JPS58217255A - 超精密研削装置 - Google Patents
超精密研削装置Info
- Publication number
- JPS58217255A JPS58217255A JP10076482A JP10076482A JPS58217255A JP S58217255 A JPS58217255 A JP S58217255A JP 10076482 A JP10076482 A JP 10076482A JP 10076482 A JP10076482 A JP 10076482A JP S58217255 A JPS58217255 A JP S58217255A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- eccentric
- spindle
- grinding
- sleeve
- grinding tool
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
- B24B41/002—Grinding heads
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、被加工物を超精密に研削仕上加工する装置
に係り、さらに詳ＩＩには、主として被加工物の溝、凹
部あるいは孔などの加工部を精密に１１上り゛る装置に
関り゛るものである。
に係り、さらに詳ＩＩには、主として被加工物の溝、凹
部あるいは孔などの加工部を精密に１１上り゛る装置に
関り゛るものである。
一般に、複’ｊＪＬな形状の孔あるいは溝などの加工部
を有づる金型等は、放電加」−鼾に、Ｊ、って加工がｔ
ｉなわれた後に、極めＣ１り精ｊ具にイ」十加］−され
るものＣある。上記のごとき精密な什・上加工は、従来
は超酋波研尼装置等により手作業によつ−（（−ｊ ｉ
’ｆわれＣいたので、極めＣ非能率的であり、かつ均一
性に欠【〕るきらいがあった。
を有づる金型等は、放電加」−鼾に、Ｊ、って加工がｔ
ｉなわれた後に、極めＣ１り精ｊ具にイ」十加］−され
るものＣある。上記のごとき精密な什・上加工は、従来
は超酋波研尼装置等により手作業によつ−（（−ｊ ｉ
’ｆわれＣいたので、極めＣ非能率的であり、かつ均一
性に欠【〕るきらいがあった。
そこ（゛、出願人は、上記のごとき問題に鑑み、金型等
の加工部に対陽する形状の（ｄｌ ｉ“ｊｌｌ工具を前
記加工部に整合（嵌合）した後に微振動を与えＣ精密な
什−１ニ加工を行なう装置に係る出願をし”（いる。
の加工部に対陽する形状の（ｄｌ ｉ“ｊｌｌ工具を前
記加工部に整合（嵌合）した後に微振動を与えＣ精密な
什−１ニ加工を行なう装置に係る出願をし”（いる。
しかし、上記の装置におい“Ｃは、微振動のＩＩｒＮ幅
か１信に一定であったので、被加工物くワーク）に４３
（プる加工部とｒｌＩ＋削工具とのクリノ２ランスの大
小に対応しＣ微振動の振幅を調整り゛ることがでさす゛
、最適の条件上においての精密な仕上加工が困難Ｃあっ
た。
か１信に一定であったので、被加工物くワーク）に４３
（プる加工部とｒｌＩ＋削工具とのクリノ２ランスの大
小に対応しＣ微振動の振幅を調整り゛ることがでさす゛
、最適の条件上においての精密な仕上加工が困難Ｃあっ
た。
この発明は上記のごとき問題に鑑み発明したもので、研
削工具における微振動の振幅を調Ｉｊ自在に構成したも
のである。
削工具における微振動の振幅を調Ｉｊ自在に構成したも
のである。
以下、図面を用いて、この発明の一実施例につい（詳細
に説明りる。
に説明りる。
第１図に示りにうに、本発明に係る′ＪＡ詔１におりる
基台３上にはベースプレー１へ５が水平に載置してあり
、このベースプレート５上には円板状の第１スライドテ
ーブル７が水平に移動かつ旋回自在に載置しである。ざ
らに、この第１スライドテーブル７上には円板状の第２
スライドテーブル９が水平に移動かつ旋回自在に載置し
である。前記ベースプレー１へ５と第１スライドテーブ
ル７との間８３ Ｊ、び第１スライドデープル７と第ス
ライドテーブル９との間には、移動及び旋回が極めて円
滑に行なわれるように多数のボール１１が転勤自在に介
在されており、各ボール１１は円板状のリテーナ１３に
より適宜間隔に保持されＣいる。前記第１．第２のスラ
