JPS58212824A - 沸騰伝熱面の製造方法 - Google Patents
沸騰伝熱面の製造方法Info
- Publication number
- JPS58212824A JPS58212824A JP9306682A JP9306682A JPS58212824A JP S58212824 A JPS58212824 A JP S58212824A JP 9306682 A JP9306682 A JP 9306682A JP 9306682 A JP9306682 A JP 9306682A JP S58212824 A JPS58212824 A JP S58212824A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grooves
- thin
- heat transfer
- solder
- transfer surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23P—METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; COMBINED OPERATIONS; UNIVERSAL MACHINE TOOLS
- B23P15/00—Making specific metal objects by operations not covered by a single other subclass or a group in this subclass
- B23P15/26—Making specific metal objects by operations not covered by a single other subclass or a group in this subclass heat exchangers or the like
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は沸騰伝熱面の製造方法に係シ、特に、直交溝付
沸騰伝熱面の高能率加工を志向した沸騰伝熱面の製造方
法に関するものである。
沸騰伝熱面の高能率加工を志向した沸騰伝熱面の製造方
法に関するものである。
まず、本発明の対象としている沸騰伝熱面と、その製造
方法を、第１図を使用して説明する。
方法を、第１図を使用して説明する。
第１図は、従来の直交溝付沸騰伝熱面の一例を示す拡大
斜視図である。この第１図において、１は金属（詳細後
述）の伝熱板、３は伝熱板１の上面に穿設された複数本
の表情、４は伝熱板１の下面に前記表情３の方向と直交
して穿設された複数本の裏溝である。前記表情３および
裏溝４のそれぞれの溝深さの合計は、伝熱板１の板厚以
上の寸法になるように加工されているため、表情３と裏
溝４との交点に開孔（図示せず）が生じる。このような
伝熱板１を複数枚（第１図の例では２枚）積層して接合
しく詳細後述）、これをヒータブロック２に接合するこ
とにより、第１図に示すような、直交溝付沸騰伝熱面が
作られる。
斜視図である。この第１図において、１は金属（詳細後
述）の伝熱板、３は伝熱板１の上面に穿設された複数本
の表情、４は伝熱板１の下面に前記表情３の方向と直交
して穿設された複数本の裏溝である。前記表情３および
裏溝４のそれぞれの溝深さの合計は、伝熱板１の板厚以
上の寸法になるように加工されているため、表情３と裏
溝４との交点に開孔（図示せず）が生じる。このような
伝熱板１を複数枚（第１図の例では２枚）積層して接合
しく詳細後述）、これをヒータブロック２に接合するこ
とにより、第１図に示すような、直交溝付沸騰伝熱面が
作られる。
上記した伝熱板１には、通常、銅、アルミニウムなどの
熱伝導率の良い金属材料、あるいはオーステナイトステ
ンレス鋼のように耐食性のある金属材料が使用されるが
、この伝熱板１に細い（たとえば幅０．３ ｍ ）浅溝
３．裏溝４を多数本加工する際に、フライス加工や外周
スライサが使用されていた。しかし上記材料は切削性が
悪いため加工能率がきわめて悪く、また工具の幅を薄く
しなければならないが、溝形状に合わせて前記工具をド
レッシングするのが難しく、加工能率をさらに低下させ
る原因にもなっていた。
