JPH0285719A - 光学検出器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は光学検出器に関するものである。

本発明に係る具体例は回折光学エネルギー（ｄｉｆｆｒ
ａｃｔｅｄ　ｏｐｔｉｃａｌ　ｅｎｅｒｇｙ）を用いた
多種の物理的パラメーターを検出するための光学検出器
と変換器とを含むものである。

〔従来の技術〕

回折格子は典型的には主たる平行なノツチ（ｎｏｔｃｈ
　：例えばＶ字状の溝）により平坦な物体の表面に形成
されており各ノツチは散乱光の光源として作用する。

光が格子を通して伝達される場合、出力光は出力波頭に
おいて周期的な変化を含んでいる。これと反対に、光が
当該表面で反射された場合、散乱光は振幅と波長に依存
した方法によって変化する干渉パターンを形成する位相
関係をもったある方向に到達するであろう。

回折格子は要求される機能に関連する光エネルギを分析
する際の補助をするため多くの分野で使用されてきてい
る。

例えば米国特許第３８１８４９８は、多重波長光がそれ
ぞれの成分に分割されるテーパー化された周期を有する
回折格子の使用と、 それにより光学チャネルドロッパー、波長選別ビームス
プリッタ−１反射器、及びフィルターでそれぞれが光学
的通信分野において特に有用性をもつものである装置が
提供されることが開示されている。

同様に、米国特許第４４０８８８４号にはシリコンウェ
ーハ上に形成されたパターンを品質管理機能に対する入
射光として検出するための回折格子の使用が開示されて
いる。

多くの光学的検知技術が、温度或は圧力等の環境的特性
の変化のみでなく選択された部材の変位を測定するため
に光を使用を発展させて来た。

〔発明が解決しようとする課題〕

一方上述したように回折格子は多くの用途において使用
されて来たが、変位及び環境的検出の応用分野における
回折格子の使用の可能性については十分には実現されて
きていなかった。

〔課題を解決するための手段〕

本発明によれば、回折格子、広帯域光学的放射をもって
予め定められた角度で格子を照射する手段、及び格子に
より回折された放射に応答する検出手段とを含みかつ該
格子はその長さ方向に沿って一定でない格子間隔を有し
ており又該検出手段は放射の照射に関連して格子の変位
に起因した回折放射の特性における変化を検出するもの
であることにより特徴付けられる光学検出器が提供され
る。

本発明を具体化する光学的変換システムは添付の図面を
参照しながら実施例の形で以下に説明する。

本発明に係る光学的変換器は部材上に搭載されるか或は
形成されている回折格子により形成される回折光を利用
するものであり、それによって、部材の相対的変位が検
出しうる。

本発明に係る光学変換器は又実質的に双状態出力（ｂｉ
−ｓｔａｔｅ　ｏｕｔｐｕｔ）を有し、又変位や温度変
化或は他の物理的変化に応答して状態を変化させる光学
的スイッチとして機能する。

本発明に係る光学変換器は選択された部材についての変
位に応答して温度補償された情報を出力するための複合
回折格子を使用する。

物理的パラメータに関する有意義な情報を提供するため
変換器分野における回折光エネルギーを用いる変換シス
テムについてより特別に説明する。

光学的エネルギーは、波長に関して分析される回折され
たエネルギーの成分とともに回折格子に向けられる。

温度のような他の変化にもとすくあらゆる変位は、格子
の回折特性に影響を与えるものであるが、分析された波
長の関数として決定される。

本発明の一具体例によれば、回折格子は格子内部の境界
において格子間隔軸ｒａｔｉｎｇ　ｐｅｒｉｏｄ）が階
段状に変化する第１と第２の格子から形成されている。

格子は、格子上の照射位置の関数として回折される広帯
域光によって照射される。

得られた回折光の少くとも１つの回折次数第１の格子が
照射された時には第１の波長となり、第２の格子が照射
された時にはその次数は第２の波長となるであろう。

そして、それ等は、回折格子の変位に応答して第１及び
第２の格子が照射光源の下を横切った時に第１と第２の
波長との間で切り換えられる。

本発明の他の具体例において、回折格子は、直線的、指
数関数的或は他の関数に応じて変化しうる可変的格子間
隔が設けられている。

回折格子は変位しろる部材上に設けられ又光源により照
射され変位の関数としての波長が変化する反射又は屈折
光を発生する。

本発明の更に別の具体例においては、複合回折格子が、
固定されたライン間隔（ｆｉｘｅｄ　１ｉｎｅ　ｐｅｒ
ｉｏｄ）を有する第１の格子と可変ライン間隔を有する
第２の格子とにより形成されている。

