JPS5823935B2 - 基板に集積回路チップを取付ける方法および装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は基板に集積回路チップを取付ける方法ならび
にこの方法を実施するための装置に関する。

周知の集積回路の製作方法に於てはシリコンのような半
導体材料の単結晶から切断されたウェーバにいろいろな
処理がなされる。

この処理には不純物添加（ドーピング）、マスキング、
ホットエツチングおよびイオン拡散やドーピング不純物
の注入が含まれ、このようにしてウェーバ内には複数個
の規則的に分布された同一の集積回路が形成される。

次いでウェーバは一般にチップと称されている非常に小
さな板に分解される。

この場合各チップには集積回路の１つの完全なセット（
以下これを集合と称する）が含まれている。

各チップには予め定められた形態で配列された接触領域
が設けられている。

これら接触領域はそれらにろう付けされインターフェー
ス導体を介して各チップと相互接続基板（一般に単に基
板と称されているもの）との間に電気接続を形成するた
めのものである。

チップは非常に小さな寸法であるのでその取扱いを容易
にし且つ基板への取付けを簡単にするために延展性のな
い絶縁材料からつくられたスｌ−ＩＪツブのようなたわ
み性の支持体にチップを取付けることが提案されている
。

この場合支持体にはチップを取付けるための開口が形成
されている。

これら開口の中心に向って張出したインターフェース導
体が延びており、そしてこれら導体は一般に支持体の１
つの面に形成された導電性物質のフィルムを切断するこ
とに依って形成されるものである。

各開口に於てインターフェース導体の自由内端部の配置
は開口の中心に配置されたチップ上の接触領域の配置と
整合する。

従ってチップは支持体の開口のおのおのの下側に次のよ
うに位置すけして取付けられる。

すなわち各チップの接触領域が関連の開口のインターフ
ェース導体の内端の１つとそれぞれ整列するように配置
されて取付けられる。

しかる後にこれら端部を接触領域にろう付けする。

このようにしてストリップ上に取付けられたチップを次
いで基板に取付けることができる。

この目的で、チップの接触領域にろう付けされた内端を
有するインターフェース導体は、チップの縁から短い距
離の所で切りとられる。

この切断後にチップは非作用面に依って基板に対し位置
ずけられる。

（ここで非作用面とは接触領域が設けられている面と反
対側の面である）。

次にチップから張出た状態で残留しているインターフェ
ース導体の部分が基板上の対応の導電性領域にろう付け
される。

基板上の導電性領域の配置は上記の残留部分の端部の配
置に対応するので、任意の１つのチップを基板に取付け
るのに使用される導電性の領域は例えば１辺が５羽の長
さの正方形のような所定の形態に配列されている。

チップを基板に対して位置ずけたならばインターフェー
ス導体の残留部分の端部を正確にそれがろうずけされる
接続領域に対向して配置することが必要である。

この操作はインターフェース導体が一般に非常に小さく
且つたがいに非常に接近しているので非常に困難である
ことが知られている。

チップを基板に位置付けるのに米国特許第３．８６９．
７８７号明細書に記述されている方法を使用することが
できる。

この方法に依れば液体の層が基板の扁平な領域に塗布さ
れる。

この扁平領域はチップの非作用面・と同じ寸法であって
そして液体はこの領域並びに非作用面を湿潤することが
できるがチップの他の面を濡らすことはできない。

しかる後にチップの湿潤した面を基板上の領域に配置す
る。

この場合チップの正確な整合は液体の表面張力に依って
達成される。

この方法は必ずしも満足なものではないが、この方法の
実施に当っては基板にチップと同じ寸法である適当な領
域を設けることが必要である。

この領域はチップを受けるのに用いられるものである。

しかしながらこの条件は次のような理由からそれを達成
するのが非常にむずかしい。

すなわち半導体材料のウェーバを切断形成する際には絶
対的に同一の寸法でチップを得ることが実質上不可能で
あり従ってチップの形態は上記領域の形態と必ずしも同
じではなく時としであるチップは適切に整列されない場
合が生ずる。

加えてこの従来方法では液体の層の塗布に注意力が要求
されしかも実施するのに比較的長時間を要し従って非経
済的である。

よってこの発明の目的は上記のような欠点をとりのぞき
確実でしかも経済的で且つ比較的迅速にチップを基板上
に取付けることができる方法を提供しようとするもので
ある。