熱伝導率の良い金属材料、あるいはオーステナイトステ
ンレス鋼のように耐食性のある金属材料が使用されるが
、この伝熱板１に細い（たとえば幅０．３ ｍ ）浅溝
３．裏溝４を多数本加工する際に、フライス加工や外周
スライサが使用されていた。しかし上記材料は切削性が
悪いため加工能率がきわめて悪く、また工具の幅を薄く
しなければならないが、溝形状に合わせて前記工具をド
レッシングするのが難しく、加工能率をさらに低下させ
る原因にもなっていた。
一方、前記工具の摩耗、破損などによシ溝形状がばらつ
く。さらに、溝加工された伝熱板１を積層して接合する
方法はいろいろあるが、通常、はんだ付けで行なわれて
いる。しかし、その接合時に余分のはんだが、浅溝３．
裏溝４を埋めるという問題点があり、前記溝形状のばら
つきと併せて、直交溝付沸騰伝熱面の伝熱性能を低下さ
せてしまうという欠点があった。
く。さらに、溝加工された伝熱板１を積層して接合する
方法はいろいろあるが、通常、はんだ付けで行なわれて
いる。しかし、その接合時に余分のはんだが、浅溝３．
裏溝４を埋めるという問題点があり、前記溝形状のばら
つきと併せて、直交溝付沸騰伝熱面の伝熱性能を低下さ
せてしまうという欠点があった。
本発明は、上記した従来技術の欠点を除去して、伝熱性
能の優れた高品質の沸騰伝熱面を高能率に加工すること
ができる沸騰伝熱面の製造方法の提供を、その目的とす
るものである。
能の優れた高品質の沸騰伝熱面を高能率に加工すること
ができる沸騰伝熱面の製造方法の提供を、その目的とす
るものである。
本発明の構成は、両面に、はんだ薄膜を形成した複数枚
の金属薄板を設け、この金属薄板のそれぞれに、高エネ
ルギ密度をもつビーム加工によって、断面形状がテーパ
状で、互いに平行な貫通スリット状の溝を穿設したのち
、前記溝の方向が互いに直交するように前記金属薄板を
積層してヒータブロック上に載置し、前記はんだ薄膜に
よって全体を接合することによシ、沸騰伝熱面を製作す
る沸騰伝熱面の製造方法にある。
の金属薄板を設け、この金属薄板のそれぞれに、高エネ
ルギ密度をもつビーム加工によって、断面形状がテーパ
状で、互いに平行な貫通スリット状の溝を穿設したのち
、前記溝の方向が互いに直交するように前記金属薄板を
積層してヒータブロック上に載置し、前記はんだ薄膜に
よって全体を接合することによシ、沸騰伝熱面を製作す
る沸騰伝熱面の製造方法にある。
さらに詳しくは、金属薄板の両面にはんだ薄膜を施した
ものに、電子ビーム加工あるいはレーザビーム加工によ
りテーパ状の断面を有する貫通スリット状の溝を穿設し
、この貫通スリット状の溝付金属薄板２枚を、前記溝の
狭量口側が相接し、且つ溝方向が互いに直交するように
組合せたもの、もしくは、対向する溝が互いに直交する
ように前記組合せを複数組積層したものをヒータブロッ
ク上に接合することにより、沸騰伝熱面を製造するよう
にしたものである。
ものに、電子ビーム加工あるいはレーザビーム加工によ
りテーパ状の断面を有する貫通スリット状の溝を穿設し
、この貫通スリット状の溝付金属薄板２枚を、前記溝の
狭量口側が相接し、且つ溝方向が互いに直交するように
組合せたもの、もしくは、対向する溝が互いに直交する
ように前記組合せを複数組積層したものをヒータブロッ
ク上に接合することにより、沸騰伝熱面を製造するよう
にしたものである。
以下本発明を実施例によって説明する。
第２図は、本発明の一実施例に係る沸騰伝熱面の製造方
法によって製作した直交溝付沸騰伝熱面を示す拡大斜視
図である。
法によって製作した直交溝付沸騰伝熱面を示す拡大斜視
図である。
この第２図を使用して、本発明に係る直交溝付沸騰伝熱
面と、これの製造方法の概要を説明すると、５は、いず
れも、互いに平行な貫通スリット状で、断面形状が、テ
ーパ状の溝７をビーム加工によって穿設した（詳細後述
）金属薄板であり、これらの金属薄板５は、前記溝７の
狭量口側が対向し、且つ溝７の方向が互いに直交するよ
うに２枚組合され、さらに、この組合せは、対向する溝
７が互いに直交するように２組積１（合計４枚）される
（詳細後述）。そしてこの積層された金属薄板５を、純
銅のヒータブロック２上へ載置して一体に接合すること
によって、前記直交溝付沸騰伝熱面が得られる。
面と、これの製造方法の概要を説明すると、５は、いず
