染色すれば＆（１ｊｉ３色
のカラーフィルターが製造される（ｄ）。
高解像度の綱体＊、＊嵩子に使用するカラーフィルター
で娘各染６領域Ｏ画積も小さくなり、その寸法着層およ
び４に染色領域の目脅せ一度も厳しくなプでくる。
で娘各染６領域Ｏ画積も小さくなり、その寸法着層およ
び４に染色領域の目脅せ一度も厳しくなプでくる。
この丸め各染色領域の境界−ＫＪＩ間が生じて染色され
ていない領域が生じたり、あるいは逆に色領域が慮なり
て４偽が＃Ｌしる。これらの部分で線圧しい色分Ｓが行
われないという欠点があ、た。
ていない領域が生じたり、あるいは逆に色領域が慮なり
て４偽が＃Ｌしる。これらの部分で線圧しい色分Ｓが行
われないという欠点があ、た。
にある−で染色領域が皿なるよ５Ｋｔ、たり、あるいは
支持体上に予しめしや光領域を形成し、その上に形成す
る染色領域の端部がし中光領域と皿なるよ５Ｋしてカラ
ーフィルターを製造する方法も提案されている。
支持体上に予しめしや光領域を形成し、その上に形成す
る染色領域の端部がし中光領域と皿なるよ５Ｋしてカラ
ーフィルターを製造する方法も提案されている。
しかしながら染色領域を重なるよ５Ｋした場合には、第
１１１１！Ｉにおいて説明した従来Ｏ菖ｌの方法では染
料が他の染色領域中にも拡散して鵡色が生しるという欠
点があり、第２図における従来Ｏ菖２の方法では各染色
領域が耐染色性の中間層によって分離されているため１
色は生しないが、色領域の重なり寸法の制御が困錐であ
るという欠点があ２九。
１１１１！Ｉにおいて説明した従来Ｏ菖ｌの方法では染
料が他の染色領域中にも拡散して鵡色が生しるという欠
点があり、第２図における従来Ｏ菖２の方法では各染色
領域が耐染色性の中間層によって分離されているため１
色は生しないが、色領域の重なり寸法の制御が困錐であ
るという欠点があ２九。
また支持体上にし中太層を形成し、その上に染色領域を
形成する場合には、１ｌｉｌ１０７ｊ法ではやはり混色
が生じる欠点があっ丸、また−記従未の２１ｍＩＩＩの
方法ともに、凹凸のある固体撮像素子上に直接カラーフ
ィルターを形成する場合には一体抛像嵩子表ＩｉＯ凹凸
および表１１Ｏ反射本の相異によりて一一なし中太領域
を＃成することがｍｓｉであゐという欠点があ５丸、貞
に前記第２０方法では＃！画Ｏ！！！凸のために一度良
くモザイク状あるいはストライプ状の礒５ｉＩＩ城を形
成することが１錐であるという欠点があった。
形成する場合には、１ｌｉｌ１０７ｊ法ではやはり混色
が生じる欠点があっ丸、また−記従未の２１ｍＩＩＩの
方法ともに、凹凸のある固体撮像素子上に直接カラーフ
ィルターを形成する場合には一体抛像嵩子表ＩｉＯ凹凸
および表１１Ｏ反射本の相異によりて一一なし中太領域
を＃成することがｍｓｉであゐという欠点があ５丸、貞
に前記第２０方法では＃！画Ｏ！！！凸のために一度良
くモザイク状あるいはストライプ状の礒５ｉＩＩ城を形
成することが１錐であるという欠点があった。
更Ｋｍ記１［１の方法における単−性可染性樹一層とし
て例えばポリエステルを用いた場合の染料は分畝鍮料が
使用される是め、ｍ色マスクとしてはイラチン、カイイ
ン、ダル、−、ボ替ビニルアルコールなどの麿本性樹騙
に重りｇム−アンそ二りムなどＫよりて感光性を付与し
たフォトレジストがｇｌ！用される。ま九嬉２−の方法
では可染性樹脂として感光性が＆要であるため、ＪＰは
り（クチン、力（インなどが値Ｊｉ！されている。これ
らの７オトレジストは太釆纒阪などに便用されているも
のであり、解虐ｌＬが感＜、（ｔ−ｚてカラーフィルタ
ーの染色領域の一度が蟲（なるとい５欠点がありえ。
て例えばポリエステルを用いた場合の染料は分畝鍮料が