この発明は中心の囲りにあらかじめ定められた形態で配
列された少なくとも１組の接続領域が設けられている基
板上に、非延展性の材料からなるたわみ性の支持体上に
予め取付けられた少なくとも１つの集積回路チップで前
記たわみ性の支持体に取付けられて前記チップの縁から
のびている接続導体を備えた集積回路チップを取付ける
場合において、前記チップを有する前記支持体を支持担
体上に配置し、加工軸線に沿って移動可能な切断ヘッド
と前記ヘッドの移動路に配設された切断ダイスを有する
切断工具内に、前記支持担体を、前記チップの中心が前
記ダイス上に位置して前記加工軸線と整列するように配
置し、前記加工軸線に対して垂直な方向に移動可能な支
持ブロックを、前記支持ブロック上の基準手段が前記加
工軸線に対し平行な固定の位置決め軸線に対し予め定め
られた位置で整列するように先ず位置決めした後に、前
記基板を前記支持ブロック上に配置し、前記基板を前記
支持フ宅ツクに対して変位し前記基板上の１組の接続領
域の中心を前記固定の位置決め軸線と一致させ、前記支
持ブロックを前記切断工具の下方に位置するように動か
して、前記基準手段が、前記切断工具の加工軸線に対し
、前記位置決め軸線に対して取ったのと同じ位置を取る
ように位置決めし、前記切断工具を作動して前記切断ヘ
ッドの運動で前記切断ダイス上に配置されているチップ
の接続導体を切断しそして前記支持体から分離されたチ
ップを前記切断ヘッドにより取り去って前記基板上に位
置決めし前記切断ヘッドを前記ダイスを越えて上昇させ
た後に、前記支持ブロックを動かして前記基板を、前記
位置決め軸線に対して平行な加工軸、線に沿って変位可
能であるろう付はヘッドの下方に位置させて、前記基準
手段が、前記ろう付はヘッドの加工軸線に対し、前言［
位置決め軸線に対して占めたのと同じ位置を魚釣るよう
に位置決めし、前記ろう付はヘッドを作動して前記基板
上の接続領域に、該基板に対して位置決めされているチ
ップに残っている前記接続導体の部分を圧接し、前記ろ
う付はヘッドに電力を供給して前記接続導体部分を前記
接続領域にろう付けし、そして前記ろう付はヘッドを初
期のｉＦにもどす諸工程を含むものである。

また、本発明は上述の方法を実施するために、可動の支
持ブロックと、切断工具と、ろう付は工具と、位置決め
組立体と、支持ブランクに対し基板を相対移動させる手
段と、支持ブランクを切断工具の下側とそして次にろう
付は工具の下側に正確に位置付ける鎖錠手段と、上記２
つの工具のヘッドの運動を制御するための手段とを組合
せて構成された装置を提案するものである。

次に添附図面を参照してこの発明の具体例について説明
する。

第１図は取付基板に対し集積回路チップを位置ずける方
法を例示したものである。

この場合チップは第３図に一部が示されている支持体上
に前場って取付けられているものとする。

この支持体は１９７５年１月２９日および１９７５年年
５月１３日にハネーウェル社がフランス国に出願したフ
ランス国特許願ＥＮ−７５０２０２８０２号およびＥＮ
−７５１４８７２号各明細書に記載されているものに類
似する種類のものであってよい。

この点に関しては詳細は略するが、第３図に示す様に参
照数字１０のついた支持体は例えばたわみ性で延展性が
なくしかも電気絶縁性を備えた物質からなるストリップ
により形成されるものであることをのべておく。

この支持体１０には規則的な間隔で離間された側方パー
ホレイションすなわち送り孔１１が設けられている。

これらの送り孔は適当な装置により支持体１０を動かす
のに用いられる。

ざらに又支持体１０には中心開口ＦＣが設けられその各
々の中心には集積回路チップＰが取付けられる。

これら開口の各々の中心に配置されるチップＰはインタ
ーフェース導体とも称する接続導体ＣＩによって支持体
１０に接続されている。

インターフェース導体ＣＩは開口を中心に放射状パター
ンで配列されており、そしてそれぞれ支持体１０に固定
された部分並びに開口に張り出した部分を有している。

周知のようにインターフェース導体ＣＩの内端は、開口
ＦＣの中心に位置するチップの接触領域にろうずけされ
ていて、この開口ＦＣの中心に向いインターフェース導
体が収斂する様になっている。

これらインターフェース導体の外端は接触領域１２を形
成する様に形造くられている。

これらの接触領域は標準形状すなわち例えば正方形に配
列された２４個（４ｘ６）の接触領域からなる標準の形
態で各開口の周りに配列するのが好ましい。

尚２４個の接触領域の内、あるものは使用されない場合
もある。

この様にして支持体１０に取付けられたチップは次いで
基板に取付ける事ができる。

この取付作業には各チップをその支持体から切離す事が
要求される。

そしてこのチップの切り離しはチップを支持体に接続し
ているインターフェース導体をチップの縁から短い距離
の所で切断する事により達成することができる。

この様にして支持体から切り離されたチップＰが第１図
に示されており、このチップは基板２０に取付けられる
以前の状態にある。

次に第１図を参照するに、基板２０にはその上面に基板
の電気回路に接続された接続領域２１が設けられている
事がわかる。

これら接続領域２１は参照符号Ｅ１．Ｅ２．Ｅ３等々が
つけられた接続領域の任意数の集合に群別されている。

任意の１つの集合例えば集合Ｅ１を構成する接続領域は
対称中心を有する所定の形態に配列されている。

例えば第１図に示す例では、各集合は正方形に配列され
た１６個の接続領域から成り、そしてこの正方形は第１
図に参照符号ＣＥで示した様な対称中心点を有している
。

尚、例として第１図に示すチップＰは集合Ｅ１を構成す
る接続領域に取付けられるものと仮定している。

このためには支持体から一旦切り離されたチップを基板
に対して正しく位置ずけする必要がある。

すなわちチップに固定された状態にあるインターフェー
ス導体の部分１３とそれがろうずけされる接続領域とを
正確に整列する必要がある。

第１図に示す位置においてはこれら導体の残留部分の端
部１４は集合Ｅ１内の接続領域の各々の真上に位置し、
したがってチップの中心点ＣＰは第１図に示す様に接続
領域の配列パターンの中心ＣＥと整列している。

