KR880002335B1 - 초정밀 연삭기 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

초정밀 연삭기

제 1 도는 본 발명에 의한 기계의 부분정면단면도.

제 2 도는 평면도.

제 3 도는 호울더의 확대 횡단면도.

제4(a)도와 제4(b)도는 작업공구와 가공물 사이의 조정기능을 설명하기 위여 나타낸 개략도.

제 5 도는 본 발명의 다른 실시예를 설명하기 위한 스핀들의 부분 개략도 단면도.

제 6 도는 본 발명의 또 다른 실시예의 지지대의 부분 개략단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 초정밀연삭기 2 : 배이스플레이트

5 : X테이블 7 : 제1원판형 슬라이드테이블

8 : Y테이블 9 : 제2원판형 슬라이드테이블

53 : 기계가공헤드장치 W : 가공물

본 발명은 가공물을 초정밀하게 다듬질 하기 위한 장치에 관한 것으로 특히 이하에서 주로 가공물의 홈, 오목부, 구멍등으로 불려질 가공부를 초정밀하게 다듬질하기 위한 장치에 관한 것이다.

일반적으로 복잡한 구멍, 홈 따위의 가공부를 갖는 금형물 따위는 방전기를 사용하여 가공한 후에 극도로 초정밀하게 가공 다듬질 된다. 종래에는 위에 언급한 정밀 다듬질가공이 초음파 연마기 등에 의해 수작업으로 행해졌기 때문에 상당히 비효율 적이며 그러한 가공이 균질하지 못한 결점을 갖고 있다. 더구나, 종래의 연삭기들에 있어, 가공물의 가공부와 연삭기등의 연삭 공구와의 방향에 약간의 차이가 있는 경우에 가공물의 가공부는 정확하게 가공될 수 없었다. 이것이 종래의 기술의 다른 문제점이다.

본 발명의 목적은 가공물의 가공부와 연삭공구와의 방향에 약간의 차이가 있을지라도 잘못 짝지워진 것을 자동적으로 바로 잡아서 초정밀 연삭작업을 효율적으로 수행하는 초정밀 연삭기를 만드는 것이다. 본 발명의 다른 목적은 가공물의 가공부와 연삭공구사이의 간격의 크기에 따라서 연삭공구의 진폭을 조정할 수 있는 초정밀 연삭기를 만드는 것이다. 본 발명의 또 다른 목적은 가공물의 가공부에 대한 연삭효율을 높이기 위해 주기적인 수직운동을 행할 수 있는 연삭공구를 갖고 있는 초정밀 연삭기를 만드는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 수평면상에서 가공물을 부드럽고 광범위하게 운동가능토록한 초정밀 연삭기를 만드는 것이다. 간단히 말해서, 본 발명의 위의 목적들과 여타의 목적들은 베이스 플레이트 윗쪽에 설치된 기계가 공헤드장치에 부착된 연삭공구가 수평면상에서 자유로 정확하게 진동할 수 있으며, 연삭공구와 맞물릴 수 있도록 택한 가공부를 갖고 있는 가공물이 베이스 플레이트에 놓여져서 수평면상에서, 임의 방향으로, 자유롭고 부드러운 이동이 가능한 초정밀 연삭기를 만듬으로써 성취된다. 본 발명에 따르면 연삭공구의 진폭은 편심장치에 의해 자유로 조정될 수 있으며, 연삭공구는 수직 방향으로 자유로이 진동가능하며 가공물을 지지하는 테이블은, X축과 Y축으로의 자유롭고 광범위한 운동이 가능하도록 설치되어 있다.