第１の格子は第２の格子の側部に接合されているか或は
その近くに搭載せしめられておりそれによって第１と第
２の格子のラインは一般的に平行とされている。

第２の格子の格子間隔は直線状、指数関数的に或は他の
予め定められた関数に従った形で変化しうる。

複合回折格子により回折された光は第１の格子の固定さ
れた格子間隔と第２の格子の可変格子間隔とに対応する
波長を含んでいる。

回折格子が変位せしめられると、回折光の波長成分は第
１の格子からの反射及び回折により生じた一定の波長成
分と第２の格子からの反射と回折により生じた可変の波
長成分を有することになろう。

もしシステムの温度が変化したとすると、第１の格子か
らの反射光の波長は第２の格子からの波長と共に温度に
依存するような方法により、第２の回折格子の温度によ
る変化のための補正値として利用しろる第１の格子から
の反射された波長の変化とともに変化するであろう。

〔実施例〕

ここで第１図を参照してより詳細に説明するならば、光
学的変換手段は１０として一般的に示される。図示のよ
うに、広帯域光学光源１２は変換決定を実行するのに使
用するため望ましいスペクトル領域、即ち赤外線、可視
光線及び紫外線等の領域の光を提供する。

広帯域光源１２から発光された光は光ファイバー１４を
通り該光ファイバー１４の端部１６からレンズ１８に導
入される。その光はレンズ１８により反射性回折格子２
０の表面に角度ｈＱで入射されそしてそこで反射され以
下に述べるように分析される。

反射性回折格子２０はライン間間隔（ｌｉｎｅ　ｓｐａ
ｃ−ｉｎｇ　ｐｅｒｉｏｄ）　　Ａを有する第１の格子
２２と間隔Ａとは異るライン間間隔Ｂを有する第２の格
子２４とから構成されている。

第１図において、ラインとその間隔は極めて近接した平
行でかつ垂直なラインにより記号的に表示されている。

２つの格子２２と２４は、境界部２６として定義される
接合部或はインターフアース部を介して第１と第２の格
子２２と２４の格子線が実質的に互に平行となるように
接続されている。回折格子２０は、それぞれの格子２２
と２４とを（又はそのレプリカを）その中央ラインにお
いて切断・分離し、その格子をそれぞれの端部が互に接
合して境界を形成するような関係で共通の物体上に配置
させることにより形成されうる。

一般的には、間隔ＡとＢとの差は以下に説明するように
、より大きな差は一般的に出力信号におけるより高度な
信号対ノイズ比を表わすという好ましい結果を達成する
に十分なものにすべきである。

第１の回折格子２２に対してはライン密度は１印当り数
千ラインであり第２の格子２４についてはライン密度は
第１の格子の密度の半分又は２倍であることが好ましい
。

共通の物体上に搭載された第１と第２の回折格子からな
る複合体として回折格子２０の形成の代りに回折格子２
０は例えばアルミをコートしたガラスのような物体の第
１の領域に第１の間隔をもって線を引き又その物体の第
１の領域と隣接する第２の領域に第２の間隔をもって線
を引くことにより形成することも出来それにより間隔が
階段状に変化する遷移部或は境界２６を形成する。

回折格子２０上にレンズ１８によって焦点化された光は
、角度り、をもってレンズ２８の方に反射され光ファイ
バー３２の端部３０に入射される。

反射光は光ファイバーにより運ばれ光ファイバーの端部
３４から検出器３６に供給される。検出器３６は光ファ
イバー３２から供給される光に応答した電気的出力を供
給するよう設計されておりかつ反射光を透過回折格子（
ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ　ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎｇ
ｒａｔｉｎｇ）　４　Ｑに入射させるレンズ３８を含ん
でいる。

光は回折格子によってＣＣＤアレー（ｃｈａｒｇｅｃｏ
ｕｐｌｅｄ　ｄｅｖｉｃｅ　ａｒｒａｙ　：荷電結合素
子アレー）４２により検出される多数の次数（例えばＭ
＝０゜＋１・＋１・・・・）に回折される。