れも、互いに平行な貫通スリット状で、断面形状が、テ
ーパ状の溝７をビーム加工によって穿設した（詳細後述
）金属薄板であり、これらの金属薄板５は、前記溝７の
狭量口側が対向し、且つ溝７の方向が互いに直交するよ
うに２枚組合され、さらに、この組合せは、対向する溝
７が互いに直交するように２組積１（合計４枚）される
（詳細後述）。そしてこの積層された金属薄板５を、純
銅のヒータブロック２上へ載置して一体に接合すること
によって、前記直交溝付沸騰伝熱面が得られる。
第３〜５図は、第２図に係る直交溝付沸騰伝熱面の製造
方法を説明するためのものであり、第３図は、両面に、
はんだ薄膜を形成した全極薄板を示す部分斜視図、第４
図は、第３図に係る金属薄板に、ビーム加工によって、
貫通スリット状の溝を穿設している状態を示す部分斜視
図、第５図は、第４図のＡ−Ａ断面の部分拡大断面図で
ある。
方法を説明するためのものであり、第３図は、両面に、
はんだ薄膜を形成した全極薄板を示す部分斜視図、第４
図は、第３図に係る金属薄板に、ビーム加工によって、
貫通スリット状の溝を穿設している状態を示す部分斜視
図、第５図は、第４図のＡ−Ａ断面の部分拡大断面図で
ある。
まず、第３図に示すように、両面にはんだ薄膜６を形成
した金属薄板５を準備する。
した金属薄板５を準備する。
本実施例においては、この金属薄板５は、板厚０．５簡
の純銅板であり、はんだ薄ｌ１４６は、めっきなどの方
法によって形成した膜厚的４０μｍのものである。
の純銅板であり、はんだ薄ｌ１４６は、めっきなどの方
法によって形成した膜厚的４０μｍのものである。
この金属薄板５に、第４図に示すよりに、互いに平行か
貫通スリット状の溝７を、電子ビーム加工、レーザビー
ム加工などの、高エネルギ密度をもつビーム加工によっ
て穿設する。９は、前記した電子ビームのビームである
。このビーム加工の際、溝７を金属薄板５の端から端ま
で穿設すると、前記金属薄板５が短冊状に切離されてし
まって、後述する積層作業上不都合を生じるので、その
端部を残して穿設する。
貫通スリット状の溝７を、電子ビーム加工、レーザビー
ム加工などの、高エネルギ密度をもつビーム加工によっ
て穿設する。９は、前記した電子ビームのビームである
。このビーム加工の際、溝７を金属薄板５の端から端ま
で穿設すると、前記金属薄板５が短冊状に切離されてし
まって、後述する積層作業上不都合を生じるので、その
端部を残して穿設する。
このように溝加工にビーム加工を適用することによシ、
通常の切削工具のような摩耗、破損がないので、溝形状
のばらつきがほとんどないこと、前記ビームは電磁コイ
ルあるいは光学レンズなどにより微細収束できるので、
きわめて細くて深い溝が切れること、溝形状を容易に調
節できること、被加工材（本実施例においては金属薄板
５）の機械的性質には依存せず高能率な加工ができるこ
と、などの利点がある。さらに、溝部分の材料は蒸気と
なって排出されるので、後述する積層作業時に、余分の
はんだが溝７を埋めるという不都合は生じない。
通常の切削工具のような摩耗、破損がないので、溝形状
のばらつきがほとんどないこと、前記ビームは電磁コイ
ルあるいは光学レンズなどにより微細収束できるので、
きわめて細くて深い溝が切れること、溝形状を容易に調
節できること、被加工材（本実施例においては金属薄板
５）の機械的性質には依存せず高能率な加工ができるこ
と、などの利点がある。さらに、溝部分の材料は蒸気と
なって排出されるので、後述する積層作業時に、余分の
はんだが溝７を埋めるという不都合は生じない。
穿設された溝７の詳細は、第５図に示すように、ビーム
加工の特性として、その断面形状がビーム入射側（第５
図において上側）で広い広間ロアａとなシ、出口側で狭
い挟間ロアｂとなるテーパ状になる。
加工の特性として、その断面形状がビーム入射側（第５
図において上側）で広い広間ロアａとなシ、出口側で狭
い挟間ロアｂとなるテーパ状になる。
本実施例においては、前記した、その両面に４０μｍの
はんだ薄膜６を形成した板厚０．５■の純銅の金属薄板
５に、電子ビーム加工によって、広開ロアａの幅０．３
ｍｍ 、挟間ロアｂの幅０．１ｍｍノ溝７を０．３
ｗｓのピッチで穿設した。この電子ビーム加工の条件は
、加速電圧１２０ｋＶ、ビーム電流１０ｍＡ、試料送シ