제1도를 참조하면, 본 발명에 따른 연삭기(1)을 보여주는데, 연삭기에는 X축방향(제1도에서 오른쪽에서 왼쪽방향)으로 뻗어 있는 한쌍의 가이드레일(4)이 연삭기(1)의 베이스 플레이트(3)에 설치되어 있으며 X테이블(5)이 가이드레일(4)상에 미끄럼 운동이 가능토록 지지되어 있다. X테이블(5)의 윗면에는 X테니블(5)의 운동방향과 수직인 Y축 방향으로 뻗어 있는 한쌍의 가이드레일(6)이 설치되어 있으며 Y테이블(8)은 위에서와 마찬가지로 가이드레일(6)상에 미끄럼 운동이 가능토록 지지되어 있다. 제1 원판형 슬라이드 테이블(7)이 수평면상에서 운동하며 자유로이 회전할 수 있도록 Y테이블(8)상에 설치되어 있다. 같은 방법으로 제2 원판형 슬라이드 테이블(9)이 수평면상에서 운동하며 자유로이 회전할 수 있도록 제1 슬라이드 테이블(7)상에 설치되어 있다. 다수의 보울(11)들이 굉장히 부드러운 운동과 회전을 위해서 Y테이블(8)과 제1 슬라이드 테이블(7)사이에 그리고 제1 슬라이드 테이블(7)과 제2 슬라이드 테이블(9)사이에 구름 가능토록 설치되어 있으며, 각각의 보울(11)은 적당한 간격을 가지고 리테이너(13)에 의해 유지되어 있다. 각 리테이너(13)의 중앙구멍(13a)에 설치되어 있는 레이디얼 베어링(15)은 제1(7) 제2 슬라이드 테이블(9)의 중앙 위치에 회전가능토록 지지되어있다. 그래서, 각 리테이너(13)가 레이디얼 베어링(15)과 접촉하게 되면 각 보울(11)들이 구름운동상태에서 미끄럼 운동상태로 바뀌어져서 슬라이드 테이블(7)과 (9)의 운동이 어렵게 된다.

결과적으로, 각 슬라이드 테이블의 부드러운 운동은 레이디얼 베어링(15)이 각 리테이너(13)와 접촉하지 않는 범위내에서만 확보된다. 그러나 슬라이드 테이블(7)과 (9)가 X, Y테이블(5)와(8)상에 지지되어 있기 때문에 가공소재의 가공위치를 바꾸기 위하여 슬라이드 테이블(7)과(9)를 광범위하게 이동시켜야만 되는 경우에라도 그것들을 부드럽게 운동시킬 수 있으며, 제1, 제2 슬라이드 테이블(7)과(9)와 각각의 리테이너(13)간의 위치관계는 그들의 정확한 위치를 그르침 없이 광범위한 조작에서도 유지된다.

제1 슬라이드 테이블(7)과 그 주위물들을 둘러싸고 있는 환상의 커버(17)는 볼트등에 의하여 상기한 제2 슬라이드 테이블(9)의 밑면에 고정되어 있다. 환상의 플레이트(21)는 환상의 스페이서(19)로 연결되어 커버(17)에 부착되어 있다. 이렇게 해서 제1, 제2 슬라이드 테이블(7), (9)등 등으로 먼지나 흙이 들어가는 것을 막을 수 있다. 여러개의 레이디얼 T-형 홈들(23)이 제2 슬라이드 테이블(9)의 윗면내에 형성되어 있다. 따라서 가공물(W)을 T-볼트등과 같은 고정용구를 사용하여 제2 슬라이드 테이블(9)의 윗면에 고정시켜 제2 슬라이드 테이블(9)상에 고정된 가공물을 임의의 수평면방향으로 자유롭고 부드러운 운동과 자유로운 회전 운동이 가능해진다.

실린더형 가이드 포스트(25)는 다수의 볼트에 의하여 상기한 베이스 플레이트(3)의 한 측면 부위 근처에 수직상으로 고정되어 있으며, 지지대(27)는 상기 지지대(25)에 설치되어서 수직상의 위치가 자유롭게 조정될 수 있다. 즉, 나사산부위(27a)가 지지대(27)의 하단면에 형성되어 있고 슬리이브너트(31)의 나사산이 나사산부위(27a)와 맞물리도록 되어 있으며, 이 슬리이브 너트들이 베이스플레이트(3)의 아랫면에 설치된 기어박스(29)내에 설치되어 회전운동만이 자유롭도록 되어 있다. 워엄휘일(33)이 위의 슬리이브 너트(31)들에 고정되어 한 몸체를 이루고 모터등에 적절히 결합되어 있는 워엄기어(35)가 상기 워엄휘일(33)과 맞물리도록 되어 있다. 상기한 가이드 포스트(25)의 상단면부에 고정된 키이부재(37)는 지지대(27)의 몸체내에 수직방향으로 형성되어 있는 키이홈(27b)과 맞물리도록 되어 있다. 이와 같이 하여 워엄기어(35)의 적절한 회전이 지지대(27)를 상하로 운동하게 한다.