この整合動作が終ったならばチップＰを基板と接触させ
この接触過程において基板に対するチップの配位は変え
ないようにする。

この目的で例えばワックスとかにかわの様な適当な接着
性の物質を用いて基板に配置されたチップを動かない様
に拘束し適正な位置に保持する事が可能である。

この過程が終了したならばインターフェース導体の残留
部分の端１４を以下にのべる様な方法で集合ＥＩを構成
する接続領域にろうずけする。

第２図は上述の方法を実施するのに用いられる本発明に
よる装、置の一具体例の主要部分を示している。

基板２０は支持ブ田ツク３２により支持された水平板３
１上に取付けられている基板支持ブ田ツク３２に例えば
空気吸引作用によって保持される。

板３１は２つの互いに垂直の方向ＸおよびＹで支持ブロ
ック３２に対し水平方向に変位することができる。

この場合方向Ｘにおける運動はローレット切りされたヘ
ッド３３を有する微ピッチネジによって制御されＹ方向
の運動はローレット切りされたヘッド３４を有する微ピ
ッチ・ネジによって制御される。

支持ブロック３２は２つのレール３５および３６上で摺
動するように取付けられており、これによりＸ方向に水
平に動くことができる。

２つのレール３５および３６は床３７にしっかりと固定
される。

床３７に固定されているシャシ３８によって位置付は装
置３９が支持されており、この位置付は装置３９は図示
の具体例では表示スクリーン４１と組み合わされたテレ
ビジョン・カメラ４０により構成されている。

このテレビジョン・カメラ４０にはケガキ線が設けられ
ており、このケガキ線はカメラの照準軸■■′に交差す
る線を有しそしてスクリーン４１上のケガキ線の像を見
ることにより操作者はカメラの下側に位置する基板上の
接続領域の集合の１つを保持するように軸■■′に対し
て位置決めすることが可能である。

しかしながら、この形式の位置付は装置は本発明の必須
条件ではなくこの装置のかわりに例えば顕微鏡のような
同様な機能をはだす他の型の装置を用いることも可能で
ある。

床３７には又ハウジング４２が支持されており、そして
ハウジング４２には後述するろうずけ工具４３および切
断工具４４からなるモジュール即組立単位が取付けられ
ており、切断工具４４は第２図では成る部分の図示を明
瞭にするために省略されている。

第２図から理解できるように切断工具４４の主要部分は
単一のモジュールに収容されている。

そしてこの主要部分には側路を形成する２つの案内４７
および４８間で垂直方向に摺動可能である可動板４６の
下端に取付けられた切断ヘッド４５が含まれる。

後述するようにして作動された可動板４６が降下すると
ヘッド４５は垂直の加工軸線ＤＤ’に添って移動してそ
の路内に配列されている切断ダイス４９を通過する。

これら部分すべてが組み込まれているモジュールは、ハ
ウジングに形成されて且つモジュールがハウジングにつ
き当った時に対応の孔に係合する２つの位置決めピン５
０および５１によりハウジング４２上に正確に位置出し
することができる。

またモジュールを迅速鎖錠ネジ（図示せず）によって周
知の仕方でハウジングに取付けることができる。

やはり構成要素が単一のモジュールに収容されているろ
う付は工具４３も次の点を除いて切断工具と類似の構造
を有している。

すなわち、切断ダイスがなく、そして切断工具の切断ヘ
ッドの代りにろう付はヘッド５２が、垂直方向に摺動可
能な可動板５３の端部に取付けている点である。

この板５３は後節で述べるようにして作動される。

その場合ろう付はヘッドは垂直加工軸線ＳＳ′に沿って
移動する。

ここで述べている具体例においては・ろう付は工具の使
用部分が組み合わせられているモジュールは取りはずし
可能であってハウジング４２に対するモジュールの位置
決め及び取付けは切断工具モジュールの場合と同様であ
ることに注意されたい。

さらに又２つのモジュールをハウジング４２に取付ける
場合には加工軸線ＤＤ’およびＳＳ′並びに又装置３９
の照準軸線■Ｖ′はレール３５および３６から等距離の
個所でレール３５および３６によって定められる水平面
と交差する点にも注意されたい。

支持ブロック３２が直線に添って移動するこの具体例の
場合には３つの軸線ＤＤ’、ＳＳ’およびｖｖ′は方向
Ｘに対して平行な同一の垂直平面内に位置する。

上述の切断工具４４の切断ヘッドは例えば本出願人が１
９７６年７月７日にフランス国に出願したフランス国特
許願ＥＮ７６２０７８５号明細書に記述されているもの
と類似の電気機械的な作動装置のような周知の形式の作
動装置により操作される。

ハウジング４２内に収容されている作動装置はアーム２
２０を介して可動板４６並びにそれに取付けられた切断
ヘッド４５を作動する。

アーム２２０の一部は第２図に示されており切断工具モ
ジュールがハウジング４２に取付けられる時にこのアー
ム２２０はモジュール内に収容されて可動板４６に取付
けられている操作リンク（第２図には図示せず）と結合
する。