イドテーブル７．９′の中心部には、前記各リテーナ１
３の中火孔１３ａ内へ臨出したラジアルベアリング１５
が回転自在に支承されでいる。したがって、第１．第２
のスライドデープル７．９ど各リテーナ１３とが大ぎく
位置ずれを生じるようなことがないものである。
基台３上にはベースプレー１へ５が水平に載置してあり
、このベースプレート５上には円板状の第１スライドテ
ーブル７が水平に移動かつ旋回自在に載置しである。ざ
らに、この第１スライドテーブル７上には円板状の第２
スライドテーブル９が水平に移動かつ旋回自在に載置し
である。前記ベースプレー１へ５と第１スライドテーブ
ル７との間８３ Ｊ、び第１スライドデープル７と第ス
ライドテーブル９との間には、移動及び旋回が極めて円
滑に行なわれるように多数のボール１１が転勤自在に介
在されており、各ボール１１は円板状のリテーナ１３に
より適宜間隔に保持されＣいる。前記第１．第２のスラ
イドテーブル７．９′の中心部には、前記各リテーナ１
３の中火孔１３ａ内へ臨出したラジアルベアリング１５
が回転自在に支承されでいる。したがって、第１．第２
のスライドデープル７．９ど各リテーナ１３とが大ぎく
位置ずれを生じるようなことがないものである。
前記第２スライドテーブル９の底面には、第１スライド
テーブル７等を囲繞した環状のカバー１７がボルト等に
より固定しであり−このカバー１７の下面には環状のス
ベーリ１９を介して１莫状のプレート２１が取イ」けで
ある。したがって、第１゜第２のスライドテーブル７．
９等の間ｌ＼の塵埃の侵入が明止されるものである。４
１お０、前記第２スライドデープル９の上面には放射方
向のＴ ！ｉ’ｌ’７２３が複数本穿設しである。よっ
（−１−１−ボルト等の固定具を介して被加工物（ワー
ク）を第２スライドテーブル９の上面に固定することが
できるしのである。すなわら、第２スライドテーブル９
上に固定されたワークは第２スライドデープル９を介り
ることにより、任意の方向へ水平に移動自イ１かつ旋回
自在なものである。
テーブル７等を囲繞した環状のカバー１７がボルト等に
より固定しであり−このカバー１７の下面には環状のス
ベーリ１９を介して１莫状のプレート２１が取イ」けで
ある。したがって、第１゜第２のスライドテーブル７．
９等の間ｌ＼の塵埃の侵入が明止されるものである。４
１お０、前記第２スライドデープル９の上面には放射方
向のＴ ！ｉ’ｌ’７２３が複数本穿設しである。よっ
（−１−１−ボルト等の固定具を介して被加工物（ワー
ク）を第２スライドテーブル９の上面に固定することが
できるしのである。すなわら、第２スライドテーブル９
上に固定されたワークは第２スライドデープル９を介り
ることにより、任意の方向へ水平に移動自イ１かつ旋回
自在なものである。
前記基台３の一側部（＝Ｊ近には円筒状の、ガーｒドボ
ス１〜２５が複数のポル１〜にＪ、り立設固定しくあり
、このガイドボス１−２５内には“、支持ロッド２７が
上下位置調節自在に嵌入しである。すなわら、支持ロッ
ド２７の下端部には螺子部２７ａが形成し【あり、この
螺子部２７ａには、基台３の下面に設【）たギフノボッ
クス２９内に回転のみ白石に支承されたスリーブナツト
３１が螺合しである。このスリーゾブッｌ〜３１にはつ
Ａ−ムホイール３３が一体的に固定してあり、つＡ−ム
ホイール３３は七−夕等に適宜に連動連結したウオーム
ギア３５が噛合しである。そし“て、支填ロッド２７の
体部に形成した上下り向のキー満２７１）には、前記ガ
イドボス１〜２５の上（４，Ｈ部に固定したキー３７が
係合しである。したがっｃ１前記つＡ−ムギア３５を適
宜に回転することにより支持ロッド２７は上下動される
ものである。
ス１〜２５が複数のポル１〜にＪ、り立設固定しくあり
、このガイドボス１−２５内には“、支持ロッド２７が
上下位置調節自在に嵌入しである。すなわら、支持ロッ
ド２７の下端部には螺子部２７ａが形成し【あり、この
螺子部２７ａには、基台３の下面に設【）たギフノボッ
クス２９内に回転のみ白石に支承されたスリーブナツト
３１が螺合しである。このスリーゾブッｌ〜３１にはつ
Ａ−ムホイール３３が一体的に固定してあり、つＡ−ム
ホイール３３は七−夕等に適宜に連動連結したウオーム
ギア３５が噛合しである。そし“て、支填ロッド２７の