파이프부재(41)는 다수의 베어링(39)들을 사용하여, 지지대(27)의 상단면에 회전가능토록 설치되어 있다. 미끄럼 가능한 상태로 가이드포스트(25)를 둘러싸고 있는 커버파이프(43)는 한 몸체로 위의 파이프부재(41)의 밑면상에 부착되어 있다. 보강을 위한 리브(47)들은 플레이트형 아암(45)의 윗면에 대향 가장자리를 따라 고정되어 있으며, 모우터와 같은 회전구동장치(51)는 브래키트(49)에 의해 후단면에 설치되어 있다. 기계가공헤드장치(53)는 아암(45)의 단부에 설치되어 있다. 이와 같이 하여, 기계가공헤드장치(53)와 그 주위물들은 일체가 되어 상기한 지지대(27)의 상승과 하강에의해 수직운동을 하게 된다.

기계가공헤드장치(53)는 다음과 같이 구성되어 있다. 즉, 회전식튜브(57)가 다수의 베어링들로 아암(45)의 단부에 고정되어 있는 슬리이브(55)내에서 회전운동만이 가능토록 지지되어 있으며, 풀리(59)는 한 몸체로 회전식튜브(57)의 윗부분에 부착되어 있다. 회전구동장치(51)에 설치되어 있는 구동풀리(61)에 감겨져 있는 벨트(63)는 풀리(59)에 감겨서 설치된다. 또 회전식튜브(57)를 상하로 수직 관통하는 스핀들(65)이 회전식튜브(57)에 지지되어 있어 스핀들이 축방향으로만 자유로운 미끄럼운동이 가능토록 되어 있다. 다시말해, 축상의 키홈(65a)이 스핀들(65)의몸체에 형성되어 있어, 회전식튜브(57)상에 형성되어 있는 키이(67)가 이 키이홈(65a)과 맞물리도록 되어 있다. 그래서 스핀들(65)은 회전식튜브(57)과 일치가 되어 회전하며 스핀들은 축방향으로의 운동만이 자유로이 행해진다.

튜브형 캡(69)이 회전만이 가능토록 다수의 베어링들을 통하여 스핀들(65)의 상단에 부착되어 있다. 핀(73)을 통해 스윙레버(71)에 피붓(pivot)상태로 설치되어 있는 커플링 플레이트(75)〔제 2 도 참조〕는 캡(69)에 연결되어 있다. 스윙레버(71)의 몸체는 아암(45)에 수직상으로 부착되어 있는 브래키트(77)에 피봇상태로 설치되어 있다. 기계가공헤드장치(53)의 무게와 균형을 유지하기 위하여 사용하는 균형 스프링의 스프링부재(83)는 스윙레버(71)의 후단부와, 가이드 포스트(25)에 고정되어 있는 브래키트(79)에 대한 수직상의 위치를 임의로 조정 가능토록 설치되어 있는 나사산을 갖는 봉부재(81)와의 사이에 부착되어 있다. 이래서, 스핀들(65)은 스프링부재(83)의 작용에 의해 항상 위로 올려진 상태이며, 스핀들은 스프링부재(83)의 바이어스(bia s )힘에 대해 스윙레버(71)를 동작시켜 내려가게 된다. 이러한 경우에 스윙레버(71)의 끝에 적절하게 여러개의 추나 각기 다른 추들을 매달아서(도시되지 않음) 스프링부재(83)의 바이어스 힘에 의해 아래로 내리는 것이 가능하다.

캠 피동체(87)는 핀(85)를 통해 스윙레버(71)의 적절한 위치에 회전가능한 상태로 부착되어 있다. 캠(91)이 회전하면서 위의 캠 피동체(87)의 아랫쪽과 접촉하며, 이 캠(91)은 아암(45)에 부착되어 있는 모우터등의 회전구동장치(89)의 출력축에 연결되어 있다. 이래서, 회전구동장치(89)에 의해 캠(91)이 회전하게 되면 스윙레버(71)가 주기적인 수직운동을 반복하게 되어 이에 따라 스핀들(65)이 수직상의 운동을 하게 된다. 결국 회전구동장치(89)이 회전을 적절히 조절함으로서 진동의 싸이클이나 주기를 알맞게 조절할 수 있다. 캠 피동체(87)와 캠(91)중에 하나 혹은 양자를 다, 종래의 방법대로, 분리 제거가능토록 설치함으로써 스핀들(65)의 수직운동폭과 하사점의 위치를 변화시키는 것이 가능하여 가공물의 두께나 가공부의 홈등과 같은 곳의 깊이 변화도 해결할 수 있다. 스핀들(65)의 수직이동을 위한 기구는 상기한 구조물에만 국한된 것은 아니다. 예컨대, 실린더형 캠 따위를 풀리(59)와 슬리이브(59)사이에 넣거나, 또 다른 여러 구조물들을 채택할 수 있다. 회전구동장치(51)를 스핀들(65)의 운동을 위한 구동원으로도 사용할 수 있다.