使用される是め、ｍ色マスクとしてはイラチン、カイイ
ン、ダル、−、ボ替ビニルアルコールなどの麿本性樹騙
に重りｇム−アンそ二りムなどＫよりて感光性を付与し
たフォトレジストがｇｌ！用される。ま九嬉２−の方法
では可染性樹脂として感光性が＆要であるため、ＪＰは
り（クチン、力（インなどが値Ｊｉ！されている。これ
らの７オトレジストは太釆纒阪などに便用されているも
のであり、解虐ｌＬが感＜、（ｔ−ｚてカラーフィルタ
ーの染色領域の一度が蟲（なるとい５欠点がありえ。
本鷺−の１ＩＩＩｊは曽記髄米の方法における欠点を゛
解決せしめ固体嫌像嵩子に迩し、鵡搗が生じず一度の良
い色分解用カラーフィルターを容ａＫ形成できるカラー
フィルターの製造方法を提供−ｒることにある。
解決せしめ固体嫌像嵩子に迩し、鵡搗が生じず一度の良
い色分解用カラーフィルターを容ａＫ形成できるカラー
フィルターの製造方法を提供−ｒることにある。
本発明のカラーフィルターのＩＩｉ法は単−性可染性樹
廁層上に染料を透過させない物質でし中太領域を形成し
た後、該しヤ光領域上に端部ｔ−ぎする染色マスクを形
成し、ａｌｌ記し中太嬢填端を実質的染色マスク端とし
て蒲記町染性樹脂層を＊色することを＃Ｉ＃黴とする。
廁層上に染料を透過させない物質でし中太領域を形成し
た後、該しヤ光領域上に端部ｔ−ぎする染色マスクを形
成し、ａｌｌ記し中太嬢填端を実質的染色マスク端とし
て蒲記町染性樹脂層を＊色することを＃Ｉ＃黴とする。
また１本発明のカラー固体撮像素子の製造方法は、固体
Ｉ＆１素子の通像領域中の非盛ｔＳのうち少なくとも染
色領域Ｏ端界が形成される非Ｉｌ＆元簿上の町染性責一
層上に染料を透過させない物質で砦ヤ光領域を形成した
後、該しゃ光領域上に端ａｔ有する染色マスクを形成し
。
Ｉ＆１素子の通像領域中の非盛ｔＳのうち少なくとも染
色領域Ｏ端界が形成される非Ｉｌ＆元簿上の町染性責一
層上に染料を透過させない物質で砦ヤ光領域を形成した
後、該しゃ光領域上に端ａｔ有する染色マスクを形成し
。
前記し辛党領域端を染色マスク端として、１１１記處像
領域中の感光部上の可染法樹騙層會染色することｔ特徴
とし〔いる。
領域中の感光部上の可染法樹騙層會染色することｔ特徴
とし〔いる。
―配本脅１１によれば、固体ＩＩ＆像素子に適し九−色
がないカラーフィルターを高−直に、小つ＠４６に製造
で會る。′Ｉ！九凹凸や反射率の異なる１体處會嵩子上
に直ＩＩ處色がなく高着度にカラーフィルターを形成し
たカラー−停止！＆儂嵩子を容６に製造で會る。
がないカラーフィルターを高−直に、小つ＠４６に製造
で會る。′Ｉ！九凹凸や反射率の異なる１体處會嵩子上
に直ＩＩ處色がなく高着度にカラーフィルターを形成し
たカラー−停止！＆儂嵩子を容６に製造で會る。
単−法Ｏ鍮も樹脂層を染色マスクを用いて染め分けるカ
ラーフィルターは染も樹脂として耐熱性−Ａｌを便綱で
きる利点がある。ところが、このタイプのカラーフィル
ターでは隣磯し先染色領域間で鍮科の値数による１色が
発生する。この染料の値数組−＆ｉ鍮も領域の境界部が
電なり九りあるいは債融している場合に大きく％染色領
域の境界が隔てられている場合に小さい。そこで発明者
は染色領域間に非染色領域を設けて染色精城闘を隔て、
し中太層′ｔ＃ｐ染も領域上ＫＩ＆げて非染色領域をし
中太するカラーフィルターを操業した。本発明はこのカ
ラーフィルター會箒烏に、かつ糟度夷く属處する方織で
ある。
ラーフィルターは染も樹脂として耐熱性−Ａｌを便綱で
きる利点がある。ところが、このタイプのカラーフィル
ターでは隣磯し先染色領域間で鍮科の値数による１色が
発生する。この染料の値数組−＆ｉ鍮も領域の境界部が
電なり九りあるいは債融している場合に大きく％染色領