体部に形成した上下り向のキー満２７１）には、前記ガ
イドボス１〜２５の上（４，Ｈ部に固定したキー３７が
係合しである。したがっｃ１前記つＡ−ムギア３５を適
宜に回転することにより支持ロッド２７は上下動される
ものである。
前記支持ロツ１〜２７の上端部には複数の軸承３９を介
しＣ筒体４１が回転自在に支承されている。
しＣ筒体４１が回転自在に支承されている。
この筒体４１の下面には前記ガイドボス１−２５を摺動
自在に囲繞したカバー筒４３が一体的に取付りである。
自在に囲繞したカバー筒４３が一体的に取付りである。
また筒体／１．１には水平に延伸したアーム４５が一体
的に取付（プである。このアーム４５は板状をなすもの
であって上面の両側部には補強用のリブ／１７が固定し
Ｃあり、後端部にはブラケット４９を介して−し一タの
ことさ回’Ｉ’／ｉ ：駆動装置５１が装るしＣある。
的に取付（プである。このアーム４５は板状をなすもの
であって上面の両側部には補強用のリブ／１７が固定し
Ｃあり、後端部にはブラケット４９を介して−し一タの
ことさ回’Ｉ’／ｉ ：駆動装置５１が装るしＣある。
また、アーム／１．５の先端部には加工ｌ＼ツド装首５
３が装盾しである。したがって、加］］−ヘッド装置５
３舌は、前記支持ロッド２７の′Ｊ？ Ｉｉηに従って
上下動されるしのであり、かつ旋回自在なものである。
３が装盾しである。したがって、加］］−ヘッド装置５
３舌は、前記支持ロッド２７の′Ｊ？ Ｉｉηに従って
上下動されるしのであり、かつ旋回自在なものである。
前記加工ヘッド装面５３は次のごとく構成されているも
のぐある。寸なわら、）ノーム４５の先端部に固定した
スリーブ５５に複数の軸承を介”して回転筒５７か回転
のみ自在に支承されており、この回転筒５７の上部には
プーリ５９が一体的に取イ」りである。このプーリｂ９
には、前記回転駆動波間５５１に備えたプーリ（５１に
掛回しｌ〔ヘル１〜６３が１珪回し−Ｃある。さらに前
記回転筒５７には、回転筒５７を上下に貫通したスピン
ドル６５が軸方向へ摺動のみ自在に支承されている。、
すなわら、スピンドル６５の体部には軸方向の：ｌ−１
Ｍ ６５ ａが穿設し“Ｃあり、このキー１ｆｉｔ ６
５ ａには、回転筒５７には設けたキー６７が係合しで
ある。したがって、スピンドル６５は回ｆｉ１！、筒５
７と−イホ的に回転され、軸方向には単独で移動自在な
ものである。
のぐある。寸なわら、）ノーム４５の先端部に固定した
スリーブ５５に複数の軸承を介”して回転筒５７か回転
のみ自在に支承されており、この回転筒５７の上部には
プーリ５９が一体的に取イ」りである。このプーリｂ９
には、前記回転駆動波間５５１に備えたプーリ（５１に
掛回しｌ〔ヘル１〜６３が１珪回し−Ｃある。さらに前
記回転筒５７には、回転筒５７を上下に貫通したスピン
ドル６５が軸方向へ摺動のみ自在に支承されている。、
すなわら、スピンドル６５の体部には軸方向の：ｌ−１
Ｍ ６５ ａが穿設し“Ｃあり、このキー１ｆｉｔ ６
５ ａには、回転筒５７には設けたキー６７が係合しで
ある。したがって、スピンドル６５は回ｆｉ１！、筒５
７と−イホ的に回転され、軸方向には単独で移動自在な
ものである。
前記スピンドル６５の上端部には複数の軸承を介して筒
状のキャップ６９が回転のみ自在に装着してあり、この
−１′：Ｉｌツブ６９には揺動レバー７１にピン７３（
第２図参照）を介して化石した連結板７５が連結しＣあ
る。上記揺動レバー７１の体部は前記アーム４５に立設
したブラヶッ１〜７７に４１８支されてＪ３す、この揺
動レバー７１の後端部と前記ガイドポスト２５に固定し
たブラク−ツ１−７９に上下位置調節自在に支持された
螺子杆８１との間にはコイルスプリングのごとき弾機８
３が弾装しＣある。したがって、前記スピンドル６５は
弾機８３の作用により常に上方向へ付勢されＣいるもの
であり、弾機８３に抗して揺動レバー７１を操作りるこ
とにより、スピンＩ・ル６５が下降されるものである。
状のキャップ６９が回転のみ自在に装着してあり、この
−１′：Ｉｌツブ６９には揺動レバー７１にピン７３（
第２図参照）を介して化石した連結板７５が連結しＣあ
る。上記揺動レバー７１の体部は前記アーム４５に立設
したブラヶッ１〜７７に４１８支されてＪ３す、この揺