ハウジング４２内に取付けられ、そして上述のフランス
国特許願明細書に記載されているものに類似な電気機械
的作動装置により構成される第２の作動装置を用いてろ
う付は工具４３を操作することが可能である。

第２図に示すように支持ブロック３２には基準マーク５
６が設けられている。

このマ、−り５６は支持ブロックがレール３５および３
６上で摺動する時に固定の棒５７を通過する。

この固定の棒５７には第２図に参照付量ＲＶ、Ｒ８およ
びＲＤで示す３つの調節マークが刻印されている。

第２図に示す装置の略図である第４図から明らかなよう
に棒５γに対するマークＲＶの位置は次のように選ばれ
る。

すなわち支持ブロック３２を動かして基板２０を観察装
置３９の下側に位置した時に。

基準マーク５６を対向のマークＲＶに対し拒確に位置決
めできるように選ばれる。

そして支持ブロック３２をこの位置に静止保持すること
を可能にするために、装置には第８図に示したような精
密鎖錠手段が設けられる。

第８図の具体例に於てこの鎖錠手段は、装置の床３７に
取付けられた棒６３に取付けられている中心部が研削さ
れたプーリーの輪郭形態を有する固定の部分６０によっ
て形成されると共に支持ブロック３２に固定された垂直
軸６５を中心に回動するクランクレバー６４に依り形成
されている。

レバー６４のアームの１つには作動突起６６が設けられ
ておりそしてレバーの池のアームには玉軸受６７が設け
られている。

この玉軸受６７は上記アームがバネ６８に依って部材６
０に向って動かされた時に該部材６０に形成された溝と
係合するように適応されている。

尚バネ６８は、第８図に示すようにレバー６４と支持ブ
ロック３２に取付けられた取付ピン６９との間で緊張状
態に支持されている。

作動突起６６が第８図に矢印Ｆｐ示す方向に動かされる
とレバー６４はその軸６５を中心に回動し、この結果玉
軸受６７は部材６０の溝から引き出され、かくして支持
ブロック３２は鎖錠状態から解放される。

支持ブロック３２はかくして動かすことができそしてろ
う付は工具５３又は切断工具４４の下側に位置させ各位
置で２つの他の部材６１および６２（第８図参照）に依
り固定することができる。

これら２つの位置に於てはレバー６４の玉軸受６７は係
合状態になる。

これら２つの部分６１および６２は部材６０と同じ形状
をしていて棒６３にそれぞれ別個に調節可能なように取
付けられている。

第２図に於ては上述の鎖錠装置はそのほとんどの部分が
ケーシングに隠れて見えず、この図から観察できるのは
部材６０および６２ならびに作動突起６６だけである。

尚、次の点に注意されたい。すなわち部分６１は、２つ
の部分６１および６０に形成された溝間の間隔ｔが照準
軸線■■′および加工軸線ｓｓ’（第４図参照）間の間
隔に正確に等しくなるように部分６０に対して位置決め
される点である。

この場合２つの調節マークＲＶおよびＲ８間の間隔も又
この距離ｔに等しくなるようにする。

同様にして上記２つの部分（第８図参照）の溝間の間隔
ｔが照準軸線■■′および加工軸線ＤＤ’（第４図参照
）間の距離に正確に等しくなるように部分６２を部分６
０に対して位置決めする。

この場合調節マークＲＶおよびＲＤ間の間隔もこの距離
りに等しくなるようにする。

この様にした場合には、部分６０により固定保持されて
いる支持ブロック３２がこの部分６０から釈放されて切
断工具４４の下側に位置ずけられ、そして部分６２によ
り不動）こされたときに加工軸線ＤＤ’に対し支持ブロ
ック３２が占める位置は該ブロック３２が先に照準軸線
■■′に対して占めた位置と正確に同じである。

同様にして支持ブロック３２が部分６２から釈放されそ
してろうずけ工具４３の下側に位置ずけられ部分６１に
依り固定された場合には、該ブロック３２が加工軸線Ｓ
Ｓ′に対して占める位置は、該ブロックが切断工具４４
の下側にあったときに加工軸線ＤＤ’に対して占めた位
置と正確に同一である。

云い換えるならばブロック３２が観察装置３９の下側の
位置に於て軸線■■′に対し占めた位置と全く同一の位
置となる。

この結果支持ブロック３２が部分６０により固定保持さ
れている状態で板３１がネジ３３および３４に依り変位
されて先にブロック３０上に位置付けられている基板２
０を照準軸線ＶＶ／に対しあらかじめ定められた位置に
位置決めする場合には、基板は、支持ブロックが部分６
０から釈放されて加工工具のいずれか１つの下側で鎖錠
される位置に動かされた時に、２つの軸線ＳＳ′および
ＤＤ’の１つに対し正確に同一の位置となる。

上述の装置を用い、前場って上述の型のたわみ性のある
支持体に取付けられている集積回路チップを基板上に取
付けるためには、切断工具４４に位置ずけられた後にチ
ップを工具の加工軸線ＤＤ’上に正確に心出しすること
が重要である。

この心出しはここで述べている具体例の場合、支持体１
０（第３図参照）を用いることに依り達成される。

この支持体１０には側部送り孔１１ならびに中心開口Ｆ
Ｃが次の様な態様で分布されている。

すなわち各開口ＦＣに対しはゾ直角で位置する２つの送
り孔はこの開口に対して正確にその中心、云い換えるな
らば上記２つの送り孔を通る対称軸線ＴＴ’がこの開口
の中心を正確に通るように分布されている。