速度（金属薄板５の送シ速度）３ｍ／ｓである。この条
件での加工時間は、たとえば、５０Ｗ＋四方の金属薄板
５に前記溝７を加工するのに約３０分であり、従来の７
ライス加工による方法にくらべて約１／４であった。
はんだ薄膜６を形成した板厚０．５■の純銅の金属薄板
５に、電子ビーム加工によって、広開ロアａの幅０．３
ｍｍ 、挟間ロアｂの幅０．１ｍｍノ溝７を０．３
ｗｓのピッチで穿設した。この電子ビーム加工の条件は
、加速電圧１２０ｋＶ、ビーム電流１０ｍＡ、試料送シ
速度（金属薄板５の送シ速度）３ｍ／ｓである。この条
件での加工時間は、たとえば、５０Ｗ＋四方の金属薄板
５に前記溝７を加工するのに約３０分であり、従来の７
ライス加工による方法にくらべて約１／４であった。
次に、上述の方法によって溝加工した金属薄板５を、溝
７の狭量ロアｂ側が対向し、且つ溝７の方向が互いに直
交し、溝７の交点に開孔８（第２図参照）を生ずるよう
にして２枚組合せ、さらに、対向する溝７が互いに直交
するように前記組合せ熱することにより、前記はんだ薄
膜６によって全体を接合する。その後、金属薄板５の端
部の溝未加工部分を、たとえば外周スライサによって切
断することによシ、第２図に示すような、直交溝付沸騰
伝熱面が製造される。
７の狭量ロアｂ側が対向し、且つ溝７の方向が互いに直
交し、溝７の交点に開孔８（第２図参照）を生ずるよう
にして２枚組合せ、さらに、対向する溝７が互いに直交
するように前記組合せ熱することにより、前記はんだ薄
膜６によって全体を接合する。その後、金属薄板５の端
部の溝未加工部分を、たとえば外周スライサによって切
断することによシ、第２図に示すような、直交溝付沸騰
伝熱面が製造される。
なお、本実施例においては、金属薄板５の材質に純銅を
使用したが、その材質は純銅に限るもの。
使用したが、その材質は純銅に限るもの。
ではなく、アルミニウム、オーステナイトステンレス鋼
などでもよいが、純銅を使用した方が、はんだ薄膜６が
形成し易く、また、純銅を使用した直交溝付沸騰伝熱面
は、他の金属板を使用したものより、その伝熱特性が優
れているという利点がある。
などでもよいが、純銅を使用した方が、はんだ薄膜６が
形成し易く、また、純銅を使用した直交溝付沸騰伝熱面
は、他の金属板を使用したものより、その伝熱特性が優
れているという利点がある。
さらに、本実施例においては、金属薄板５を、溝７の狭
量ロアｂ側が対向するように組合せたものを２組積層し
、溝７の広−ロアａ側が表面に出て、また広開ロアａ側
でヒータブロック２に接合するようにしたが、必ずしも
この積層方法にこだわるものではなく、たとえば、溝７
の広開ロアａと挟間ロアｂとか対向するように積層して
もよく、また金桟薄板５の積層枚数も４枚に限るもので
はない。しかし、本実施例のように積層することにより
、溝７の交点にできる開孔８の大きさを、内部の溝７の
大きさに比べである程度小さくするようにすれば、冷媒
の気泡が溝７の内部に適当な時間だけ保持されるため、
伝熱性能の優れた直交溝付沸騰伝熱面が得られる。
量ロアｂ側が対向するように組合せたものを２組積層し
、溝７の広−ロアａ側が表面に出て、また広開ロアａ側
でヒータブロック２に接合するようにしたが、必ずしも
この積層方法にこだわるものではなく、たとえば、溝７
の広開ロアａと挟間ロアｂとか対向するように積層して
もよく、また金桟薄板５の積層枚数も４枚に限るもので
はない。しかし、本実施例のように積層することにより
、溝７の交点にできる開孔８の大きさを、内部の溝７の
大きさに比べである程度小さくするようにすれば、冷媒
の気泡が溝７の内部に適当な時間だけ保持されるため、
伝熱性能の優れた直交溝付沸騰伝熱面が得られる。
以上説明した実施例によれば下記の効果がある。
（１）直交溝付沸騰伝熱面を、きわめて高能率に製作す
るととができる。
るととができる。
のけんだの流入、がきわめて少ないので、高品質の沸騰
伝熱面が得られる。
伝熱面が得られる。
以上詳細に説明したように本発明によれば、両面に、は
んだ薄膜を形成した複数枚の金属薄板を設け、この金属
薄板のそれぞれに、高エネルギ密度をもつビーム加工に
よって、断面形状がテーパ状で、互いに平行な貫通スリ
ット状の溝を穿設したのち、前記溝の方向が互いに直交