動レバー７１の後端部と前記ガイドポスト２５に固定し
たブラク−ツ１−７９に上下位置調節自在に支持された
螺子杆８１との間にはコイルスプリングのごとき弾機８
３が弾装しＣある。したがって、前記スピンドル６５は
弾機８３の作用により常に上方向へ付勢されＣいるもの
であり、弾機８３に抗して揺動レバー７１を操作りるこ
とにより、スピンＩ・ル６５が下降されるものである。
この場合、前記螺子＋１８１の上下位置を調節りること
により前記スピンドル６５等の重量とバランスするもの
であり、１工動レバー７の先端部に複数あるいは重ωの
異なる重重（図示省略）を適宜に装着りることにより、
弾（幾８３に抗してスピンドル６５）を下方向へ常にイ
」勢りることかできるしのぐある。
により前記スピンドル６５等の重量とバランスするもの
であり、１工動レバー７の先端部に複数あるいは重ωの
異なる重重（図示省略）を適宜に装着りることにより、
弾（幾８３に抗してスピンドル６５）を下方向へ常にイ
」勢りることかできるしのぐある。
前記スピンドル６５の１ζ端部には、ｒｄｌ ｔ’ｉｌ
ｌ ］”貝あるいは（ｉｌ＋削ニー具を保持しＩＣ］レ
ツ１〜チｌｌツクのごどきチャックを保持Ｊるホルダー
８５か択’（ｌＬ ’（ある。このホルダー８５は第３
図に示り°ごとく構成し−Ｃある。ｃＪなわら、スピン
ドル６５の上端部に止ネジ等により一体的に固定したス
リーブ８７の下部にはフランジ８７ａが水平に形成し−
Ｃあり、このフランジ８７ａの複数個所には円弧状孔８
７ｂが穿設しである。また、スリーブ８７の下面中央部
に、は、スピンドル６５の軸心に対して微小耐偏心して
偏心孔８７Ｃが穿設しである。前記スリーブ８７の下面
には、前記円弧状孔８７１）をｔ’を通した複数のポル
１へ８９を介して偏心盤９１が回動位置調節自在に装着
しである。この偏心５１８９１の上部には前記偏心孔８
７Ｃに嵌合した偏心突出？！Ｉ（９１ａが形成しである
。したがって、偏心盤９１はスピンドル゛６５の軸心に
対し伽心し−Ｃ取イ］りであるものであり、前記ポル１
−８９を緩めた後に偏心盤９１を適宜に回動Ｊることに
より、スピンドル６５の軸心に対し偏心盤９１の軸心位
＠１を位置調節できるものである。
ｌ ］”貝あるいは（ｉｌ＋削ニー具を保持しＩＣ］レ
ツ１〜チｌｌツクのごどきチャックを保持Ｊるホルダー
８５か択’（ｌＬ ’（ある。このホルダー８５は第３
図に示り°ごとく構成し−Ｃある。ｃＪなわら、スピン
ドル６５の上端部に止ネジ等により一体的に固定したス
リーブ８７の下部にはフランジ８７ａが水平に形成し−
Ｃあり、このフランジ８７ａの複数個所には円弧状孔８
７ｂが穿設しである。また、スリーブ８７の下面中央部
に、は、スピンドル６５の軸心に対して微小耐偏心して
偏心孔８７Ｃが穿設しである。前記スリーブ８７の下面
には、前記円弧状孔８７１）をｔ’を通した複数のポル
１へ８９を介して偏心盤９１が回動位置調節自在に装着
しである。この偏心５１８９１の上部には前記偏心孔８
７Ｃに嵌合した偏心突出？！Ｉ（９１ａが形成しである
。したがって、偏心盤９１はスピンドル゛６５の軸心に
対し伽心し−Ｃ取イ］りであるものであり、前記ポル１
−８９を緩めた後に偏心盤９１を適宜に回動Ｊることに
より、スピンドル６５の軸心に対し偏心盤９１の軸心位
＠１を位置調節できるものである。
前記（１−心？ｌ）！９１の下面には複数のボルトを介
して軸承簡０３が一体的に固定してあり、この軸承Ｕ９
３の内部には、偏心軸承９５を介してホルダーブロック
９７が回転自在に支承されている。上記偏心支承９５は
、インナーレースの内孔の軸心が前記偏心盤９１の軸心
に対し微小量偏心しているもので東る。したがって、ホ
ルダー７［１ツク≦）７のｑｉ＋心は１宣心盤９１の軸
心に対し偏心しているものである。このホルタ−ブロッ
ク９７の下面には、凪６あるいは工具Ｈ料よりなる研削
工具等を保持りるホルダーアタッチメン１−９９がｆ２
ｆｉのボルトを介しＣ一体向に取（Ｊけであり、またホ
ルダーブロック９７の下端部には半径外方向へ水平に突
出したピン１０１が固定しである。このピン１０１は、
前記スリーブ８７に軸承を介して回転自在に支承された
筒状のカバー１０３の下端部に形成した上下方向のスリ
ット１０３ａに係合しである。また、−Ｆ記カバー１０
３にも水平に突出した突出ピン′Ｉ Ｏｂ （第１図参
