JPS63101033A - 熱伝達装置の製作方法 - Google Patents
熱伝達装置の製作方法Info
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- JPS63101033A JPS63101033A JP13809087A JP13809087A JPS63101033A JP S63101033 A JPS63101033 A JP S63101033A JP 13809087 A JP13809087 A JP 13809087A JP 13809087 A JP13809087 A JP 13809087A JP S63101033 A JPS63101033 A JP S63101033A
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Landscapes
- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、電子計算機用集積回路、サイリスタなどのパ
ワー半導体、超電導コイル等、高発熱密度材の冷却に適
した熱伝達装置の製作方法に関する。
ワー半導体、超電導コイル等、高発熱密度材の冷却に適
した熱伝達装置の製作方法に関する。
集積回路チップの沸騰冷却を促進する方法として、−辺
の長さが０．２〜２１程度の微細なトンネル状の空洞を
縦横に互いに交叉して幾層にも配置し、ある層に配置さ
れた多数め空洞群とそれに隣接する空洞群とは、該空洞
の交叉点に設けられた開口によって互いに連結している
多孔性を有する熱伝達装置が特開昭６０−２２９３５３
号公報に開示されている。この熱伝達装置は、非常に高
い沸騰熱伝達率を有するため、集積回路チップなどの高
発熱密度部材の冷却には最適なものであるが、空洞群を
加工する際の生産性については配慮されていなかった。
の長さが０．２〜２１程度の微細なトンネル状の空洞を
縦横に互いに交叉して幾層にも配置し、ある層に配置さ
れた多数め空洞群とそれに隣接する空洞群とは、該空洞
の交叉点に設けられた開口によって互いに連結している
多孔性を有する熱伝達装置が特開昭６０−２２９３５３
号公報に開示されている。この熱伝達装置は、非常に高
い沸騰熱伝達率を有するため、集積回路チップなどの高
発熱密度部材の冷却には最適なものであるが、空洞群を
加工する際の生産性については配慮されていなかった。
上記従来技術は、空洞群を加工する際の生産性について
は配慮されておらず５例えば切削加工を用いて空洞を一
体一体加工する程度のことしか考えられていない。この
ため量産が困稟で、高価となるなどの欠点があった。
は配慮されておらず５例えば切削加工を用いて空洞を一
体一体加工する程度のことしか考えられていない。この
ため量産が困稟で、高価となるなどの欠点があった。
本発明の目的は、多孔性を有する伝熱体を安価にしかも
大量に生産することのできる熱伝達装置の製作方法を得
ることにある。
大量に生産することのできる熱伝達装置の製作方法を得
ることにある。
上記目的を達成するため、本発明の第１の特徴は、平板
に平行な多数の長孔を形成して多孔板を製作し、この多
孔板を長孔の方向が互いに交叉するように複数枚積層し
て接合することにある。
に平行な多数の長孔を形成して多孔板を製作し、この多
孔板を長孔の方向が互いに交叉するように複数枚積層し
て接合することにある。
本発明の第２の特徴は、平板に平行な多数の長孔を形成
して縁付多孔板を製作し、この縁付多孔板を長孔の方向
が互いに交叉するように複数枚積層して接合し、その後
前記縁付多孔板の縁部を切断して積層伝熱装置を製作す
ることにある。
して縁付多孔板を製作し、この縁付多孔板を長孔の方向
が互いに交叉するように複数枚積層して接合し、その後
前記縁付多孔板の縁部を切断して積層伝熱装置を製作す
ることにある。