他方又、上記の心出し操作には次に述べる取り外し可能
な支持体担体が用いられる。

この支持体担体は、支持体をして非常に正確に切断工具
に位置決めすることを可能にするものである。

第２図には示していないが支持体担体は今述べている具
体例の場合板７０により構成される。

この板７０は通常は第９図に示す様に切断工具４４内に
位置している。

云い換えるならばダイス４９の上方でしかも上昇位置に
保持されている切断ヘッド４５のすぐ下方にある位置で
ある。

次に第３図を参照するに、参照数字７０で示す板は内側
が舌７２になっている部分７１、並びに他側が２つの延
長部分７３および７４になっている部分子１から構成さ
れる。

舌γ２を設けることに依り、操作者は板を容易に保持す
ることができる。

又上記の延長部７３および７４の端部は２つのパッド７
５および７６に研削されてこれらパッド７５および７６
は切断モジュール（第３図参照の本体部に形成された座
部７７および７８におしつけることによって板７０を切
断工具４４内に位置ずける働きをする。

第３図に示されているように部分７１は切込７９を有し
、そしてこの切込の両側には２つのスピゴット８０およ
び８１がそれぞれ設けられており、これら２つのスピゴ
ットの横断面は次のような形状にある。

すなわち上記スピゴットが支持体１０の中心開口の各々
に対し直角に位置する２つの送り孔内に比較的しっかり
と干渉接合するように選ばれている。

このようにして切断工具の孔８２および８３内にスピゴ
ット８０および８１を係合することにより正確な位置決
めが達成される。

（第９図参照）。ここで注意されたい点は今述べている
具体例の場合支持体１０は複数の中心開口を有するたわ
み性のスｌ−ＩＪツブにより形成されて、各中心開口の
中心に各々１つの集積回路チップが取付けられているも
のであるので、ストリップは切断工具４４に挿入可能な
ように中心開口と同数の部分に横断方向に切断され、従
ってこれら切断された部分の各々は呻−の中心開口を有
ししかもすべてのインターフェース導体はこの中心開口
に向って収斂している点である。

第３図に於て、これらの部分の１つが板７０上に配置さ
れた時に占める位置で示されており図かられかるように
板７０上のスピゴット８０および８１は中心開口に対し
て直角に位置する支持体の部分内に形成された２つの送
り孔に係合している。

支持体のこの部分に取付けられた集積回路チップはかく
して板７０上で次のような位置を占める。

すなわち板７０が切断工具４４に係合してスピゴット８
０および８１に依り工具の孔８２および８３内に正確に
位置ずけられた時には、チップの中心ＣＰが工具の加工
軸線ＤＤ’と正確に整合するような位置を占める。

板を切断工具内に挿入した状態に於ては、チップの縁は
上述の方向ＸおよびＹ（第２図参照）に対し絶対的に平
行な状態にとどまる点に注意されたい。

上述の基板２０上の接続領域の集合Ｅ１に対してチップ
を位置ずけるためには集合Ｅ１の中心ＣＥも同様に切断
工具４４の軸線ＤＤ’と正確に整合することが肝要であ
る。

この目的で支持ブロック４２はマーク５６がマークＲＶ
に対抗位置するまで動かされる。

かくして支持ブロック３２は第４図に示すように観察装
置３６の下側で動かすことができる。

先ｌこ述べた様に支持ブロック４２は部分６０に形成さ
れた溝と係合するレバー６４に設けられている玉軸受に
依ってこの位置に鎖錠される。

この様にして支持ブロック３２が固定されると基板２０
は基板担体ブ・ロック３０上に次のような位置関係で配
置されることになる。

すなわち基板の２つの縁が位置決めの目的で基板単体ブ
ロックに設けられている位置決めピン９０上に載置する
ように配置される。

このようにして基板は第２図に示す２位置制御スイッチ
８５を作動することに依り発生される空気圧吸引作用で
ブロック３０上に固定される。

次にブロック３０は手動で照準軸線Ｖ■′に沿って動か
されて先に切断工具内に配置されているチップを固定す
るのに必要な接続領域の集合Ｅ１の中心ＣＥ上に位置決
めされる。

この場合、最初の運動は比較的迅速に実施されて集合Ｅ
１はまずカメラ４０の視野内に位置出しされ、そしてそ
のフレームアップされた像はスクリーン上に観察するこ
とができ、ケガキ線の交差線部の像とできるだけ精密に
整合される。

次にブロック３０は第２図に示す２位置制御スイッチ８
４を作動することに依り生ずる空気圧吸引作用に依って
板３１上に不動に保持される。

接続領域の集合Ｅ１の正確な位置調節は微調節ネジ３３
および３４を使用することに依り実施できる。

照準軸線■Ｖ′に対する集合Ｅ１の位置ずけが完了した
ならば支持ブロック３２を鎖錠状態から解放してマーク
５６が第５図に示すようにマークＲＤと一致するまで切
断工具４４に向って支持ブロック３２を動かす。