照）が設（）Ｃあり、こ６の突出ビン１０５は前記アー
ム／Ｉ Ｓから垂設したブラケット１０７の上下方向の
スリブｈ １０７ ａに係合しＣある。したかつで、カ
バー１０３およびボルダーブ［ｌツク９７はスピン１〜
ル６５も゛の回転に対しＣ回転を規制されているもので
ある。
して軸承簡０３が一体的に固定してあり、この軸承Ｕ９
３の内部には、偏心軸承９５を介してホルダーブロック
９７が回転自在に支承されている。上記偏心支承９５は
、インナーレースの内孔の軸心が前記偏心盤９１の軸心
に対し微小量偏心しているもので東る。したがって、ホ
ルダー７［１ツク≦）７のｑｉ＋心は１宣心盤９１の軸
心に対し偏心しているものである。このホルタ−ブロッ
ク９７の下面には、凪６あるいは工具Ｈ料よりなる研削
工具等を保持りるホルダーアタッチメン１−９９がｆ２
ｆｉのボルトを介しＣ一体向に取（Ｊけであり、またホ
ルダーブロック９７の下端部には半径外方向へ水平に突
出したピン１０１が固定しである。このピン１０１は、
前記スリーブ８７に軸承を介して回転自在に支承された
筒状のカバー１０３の下端部に形成した上下方向のスリ
ット１０３ａに係合しである。また、−Ｆ記カバー１０
３にも水平に突出した突出ピン′Ｉ Ｏｂ （第１図参
照）が設（）Ｃあり、こ６の突出ビン１０５は前記アー
ム／Ｉ Ｓから垂設したブラケット１０７の上下方向の
スリブｈ １０７ ａに係合しＣある。したかつで、カ
バー１０３およびボルダーブ［ｌツク９７はスピン１〜
ル６５も゛の回転に対しＣ回転を規制されているもので
ある。
上記構成において、スピンドル６５の軸）ひをＯ２偏心
５１）ｆ９１の軸心を１つ、ホルダーブロック９７の軸
心をＱとりると、スピン１〜ル６５に３＝Ｉ Ｌ （Ｉ
Ｍ心ｑａ９１の位置を調ｉ１ｉ＋ ′？ｌることにＪ、
す４１１１心Ｏど軸心Ｑとの間隔が調節されることとな
り、スピン１〜ル６ｂの回転時におりる小ルターブ１−
１ツク９７の偏心回動の半径（微振動の振幅）が調節で
きるしのである。
５１）ｆ９１の軸心を１つ、ホルダーブロック９７の軸
心をＱとりると、スピン１〜ル６５に３＝Ｉ Ｌ （Ｉ
Ｍ心ｑａ９１の位置を調ｉ１ｉ＋ ′？ｌることにＪ、
す４１１１心Ｏど軸心Ｑとの間隔が調節されることとな
り、スピン１〜ル６ｂの回転時におりる小ルターブ１−
１ツク９７の偏心回動の半径（微振動の振幅）が調節で
きるしのである。
以−トのごとき構成にＪ５い〜（、前述の第２スライド
デープル９上にワークを固定し、他方、ホルダー８５に
はワークの孔等の加−１ニ部に対応覆る（ｄｌ削工具を
装着し、必要によりラップ剤を加］二部に供給りると共
に揺動レバー７１を操作し−Ｃ研削」−貝をワークの加
工部に係合した後に、回転駆動装置５コによりスピン１
〜ル６５を回転けしめると、ｒｔｌｌ削コニ具は微小偏
心量を半径どして偏心回動（微振９ｊ）シてＲｉ密なω
１削１４」ニ加］、が行なわれることとなる。このどさ
、１０１削工具の水）Ｉ’ ７’ｊ向の変位に追従、順
応してワークが迅速に対応す″ることとなり、ワークの
加］二部と（０１削工具の方向性が多少ずれている。Ｊ
、うな場合であっても、スライドデープルか円滑【こ微
動、旋回りることにＪ二り自動的に修正され、正１ｉｉ
ｉな整合が？うなわれるものである。
デープル９上にワークを固定し、他方、ホルダー８５に
はワークの孔等の加−１ニ部に対応覆る（ｄｌ削工具を
装着し、必要によりラップ剤を加］二部に供給りると共
に揺動レバー７１を操作し−Ｃ研削」−貝をワークの加
工部に係合した後に、回転駆動装置５コによりスピン１
〜ル６５を回転けしめると、ｒｔｌｌ削コニ具は微小偏
心量を半径どして偏心回動（微振９ｊ）シてＲｉ密なω
１削１４」ニ加］、が行なわれることとなる。このどさ
、１０１削工具の水）Ｉ’ ７’ｊ向の変位に追従、順
応してワークが迅速に対応す″ることとなり、ワークの
加］二部と（０１削工具の方向性が多少ずれている。Ｊ
、うな場合であっても、スライドデープルか円滑【こ微
動、旋回りることにＪ二り自動的に修正され、正１ｉｉ
ｉな整合が？うなわれるものである。
上記のごとく、スピンドル６５を回転してｒＪＩ ｌ’
ｉ！１工具に微振動を与えて精密な研削仕上加工を行な
うに先立って、前ｊホのごとく、スピンドル６５に対し