本発明の第３の特徴は、実質的に平行な多数の細長い空
洞群を一つの周単位として、該空洞群が該空洞の長手方
向が互いに交叉するように熱の伝わる方向に複数層設け
られ、該各層の空洞群とそれに隣接する空洞群とは該空
洞壁に設けられた多数の開孔群で連通し、かつ該空洞群
の端面が液中に開放している熱伝達装置を製作する方法
において、実質的に平行な多数の長孔が形成された多孔
板を製作し、この多孔板を長孔の長手方向が互いに交叉
するように複数枚積み重ね、それぞれの多孔板と該多孔
板に隣接する多孔板とを接合することにある。
洞群を一つの周単位として、該空洞群が該空洞の長手方
向が互いに交叉するように熱の伝わる方向に複数層設け
られ、該各層の空洞群とそれに隣接する空洞群とは該空
洞壁に設けられた多数の開孔群で連通し、かつ該空洞群
の端面が液中に開放している熱伝達装置を製作する方法
において、実質的に平行な多数の長孔が形成された多孔
板を製作し、この多孔板を長孔の長手方向が互いに交叉
するように複数枚積み重ね、それぞれの多孔板と該多孔
板に隣接する多孔板とを接合することにある。
上記本発明によれば、平板に長孔を形成して多孔板を形
成し、これを積層するだけで、縦横に幾層にもトンネル
状の空洞を内部に有する高い沸騰熱伝達率をもつ多孔性
の伝熱体を容易でかつ、安価に、しかも大量生産するこ
とができる。
成し、これを積層するだけで、縦横に幾層にもトンネル
状の空洞を内部に有する高い沸騰熱伝達率をもつ多孔性
の伝熱体を容易でかつ、安価に、しかも大量生産するこ
とができる。
以下、本発明の第１の実施例を第１図〜第４図を用いて
説明する。
説明する。
第１図は、帯状の薄板をスリット状に打ち抜き、長孔を
加工する工程を示したものである。打ち抜き加工部に雄
型の上下運動と連動して連続的に送られてきた帯状の薄
板１は、打ち抜き部で雄型３と雌型２とを薄板を貫通さ
せて噛み合わすことにより、うね６及びみみ（縁部）７
を残して、多数の互いに平行な長孔５が加工される。次
に、第２図に示すように多数の長孔５が加工された帯を
一定の長さに切断した多孔板８を、長孔５の長手方向が
互いに交叉するように複数枚積み重ね（第３図）、それ
ぞれの多孔板８どうしを例えば拡散接合、半田接合のよ
うな金属的な接合法を用いて接合する。さらに、この接
合構造物の周囲に存在するみみ７を例えば放電加工、ワ
イヤーカットのような方法で、空洞５の端面を目詰まり
させないように切断し、第４図に示す多孔性を有する熱
伝体１０を得る。このようにして得られた伝熱体１０は
発熱体１２に接合される。前記伝熱体１０の内部には、
縦横に幾層にも積み重ねられたトンネル状の空洞５′が
多数形成され、かつそれぞれの層をなす空洞群間は開孔
９によって連結されたものとなる。このような縦横に幾
層にも積み重ねられ “たトンネル状の空洞群と互い
の層の空洞群間を連結する開孔とによって構成された伝
熱体を沸騰液中に浸し１発熱体１２で発生した熱を第４
図に示した伝熱体１０の下方から積層方向に伝えると、
重力及び液の毛細管力により、伝熱体１０の内部に浸入
する液と、伝熱体内部で発生する蒸気とがバランスよく
制御されるようになり高い沸騰熱伝達率が得られるよう
になる。
加工する工程を示したものである。打ち抜き加工部に雄
型の上下運動と連動して連続的に送られてきた帯状の薄
板１は、打ち抜き部で雄型３と雌型２とを薄板を貫通さ
せて噛み合わすことにより、うね６及びみみ（縁部）７
を残して、多数の互いに平行な長孔５が加工される。次
に、第２図に示すように多数の長孔５が加工された帯を
一定の長さに切断した多孔板８を、長孔５の長手方向が
互いに交叉するように複数枚積み重ね（第３図）、それ
ぞれの多孔板８どうしを例えば拡散接合、半田接合のよ
うな金属的な接合法を用いて接合する。さらに、この接
合構造物の周囲に存在するみみ７を例えば放電加工、ワ
イヤーカットのような方法で、空洞５の端面を目詰まり
