JPS58206902A - 変位測定装置 - Google Patents
変位測定装置Info
- Publication number
- JPS58206902A JPS58206902A JP9065082A JP9065082A JPS58206902A JP S58206902 A JPS58206902 A JP S58206902A JP 9065082 A JP9065082 A JP 9065082A JP 9065082 A JP9065082 A JP 9065082A JP S58206902 A JPS58206902 A JP S58206902A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- beam splitter
- photodetector
- displacement
- splitter
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims abstract description 22
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
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- Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、光線を位置の基準とし、それに対する対象物
の位置の変位を測定する変位測定装置に関する。
の位置の変位を測定する変位測定装置に関する。
従来、この種の変位測定装置は第１図に示すように、１
個の光源と１組の受光器により１点の変位量を測定して
いた。
個の光源と１組の受光器により１点の変位量を測定して
いた。
つまり、光源ＡＩを固定しておき、 １１４１１定対象
物にビームスプリッタ２．集光し／ズ６．光検出器９を
備える受光器Ｂ、ビームスプリッタ３．濃淡板４、集光
し／ズ７．光検出器ｌＯを有する受光器Ｃ１および濃淡
板５、集光し／ズ８１元検出器１１を有する受光器りを
取り付ける。濃淡板４゜５は第２図のようなもので、光
源Ａからの光線のあたる位置により透過量が異なり、光
検出器１０゜ｔｉの出力によって測定対象物の２軸の変
位量を測定することが可能である。受光器Ｂは入射光の
変動を除去する為のものである。このように１個の光源
で２軸の変位量を測定することが可能であるが次のよう
な問題があった。
物にビームスプリッタ２．集光し／ズ６．光検出器９を
備える受光器Ｂ、ビームスプリッタ３．濃淡板４、集光
し／ズ７．光検出器ｌＯを有する受光器Ｃ１および濃淡
板５、集光し／ズ８１元検出器１１を有する受光器りを
取り付ける。濃淡板４゜５は第２図のようなもので、光
源Ａからの光線のあたる位置により透過量が異なり、光
検出器１０゜ｔｉの出力によって測定対象物の２軸の変
位量を測定することが可能である。受光器Ｂは入射光の
変動を除去する為のものである。このように１個の光源
で２軸の変位量を測定することが可能であるが次のよう
な問題があった。
つまり、この樵の装置では、光源人のビームを基準とし
て何点もの測定をする必要がある場合には、光源人と受
光器Ｂ、Ｃ，Ｄの組み合せがその点数だけ必要であり之
。
て何点もの測定をする必要がある場合には、光源人と受
光器Ｂ、Ｃ，Ｄの組み合せがその点数だけ必要であり之
。
本発明の目的は、１個の光源だけで何点もの変位を同時
測定可能にした変位測定装置を提供することにある。
測定可能にした変位測定装置を提供することにある。
前記目的を達成するために本発明による変位測定装置は
受光器すべてがビームスプリッタによる反射光を利用す
るように配置し１次の測定点の受光器へ光線を透過させ
るように構成しである。上記構成によれば、光源１個で
その光線を基準としての変位量が多点同時測蝋臥可能と
なり１本発明の目的は完全に達成される。
受光器すべてがビームスプリッタによる反射光を利用す
るように配置し１次の測定点の受光器へ光線を透過させ
るように構成しである。上記構成によれば、光源１個で
その光線を基準としての変位量が多点同時測蝋臥可能と
なり１本発明の目的は完全に達成される。
次に本発明の実施例について図面を参照して説明する。
第２図は本発明による測定点２点の場合の変位測定装置
の配置を示す図である。
の配置を示す図である。
本装置は、基準となる光線を発生する光源１と。
この光線の１部を反射するビームスプリッタ２と。
このビームスプリッタ２から反射した光線を集光する集
光し／ズ６と、集光した光を光電変換する検出器９と、
ビームスプリッタ２を透過した光線の１部を反射するビ
ームスプリッタ３と、このビームスプリッタ３から反射
した光線の位置を光量の変化に変換する濃淡板４と、濃
淡板４を透過した光＃を集光する集光し／ズ７と、集光
した光を光電変換する検出器ｌＯと、ビームスフリツタ
３を透過した光線の１部反射するビームスプリッタ１２
と、ビームスプリッタ１２から反射した光線の位置を光
量の変化に変換する濃淡板５と、濃淡板５を透過した光
線を集光する集光し／ズ８と。
光し／ズ６と、集光した光を光電変換する検出器９と、
ビームスプリッタ２を透過した光線の１部を反射するビ
ームスプリッタ３と、このビームスプリッタ３から反射
した光線の位置を光量の変化に変換する濃淡板４と、濃
淡板４を透過した光＃を集光する集光し／ズ７と、集光
した光を光電変換する検出器ｌＯと、ビームスフリツタ