て偏心盤９１を回動することにより、研削工具の振幅を
調節できるものである。したがって、ワークの加工部と
研削工具との係合時におレノるクリアランスに応じて研
ｉ’ｉｌＪ 工具の振幅を調ｕｉ〕りることにより、最
適の条件においで精密な研削仕上加工を行なうことがで
きるものである。
ｉ！１工具に微振動を与えて精密な研削仕上加工を行な
うに先立って、前ｊホのごとく、スピンドル６５に対し
て偏心盤９１を回動することにより、研削工具の振幅を
調節できるものである。したがって、ワークの加工部と
研削工具との係合時におレノるクリアランスに応じて研
ｉ’ｉｌＪ 工具の振幅を調ｕｉ〕りることにより、最
適の条件においで精密な研削仕上加工を行なうことがで
きるものである。
以上のごとき実施例の説明より理解されるよつ（こ、要
りるに本発明の片言は特Ｈ’１品＞ｌ（の範囲に記載の
とＪ３っであるから、仙削り只の振幅を、例えばワーク
の加工部と研削工具とのクリアランス等に応じＣ調節り
ることか（・さ、精密４τ仙削（１，１−加工を最適の
条件のもとに？ｊなうことができるものひある。
りるに本発明の片言は特Ｈ’１品＞ｌ（の範囲に記載の
とＪ３っであるから、仙削り只の振幅を、例えばワーク
の加工部と研削工具とのクリアランス等に応じＣ調節り
ることか（・さ、精密４τ仙削（１，１−加工を最適の
条件のもとに？ｊなうことができるものひある。
第１図は本発明に係る装置の正面図、第２図は平面図、
第３図は要部の拡大断面図である。
第３図は要部の拡大断面図である。
Claims (2)
- （１） 被、加工物の’Ｉ’ｉｌ＋蕾な研削付」ニげ
を行なう装置にして、加工部を備えた被加工物の上記加
工部と係合りる研削工具を備えた加工ヘッド装買を設（
プ、この加工ヘッド装置に対し前記研削工具を微振動自
在に設【プると共に微振動の振幅を調節自在に設けてな
ることを特徴とする超柘密研削装置。 - （２） 前記仙削］二貝は、加工ヘット装置における
回転軸に偏心位置調節自在に装着した偏心盤に偏心して
回転自在に支承されていることを特徴とする特許請求の
範囲（１）に記載の超精密研削装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10076482A JPH0230822B2 (ja) | 1982-06-14 | 1982-06-14 | Waakushijiteeburu |
| US06/478,324 US4563837A (en) | 1982-06-14 | 1983-03-24 | Ultra-precision grinding machine |
| KR1019830001202A KR880002335B1 (ko) | 1982-06-14 | 1983-03-24 | 초정밀 연삭기 |
| DE19833321208 DE3321208A1 (de) | 1982-06-14 | 1983-06-11 | Ultrapraezisionsschleifmaschine |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10076482A JPH0230822B2 (ja) | 1982-06-14 | 1982-06-14 | Waakushijiteeburu |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58217255A true JPS58217255A (ja) | 1983-12-17 |
| JPH0230822B2 JPH0230822B2 (ja) | 1990-07-10 |
Family
ID=14282567
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10076482A Expired - Lifetime JPH0230822B2 (ja) | 1982-06-14 | 1982-06-14 | Waakushijiteeburu |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0230822B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104858757A (zh) * | 2015-06-15 | 2015-08-26 | 新乡市振英机械设备有限公司 | 一种振动筛筛框抛光工装 |