させないように切断し、第４図に示す多孔性を有する熱
伝体１０を得る。このようにして得られた伝熱体１０は
発熱体１２に接合される。前記伝熱体１０の内部には、
縦横に幾層にも積み重ねられたトンネル状の空洞５′が
多数形成され、かつそれぞれの層をなす空洞群間は開孔
９によって連結されたものとなる。このような縦横に幾
層にも積み重ねられ “たトンネル状の空洞群と互い
の層の空洞群間を連結する開孔とによって構成された伝
熱体を沸騰液中に浸し１発熱体１２で発生した熱を第４
図に示した伝熱体１０の下方から積層方向に伝えると、
重力及び液の毛細管力により、伝熱体１０の内部に浸入
する液と、伝熱体内部で発生する蒸気とがバランスよく
制御されるようになり高い沸騰熱伝達率が得られるよう
になる。
本実施例においては、雄型として一枚歯のものを示した
が、多数歯の雄型を用い、−回のプレスで第２図に示す
多孔板を加工してもよい。
が、多数歯の雄型を用い、−回のプレスで第２図に示す
多孔板を加工してもよい。
第５図に本発明の第２の実施例を示す０本実施例の伝熱
体１０は、への字形の歯を持つ雄型及びへの字形の溝を
持つ雌型を用い加工されたへの字形の長孔１１を多数有
する多孔板１２と第２図に示した長方形形状の長孔５を
多数有する多孔板８とを互いに交互に積み重ねることに
より得られる。
体１０は、への字形の歯を持つ雄型及びへの字形の溝を
持つ雌型を用い加工されたへの字形の長孔１１を多数有
する多孔板１２と第２図に示した長方形形状の長孔５を
多数有する多孔板８とを互いに交互に積み重ねることに
より得られる。
このようにして得られる伝熱体を第５図に示す方向、即
ち、長方形空洞５′鉛直になるように配置して液中で沸
騰させると、横方向に置かれたへの字形空洞１１′にも
重力が作用し、伝熱体内への液の供給が良好となる。し
たがって、伝熱体内部が乾きがちとなる高熱流束域にお
いて特に高い伝熱性能が得られる。また、第５図に示す
実施例ではへの字形空洞を示したが、円弧などの円率を
持った空洞としても同じ効果が得られる。
ち、長方形空洞５′鉛直になるように配置して液中で沸
騰させると、横方向に置かれたへの字形空洞１１′にも
重力が作用し、伝熱体内への液の供給が良好となる。し
たがって、伝熱体内部が乾きがちとなる高熱流束域にお
いて特に高い伝熱性能が得られる。また、第５図に示す
実施例ではへの字形空洞を示したが、円弧などの円率を
持った空洞としても同じ効果が得られる。
上記第１実施例では、長孔の幅が長手方向に一定のもの
を示したが、第６図の本発明の第３７実施例に示すよう
に長孔１４の幅すが長孔の長手方向に変えてもよい。こ
のような、テーパー状長孔１４を持つ多孔板１５を縦に
、第２図に示す長方形長孔５あるいは第５図に示すへの
字形長孔１１を持つ多孔板８または１３を横に配置する
ことにより、伝熱体１０の中の蒸気流量の大きな部分の
空洞断面積を大きくすることができる。この結果、蒸気
の流動抵抗を減少させることができ、伝熱体の伝熱性能
を高めることができる。
を示したが、第６図の本発明の第３７実施例に示すよう
に長孔１４の幅すが長孔の長手方向に変えてもよい。こ
のような、テーパー状長孔１４を持つ多孔板１５を縦に
、第２図に示す長方形長孔５あるいは第５図に示すへの
字形長孔１１を持つ多孔板８または１３を横に配置する
ことにより、伝熱体１０の中の蒸気流量の大きな部分の
空洞断面積を大きくすることができる。この結果、蒸気
の流動抵抗を減少させることができ、伝熱体の伝熱性能
を高めることができる。
本実施例によれば、縦横に幾層にもトンネル状の空洞を
内部に有する高い沸騰熱伝達率をもつ多孔性の伝熱体を
、容易でかつ安価に、しかも大量生産することができる
。また、従来困難であったへの字形空洞や円弧状空洞を
有する熱伝体を簡単に作ることもできるようになるため
、加える熱量に応じて最適な形状をした空洞を有する伝