この支持ブロック３２、はレバー６４の玉軸受が部分４
２の溝に係合することに依ってこの新しい位置に鎖錠さ
れる。

前に説明したように基板担体ブロック３０に固定すして
いる基板３０は、この場合ネジ３３および３４で設定さ
れたすぐ後に照準軸線■■′に対して占め。

たのと同じ位置を加工軸線ＤＤ’に対して占める。

このようにして集合Ｅ１の中心ＣＥは切断工具４４の加
工軸線ＤＤ’と一致する。

この時点で切断工具をブツシュボタン８６（第２図参照
）をおして作動させると切断ヘッド４５は下降して切断
ダ、イス４９に入る際に工具内に先に配置されていたチ
ップのインターフェース導体を切断する。

しかしながらこれまで支持体に取付けられていたチップ
は支持体から切り離された後にも例えば吸引作用に依っ
て切断ヘッド４５に依りそのま５保持さＪれて基板２０
と接触するまで該ヘッド４５に依り支持されている。

この過程中チップの配位は変更してはならず、従ってチ
ップのインターフェース導体の残留部分の端部４まそれ
らがろうずけされる集合Ｅ１を構成する接続領域と正確
に整合しなけ４ればならない。

しかるのちに切断ヘッド４５が再び上昇するとヘッドか
ら釈放されたチップはこの場合には運動することなく基
板２０に対接したこの位置にとどまる。

というのは接着剤に依ってチップの非作用面が基板に接
着保持されるからである。

次にブロック３２を鎖錠状態から解放してマーク５６が
第６図に示すようにマークＲ８と一致するまでろう付は
工具４３に向って動かすことができる。

支持ブロック３２は部分６１に形成された溝に係合する
レバー６４の玉軸受に依ってこの位置に保持される。

この時基板担体ブ田ツク３０に取付けられた基板２０は
次のような位置になる。

すなわち集合Ｅ１の中心ＣＥ従ってまたこの集合に対し
相関位置ずけされたチップの中心がろうずけ工具４３の
加工軸線ＳＳ′と一致する位置になる。

この時点でろう付は工具４３をブツシュボタン８７（第
２図参照）で作動させるとろう付はヘッド５２が降下し
て、このチップのインターフェース導体の残留部分の端
を集合Ｅ１を構成する対応の接続領域に対して押しつけ
る。

次にろう付はヘッド５２に所定の時間電気を供給してジ
ュール熱で加熱し上記導体の端部を上記の接続領域にろ
うずけする。

このようにして形成されたろうすけ継目を冷却したなら
はろう付はヘッド５２を再ひもとの位置に上昇する。

この上昇運動が完了すると、たゾちに支持ブロック３２
を開放して第４図に示すような観察装置３９の下側に戻
し、それに依り操作者が基板上にチップが正しく取付け
られたか否かを肉眼でチェックすることができる。

正しく取付けであることが判ったならば操作者は切断工
具から挿入されていた板７０をはずしてチップの切断を
工具内に残っている支持体の残余部分を取りはずすこと
ができる。

同一の基板上に他の集積回路チップを取付けることが要
求される場合には上に述べた作業過程をくり返して基板
に所要のすべてのチップを取付ける。

チップがすべて取付けられたならば制御スイッチ８５を
切替えることに依って基板をそれまでブロック３０に対
し不動保持していた吸引作用を遮断することができる。

次いでこの基板を新しい基板すなわちチップがまだ設け
てない基板ととりかえてブロック３０に位置決めし、そ
の後チップをこの新しい基板上に、上述の方法で取付け
ることが可能である。

以上の説明から明らかなように本発明に依る方法および
装置に依れば正確且つ経済的なしかたで集積回路チップ
を基板上に取付けることが可能である。

各操作段階に於て各チップはそれがろう付けされる基板
上の接続領域に対し正確に位置決めされ従って形成され
る継目即ちジヨイントは良好な品質であることは云うま
でもない。