| CN106181755A (zh) * | 2016-07-12 | 2016-12-07 | 邹敏 | 一种十字滑移装置 |
-
1982
- 1982-06-14 JP JP10076482A patent/JPH0230822B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104858757A (zh) * | 2015-06-15 | 2015-08-26 | 新乡市振英机械设备有限公司 | 一种振动筛筛框抛光工装 |
| CN106181755A (zh) * | 2016-07-12 | 2016-12-07 | 邹敏 | 一种十字滑移装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0230822B2 (ja) | 1990-07-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CZ290918B6 (cs) | Zařízení pro brouąení vzorků materiálu | |
| KR960010168A (ko) | 공구연마기 | |
| JPS58217255A (ja) | 超精密研削装置 | |
| US7121923B1 (en) | Dual position sharpening device | |
| JP4982853B2 (ja) | ラッピング工具ユニットおよびラッピング装置 | |
| US1430933A (en) | Cylinder grinding and reaming machine | |
| US6554291B2 (en) | Housing and hub for an apparatus for securing a workpiece to a rotatable machine member | |
| FI85113C (fi) | Foerfarande och anordning foer renovering av stift pao en borkrona. | |
| US4069624A (en) | Portable grinding machine for resurfacing cylinder head retainers | |
| US720912A (en) | Flat-surface grinding-machine. | |
| JP2018176362A (ja) | クーラント供給装置 | |
| US3710514A (en) | Apparatus for superfinishing of rotary crankpins of crankshafts | |
| JPS5919670A (ja) | 超精密研削装置 | |
| US4828394A (en) | Relating to vibratory machines | |
| US2619779A (en) | Grinder for rock drills | |
| US270365A (en) | Sylvania | |
| US1374267A (en) | Diamond-polishing machine | |
| US1213164A (en) | Method of polishing diamonds. | |
| JPS591139A (ja) | 超精密研削装置 | |
| US1922498A (en) | Method and machine for making wire-drawing dies, etc. | |
| GB1475902A (en) | Tool and cutter regrinding jig | |
| US1366932A (en) | Surface-grinder | |
| JPH1110536A (ja) | ツルーイング装置及び方法 | |
| JP4245987B2 (ja) | 研削加工装置 | |
| US986688A (en) | Hob-grinding machine. |