３を透過した光線の１部反射するビームスプリッタ１２
と、ビームスプリッタ１２から反射した光線の位置を光
量の変化に変換する濃淡板５と、濃淡板５を透過した光
線を集光する集光し／ズ８と。
集光した光を光電変換する検出器１１と、ビームスプリ
ッタ１２を透過した光線によりもう１点測定する為の受
光器もう１組とを含む。濃淡板４と５は取付けを９００
ずらしてるる。
ッタ１２を透過した光線によりもう１点測定する為の受
光器もう１組とを含む。濃淡板４と５は取付けを９００
ずらしてるる。
検出器９の出力により受光器への入射光量の変動を校正
し、検出器ｌＯの出力によりＸ（又はＹ）軸の変位量を
測定し、検出器１１の出力によりＹ（又はＸ）軸の変位
量ｔ−測測定る。次の変位測定点に配置した受光器では
同様に２軸の変位量を測定する。
し、検出器ｌＯの出力によりＸ（又はＹ）軸の変位量を
測定し、検出器１１の出力によりＹ（又はＸ）軸の変位
量ｔ−測測定る。次の変位測定点に配置した受光器では
同様に２軸の変位量を測定する。
また、途中に曲線部を含んでいる線上の変位量の測定の
場合でも、第４図に示すように途中に反射鏡１３ｔ−配
置することにより光源１個で多数の点でその光線に対す
る変位量が測定てきる。
場合でも、第４図に示すように途中に反射鏡１３ｔ−配
置することにより光源１個で多数の点でその光線に対す
る変位量が測定てきる。
本発明は以上説明したようｒｃ、ビームスプリッタによ
る反射光ｔ−測定光として利用するように配置し１次の
受光器へ光線を透過させるように構成することにより光
源１個で多数の点の変位量が同時測定できる効果がある
。 ゛
る反射光ｔ−測定光として利用するように配置し１次の
受光器へ光線を透過させるように構成することにより光
源１個で多数の点の変位量が同時測定できる効果がある
。 ゛
第１図は従来の変位測定装置の構成を示す略図、第２図
は濃淡板の説明図、第３図は本発明による装置の測定配
置図、第４図は曲線部を含んだ場合の装置の測定配置図
である。 ｌ・・・・・・光源、２，３，１２・・・・・・ビーム
スプリッタ。 ４．５・・・・・・濃淡板、６，７．８・・・・・・集
光し／ズ、９゜１０．１１・・・・・・光検出器、１３
・・・・・・反射鏡。 代理人 弁理士 内 原 晋１、し・・ニー、
は濃淡板の説明図、第３図は本発明による装置の測定配
置図、第４図は曲線部を含んだ場合の装置の測定配置図
である。 ｌ・・・・・・光源、２，３，１２・・・・・・ビーム
スプリッタ。 ４．５・・・・・・濃淡板、６，７．８・・・・・・集
光し／ズ、９゜１０．１１・・・・・・光検出器、１３
・・・・・・反射鏡。 代理人 弁理士 内 原 晋１、し・・ニー、
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 基準光線を発生する光源と：この基準光線を入力とし、
入力光を一部反射、一部透過する第１のビームスプリッ
タと、この第１のビームスプリッタの反射光の強度を検
出する第１の光検出器と。 前記第１のビームスプリッタの透過光を入力とする第２
のビームスプリッタと、この第２のビームスプリッタの
反射光を入力とし、この光位置偏位により出力光が変化
する第１の濃淡板と、この第１の濃淡坂出力の強度を測
定する１ｇ２の光検出器と、前記第２のビームスプリッ
タの透過光倉入力とする第３のビームスプリッタと、こ
の＃！３のビームスプリッタの反射光を入力とする第２
の濃淡板と、この第２９濃淡板の出力光の強［ｔ５１Ｊ
定する第３の光検出器とから成る受光系が複数個直列に
接続されて成り、前記各濃淡板の取り付けを予め定めた
角度だけずらして成ることを特徴とする変位測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9065082A JPS58206902A (ja) | 1982-05-28 | 1982-05-28 | 変位測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9065082A JPS58206902A (ja) | 1982-05-28 | 1982-05-28 | 変位測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58206902A true JPS58206902A (ja) | 1983-12-02 |
Family
ID=14004385
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9065082A Pending JPS58206902A (ja) | 1982-05-28 | 1982-05-28 | 変位測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58206902A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61147909U (ja) * | 1985-03-06 | 1986-09-12 |
-
1982
- 1982-05-28 JP JP9065082A patent/JPS58206902A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61147909U (ja) * | 1985-03-06 | 1986-09-12 |
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