域の境界が隔てられている場合に小さい。そこで発明者
は染色領域間に非染色領域を設けて染色精城闘を隔て、
し中太層′ｔ＃ｐ染も領域上ＫＩ＆げて非染色領域をし
中太するカラーフィルターを操業した。本発明はこのカ
ラーフィルター會箒烏に、かつ糟度夷く属處する方織で
ある。
この＃鍮ａｉｍ域の−として必要な大きさは通當航声膳
嵐下である。 ４ＡｊＬばポリエーテルサル７オン樹虐
（住友化学１１）を分数ｌｌＩ料で染色し先後、ＩＨ）
’Ｃ１ａｍ間ｏＩＩ＆％場によって染料が拡散して拡が
る組−はＱ、５声ｍ ｌＩ ｆである０ｇｌってこのＳ
合、染色領域間に１．５μｍ以上の非染色領域を設けて
おけば前記０鵬ｆｉ盾では轟色が生じない。
嵐下である。 ４ＡｊＬばポリエーテルサル７オン樹虐
（住友化学１１）を分数ｌｌＩ料で染色し先後、ＩＨ）
’Ｃ１ａｍ間ｏＩＩ＆％場によって染料が拡散して拡が
る組−はＱ、５声ｍ ｌＩ ｆである０ｇｌってこのＳ
合、染色領域間に１．５μｍ以上の非染色領域を設けて
おけば前記０鵬ｆｉ盾では轟色が生じない。
−万ＣＣＤ ４ＰＭＯ８などの固体嫌像嵩子の各−素は
光電変換機能をもつ感光部と、信号を坂り出すためＯ電
Ｊ１転送部あるいは配線Ｓおよび４光尋を各画素に分離
する九めのチャンネルストッパーなどの非感光部とから
構成されている。ｃｒｔらの非感光部特にチャンネルス
ト、パー慢に尤が入射すると、チャンネルスト、パー４
の下で光中ヤリ↑が発生し、この光キヤＩｊｆが感光部
に拡飲するために色信号に４色が生じる。このため非感
光４に光が入射しないようにし中太する必要がある。
光電変換機能をもつ感光部と、信号を坂り出すためＯ電
Ｊ１転送部あるいは配線Ｓおよび４光尋を各画素に分離
する九めのチャンネルストッパーなどの非感光部とから
構成されている。ｃｒｔらの非感光部特にチャンネルス
ト、パー慢に尤が入射すると、チャンネルスト、パー４
の下で光中ヤリ↑が発生し、この光キヤＩｊｆが感光部
に拡飲するために色信号に４色が生じる。このため非感
光４に光が入射しないようにし中太する必要がある。
電荷転送部あるいは配線部８よびチャンネルストッパー
藻などＯ非ｌ＆光部の幅は禰掌航μｍないし十数μｍあ
る丸め、このｊ＄―元婦上に数戸ｍ。
藻などＯ非ｌ＆光部の幅は禰掌航μｍないし十数μｍあ
る丸め、このｊ＄―元婦上に数戸ｍ。
輻Ｏ非蟻色領域とし中党領域を＃成することが可能であ
る。
る。
そこで謔Ｊｌｌｌｌ（ａ）に示すよ５に支持体ｌ上の単
一性可染性Ｉ１１細層２の上に染料を遍遍洛せｔい資質
でし中太領域藝を形成し１次に第３図伽）に示すよｊＫ
Ｌ中１．＠域６上に端部を９する＃１１の染色１スタ３
６を形成し、その−口部から可染性樹脂層を染色してＪ
ｌｌＩＩＯ染色領域８１を形成する。染色マスクを剥離
して、この１横を繰ｊ！せば（ｃ）Ｋ示すように３色Ｏ
染も領域１１ないし８３と染色領域間に非染色領域８０
が形成される。
一性可染性Ｉ１１細層２の上に染料を遍遍洛せｔい資質
でし中太領域藝を形成し１次に第３図伽）に示すよｊＫ
Ｌ中１．＠域６上に端部を９する＃１１の染色１スタ３
６を形成し、その−口部から可染性樹脂層を染色してＪ
ｌｌＩＩＯ染色領域８１を形成する。染色マスクを剥離
して、この１横を繰ｊ！せば（ｃ）Ｋ示すように３色Ｏ
染も領域１１ないし８３と染色領域間に非染色領域８０
が形成される。
し中太領域を形成する丸めに使用される７オトレジスト
は通電Ｏ１１積■路を作成する丸めに用いられる解像ｊ
ＩＯｊｌＬいフォトンシストが使用されるためし中太領
域は直着ｔＫ形成されている。
は通電Ｏ１１積■路を作成する丸めに用いられる解像ｊ
ＩＯｊｌＬいフォトンシストが使用されるためし中太領
域は直着ｔＫ形成されている。