熱体を得ることができるという効果がある。
内部に有する高い沸騰熱伝達率をもつ多孔性の伝熱体を
、容易でかつ安価に、しかも大量生産することができる
。また、従来困難であったへの字形空洞や円弧状空洞を
有する熱伝体を簡単に作ることもできるようになるため
、加える熱量に応じて最適な形状をした空洞を有する伝
熱体を得ることができるという効果がある。
また、上記実施例ではプレス打抜き加工法によって多孔
板を製作する例を示したが、プレス打抜き加工法は、雄
型と雌型とを組み合せて薄い板に例えばスリットのよう
な孔をあける加工法であるため、加工速度は非常に速い
、したがって、プレス打抜き加工を用いて前記長孔の加
工を行うと加工コストが安価になると共に、短時間に大
量の加工が可能となり、前記多孔性を有する伝熱体を容
易に得°ることができるようになる。
板を製作する例を示したが、プレス打抜き加工法は、雄
型と雌型とを組み合せて薄い板に例えばスリットのよう
な孔をあける加工法であるため、加工速度は非常に速い
、したがって、プレス打抜き加工を用いて前記長孔の加
工を行うと加工コストが安価になると共に、短時間に大
量の加工が可能となり、前記多孔性を有する伝熱体を容
易に得°ることができるようになる。
次に、本発明の第４実施例を第７図、第８図および前記
第３図、第４図を用いて説明する。
第３図、第４図を用いて説明する。
第７図はエツチング法によって、薄い板にスリット状の
長孔５を加工する工程を示したものである。薄い金属板
１６の表裏両面あるいは片面に例えばフォトレジストの
ようなマスク１７を設ける。
長孔５を加工する工程を示したものである。薄い金属板
１６の表裏両面あるいは片面に例えばフォトレジストの
ようなマスク１７を設ける。
マスク１７は金属板１６に設けるスリット状長孔５に対
応する間隔１８をもって並べられる。このような金属板
１６とマスク１７を腐食性溶液１９内に入れる。腐食性
溶液１９はマスクと□マスクの間隔１８を通して、金属
板１６に接し、金属板１６を腐食させる。金属板１６の
マスク１７の側は腐食されない。このようにして、薄い
金属板１６は第８図に示すように、うね６及びみみ７を
残して多数の互いに平行な長孔５が加工された多孔板８
が製作される６次に、多数の長孔５が加工された多孔板
８を第３図に示すように、長孔５の長手方向が互いに交
叉するように複数枚積み重ね、前記実施例と同様に多孔
板８どうしを例えば拡散接合、半田接合のような接合法
を用いて接合する。
応する間隔１８をもって並べられる。このような金属板
１６とマスク１７を腐食性溶液１９内に入れる。腐食性
溶液１９はマスクと□マスクの間隔１８を通して、金属
板１６に接し、金属板１６を腐食させる。金属板１６の
マスク１７の側は腐食されない。このようにして、薄い
金属板１６は第８図に示すように、うね６及びみみ７を
残して多数の互いに平行な長孔５が加工された多孔板８
が製作される６次に、多数の長孔５が加工された多孔板
８を第３図に示すように、長孔５の長手方向が互いに交
叉するように複数枚積み重ね、前記実施例と同様に多孔
板８どうしを例えば拡散接合、半田接合のような接合法
を用いて接合する。
更に、この接合構造物の周囲に存在するみみ７を前記実
施例と同様に放電加工、ワイヤーカットのような方法で
切断し、第４図に示したように形成される空洞５′の端
面が目詰しないようにして多孔性を有する伝熱体１０を
得る。このようにして得られた伝熱体１０の内部には、
縦横に幾層にも積み重ねられたトンネル状の空洞５′が
多数形成され、かつそれぞれの層をなす空洞群間は開孔
９によって連結されたものとなる。このような縦横に幾
層にも積み重ねられたトンネル状の空洞群と互いの層の
空洞群間を連結する開孔とによって構成された伝熱体１
０を沸騰液中に浸し１発熱体１２からの熱を伝熱体１０
の下方より積層方向に伝達させると１重力及び液の毛細