するように前記金属薄板を積層してヒータブロック上に
載置し、前記はんだ薄膜によって全体を接合するように
したので、伝熱性能の優れた高品質の沸騰伝熱面を高能
率に加工することができる、沸騰伝熱面の製造方法を提
供することができる。
んだ薄膜を形成した複数枚の金属薄板を設け、この金属
薄板のそれぞれに、高エネルギ密度をもつビーム加工に
よって、断面形状がテーパ状で、互いに平行な貫通スリ
ット状の溝を穿設したのち、前記溝の方向が互いに直交
するように前記金属薄板を積層してヒータブロック上に
載置し、前記はんだ薄膜によって全体を接合するように
したので、伝熱性能の優れた高品質の沸騰伝熱面を高能
率に加工することができる、沸騰伝熱面の製造方法を提
供することができる。
第１図は、従来の直交溝付沸騰伝熱面の一例を示す拡大
斜視図、第２図は、本発明の一実施例に係る沸騰伝熱面
の製造方法によって製作した直交溝付沸騰伝熱面を示す
拡大斜視図、第３〜５図は、第２図に係る直交溝付沸騰
伝熱面の製造方法を説明するだめのものであシ、第３図
は、両面に、はんだ薄膜を形成した金属薄板を示す部分
斜視図、第４図は、第３図に係る金属薄板に、ビーム加
工によって、貫通スリット状の溝を穿設している状態を
示す部分斜視図、第５図は、第４図のＡ−Ａ断面の部分
拡大断面図である。 ２・・・ヒータブロック、５・・・金属擁板、６・・・
はんだ薄膜、７・・・溝、７ａ・・・広開口、７ｂ・・
・狭量口０．８・・・開孔。 代理人 弁理士 福田幸作 （ほか１名） 隼 ｌ 目 茶 ２ 圓 暮 ３ 目 す 幕 ４ の Ａ 第 ６ 図
斜視図、第２図は、本発明の一実施例に係る沸騰伝熱面
の製造方法によって製作した直交溝付沸騰伝熱面を示す
拡大斜視図、第３〜５図は、第２図に係る直交溝付沸騰
伝熱面の製造方法を説明するだめのものであシ、第３図
は、両面に、はんだ薄膜を形成した金属薄板を示す部分
斜視図、第４図は、第３図に係る金属薄板に、ビーム加
工によって、貫通スリット状の溝を穿設している状態を
示す部分斜視図、第５図は、第４図のＡ−Ａ断面の部分
拡大断面図である。 ２・・・ヒータブロック、５・・・金属擁板、６・・・
はんだ薄膜、７・・・溝、７ａ・・・広開口、７ｂ・・
・狭量口０．８・・・開孔。 代理人 弁理士 福田幸作 （ほか１名） 隼 ｌ 目 茶 ２ 圓 暮 ３ 目 す 幕 ４ の Ａ 第 ６ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、両面に、はんだ薄膜を形成した複数枚の金属薄板を
設け、この金ＭＷ板のそれぞれに、高エネルギ密度をも
つビーム加工によって、断面形状がテーパ状で、互いに
平行な貫通スリット状の溝を穿設したのち、前記溝の方
向が互いに直交するように前記金属薄板を積層してヒー
タブロック上に載置し、前記はんだ薄膜によって全体を
接合することにより、沸騰伝熱面を製作することを特徴
とする沸騰伝熱面の製造方法。 ２、溝を穿設した２枚の金属薄板を、前記溝の狭量口側
が対向し、且つ前記溝の方向が直交するように組合せた
ものもしくは上記組合せたものを、その対向する溝が互
いに直交するように複数組積層したものをヒータブロッ
ク上に載置するようにしたものである特許請求の範囲第
１項記載の沸騰伝熱面の製造方法。 ３、 金属薄板の素材に純銅を使用するようにしたもの
である特許請求の範囲第１項記載の沸騰伝熱面の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9306682A JPS58212824A (ja) | 1982-06-02 | 1982-06-02 | 沸騰伝熱面の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9306682A JPS58212824A (ja) | 1982-06-02 | 1982-06-02 | 沸騰伝熱面の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58212824A true JPS58212824A (ja) | 1983-12-10 |
| JPH0366976B2 JPH0366976B2 (ja) | 1991-10-21 |
Family
ID=14072136
