JPS5826280A - 集積回路自動検査装置 - Google Patents
集積回路自動検査装置Info
- Publication number
- JPS5826280A JPS5826280A JP56125733A JP12573381A JPS5826280A JP S5826280 A JPS5826280 A JP S5826280A JP 56125733 A JP56125733 A JP 56125733A JP 12573381 A JP12573381 A JP 12573381A JP S5826280 A JPS5826280 A JP S5826280A
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- Japan
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- inspected
- measuring
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/316—Testing of analog circuits
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はリニアＩＣ等の集積回路の電気的機能検査装置
に関するもので信号源および測定器を時分割に動作させ
ることによって、複数の被検査デバイスを同時に測定で
きるようにし、検査装置のコストパーフォーマンスを向
上させることを目的とする。
に関するもので信号源および測定器を時分割に動作させ
ることによって、複数の被検査デバイスを同時に測定で
きるようにし、検査装置のコストパーフォーマンスを向
上させることを目的とする。
従来の検査装置は、第１図に示すように一台が一つの被
検査デバイスに対応していた。第１図において１は入出
力装置、２は装置１からの信号を処理する演算処理装置
１（ＣＰＵ）、３は測定項目選択マトリックス回路、４
は検査用の信号源、測定器群、６は半導体集積回路素子
等の被検査デバイスである。”また、第２図に示すよう
に被検査デバイス選択回路６を用いて一台で複数の被検
査デバイス（半導体集積回路）が検査できる検査装置も
あるが、同時に複数の被検査デバイスが検査できるわけ
ではない。すなわち、第２図は被検査デバイスｄ、の検
査終了後、被検査デバイスｄ２の検査を行なう方式であ
る。
検査デバイスに対応していた。第１図において１は入出
力装置、２は装置１からの信号を処理する演算処理装置
１（ＣＰＵ）、３は測定項目選択マトリックス回路、４
は検査用の信号源、測定器群、６は半導体集積回路素子
等の被検査デバイスである。”また、第２図に示すよう
に被検査デバイス選択回路６を用いて一台で複数の被検
査デバイス（半導体集積回路）が検査できる検査装置も
あるが、同時に複数の被検査デバイスが検査できるわけ
ではない。すなわち、第２図は被検査デバイスｄ、の検
査終了後、被検査デバイスｄ２の検査を行なう方式であ
る。
上記のように従来の検査装置では、すべての信号源と測
定器は常にオンしているが検査に使用しているわけでは
ない。一般に検査装置では複数のの信号源および測定器
を設けているが、１飼のデバイスを検査するに際して、
各々の信号源と測定器は一度しか使用しない場合が多い
。すなわち。
定器は常にオンしているが検査に使用しているわけでは
ない。一般に検査装置では複数のの信号源および測定器
を設けているが、１飼のデバイスを検査するに際して、
各々の信号源と測定器は一度しか使用しない場合が多い
。すなわち。
これらめ信号源と測定器の使用率は非常に低くなってい
る。そのために、信号源と測定器などに関係する設備費
用比率が大となり、価格の大幅な上昇をまねき１例えば
リニアＩＣ検査のコストパーフォーマンスを悪くする原
因となっていた。
る。そのために、信号源と測定器などに関係する設備費
用比率が大となり、価格の大幅な上昇をまねき１例えば
リニアＩＣ検査のコストパーフォーマンスを悪くする原
因となっていた。
また、、ＩＣデバイスは、商品寿命が比較的短く。
多品種少量生産である場合が多い。そのため、一つの被
検査デバイスに一台の検査装置を必要とする方式では１
時間、場所および電力消費等の点で無駄が多いという欠
点がある。
検査デバイスに一台の検査装置を必要とする方式では１
時間、場所および電力消費等の点で無駄が多いという欠
点がある。
本発明は、以上説明した従来の検査装置の欠点を除去す
るもので、検査装置に設置したすべての信号源と測定器
とを連続的に複数の被検査デバイスにつなぎ、これらを
同時に複数の被検査デバイスの検査に用いることを可能
にする新規なシステム構成を提供するもので、集積回路
検査装置システムのコストパーフォーマンスを向上させ
ることを目的とする。
るもので、検査装置に設置したすべての信号源と測定器
とを連続的に複数の被検査デバイスにつなぎ、これらを
同時に複数の被検査デバイスの検査に用いることを可能