管力により、伝熱体内部に浸入する液と、伝熱体内部で
発生する蒸気とがバランスよく制御されるようになり、
高い沸騰熱伝達率が得られるようになる。
施例と同様に放電加工、ワイヤーカットのような方法で
切断し、第４図に示したように形成される空洞５′の端
面が目詰しないようにして多孔性を有する伝熱体１０を
得る。このようにして得られた伝熱体１０の内部には、
縦横に幾層にも積み重ねられたトンネル状の空洞５′が
多数形成され、かつそれぞれの層をなす空洞群間は開孔
９によって連結されたものとなる。このような縦横に幾
層にも積み重ねられたトンネル状の空洞群と互いの層の
空洞群間を連結する開孔とによって構成された伝熱体１
０を沸騰液中に浸し１発熱体１２からの熱を伝熱体１０
の下方より積層方向に伝達させると１重力及び液の毛細
管力により、伝熱体内部に浸入する液と、伝熱体内部で
発生する蒸気とがバランスよく制御されるようになり、
高い沸騰熱伝達率が得られるようになる。
第７図では容器５内に金属板１６を１牧人れた例を示し
たが、金属板１６を一度に多数牧人れて多孔板を同時に
多数製作するようにすることもできる。
たが、金属板１６を一度に多数牧人れて多孔板を同時に
多数製作するようにすることもできる。
第９図に本発明の第５実施例を示す。本実施例の伝熱体
はへの字形のマスクを用いて加工されたへの字形の長孔
１１を多数有する多孔板１３と第８＠に示す長方形形状
の空洞５を多数有する多孔板８とを互いに交互に積み重
ねて製作したものである。このようにして得られた伝熱
体１０を第９図に示す方向、即ち長方形空洞５′が鉛直
になるように設置して液中で沸騰させると、横方向に置
かれたへの字形空洞１１′にも重力が作用し、伝熱体１
０内からの蒸気の放出、及び伝熱体１０内への液の供給
が良好となる。したがって、伝熱体１０内部が乾きがち
となる高熱流束域において特に高い伝熱性能が得られる
。なお、第９図に示した実施例ではへの字形長孔１１に
加工する例を示したが、円弧などの曲率を持った長孔と
しても同じ効果が得られる。またこの場合、鉛直方向の
空洞５′は第８図に示されるような長方形空洞に限らず
重力と反対方向に向かって広がる形状としてもよい。
はへの字形のマスクを用いて加工されたへの字形の長孔
１１を多数有する多孔板１３と第８＠に示す長方形形状
の空洞５を多数有する多孔板８とを互いに交互に積み重
ねて製作したものである。このようにして得られた伝熱
体１０を第９図に示す方向、即ち長方形空洞５′が鉛直
になるように設置して液中で沸騰させると、横方向に置
かれたへの字形空洞１１′にも重力が作用し、伝熱体１
０内からの蒸気の放出、及び伝熱体１０内への液の供給
が良好となる。したがって、伝熱体１０内部が乾きがち
となる高熱流束域において特に高い伝熱性能が得られる
。なお、第９図に示した実施例ではへの字形長孔１１に
加工する例を示したが、円弧などの曲率を持った長孔と
しても同じ効果が得られる。またこの場合、鉛直方向の
空洞５′は第８図に示されるような長方形空洞に限らず
重力と反対方向に向かって広がる形状としてもよい。
上記実施例では、伝熱体１０の形状が四角柱状のものを
示したが、円柱状などでもよいし、発熱体１２の形状、
あるいは発熱体１２の加熱方法などに応じて最適な形状
を選択するとよい。
示したが、円柱状などでもよいし、発熱体１２の形状、
あるいは発熱体１２の加熱方法などに応じて最適な形状
を選択するとよい。
第１０図は本発明の第６実施例を示すもので、層に応じ
て長孔５の幅を変えたものである。一般に発熱体に近い
層には沸騰すべき液が浸入しにくいので、この部分は空
洞幅が大きくなるように長孔５の幅を大きくすると、性
能の良好な伝熱体が得られる。また、発熱体から遠ざか
るにしたがって沸騰液が浸入しやすくなるので、伝熱体
の上表面近くの層はその空洞幅を小さくなるようにした