호울더(93)는 스핀들(65)의 하단부에 부착되어 있다. 이 호울더(93)는 숫돌이나 공구강, 콜레트 척(collet chuck)등의 연삭공구를 붙잡아주는 척을 갖는 연삭공구를 붙잡아 주는데 목적이 있다. 호울더(93)의 구성은 제 3 도에 나타나 있다. 즉, 플랜지(95a)가, 고정용나사등을 사용하여 스핀들(65)의 몸체의 하단부에 일체로 고정시킨 슬리이브(95)의 아랫부에 수평으로 형성되어 있으며 활모양의 구멍(95b)들이 플랜지(95a)의 여러부위에 형성되어 있다. 편심구멍(95c)이 슬리이브(95)의 아랫면 중앙에 스핀들(65)의 축방향 중심에 대해 약간 편심된 상태로 형성되어 있다. 편심판(99)은 활모양구명(95b)들을 관통하는 다수의 볼트(97)로 슬리이브(95)의 아랫면에 부착되어 있어서 편심판(99)의 회전위치를 자유로이 조정할 수 있게 되어 있다. 편심구멍(95c)과 결합되어 있는 편심 하이트(height) (99a)는 위의 편심판(99)의 위쪽에 형성되어 있다. 이와같이, 편심판(99)이 스핀들(65)의 축방향 중심에 대해 편심된 상태로 설치되어 있어서, 볼트(97)들을 푼 후에 편심판(99)을 적절히 회전시켜서 스핀들(65)의 축방향 중심에 대한 편심판(99)의 축방향 중심의 위치를 조정할 수 있다.

베어링 슬리이브(101)는 다수의 볼트들로 편심판(99)의 아랫면에 일체로 고정설치되어 있으며 호울더 블럭(105)은 편심베어링(103)으로 위의 베어링 슬리이브(101)안에 회전가능토록 지지되어 있다. 편심 베어링(103)은, 내측 레이스(race)의 내측 홀드(hold)의 축방향 중심이 편심판(99)의 축방향 중심에 대해 약간 편심되도록 구성되어 있다. 그래서, 호울더블럭(105)의 축방향 중심이 편심판(99)의 축방향 중심에 대해 편심되어 있다. 연삭공구등을 붙잡아주기 위한 호울더기구(107)가 다수의 볼트들로 위의 호울더블럭(105)의 아랫면에 일체로 부착되어 있다. 바깥쪽반경 방향으로, 수평면상으로 돌출되어 있는 핀(109)은 호울더블럭(105)의 아랫단부에 고정되어 있다. 핀(109)은 베어링으로 슬리이브(95)에 회전가능토록 지지된 튜브형의 커버(111)의 아랫단에 수직방향으로 형성돼 있는 슬리트(111a)와 결합한다. 상기 커버(111)도 수평면 상으로 돌출되어 있는 돌출핀(113)〔제 1 도 참조〕과 결합하여 돌출핀(113)은 아암(45)에 달려있는 브래키트(115)의 수직방향 슬리트(115a)와 결합한다. 이렇게해서 스핀들(65)과 그 주위물들을 둘러싸고 있는 커버(111)와 호울더블럭(105)의 회전운동이 제한을 받게 된다.

위의 구조물에서, 스핀들(65), 편심판(99) 및 호울더블럭(105)의 중심들을 각각 순서대로 문자 O, P 및 Q로 나타내기로 하고, 축방향중심 O와 Q사이의 간격은 스핀들(65)에 대한 편심판(99)의 위치를 조정함으로써 조정되어져서 스핀들(65)의 회전에 따른 호울더블럭(105)의 편심회전의 반경(미세진동의 진폭)을 조정하는 것이 가능케된다. 작업시에, 가공물(W)은 제2 슬라이드 테이블(9)위에 고정되고, 가공물의 구멍등의 가공부에 따른 작업공구가 호울더(93)에 설치되며, 스윙레버(71)를 동작시켜 작업공구가 가공물의 가공부와 맞물리도록 하고 동시에 필요한대로 연마제를 공급한다. 회전구동장치(51)에 의해 스핀들(65)이 회전하고나서 회전구동장치(89)가 회전한다. 이에 의해 작업공구가 미세편심량에 상당하는 반경을 갖는 회전운동(미세진동)을 시작하고 동시에 수직운동을 하게 된다.