ＣＣＤアレー４２は典型的には直線状チャネルに組織さ
れたセルのグループをもつ光感光セルによる二次元的ア
レーによって形成される。

選択された像に露光することによって、照射されたセル
は電荷を形成し、それは分析のための出、力として変換
されうる。

このようにして、ＣＣＤアレー４２は露光された選択的
領域についての出力をその露光の強さとともに提供しう
る。

透過回折格子４０は、光ファイバー３２からＣＣＤアレ
ー４２の選択された領域に向けられた光を波長の関数と
して回折するので、ＣＣＤアレー４２の出力は回折格子
２０から供給された光の波長或は波長における変化を決
定するために機能する。

ＣＣＤアレー４２により受光された光は、電気的信号に
変換され信号処理器４６による処理のための出力４４に
供給される。

第１図に表わされている要素の組合せにおいて、回折格
子２０は矢印Ｘにより表わされているような水平方向に
おいて左の方向に変位するよう移動可動に設けられてい
る。

第１図に示す位置においては、レンズ１８により焦点化
された光は第１の格子２２の表面のみに照射されており
、又当業者において公知の技術となっているように、そ
の光を格子間＠Ａと組合された波長でかつ相対的に一定
な強度で反射する。

検知器３６に入射された光はＣＣＤアレー４２の対応す
る領域を照射する回折格子４０により回折されそれは次
で格子２２のライン空間である間隔Ａの関数である出力
を４４に供給する。

アナログ的方法においては、もしレンズ１８により焦点
化された光が第２の格子２４の表面のみを照射するなら
ば、反射光は第２の格子２４０間隔Ｂと組合された第２
の異なる波長を有することになろう。その光は又ＣＣＤ
アレー４２の対応する異なる領域を照射する回折格子４
０により回折され、他の信号出力を４４に供給しかつ後
者の信号は格子２２のライン空間の間隔Ｂに関する関数
となっている。

上記より理解されうるとおり、異った波長の出力信号は
信号処理器４６において識別されうる。

回折格子２０が第１図において左方向に変位すると、第
１の格子２２から反射されていた光はＣＣＤアレー４２
の対応する第１の領域を照射することになろうし又レン
ズ１８から人力光が境界２６を照射すると反射光は第１
の間隔へにもとづく第１の波長で屈折された光と、第２
の間隔已にもとづく他の波長で屈折された光とを含むこ
とになろう。

回折格子２０が左方向に移動を継続するにつれて、境界
２６の両側にある第１と第２の格子２２と２４の部分は
レンズ１８からの光により均等に照射され、対応する信
号を発生するＣＣＤアレー４２に対し実質的に同じよう
な放射強度にある両波長を含む光を発生する。

当業者により理解されるとおり、検出器３Ｇの出力も同
様に、照射領域を通じ、境界２６の相対的な変°位を代
わす変遷を通過する。

回折格子２０についての最終的な分解能はレンズ１８か
ら供給される光のスポットサイズの関数であり、小さな
スポットサイズ（５対しては検出器３６の出力は実質的
には双状態（ｂｉ−ｓｔａｔｅ）であり従って光学的変
位システム１０はアナログ的方法によってスイッチに対
して機能する。

回折格子２００表面から角度ｈ１で反射された光の波長
は以下の格子式を用いて決定されうる。

５ｉｎｈ＋　＝ｍＬ／Ｓ＋５ｉｎｈｏ　　　　　（ｌ　
）ここでＬは波長であり、ｍは最大の回折次数であり又
Ｓは格子間隔である。

レンズ１８と２８及び光ファイバー１４と３２とを回折
格子２０に関して固定的な支持体（図示せず）に設ける
ことにより角度り。とり、は一定としうる。第１と第２
の格子のそれぞれの格子間隔はＡと已に固定され又従っ
て検出されるべき回折次数（ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ　
ｏｒｄｅｒ）は予め決定されることが可能であり更にレ
ンズ２８に対して反射される光の波長とそれに組合され
た振幅はＣＣＤアレー４２により検出された後で決める
ことが出来る。

回折格子２０の屈折光における好ましい情報は有効に変
調された波長であるから、第１図のシステムは重要な広
帯域バックグランド光が用いられる場合における応用分
野で使用するのに最も適している。