すでに述べ丸１５に染色マスクとして使用される例えば
カイインあるいはイラチンの７オトレジストは一般に解
１１度が暴く、パターン工、ジにダレが生じやすい。本
発明ではこＯＩｋ ８ｗスクのバターン工、ジはし中太
領域上に形成され、染色時の墳昇はし中太領域によって
決定されており、染８マスクはどのし中太領域関ｔＩＩ
＆色するか′ｋａ択する丸めのものである。
カイインあるいはイラチンの７オトレジストは一般に解
１１度が暴く、パターン工、ジにダレが生じやすい。本
発明ではこＯＩｋ ８ｗスクのバターン工、ジはし中太
領域上に形成され、染色時の墳昇はし中太領域によって
決定されており、染８マスクはどのし中太領域関ｔＩＩ
＆色するか′ｋａ択する丸めのものである。
ま九鋤色マスタパターンの端部はし中党層上に形成され
るため染色マスクパターンの目金ぜの許容範囲が大きく
なる。染色マスクパター７の端部がし中太層上にある限
り、染色パターンには影響がなく、染色マスクパターン
の目金せか’ａｓとなる。
るため染色マスクパターンの目金ぜの許容範囲が大きく
なる。染色マスクパター７の端部がし中太層上にある限
り、染色パターンには影響がなく、染色マスクパターン
の目金せか’ａｓとなる。
即ち、本発明のカラーフィルターの製法では染色マスク
のパターンエツジのダ＆／は染色パターンに影響がなく
、また染色マスクパターンの目会せが容重となるため、
＆槽ｌＩ！０染色が′＃墨に可能となる。
のパターンエツジのダ＆／は染色パターンに影響がなく
、また染色マスクパターンの目会せが容重となるため、
＆槽ｌＩ！０染色が′＃墨に可能となる。
特に固体通像素子上Ｋｕｉｉｉカラーフィルター管形成
し先カラー國体縄像素子をｍｓする場合には、圃体撮像
素子表函の凹凸と阪射皐の＠真とによる反射ｊｔ、Ｏ影
番によりて、員好な７オトンジス）バターｙｏ形成が１
雌でありた。本発・明Ｏ契法によれば、ｑ＊性樹脂層を
１体通像卓子上に形成する仁とにより、表面の凹凸が平
坦化さＪシ、シ中太鋼域の形成が＃易となり、更に染色
マスクパターンＯ形成Ｋｇいてもパターン工、ジ辱の反
射率が一定となるた柁４、良好な染色ｉス！パターンの
形成−容橋となり １１１３ｇ＋！真（カラー園体撮＊
虜子が製造できる。
し先カラー國体縄像素子をｍｓする場合には、圃体撮像
素子表函の凹凸と阪射皐の＠真とによる反射ｊｔ、Ｏ影
番によりて、員好な７オトンジス）バターｙｏ形成が１
雌でありた。本発・明Ｏ契法によれば、ｑ＊性樹脂層を
１体通像卓子上に形成する仁とにより、表面の凹凸が平
坦化さＪシ、シ中太鋼域の形成が＃易となり、更に染色
マスクパターンＯ形成Ｋｇいてもパターン工、ジ辱の反
射率が一定となるた柁４、良好な染色ｉス！パターンの
形成−容橋となり １１１３ｇ＋！真（カラー園体撮＊
虜子が製造できる。
し辛党領域を形成する物質としては、５ｖ：を遍さず、
染料を道通させない物質で、工、チ／ダやり７トオ７な
どでパターン化が可能なすべての物質″ＩＩＡＩＩ！眉
可−であり、例えばアルＲｔ−ウ＾、り―ム。
染料を道通させない物質で、工、チ／ダやり７トオ７な
どでパターン化が可能なすべての物質″ＩＩＡＩＩ！眉
可−であり、例えばアルＲｔ−ウ＾、り―ム。
為、ケル ｍ鍮などＯ金属あるいは金属酸化物、金属電
化物、金属電化物などが使用で會る。
化物、金属電化物などが使用で會る。
し辛党領域を廖威す為物質の反射幕が大きい場舎には、
し辛党層で反射され九光によりて７レアが生し、１！ｈ
再風上１１ましくない、このためし辛党懺櫨を形成する
物質は３０％以下特に１０％以下Ｏ低反曽率Ｏ物質が望
ましい。
し辛党層で反射され九光によりて７レアが生し、１！ｈ
再風上１１ましくない、このためし辛党懺櫨を形成する