方が良い。このようにエツチング法は寸法の異なる伝熱
体形状を自由に選ぶことができる。
て長孔５の幅を変えたものである。一般に発熱体に近い
層には沸騰すべき液が浸入しにくいので、この部分は空
洞幅が大きくなるように長孔５の幅を大きくすると、性
能の良好な伝熱体が得られる。また、発熱体から遠ざか
るにしたがって沸騰液が浸入しやすくなるので、伝熱体
の上表面近くの層はその空洞幅を小さくなるようにした
方が良い。このようにエツチング法は寸法の異なる伝熱
体形状を自由に選ぶことができる。
上記エツチング法による実施例によれば、高い沸騰熱伝
達率を有する縦横に幾層にもトンネル状の空洞を内部に
有する多孔性の伝熱体を、安価にしかも大量に簡単に得
ることができ、しかもへの字形空洞９円弧状空洞、ある
いは幅が変化する空洞など任意形状の空洞を有する伝熱
体を簡単に作ることができる。このため、加える熱量に
応じて最適な形状をした空洞を有する伝熱体を得ること
ができる。
達率を有する縦横に幾層にもトンネル状の空洞を内部に
有する多孔性の伝熱体を、安価にしかも大量に簡単に得
ることができ、しかもへの字形空洞９円弧状空洞、ある
いは幅が変化する空洞など任意形状の空洞を有する伝熱
体を簡単に作ることができる。このため、加える熱量に
応じて最適な形状をした空洞を有する伝熱体を得ること
ができる。
また、マスクの形状、エツチング時間などのエツチング
条件を決めてしまうと、はとんど無人で同形状のものが
加工できる。そのため、エツチング法を用いて多孔板を
製作すると加工コストが安価になると共に寸法精度が高
いという利点もある。
条件を決めてしまうと、はとんど無人で同形状のものが
加工できる。そのため、エツチング法を用いて多孔板を
製作すると加工コストが安価になると共に寸法精度が高
いという利点もある。
本発明方法によれば、多孔性を有する伝熱体を安価にし
かも大量に生産することができるという効果が得られる
。
かも大量に生産することができるという効果が得られる
。
第１図は本発明方法の第１実施例を説明する斜視断面図
、第２図は第１図に示す実施例により得られた多孔板の
斜視図、第３図は多孔板を積層して熱伝体を製作するプ
ロセスを説明する図、第４図は本発明により得られた熱
伝体の斜視図、第５図は本発明の第２実施例により得ら
れた伝熱体の斜視図、第６図は本発明の第３実施例を示
す多孔板の平面図、第７図は本発明方法の第４実施例を
説明する図で一部破断斜視図、第８図は第７図に示す実
施例により得られた多孔板の斜視図、第９図は本発明の
第５実施例により得られた伝熱体の斜視図、第１０図は
本発明の第６実施例を説明する図で、伝熱体の製作プロ
セスを示す図である。 １・・・薄板、２・・・雄型、３・・・雌型、５，１１
，１４・・・長孔、５’ 、１１’・・・空洞、７・・
・みみ（縁部）。 ８．１３．１５・・・多孔板、９・・・開孔、１０・・
・伝熱体、１２・・・発熱体、１６・・・金属板、１７
・・・マスク。 ＊ １ 口 ネ ２［２１ ム 一゛ｂ・−・−７ね ７−・みｈ働舒） ６−冷孔張 第 ３ 図 ＄ ４ 凹 第 ５ 図 ５−・−遍？γ形長３し ８．１３−一号孔版 第 ６ 図 ／４− テーノシー４天」（孔 １５−多孔寂 累 ７図 １７−・−マスク 第８目 ／＋５−・舟鐸 第 ９ 圓 ＄・・°多孔＄反 １２−・・発執体 １１・・・への字吟長犯 １３−・・多五坂 箋１０図
、第２図は第１図に示す実施例により得られた多孔板の
斜視図、第３図は多孔板を積層して熱伝体を製作するプ
ロセスを説明する図、第４図は本発明により得られた熱
伝体の斜視図、第５図は本発明の第２実施例により得ら
れた伝熱体の斜視図、第６図は本発明の第３実施例を示
す多孔板の平面図、第７図は本発明方法の第４実施例を
説明する図で一部破断斜視図、第８図は第７図に示す実
施例により得られた多孔板の斜視図、第９図は本発明の