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9306682A Granted JPS58212824A (ja) | 1982-06-02 | 1982-06-02 | 沸騰伝熱面の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58212824A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5274920A (en) * | 1991-04-02 | 1994-01-04 | Microunity Systems Engineering | Method of fabricating a heat exchanger for solid-state electronic devices |
-
1982
- 1982-06-02 JP JP9306682A patent/JPS58212824A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5274920A (en) * | 1991-04-02 | 1994-01-04 | Microunity Systems Engineering | Method of fabricating a heat exchanger for solid-state electronic devices |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0366976B2 (ja) | 1991-10-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5583317A (en) | Multilayer laminate heat sink assembly | |
| US4269549A (en) | Method for drilling circuit boards | |
| US6022426A (en) | Multilayer laminate process | |
| WO2018191017A1 (en) | Integration of ultrasonic additive manufactured thermal structures in brazements | |
| EP0032931A1 (en) | Entry material and method for drilling circuit boards | |
| JPS6411392B2 (ja) | ||
| JPS58212824A (ja) | 沸騰伝熱面の製造方法 | |
| JPS6158450A (ja) | 回転電機用非晶質金属コアの加工方法 | |
| JP2024510114A (ja) | 金属基板への金属箔スタックのレーザ溶接 | |
| JP7275699B2 (ja) | 積層体及び積層体の製造方法 | |
| CN111065203B (zh) | 一种散热性能好的高端led线路板及其制备方法 | |
| JP7206609B2 (ja) | 金属積層体及び金属積層体の製造方法 | |
| JPS628303B2 (ja) | ||
| JPH0319393A (ja) | アルミニウム絶縁板の製造方法 | |
| JPS6218056A (ja) | 半導体冷却装置 | |
| JPS60162185A (ja) | 積層式熱交換器 | |
| JP2019176015A (ja) | 回路基板付きヒートシンク及びその製造方法 | |
| JPS6153638B2 (ja) | ||
| JP2000294123A (ja) | イオン源電極板の製造方法 | |
| JPS6015031A (ja) | 積層熱交換器の製作方法 | |
| JP2021188887A (ja) | ベーパーチャンバおよびベーパーチャンバの製造方法 | |
| JP2546069Y2 (ja) | 薄肉管の切断刃 | |
| JPS6125933Y2 (ja) | ||
| JPS63101033A (ja) | 熱伝達装置の製作方法 | |
| JPS6267843A (ja) | 半導体冷却装置 |