제 4(a) 도와 제 4(b) 도에서 보여지는 것 같이, 작업공구(R)가 화살표 A에 의해 표시된 방향으로 반시계 방향으로 미세반경을 갖는 편심회전운동을 수행하는데 있어, 작업공구(R)부위가 가공물(W)의 가공부(Wa)의 위치에 일치하지 않고 그들이 B점에서 접하는 경우, 가공물(W)는 자동적으로 화살표 C에 의해 표시된 방향으로 회전되어서 작업공구(R)와 가공물(W)의 가공부(Wa)의 방향을 일치시킴으로 자동적으로 정확한 동위치 상태를 얻게된다. 이에 힘입어, 초기 설정시 작업공구(R)부가 가공물 W의 가공부(Wa)방향으로 정확하게 맞춰지지 않은 경우에도 자동적으로 조정되어 정확한 동위치 상태를 얻을 수 있다. 예를들어, 정방형의 횡단면을 갖는 작업공구를 사용하여 장방형의 홈을 연삭하는 경우에 있어 작업공구의 홈의 길이 방향에 수직한 방향으로의 편의(deviation)는 가공물이 일체가 되어 움직이기 때문에 말소되어 결국 작업공구는 위의 가공물의 홈길이 방향으로 미세진동하여 동시에 주기적인 수직운동을 행한다. 따라서 가공물을 홈의 길이방향으로 이동시킴으로, 작업공구에 의해 홈이 정밀하게 연삭되어진다. 가공물을 홈의 길이 방향으로 이동시키는데 있어, 가공물이 홈의 길이방향과 교차하는 방향으로 안내되어 졌을지라도, 전술한 바와같이, 가공물이 홈과 작업공구의 위치가 정확하게 일치되도록 약간 회전하게 된다. 이와같이하여 가공물의 가공부를 정밀하게 연삭하는 작업이 극도로 용이하게 행해질 수 있다.

위의 설명은 가공물(W)이 테이블과 한 몸체가 되어 수평면상의 운동과 회전운동을 행하는 경우에 대한 것이다. 그러나 상기한 것과 유사한 작용 효과를, 작업공구가 수평면상에서 자유로운 운동과 미세진동이 가능토록 설치시킴으로, 얻어낼 수 있다. 다시 말해서 예컨대 제 5 도에서 보여주는 것 처럼 수직운동이 가능한 스핀들을 상부 스핀들(65a)과 하부 스핀들(65b)로 나누어서 이들 상부와 하부 스핀들(65a)와(65b)을 코일스프링 같은 적절한 가요성 이음새(117)로 서로 연결시키는데 있어 하부 스핀들(65b)이 약간위 위치이동과 자유로운 비틀림이 가능토록 상부 스핀들(65a)에 설치되어 있다. 하부 스핀들은(65b)은, 아암(45)에 달려있으며 수직운동이 가능하도록 설치된 지지부재(119)와 보울(121)들에 의해 지지되어서 수평면상에서 자유로운 이동과 약간의 회전(비틀림)운동을 할 수 있다.

제 5 도에서 보여지는 구성물대로, 가공물의 가공부와 작업공구간의 위치를 맞추기 위하여 작업공구가 수평면상에서 이동하며 약간 회전하기 때문에 가공물의 중량이 매우 큰 경우에도 현저한 작업효과를 얻을 수 있다. 또 제 6 도에서 볼 수 있는 구성물도 가능하다. 즉 원형의 요상(凹狀)부재(123)가 지지대(27)의 윗쪽에 고정되어 있으며 판(125)을 갖고 있는 포울(127)이 일체가 되어 아암(45)의 아랫부에 아래방향으로 수직 설치되어 있다. 자유로운 구름운동이 가능토록 다수의 보울들을 갖고 있는 원판형의 리테이너(129)는 요상부재(123)내의 바닥에 배치되어 있으며 판(125)은 리테이너(129)위에 지지되어 있다. 환상커버부재(131)는 요상부재(123)에 일체로 고정되고, 다수의 보울들이 있는 환상의 리테이너(133)는 커버부재(131)와 판(125)의 사이에 끼워져서 아암(45)의 수평면상에서의 임의의 방향으로 이동과 회전이 가능토록하여 앞서 설명한 실시예의 경우와 같은 효과를 가져온다. 스프링부재(83)는 하중을 받는 상태에서 포울(127)과 스윙레버(71)를 연결하는 역활을 한다.