第５実施例により得られた伝熱体の斜視図、第１０図は
本発明の第６実施例を説明する図で、伝熱体の製作プロ
セスを示す図である。 １・・・薄板、２・・・雄型、３・・・雌型、５，１１
，１４・・・長孔、５’ 、１１’・・・空洞、７・・
・みみ（縁部）。 ８．１３．１５・・・多孔板、９・・・開孔、１０・・
・伝熱体、１２・・・発熱体、１６・・・金属板、１７
・・・マスク。 ＊ １ 口 ネ ２［２１ ム 一゛ｂ・−・−７ね ７−・みｈ働舒） ６−冷孔張 第 ３ 図 ＄ ４ 凹 第 ５ 図 ５−・−遍？γ形長３し ８．１３−一号孔版 第 ６ 図 ／４− テーノシー４天」（孔 １５−多孔寂 累 ７図 １７−・−マスク 第８目 ／＋５−・舟鐸 第 ９ 圓 ＄・・°多孔＄反 １２−・・発執体 １１・・・への字吟長犯 １３−・・多五坂 箋１０図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、平板に平行な多数の長孔を形成して多孔板を製作し
、この多孔板を長孔の方向が互いに交叉するように複数
枚積層して接合することを特徴とする熱伝達装置の製作
方法。 ２、特許請求の範囲第１項において、積層された多孔板
を発熱体に接合してなる熱伝達装置の製作方法。 ３、特許請求の範囲第１項において、発熱体に多孔板を
積層していくことを特徴とする熱伝達装置の製作方法。 ４、特許請求の範囲第１項において、長孔の形状は長方
形であることを特徴とする熱伝達装置の製作方法。 ５、特許請求の範囲第１項において、長孔の形状がへの
字形に形成された多孔板と、長方形状に形成された多孔
板とを製作し、これらの多孔板を交互に積層して接合す
ることを特徴とする熱伝達装置の製作方法。 ６、特許請求の範囲第２項において、長孔の形状が円弧
のような曲線形状に形成された多孔板と、長方形状に形
成された多孔板とを製作し、これらの多孔板を交互に積
層して接合することを特徴とする熱伝達装置の製作方法
。 ７、特許請求の範囲第１項において、長孔の断面積が少
なくとも２種類以上の異なる大きさに形成された多孔板
を製作し、この多孔板を互いに積層して接合することを
特徴とする熱伝達装置の製作方法。 ８、特許請求の範囲第１項において、長孔の幅が該長孔
の長手方向に異なるように形成した多孔板を製作し、こ
の多孔板を積層して接合することを特徴とする熱伝達装
置の製作方法。 ９、平板に平行な多数の長孔を形成して縁付多孔板を製
作し、この縁付多孔板を長孔の方向が互いに交叉するよ
うに複数枚積層して接合し、その後前記縁付多孔板の縁
部を切断して積層伝熱装置を製作することを特徴とする
熱伝達装置の製作方法。 １０、実質的に平行な多数の細長い空洞群を一つの周単
位として、該空洞群が該空洞の長手方向が互いに交叉す
るように熱の伝わる方向に複数層設けられ、該各層の空
洞群とそれに隣接する空洞群とは該空洞壁に設けられた
多数の開孔群で連通し、かつ該空洞群の端面が液中に開
放している熱伝達装置を製作する方法において、実質的
に平行な多数の長孔が形成された多孔板を製作し、この
多孔板を長孔の長手方向が互いに交叉するように複数枚
積み重ね、それぞれの多孔板と該多孔板に隣接する多孔
板とを接合することを特徴とする熱伝達装置の製作方法
。 １１、特許請求の範囲第１０項において、多孔板をエッ
チング法によつて製作することを特徴とする熱伝達装置
の製作方法。 １２、特許請求の範囲第１０項記載において、長孔の形
状が実質的に長方形である熱伝達装置の製作方法。 １３、特許請求の範囲第１０項において、長孔の形状が
への字状に形成された多孔板と長方形状に形成された多
孔板とを製作し、これらの多孔板を交互に積層、接合す
ることを特徴とする熱伝達装置の製作方法。 １４、特許請求の範囲第１０項において、長孔の形状が
曲線形状に形成された多孔板と長方形状に形成された多
孔板とを製作し、これらの多孔板を交互に積層、接合す
