JPS5823449A - Ic位置決め装置 - Google Patents

Ic位置決め装置

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JPS5823449A
JPS5823449A JP56122273A JP12227381A JPS5823449A JP S5823449 A JPS5823449 A JP S5823449A JP 56122273 A JP56122273 A JP 56122273A JP 12227381 A JP12227381 A JP 12227381A JP S5823449 A JPS5823449 A JP S5823449A
Authority
JP
Japan
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sensors
state
sensor
center
image
Prior art date
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Pending
Application number
JP56122273A
Other languages
English (en)
Inventor
Noboru Tanaka
登 田中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Nippon Electric Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp, Nippon Electric Co Ltd filed Critical NEC Corp
Priority to JP56122273A priority Critical patent/JPS5823449A/ja
Publication of JPS5823449A publication Critical patent/JPS5823449A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01039Yttrium [Y]
    • HELECTRICITY
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    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01074Tungsten [W]
    • HELECTRICITY
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    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/14Integrated circuits

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  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は周囲に複数のリード線を有するICを自動的に
位置決めする装置に関するものである。
従来、この種の装置は、ITVカメラやCCDなどのセ
ンサーにより画像を光電変換し、画像献身技術を駆使し
て位置決めしていた。しかしこのような方法では、セン
サーも高価であり、また、センサーの出力信号から、必
要な情報を得る定め複雑な処理を行う必要があった。
従って、このような電子回路は、装置が複IIIKなり
、また高価となる几め、経済性に欠け、適用範囲が限定
されるという欠点があった。さらに、従来、ICペレッ
トなどの位置決め装置では、拡大投影面上Kll数のセ
ンサーを配置して位置決めする安価な装置もあるが、一
般的にセンサーは小さいため、矩形のペレットは検出で
きるが、周囲に多数のリード線を有するICでは、リー
ド線間にセンサーが位置した場合、リード線を検出せず
、自動位置決めできないという欠点があった。
本発明はこれらの欠点を除去するために%ICのシルエ
ツト像投影面上の基準位置において、リード線像の略々
外側にリード巖の1ピツチよりも長いセンサーを多数配
置し位置ずれしたリード線像を必ず検出できるようにし
て、周囲にリード線のあるICを容易Kかつ安価に自動
位置決め可能[L7tものである。
本発明によれば、周囲に多数のリード線を有するICを
位置決めする装置において、ICのシルエツト像を拡大
投影する光学系と、シルエツト像の基準位置にお論てリ
ード線像の1ビ、チよりも長い光電変換センサーを1辺
のリード線の略々外側に複数個設けかつ他辺の像にri
i個づつ設は九センサ一部と、前記各センサーの信号を
増幅してリード線像の有無を検出し、シルエツト像とセ
ンサーとの相対位置を検出する判定回路と、前記判定回
路からの信号によりICをXYおよび回転方向に移動可
能な位置決め部とを備えたことを特徴とするIC位置決
め装置が得られる。
以下図面によって本発明について詳細に説明するO 第1図は、本発明の一実施例を示す図であり、第2図は
、基準位置にあるICのシルエツト像とセンサーの配置
を示す図、第3図は位置決め前のICのシルエツト像と
センサーとの位置関係の例を説明するための図である。
第1図において、1は光学系であり、光源2によって透
明板上のIC3を照明し、そのシルエツト像を拡大投影
するものfある。4は透明板上のIC3をX%Y10各
方向に移動可能な位置決め部であり、5はIC3の拡大
シルエラ)像6(7)投影面7においてリード線像の1
ピツチよりも長い光電変換センサー81.82を基準位
置にあるシルエツト像の一辺の略々外側に設けかつ同様
なセンサー91.92.93を他の辺に各1個づつ設は
几センサ一部である。10は前記各センサーの信号を増
幅し位置決め前のセンサー上に投影され友リード線の拡
大シルエツト像6の有無を検出し、シルエツト像6とセ
ンサーとの相対的な位置を検出し、前記位置決め部へ移
動方向を指示する判定回路である。
以下本実施例の動作について説明する。
光学系1は光源2によりIC3のシルエット儂ンサーで
はシルエツト像6がセンサー面上に投影されている。こ
の時センサーの大きさがリード線像のピッチよりも大で
あることより、リード線のシルエツト像6が必らずセン
サーに投影され、判定口w110によってシルエットg
I6を検出することができる。次に各センサーの出力状
態からIC3を自動位置決めする手順を説明する。まず
シルエツト像6が投影されているセンサーの状態を側状
態、シルエツト像6が投影されていないセンサーの状態
をOFF状態と定義する。自動位置決め終了時点ではす
べてのセンサーはOFF状態であるから、XY方向はO
NN状態表っているセンサーからみてセンサーの中心方
向に移動すればよく、θ方向はセンサーが2個以上ある
辺において、センサ一部5の中心と辺の中心とを結ぶ線
に対して、時計方向側と、反時計方向側にわけ、OFF
状態になっているセンサーの多い回転方向側に、センサ
一部5の中心を回転中心として回転する。以上のように
して決まり、tx、y、  θ方向にICを移動てのセ
ンサーがOFFとなり位置決めが完了する。
位置決め完了後は図示していないが予め移動距離、角度
が決められたIC移送手段により次の工程へICを移動
する。
以上のように構成が簡単であるため、周囲にリード線の
あるICを安価な装置により、自動位置決めできる。近
年、TABIC(テープキャリヤ方式によるIC)やビ
ームリードICなどの四辺にリード線のあるICが増加
しており、これらのIC製造工程ではICを自動位置決
めする装置が多く、本発明はこれら装置に容JK応用で
き、経済的効果は極めて大である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す構成図、第2図は、基
準位置にあるICとセンサーの配置を示す図、第3図は
位置決め前のICのシルエツト像とセンサーとの位置関
係の例を説明するための図である。 図において1は光学系、2は光源、3はIC。 4は位置決め部、5はセンサ一部、6は拡大シルエツト
像、7は投影面、81s82.91%92.93はセン
サー、10は判定回路である。 試1図 第 2 図 第3図 ご看     82

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 周囲に多数のリード線を有するICを位置決めする装置
    において、ICのシルエツト像を拡大投影する光字系と
    、シルエツト像の基準位置におけるリード線像の1ピツ
    チよりも長い光電変換センサーを1辺のリード線像の略
    々外側に複数細膜けかつ他辺の像には1個づつ設けたセ
    ンサ一部と、前記谷センサーの信号を増幅してリード線
    像の有無を検出しシルエツト像とセンサーとの相対的な
    位置を検出する判定回路と、前記判定回路からの信号に
    よりICをX軸、Y軸および回転方向に移動する位置決
    め部とを備えたことを特徴とするIC位置決め装置。
JP56122273A 1981-08-04 1981-08-04 Ic位置決め装置 Pending JPS5823449A (ja)

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JPS5823449A true JPS5823449A (ja) 1983-02-12

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