物質は３０％以下特に１０％以下Ｏ低反曽率Ｏ物質が望
ましい。
低反射率物質としては例えばＣ，０、ｖ、ｏ、 。
ＮｂＯ、ムＩｔＯ，Ｃ６０、ＮｉＯ、Ｍ＠０！ 、 Ｆ
＊０ などの金ｊＨ１ｌｌ ＆物、 ＧａＮ 、 Ｃｔ
Ｍ 、 ＮｂＮ 、 ＴａＮ ｔｌど０金属璽化物あ
るいはム１１＠ Ｊｉ 、 ＣｔＢ ８ｇ 、 Ｃｏ＆
、 ＣＢＳ。
＊０ などの金ｊＨ１ｌｌ ＆物、 ＧａＮ 、 Ｃｔ
Ｍ 、 ＮｂＮ 、 ＴａＮ ｔｌど０金属璽化物あ
るいはム１１＠ Ｊｉ 、 ＣｔＢ ８ｇ 、 Ｃｏ＆
、 ＣＢＳ。
Ｐｂ８．Ｍ＠＠、などＯ金属硫（ヒ物などが使用で會る
。
。
またアルシェラ＾＊ ｔ１４ｓ亜鉛、ニッケル、鉄など
ｅｓｕｉｔｔｍ化１組あるいはγｋｌ＆つ＾の表Ｗを１
４Ｍ酸化し、この１ｉＩ４ｉ鹸化皮膜を黒く着色させた
層も低反射率物質として使用できる。
ｅｓｕｉｔｔｍ化１組あるいはγｋｌ＆つ＾の表Ｗを１
４Ｍ酸化し、この１ｉＩ４ｉ鹸化皮膜を黒く着色させた
層も低反射率物質として使用できる。
あるいはま九金属層上に黒色タームメ、＋シたような８
層構造のし辛党層とすることも可−である。
層構造のし辛党層とすることも可−である。
これらＯ物質を例えば真！１１１着などで成膜し、工、
チンダあるいはｖ７）オフなどＫよりパターン化すれば
し中太領域が形成できる。
チンダあるいはｖ７）オフなどＫよりパターン化すれば
し中太領域が形成できる。
まえ１つの染色領域が虜体撮像嵩子０Ｊｌｉ［微調の一
嵩に対応して形成される揚台に、染色領域Ｏ端部のみに
し寺、光領域を形成するだけでなくすべてＯ画素Ｏ非感
光１１に対応して形成し、−嵩の感光１１１１に染色領
域を分割してもよい、こＯよ５にすればチャｙネルスト
、バー婦などの影響によｈ４１画累関Ｏ１＆度のａｍを
小さくで奮る。
嵩に対応して形成される揚台に、染色領域Ｏ端部のみに
し寺、光領域を形成するだけでなくすべてＯ画素Ｏ非感
光１１に対応して形成し、−嵩の感光１１１１に染色領
域を分割してもよい、こＯよ５にすればチャｙネルスト
、バー婦などの影響によｈ４１画累関Ｏ１＆度のａｍを
小さくで奮る。
以下実施１ｉｌＫより本発１ＩＪｔ説明する。
実施例１゜
ガラス基１［１の上に住友化学（ｍ）ａｌｌボ替エーテ
゛ルナルア１２樹騙（以下ＰＥ８樹麿）ＩＮ−
メチル・２ピー賛ドｙ（ＮＭＰ）Ｋα２５ ｊ／ｗの一
度で連鋳した温液をスピンプートすることＫｘ、て単−
性染も一一層２を形成した０次に染色ｍ騙層２０上に７
ｋＲエクムをａ、２声ｒｍＯ厚さに真！１ｍ着しえ、久
にり、プＶ−社ｍ７ｔトレジストムＺ１３ｉ０によって
工、チ／ダマスクを形成し、リン酸を用いてアル１ニウ
ムを工、チングした後、ＡＺ１３５Ｇ七′剥麟してＸ方
向ｌｌｌ５声ｍ、ピッチ３１，１ｍ、Ｙ方崗−４声園、
ピッチ４０声−のし中太領域６を形成した。＊ｍｍｔｇ
ｓ鴎（畠）に示す０次に一３図１ｂ）ｏよ５に東京応化
＠ｍカゼインフォトレジストａ−ｓｏｓｌ！＠いて菖１
の染色マスク７１ｉ形成し、住友化学−員分斂染料ス１
力ρ／グルーＥ−νＭＬＶｔ用いて、 １１０℃で転写
法により染色し、第１０染色領域８１を形成した。こあ
と者の平面図を＠）に示す、染色１スタを剥離後間ｍに
して縁および卓の染色領域８２．８３１１形成して（Ｇ
）のような力蔓−フイルターを完成した。
゛ルナルア１２樹騙（以下ＰＥ８樹麿）ＩＮ−
メチル・２ピー賛ドｙ（ＮＭＰ）Ｋα２５ ｊ／ｗの一
度で連鋳した温液をスピンプートすることＫｘ、て単−
性染も一一層２を形成した０次に染色ｍ騙層２０上に７
ｋＲエクムをａ、２声ｒｍＯ厚さに真！１ｍ着しえ、久
にり、プＶ−社ｍ７ｔトレジストムＺ１３ｉ０によって
工、チ／ダマスクを形成し、リン酸を用いてアル１ニウ