以上図面を参照して本発明の好ましい具体例について述
べたが、本発明はこのような具体例に限定されるもので
はなく当業者には必要に応じいろいろな設計変更あるい
は均等物の変更などを行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は基板の１部分とこの基板にろう付けされる集積
回路チップを示す斜視図、第２図は本発明による方法を
実施するための装置の１例を示す略図、第３図はたわみ
性の支持体上に取付けられた集積回路チップを第２図の
装置の１部を構成する切断工具に容易に取付けることを
可能にする支持体担体の図、第４図ないし第９図は第２
図に示した装置により基板上に取付ける方法の異なった
段階を示す略図、第８図は第２図に示す装置の１部を構
成する支持フ宅ツクの鎖錠機構を１部切除して示す図、
そして第９図は第３図に示す支持体担体の線９−９に沿
った断面図であり、担体は第２図の装置を構成する切断
工具内に位置付けられた状態で示されている。 １０・・・・・・たわみ性の支持体、Ｐ・・・・・・集
積回路チップ、ＣＩ・・・・・・インターフェース導体
、２０・・・・・・基板、２１・・・・・・接続領域、
Ｅ１〜Ｅ３・・・・・・接続領域の集合（セラｌ−）、
３０・・・・・・基板担体ブロック、３２・・・・・・
支持ブロック、３９・・・・・・位置付は装置、４０・
・・・・・テレビジョン・カメラ、４１・・・・・・表
示スクリーン、４４・・・・・・切断工具、４５・・・
・・・切断ヘッド、４３・・・・・・ろう付は工具、５
２・・・・・・ろう付はヘッド、５６・・・・・・基準
マーク、６０，６３，６４゜６５・・・・・・鎖鋺装置
。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 中心の囲りにあらかじめ定められた形態で配列され
   た少なくとも１組の接続領域が設けられている基板上に
   、非延展性の材料からなるたわみ性の支持体上に予め取
   付けられた少なくとも１つの集積回路チップで前記たわ
   み性の支持体に取付けられて前記チップの縁からのびて
   いる接続導体を備えた集積回路チップを取付ける場合に
   おいて、前記チップを有する前記支持体を支持担体上に
   配置し、 加工軸線に沿って移動可能な切断ヘッドと前記ヘッドの
   移動路に配設された切断ダイスを有する切断工具内に、
   前記支持担体を、前記チップの中心が前記ダイス上に位
   置して前記加工軸線と整列するように配置し、 前記加工軸線に対して垂直な方向に移動可能な支持ブロ
   ックを、前記支持ブロック上の基準手段が前記加工軸線
   に対し平行な固定の位置決め軸線に対し予め定められた
   位置で整列するように先ず位置決めした後に、前記基板
   を前記支持ブランク上に位置し、 前記基板を前記支持ブロックに対して変位し前記基板上
   の１組の接続領域の中心を前記固定の位置決め軸線と一
   致させ、 前記支持ブロックを前記切断工具の下方に位置するよう
   に動かして前記基準手段が、前記切断工具の加工軸線に
   対し、前記位置決め軸線に対して取ったのと同じ位置を
   取るように位置決めし、前記切断工具を作動して前記切
   断ヘッドの運動で前記切断ダイス上に配置されているチ
   ップの接続導体を切断しそして前記支持体から分離され
   たチップを前記切断ヘッドにより取り去って前記基板上
   に位置決めし、 前記切断ヘッドを前記ダイスを越えて上昇させた後に、
   前記支持ブロックを動かして前記基板を、前記位置決め
   軸線に対して平行な加工軸線に沿って変位可能であるろ
   う付はヘッドの下方に位置させて、前記基準手段が、前
   記ろう付はヘッドの加工軸線に対し、前記位置決め軸線
   に対して占めたのと同じ位置を占めるように位置決めし
   、前記ろう付はヘッドを作動して前記基板上の接続領域
   に、該基板に対して位置決めされているチップに残って
   いる前記接続導体の部分を圧接し、前記ろう付はヘッド
   に電力を供給して前記接続導体部分を前記接続領域にろ
   う付けし、そして前記ろう付はヘッドを初期の位置にも
   どす諸工程を含む基板に集積回路チップを取付ける方法
   。 ２ 分離されたチップを基板に対し位置決めする工程が
   、該チップを該基板に接着することを含む特許請求の範
   囲第１項記載の集積回路チップを取付ける方法。 ３ 支持ブロックが、切断工具の下方およびろう付はヘ
   ッドの−Ｆ方に配置された時に位置固定される特許請求
   の範囲第１項記載の集積回路チップを取付ける方法。 ４ 中心の囲りに予め定められた形態で配列された少な
   くとも１組の接続領域が設けられている基板上に、非延
   展性の材料からなるたわみ性の支持体上に予め取付けら
   れている少なくとも１つの集積回路チップであって、前
   記たわみ性の支持体に取付けられチップの縁から延びて
   いる接続導体を有する前記集積回路チップを取付けるた
   めの装置において、 予め定められた路に沿って水平方向に移動可能であり前
   記基板を受けるように適応された支持ブロックと、 前記支持ブロックが辿る路に対し垂直な加工軸線に沿っ
   て変位可能である切断ヘッドおよび前記ヘッドの路に配
   設されて前記たわみ性支持体上に取付けられた集積回路
   チップを受けるように適応されている切断ダイスを有す
   る切断工具と、前記切断工具の加工軸線に対し平行な加
   工軸線に沿って移動可能であるろう付はヘッドを有する
   ろう付は工具と、 前記加工軸線に対し平行な位置決め軸線を有する位置決
   め組立体と、 前記基板を前記支持ブロックに対して変位し、前記基板
   上の１組の接続領域の中心を前記位置決め軸線と一致せ
   しめるための手段と、 前記支持ブロックを前記切断工具の下方、次いで前記ろ
   う付は工具の下方に配置して、前記支持ブロックの基準
   手段が逐次、前記切断工具および前記ろう付は工具の各