상기한 실시예로부터 이해되어지는 바와같이, 본 발명에 의하면, 가공물과 연삭공구의 방향이 정확하게 일치하지 않는 경우에라도 가공물이 순식간에 연삭공구의 편의량을 따라 맞춰 움직여서 가공물이 순식간에 연삭공구의 편의량을 따라 맞춰 움직여서 자동적으로 보정되므로 연삭공구와 가공물의 가공부가 정확히 일치되는 작업이 보장되어 높은 정밀도로 초정밀 연삭 다듬질 작업을 행하는 것이 극도로 용이하다. 따라서 초기설정을 반드시 정확하게 하지 않고 어느 정도 대강 설정하여도 되므로 이것이 작업능률을 개선시킨다. 게다가, 예를들어 가공물의 가공부와 연삭공구와의 간격등에 따라서 연삭공구의 진폭을 조정하는 것이 가능하므로 이로인해 양호한 조건아래서 정밀 연삭 다듬질 작업이 가능해진다. 더욱, 작업공구가 주기적으로 수직운동하기 때문에 절삭비(단위시간당 작업된 면적)가 더욱 개선되어 작업이 효율적으로 행해진다. 또 가공물 소재가 작업위치를 바꾸기 위하여 광범위하게 움직이는 경우, X와 Y테이블들이 움직이기 때문에 가공물의 부드럽고 광범위한 이동이 가능해진다.

본 발명의 바람직한 실시예를 설명하기 위한 특수 초정밀 연삭기의 상세한 기재를 통해, 당 분야에 숙련된 자들이 첨부된 청구범위에 의해서 한정된 본 발명의 정신과 범위를 벗어나지 않고도 본 발명의 방법과 장치등에 다양한 변형물을 만들 수 있다는 것은 명백하다.

Claims (8)

1. 베이스 플레이트, 상기 베이스 플레이트의 상방에 배치된 기계가공헤드장치에 부착되어 수평으로 미세진동 할 수 있도록 된 연삭공구로 구성되어, 상기 연삭공구는 상기 베이스 플레이트 위에 배치된 가공물의 가공부와 맞물리도록 되어 있고 상기 가공물은 어떠한 수평방향으로도 자유롭게 운동하고 자유롭게 회전할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 초정밀 연삭기.
2. 제 1 항에 있어서, 가공물은 이동이 자유롭도록 다수의 보울을 통해 상기 베이스 플레이트 위에 설치된 슬라이드 테이블상에 배치된 것을 특징으로 하는 초정밀 연삭기.
3. 제 1 항에 있어서, 연삭공구는 수평방향으로의 자유롭고 비교적 광범위한 운동이 가능토록 제공되어 있는 것을 특징으로 하는 초정밀 연삭기.
4. 제 1 항에 있어서, 연삭공구를 갖춘 상기 기계가공헤드장치를 지지하는 상기 아암을 이동자재로 지지하는 것을 특징으로 하는 초정밀 연삭기.
5. 제 1 항에 있어서, 연삭공구가 연삭공구의 미세진동의 진폭을 자유로이 조정할 수 있도록 설치된 것을 특징으로 하는 초정밀 연삭기.
6. 제 5 항에 있어서, 연삭공구가 상기 기계가공헤드장치의 회전측에 붙어있는 편심판에 대해 편심되어 회전토록 설치되어 편심위치를 자유로이 조정할 수 있도록 설치된 것을 특징으로 하는 초정밀 연삭기.
7. 제 1 항에 있어서 연삭공구가 주기적인 수직운동을 행하도록 제공된 것을 특징으로 하는 초정밀 연삭기.
8. 가공부를 갖고 있는 가공물을 받아들이기 위한 원판형 슬라이드 테이블, 상기 가공물의 가공부와 맞물려 수평면상에서 자유로이 미세진동토록된 연삭공구, 상기 연삭공구를 붙잡기 위해 상기 가공물의 위쪽에 설치된 기계가공헤드장치, 상기 슬라이드 테이블을 지지하고 Y축방향으로의 이동이 자유롭도록 제공된 Y테이블, 및 상기 Y테이블을 지지하고 X축방향으로의 이동이 자유롭도록 제공된 X테이블로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 가공물을 정밀하게 연삭하는 초정밀 연삭기.

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