ることを特徴とする熱伝達装置の製作方法。 １５、特許請求の範囲第１０項において、長孔の断面積
が異なる少なくとも２種類以上の長孔をもつ多孔板を製
作し、この多孔板を互いに積層、接合することを特徴と
する熱伝達装置の製作方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61-135964 | 1986-06-13 | ||
| JP13596486 | 1986-06-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63101033A true JPS63101033A (ja) | 1988-05-06 |
Family
ID=15163968
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13809087A Pending JPS63101033A (ja) | 1986-06-13 | 1987-06-03 | 熱伝達装置の製作方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63101033A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5381859A (en) * | 1990-11-09 | 1995-01-17 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Heat sink and the producing method thereof |
| FR2773939A1 (fr) * | 1998-01-22 | 1999-07-23 | Mei Hua Hsu | Dispositif de dissipation de chaleur pour composants d'ordinateurs |
| WO2013153486A1 (en) * | 2012-04-10 | 2013-10-17 | Koninklijke Philips N.V. | Heat sink |
| US9401668B2 (en) | 2010-03-19 | 2016-07-26 | Sri International | Materials for electroadhesion and electrolaminates |
-
1987
- 1987-06-03 JP JP13809087A patent/JPS63101033A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5381859A (en) * | 1990-11-09 | 1995-01-17 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Heat sink and the producing method thereof |
| FR2773939A1 (fr) * | 1998-01-22 | 1999-07-23 | Mei Hua Hsu | Dispositif de dissipation de chaleur pour composants d'ordinateurs |
| US9401668B2 (en) | 2010-03-19 | 2016-07-26 | Sri International | Materials for electroadhesion and electrolaminates |
| WO2013153486A1 (en) * | 2012-04-10 | 2013-10-17 | Koninklijke Philips N.V. | Heat sink |
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