ムを工、チングした後、ＡＺ１３５Ｇ七′剥麟してＸ方
向ｌｌｌ５声ｍ、ピッチ３１，１ｍ、Ｙ方崗−４声園、
ピッチ４０声−のし中太領域６を形成した。＊ｍｍｔｇ
ｓ鴎（畠）に示す０次に一３図１ｂ）ｏよ５に東京応化
＠ｍカゼインフォトレジストａ−ｓｏｓｌ！＠いて菖１
の染色マスク７１ｉ形成し、住友化学−員分斂染料ス１
力ρ／グルーＥ−νＭＬＶｔ用いて、 １１０℃で転写
法により染色し、第１０染色領域８１を形成した。こあ
と者の平面図を＠）に示す、染色１スタを剥離後間ｍに
して縁および卓の染色領域８２．８３１１形成して（Ｇ
）のような力蔓−フイルターを完成した。
このカラーフィルターをガラス側から纏幽し九ａｉｆｌ
染ａｍ域はし中太領域の下側にα２ないしｌ声ｍ入り込
んで彫ｌ１Ｌｄれていることがわかり丸。
染ａｍ域はし中太領域の下側にα２ないしｌ声ｍ入り込
んで彫ｌ１Ｌｄれていることがわかり丸。
即ち染料はし中太領域関〇−ロ部から値数するが拡散時
にし辛党層下にも拡散するため、し中太領域と染色領域
間に染色されない部分が生じろことはない。
にし辛党層下にも拡散するため、し中太領域と染色領域
間に染色されない部分が生じろことはない。
この場合染色領域はし中太領域下の２−ｓないし３μｍ
ｌｉ度の−の非染色領域８０によって分離されており轟
色を生じることがない。
ｌｉ度の−の非染色領域８０によって分離されており轟
色を生じることがない。
実施例龜
籐４ｔｉｌ（ａ）Ｋ示すよ５ＫＸ方向３３μ脇、Ｙ方向
２Ｇｐｍピ、千の画素で構成されているインターライン
方式Ｃ０Ｄ一体１１ｍ素子素子ｌ拭上施例１と同様にし
てｐｉｓ樹ＩＪｉＫよる染色樹繍層２を形成した。
２Ｇｐｍピ、千の画素で構成されているインターライン
方式Ｃ０Ｄ一体１１ｍ素子素子ｌ拭上施例１と同様にし
てｐｉｓ樹ＩＪｉＫよる染色樹繍層２を形成した。
その結果約２戸ｍであ、丸感光部１１と電＃転送＠１ｘ
ｏ８凸が約１５声ｏｎ１１度に平坦化された。
ｏ８凸が約１５声ｏｎ１１度に平坦化された。
（ｂ） Ｋ示すように実施例１と同様にして１１も一一
盾３の上にＮ１）０による低反射率のし中ｔＩｌ城６を
電荷転送！ｓ１２上に一８μｍで、チャンネルストッパ
一部上（ＩＡ示せず）に＠４μｍで＃属した。
盾３の上にＮ１）０による低反射率のし中ｔＩｌ城６を
電荷転送！ｓ１２上に一８μｍで、チャンネルストッパ
一部上（ＩＡ示せず）に＠４μｍで＃属した。
以下夷ｍ例１と同様にしてル、Ｇ、８ ３色の染色８１
ないし８３を行ない、（Ｃ）に示すようなカラ−固体ｍ
像素子ｔ５！威した。
ないし８３を行ない、（Ｃ）に示すようなカラ−固体ｍ
像素子ｔ５！威した。
以上の夷廁例のように本発明によれば固体撮像原子に通
したカラーフィルターおよびカッー細体鑞像素子が ４
色がなく高精度にかつ容易に製造できる。
したカラーフィルターおよびカッー細体鑞像素子が ４
色がなく高精度にかつ容易に製造できる。
縞１１［］１（ａ）ないし−）は従来の第１の方法をｄ
明すｈ＊ｓｂｏ＠で、第１１１（ａ）ないしくｄ）は従
来の編２の方法を説明するため０図で、それぞれ主要１
楊におけるフィルターの断面図である、１１１３図（ａ
）ないし−）は本発明のカラーフィルターの製造方法を
説−する丸めＯｌｍで各土俵工程にお龜するフィルター
ｏ＊＊＃ＩＪ＊よび平面図を示す、第４図は本発明を適
冷してオラー圃体撮像素子Ｏ＃ｉ造方法ｔ−説明するた
めａｍで主懺工Ｓにおける＃Ｉ爾閣でゐる。 １Ｆｉ４ｔｌｋｊｌｌ！Ｉ［、２ａＪｆＬ−１１１１烏
ａＪＩｔＪＩＪｉ層テ４９．２１ｒｌｋＳＬ、、２ａｌ
ｃ１１１１＊−城、３１Ｊ！び３２はｖａＩ色マスク、
４１ないし４３紘染色樹緬、８１およびｈ２は耐染色性
中間層、６はし中太領域、７１は染色マスク、８１ない