   加工軸線に対し前記位置決め軸線に対して占めたと同じ
   位置を占めるように位置決めするための鎖錠手段と、 前記切断ヘッドおよび前記ろう付はヘッドの運動を制御
   するための作動手段とを有する基板に集積回路チップを
   取付ける方法。 ５ 支持ブロックは、直線運動を行なうように取付けら
   れ、基準手段は前記支持ブロックに取付けられた割出し
   マークにより形成されて支持ブロックが移動した場合３
   つの固定の基準マークの内の任意のものに対向するよう
   に位置付けることができ、前記基準マークの内第１のマ
   ークは前記位置決め軸線に相関され、第２のマークは前
   記ろう付は工具の加工軸線に相関され、前記第３のマー
   クは前記切断工具の加工軸線に相関され、前記第２の基
   準マークと第１の基準マークとの間の間隔は前記ろう付
   は工具の加工軸線と前記位置決め軸線との間の間隔に等
   しくそして前記第１の基準マークと第３の基準マークと
   の間の間隔は前記切断工具の加工軸線と前記位置決め軸
   線との間の間隔に等しい特許請求の範囲第４項記載の基
   板に集積回路チップを取付ける装置。 ６ たわみ性の支持体が、各開口の両側に、該開口の中
   心横断軸線に沿いかつ該横断軸線に対して直角に配設さ
   れた２つの讃孔を有しており、そしてさらに前記たわみ
   性の支持体を受けて該たわみ性の支持体を前記切断工具
   に正確に位置決めするための着脱可能な支持体用担体を
   備えている特許請求の範囲第５項記載の基板に集積回路
   チップを取付ける装置。 ７ 支持体用担体が、切断工具の２つの対応の座部に当
   接するように適応された２つの位置付はパッドを一端に
   有すると共に、他端に、前記開口の任意のものと関連の
   ２つの讃孔に干渉嵌めするように適応された２つのスピ
   ゴットを備えており、前記２つのスピゴットは、前記支
   持体用担体が切断工具に係合して該スピゴットが前記切
   断工具の位置付は孔に係合した時に、前記開口に取付け
   られるチップが前記切断工具の加工軸線上に心出しされ
   るように配置されている特許請求の範囲第６項記載の基
   板に集積回路チップを取付ける装置。 ８ 基板を変位するための手段が、支持ブ冶ツクに取付
   けられた板からなり、該板は前記位置決め軸線に対して
   垂直な平面内で可動であって、基板上の１組の接続領域
   の中心を前記位置決め軸線と一致せしめることを特徴と
   する特許請求の範囲第５項記載の基板に集積回路チップ
   を取付ける装置。 ９ 位置決め組立体が、けがき線および関連の表示スク
   リーンを有するテレビジョン・カメラを備えている特許
   請求の範囲第５項記載の基板に集積回路チップを取付け
   る装置。 １０基板が配置され不動に保持される基板担持ブロック
   と、移動可能な板を有し、該基板担持ブロックは該移動
   可能な板に取付けられており、該板は前記支持ブロック
   によって担持されておって２つの互いに垂直な方向にお
   いて前記支持ブロックに対し変位可能である特許請求の
   範囲第５項記載の基板に集積回路チップを取付ける装置
   。 １１ 鎖錠手段が、支持ブロックの運動方向に対して平
   行に延びる棒を備え、該棒は、それぞれ中心溝を有する
   プーリの形態にあり、さらに前記鎖錠手段はレバー、該
   レバーに取付けられた玉軸受を有しており、前記レバー
   は前記支持ブロック固定された軸に枢着されている特許
   請求の範囲第４項記載の基板に集積回路チップを取付け
   る装置。 １２鎖錠手段が、玉軸受を棒に向って付勢するためのば
   ねを備えており、該ばねはレバーと支持ブロックの取付
   は点との間に張架されている特許請求の範囲第１１項記
   載の基板に集積回路チップを取付ける装置。 １３３つの要素が固定基準マークのそれぞれと関連して
   設けられておって、割出しマークが該基準マークのいず
   れか１つに対向して位置付けられた時に、前記玉軸受が
   当該基準マークと関連の要素の溝に係合する特許請求の
   範囲第１１項記載の基板に集積回路チップを取付ける装
   置。 １４ たわみ性の支持体が、各開口の両側に、該開口の
   中心横断軸線に沿いかつ該中心横断軸線に対して直角に
   配設された２つの鏝孔を備え、さらに前記たわみ性の支
   持体を受けて該たわみ性の支持体を切断工具に正確に位
   置決めするための手段を備えている特許請求の範囲第１
   ３項記載の基板に集積回路チップを取付ける装置。 １５支持体用担体手段が、切断工具に設けられている対
   応の２つの座部に当接するように適応された２つの位置
   付はパッドを一端に有すると共に、他端に、前記開口の
   任童のものと関連する２つの錯化に干渉嵌めするように
   適応された２つのスピゴットを備え、前記２つのスピゴ
   ットは、前記支持体用担体が前記切断工具に係合しかつ
   前記スピゴットが前記工具の位置付は孔に係合した時に
   該開口に取付けられるチップが切断工具の加工軸線上に
   心出しされるように位置決めされる特許請求の範囲第１
   ４項記載の基板に集積回路チップを取付ける装置。 １６基板を変位するための手段が、支持ブロックに取付
   けられた板からなり、該板は前記位置決め軸線に対して
   垂直な平面内で可動であって、基板上の１組の接続領域
   の中心を前記位置決め軸線と一致せしめることを特徴と
   する特許請求の範囲第１３項記載の基板に集積回路チッ
   プを取付ける装置０ １７位置決め組立体が、けがき線および関連の表示スク
   リーンを有するテレビジョン・カメラを備えている特許
   請求の範囲第１６項記載の基板に集積回路チップを取付
   ける装置。 １８基板が配置され不動に保持される基板担持ブロック
   を備え、該基板担持ブロックは可動の板に取付けられて
   いる特許請求の範囲第１７項記載の基板に集積回路チッ
   プを取付ける装置。