にする新規なシステム構成を提供するもので、集積回路
検査装置システムのコストパーフォーマンスを向上させ
ることを目的とする。
以下本発明の実施例を図面を用いて説明する。
従来の検査装置の構成では、第３図に／Ｊ＜すように信
号源と測定器が無駄な検査シーケンスになっている。１
）は各信障Ｉ測定器がデバイスｄに占有さ回路検査装置
の構成を示す。第４図では、複数の測定項目選択マトリ
クス回路ｘ１〜ｘｎを被検査デバイスｄ１〜ｄｎに接続
し、複数の信号源および」す足金とマトリクス回路ｘ１
〜Ｘｎとをマトリクス選択回路７を介して接続している
。当該検査装置の動作は、信号源Ｓ１および測定器Ｍ１
を被検査デバイスｄ、で使用していないとき、被検査
デバイスｄ２の測定検査に用い１次に、被検査デバイス
ｄ１とｄ２の双方で使用していないとき被検査デバイス
ｄ３の測定検査に用いるというように時分割に各信号源
および各測定器を動作させ、複数デバイスの同時測定検
査を行なう。
号源と測定器が無駄な検査シーケンスになっている。１
）は各信障Ｉ測定器がデバイスｄに占有さ回路検査装置
の構成を示す。第４図では、複数の測定項目選択マトリ
クス回路ｘ１〜ｘｎを被検査デバイスｄ１〜ｄｎに接続
し、複数の信号源および」す足金とマトリクス回路ｘ１
〜Ｘｎとをマトリクス選択回路７を介して接続している
。当該検査装置の動作は、信号源Ｓ１および測定器Ｍ１
を被検査デバイスｄ、で使用していないとき、被検査
デバイスｄ２の測定検査に用い１次に、被検査デバイス
ｄ１とｄ２の双方で使用していないとき被検査デバイス
ｄ３の測定検査に用いるというように時分割に各信号源
および各測定器を動作させ、複数デバイスの同時測定検
査を行なう。
上記の一連の動作は、ＣＰＵ部２に格納されている検査
装置制御プログラムが、それぞれの被検査デバイス用検
査プログラムを解釈し、その内容に応じて被検査デバイ
ス、信号源などに優先順位をつけることによってそれぞ
れの信号源および測定器と被検査デバイスを決定選択す
ることによって行なう。
装置制御プログラムが、それぞれの被検査デバイス用検
査プログラムを解釈し、その内容に応じて被検査デバイ
ス、信号源などに優先順位をつけることによってそれぞ
れの信号源および測定器と被検査デバイスを決定選択す
ることによって行なう。
本発明による検査装置で、第３図のごとき検査を、３つ
の同一品種の被検査デバイスを検査した検査シーケンス
は第６図のようになる。第６図でＤｌ、Ｄ２．Ｄ３はそ
れぞれ被検査デバイスｄ１．ｄ２゜ｄ３が各信号源、測
定器を占有していることを示す。第６図より、従来の信
号源と測定器の使用率をｂで示し、７通常の検査時間を
ｔで示し、最も検査時間の長い項目の検査時間をＣとす
ると、第４図、第５図に示す検査装置では、信号源およ
び測定器の使用率ａは で表わされ、ｔ／ｃ倍の使用率となる。なお、ｂは従来
の使用率、ｎは被検査デバイス数、ｔは従来の検査時間
である。
の同一品種の被検査デバイスを検査した検査シーケンス
は第６図のようになる。第６図でＤｌ、Ｄ２．Ｄ３はそ
れぞれ被検査デバイスｄ１．ｄ２゜ｄ３が各信号源、測
定器を占有していることを示す。第６図より、従来の信
号源と測定器の使用率をｂで示し、７通常の検査時間を
ｔで示し、最も検査時間の長い項目の検査時間をＣとす
ると、第４図、第５図に示す検査装置では、信号源およ
び測定器の使用率ａは で表わされ、ｔ／ｃ倍の使用率となる。なお、ｂは従来
の使用率、ｎは被検査デバイス数、ｔは従来の検査時間
である。
また１本装置は、品種の異なるデバイスの検査にも同様
に用いることができる。例えば互いに異なる３品種の被
検査デバイスを検査する場合は。
に用いることができる。例えば互いに異なる３品種の被
検査デバイスを検査する場合は。
第６図のようなシーケンスで使用できる。
リニアＩＣの検査では一般に検査項目の順序はほとんど
任意にできることが多いので、第６図では検査項目はす
べて順不同とし、そしてどの被検査デバイスとどの信号
源および測定器を接続するかを、以下−の規定項目に従
って優先順位をつけている。第６図において、Ｄｌ、Ｄ
２．Ｄ３は同様であって、ｐｌ、ｐ２．ｐ３はデバイス
ｄ１．ｄ２．ｄ３の被検査グログシムを小す◎ （１）長い開停止している被検査デバイスを優先する。
任意にできることが多いので、第６図では検査項目はす
べて順不同とし、そしてどの被検査デバイスとどの信号
源および測定器を接続するかを、以下−の規定項目に従
って優先順位をつけている。第６図において、Ｄｌ、Ｄ
２．Ｄ３は同様であって、ｐｌ、ｐ２．ｐ３はデバイス
ｄ１．ｄ２．ｄ３の被検査グログシムを小す◎ （１）長い開停止している被検査デバイスを優先する。
（２）長い開停止している信号源と測定器を優先する。
（３） （ＩＬ（２）項で同優先度の場合は、信号源
を測定器よシも優先する。
を測定器よシも優先する。
（４） （１） 、 （２） 、 （３ン項で同一先
度の場合は、番号の若いものを優先する。
度の場合は、番号の若いものを優先する。