し８３は染色領域、ａｏ１１非染色領域であり、１ＱＦ
ｉｃｃＤｌｉ体嫌會素子、１１は感光部、１２は電荷転
送部である。 ｔ １ 図 才 ２ 図 （σ） （ａ）（ｂ）
（ｂ）オ ３ 図 才 ４ 図 （ｂ） （Ｃ）
明すｈ＊ｓｂｏ＠で、第１１１（ａ）ないしくｄ）は従
来の編２の方法を説明するため０図で、それぞれ主要１
楊におけるフィルターの断面図である、１１１３図（ａ
）ないし−）は本発明のカラーフィルターの製造方法を
説−する丸めＯｌｍで各土俵工程にお龜するフィルター
ｏ＊＊＃ＩＪ＊よび平面図を示す、第４図は本発明を適
冷してオラー圃体撮像素子Ｏ＃ｉ造方法ｔ−説明するた
めａｍで主懺工Ｓにおける＃Ｉ爾閣でゐる。 １Ｆｉ４ｔｌｋｊｌｌ！Ｉ［、２ａＪｆＬ−１１１１烏
ａＪＩｔＪＩＪｉ層テ４９．２１ｒｌｋＳＬ、、２ａｌ
ｃ１１１１＊−城、３１Ｊ！び３２はｖａＩ色マスク、
４１ないし４３紘染色樹緬、８１およびｈ２は耐染色性
中間層、６はし中太領域、７１は染色マスク、８１ない
し８３は染色領域、ａｏ１１非染色領域であり、１ＱＦ
ｉｃｃＤｌｉ体嫌會素子、１１は感光部、１２は電荷転
送部である。 ｔ １ 図 才 ２ 図 （σ） （ａ）（ｂ）
（ｂ）オ ３ 図 才 ４ 図 （ｂ） （Ｃ）
Claims (1)
- 単−性可染性樹鮨層を少なくとも２色以ｉＫ染色してな
る２個以上の染色領域を奮する色分解用力ｊ −７’
４ルターの製造方法に８いて、前記単一性可染性樹脂層
上に咳可染性ｍ騙層を染色する染料ｔ４遇させない物質
Ｖζよってしヤ光ｍ域を形成し九俵、威し中太領域上に
端虐を有する染色マスクを形成し、・−記し辛党−域ｊ
ｌＩｌｌｔ実質的染色マスク境界としてｆｉｉ起可染性
樹脂層を染色することを特徴とするカラーフィルターの
製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56100810A JPS582809A (ja) | 1981-06-29 | 1981-06-29 | カラ−フイルタ−の製造方法 |
| US07/205,591 US4882616A (en) | 1981-06-29 | 1988-06-08 | Color filter for a solid state imaging device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56100810A JPS582809A (ja) | 1981-06-29 | 1981-06-29 | カラ−フイルタ−の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS582809A true JPS582809A (ja) | 1983-01-08 |
Family
ID=14283715
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56100810A Pending JPS582809A (ja) | 1981-06-29 | 1981-06-29 | カラ−フイルタ−の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS582809A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0200426A2 (en) * | 1985-05-02 | 1986-11-05 | Sumitomo Chemical Company, Limited | Color liquid crystal display panels |
| KR100240395B1 (ko) * | 1995-12-29 | 2000-01-15 | 류정열 | 차량용 오일팬 드레인 플러그 |
| EP1959276A2 (en) | 2007-02-14 | 2008-08-20 | FUJIFILM Corporation | Color Filter and Method of Manufacturing the same, and Solid-State Image Pickup Element |
| WO2009104339A1 (ja) | 2008-02-20 | 2009-08-27 | 富士フイルム株式会社 | カラーフィルタ及びその製造方法並びに固体撮像素子 |
| WO2015025949A1 (ja) | 2013-08-23 | 2015-02-26 | 富士フイルム株式会社 | 積層体 |
| WO2015033814A1 (ja) | 2013-09-06 | 2015-03-12 | 富士フイルム株式会社 | 着色組成物、硬化膜、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子、画像表示装置、ポリマー、キサンテン色素 |
| WO2015064602A1 (ja) | 2013-10-31 | 2015-05-07 | 富士フイルム株式会社 | 積層体、有機半導体製造用キットおよび有機半導体製造用レジスト組成物 |
| WO2022050313A1 (ja) | 2020-09-04 | 2022-03-10 | 富士フイルム株式会社 | 有機層パターンの製造方法、及び、半導体デバイスの製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4871140A (ja) * | 1971-12-24 | 1973-09-26 | ||
| JPS5643612A (en) * | 1979-09-18 | 1981-04-22 | Canon Inc | Color filter |
-
1981
- 1981-06-29 JP JP56100810A patent/JPS582809A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4871140A (ja) * | 1971-12-24 | 1973-09-26 | ||
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| WO2009104339A1 (ja) | 2008-02-20 | 2009-08-27 | 富士フイルム株式会社 | カラーフィルタ及びその製造方法並びに固体撮像素子 |
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| WO2015033814A1 (ja) | 2013-09-06 | 2015-03-12 | 富士フイルム株式会社 | 着色組成物、硬化膜、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子、画像表示装置、ポリマー、キサンテン色素 |
| WO2015064602A1 (ja) | 2013-10-31 | 2015-05-07 | 富士フイルム株式会社 | 積層体、有機半導体製造用キットおよび有機半導体製造用レジスト組成物 |
| WO2022050313A1 (ja) | 2020-09-04 | 2022-03-10 | 富士フイルム株式会社 | 有機層パターンの製造方法、及び、半導体デバイスの製造方法 |
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