この例に示すように５品種の異なるデバイスの検査にお
いても、検査時間は、はとんど増加せずに同°時に被数
品種のデバイスを測定することができる。また、被検査
デバイス用検査プログラムをコンビーータなどで解読し
、最とも効率の良い優先順位を定めることができ一層効
果的に実行できる。
いても、検査時間は、はとんど増加せずに同°時に被数
品種のデバイスを測定することができる。また、被検査
デバイス用検査プログラムをコンビーータなどで解読し
、最とも効率の良い優先順位を定めることができ一層効
果的に実行できる。
以上説明したように１本発明は、集積回路機能検査装置
の信号源および測定器を時分割に動作させることによっ
て、複数のデバイスを同時に測定検査を行なうことを可
能にした。これによって当該検査装置のコストパーフォ
ーマンスを向上させ検査時間および電力消費などの大幅
な節減を行ない、空間的にも大幅に無駄を省くことがで
き、工業的に多大な効果をもたらす。
の信号源および測定器を時分割に動作させることによっ
て、複数のデバイスを同時に測定検査を行なうことを可
能にした。これによって当該検査装置のコストパーフォ
ーマンスを向上させ検査時間および電力消費などの大幅
な節減を行ない、空間的にも大幅に無駄を省くことがで
き、工業的に多大な効果をもたらす。
、４、図面の簡単な説明
第１図および第２図は従来の集積回路検査装置の概略図
、第３図は第１図の検査装置で検査を行なった場合の検
査シーケンスの状態図、第４図は本発明の一実施例にか
かる集積回路検査装置のシステム構成の概略図、第６図
は本発明の集積回路検査装置を使用して３つの同品種の
デバイスを検査した場合の検査シーケンスの状態図、第
６図は本発明の集積回路検査装置で３つの異なる品種の
デバイスを検査した場合の検査シーケンス例の状態図で
ある。
、第３図は第１図の検査装置で検査を行なった場合の検
査シーケンスの状態図、第４図は本発明の一実施例にか
かる集積回路検査装置のシステム構成の概略図、第６図
は本発明の集積回路検査装置を使用して３つの同品種の
デバイスを検査した場合の検査シーケンスの状態図、第
６図は本発明の集積回路検査装置で３つの異なる品種の
デバイスを検査した場合の検査シーケンス例の状態図で
ある。
４・・・・・・信号源および測定器群、７・・・・マト
リクス選択回路、！〜Ｘ ・・・・・測定項目選択７
ｎ トリックス回路、ｄ〜ｄ ・・・・・被検査デバイス。
リクス選択回路、！〜Ｘ ・・・・・測定項目選択７
ｎ トリックス回路、ｄ〜ｄ ・・・・・被検査デバイス。
ｎ
Claims (1)
- 集積回路機能検査装置の複数の信号源および測定器と各
被検査デバイスに接続する複数の測定項目選択マトリク
ス回路とを、前記複数の測定項目選択マトリクス回路を
選択するマトリクス選択回路を介して接続し、前記マト
リクス選択回路を制御して前記信号源および測定器を時
分割に動作させる手段を設けたことを特徴とする集積回
路自動検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56125733A JPS5826280A (ja) | 1981-08-10 | 1981-08-10 | 集積回路自動検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56125733A JPS5826280A (ja) | 1981-08-10 | 1981-08-10 | 集積回路自動検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5826280A true JPS5826280A (ja) | 1983-02-16 |
Family
ID=14917435
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56125733A Pending JPS5826280A (ja) | 1981-08-10 | 1981-08-10 | 集積回路自動検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5826280A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01126571A (ja) * | 1987-11-11 | 1989-05-18 | Mitsubishi Electric Corp | 電子回路の特性測定方法 |
-
1981
- 1981-08-10 JP JP56125733A patent/JPS5826280A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01126571A (ja) * | 1987-11-11 | 1989-05-18 | Mitsubishi Electric Corp | 電子回路の特性測定方法 |
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