第１図の具体例は平坦な回折格子でレンズ１８からの光
源に影響を及ぼし、かつ直線的な変位関係において使用
されるのに適したものである。

然しなから、回折格子２０の形状は角度的変位を含む応
用に対しては変化せしめられる。

例えば、第２図に示すように回折格子２０′が曲線状要
素として形成され又軸ＡＸに対して回転するために配置
された円筒状シャフト４８の周表面に取りつけれれる。

その第１の格子２２′及び第２の格子２４′は、回折格
子２０′の動きが検出器（第２図には図示せず）により
検出される波長と波長の強さにおける変化が生ずるよう
に置かれておりそれによって、回転運動に対する感受性
をもつ双状態スイッチ（ｂｉｓｔａｔｅ　５ｗ１ｔｃｈ
）として作動する。

第２Ａ図に示すように、第２図に示された構造の回転運
動を検出するための他の具体例は円筒シャフト４８の軸
方向端部表面に回折格子２０゛を含んでいる。

回折格子２０″はラインは放射状に配列されるように形
成されている。

理解されうるように、効果的な間隔は回転軸ＡＸからの
半径の関数として変化する。

従って、回折格子２０′″は軸Ａｘに対して同心的に設
けられることが好ましい。

第３図には、参照符号５０により一般的に指示されてい
る他の変換システムが示されておりそれによれば、第１
図における対応する部材は同じ参照符号により示されて
いる。

平行的に間隔をもって配置されたラインにより記号的形
式で示されているように、反射的回折格子５２は直線的
に又は指数関数的に或は他の関数に応じて変化しうる可
変性格子間隔を有している。

回折格子５２は１センチメートル当り数千水のラインで
構成された初期ライン間隔で物体に線を引き次で隣接し
て引かれた各ラインをもってその間隔を少し減少せしめ
これを連続的に行うことによりライン密度を増加させる
ことによって形成されうる。

Ｘ方向における格子５２の変位は反射及び屈折された光
の波長にレンズ１８から与えられた光によって照射され
た格子間隔に起因して変化を生ビせしめることになる。

波長における変化は検出器３６により検知され次でこれ
に対して検知器は波長における変化の関数でありかつ相
対的変位の正確な表示である電気信号を発生する。これ
は第１図のシステムにより発生される双状態出力とは異
るものである。

第３図のシステムの１つの実施例に適用しうるものであ
って、第３Ｃ図にグラス的に表示されているように、波
長はおよそ２００ｎｍ／ｃｍの相対的変位率をもって実
質的な直線状で変化する。

第３図のシステムとの関係において、回折格子５２の相
対的運動は格子５２が設けられている可動部材により或
は、例えば温度、圧力或は荷重／歪変化等の回折格子５
２に作用する物理的力によって生じせしめられつる。

後者の関係において又第３Ａ図に示されるようにチャン
バーに設けられかつ押圧ロッド５６によって回折格子５
２に接続されたダイアフラムのような圧力変換器５４が
圧力Ｐに応答して格子５２の物理的圧縮を実行しかつそ
れに対応した電気的信号出力を実行するため回折格子５
２に圧縮力Ｆを負荷するために使用されることが出来る
。

第３Ｂ図において、温度Ｑに応答して伸縮する例えば銅
、アルミニウム等の材料から形成された熱アクチュエー
タ５８が回折格子５２′に圧縮力を与えるために設けら
れておりそれによって、温度により変化する出力信号を
供給している。第３Ｂ図のシステムにおいては、回折格
子５２′は第３図の回折格子における可変間隔ライン空
間と第１図に示されるタイプからなる回折格子における
隣接した固定間隔のライン空間との双方を有しており、
この形態は固定された波長の出力に切り換る可変波長出
力を供給する機能的組み合せを提供している。第３のシ
ステムにおける複合化回折格子は第４図に示されており
、参照符号６２により表示されている。

複合化させれた回折格子６２は固定されたライン間隔を
有する第１の格子６４と第３図の反射的格子５２に関し
て上述したような可変ライン間隔をもった第２の格子６
６としてより形成されている。図示のように、第１の格
子６４は第２の格子６６の側面と接合されるか或はそれ
の近傍に取り付けられておりそれによって、第１と第２
の格子６４と６６のラインは一般的には平行となってい
る。第２の格子６６の格子間隔は直線的に、指数関数的
に或は他の予め決められた関数に従って変化することが
出来る。複合格子６４は例えば第１図の光学的回路にお
いて使用されそれによって、レンズ１８を通して供給さ
れた光源は第１の格子６４と第２の格子６６との双方を
照射する。レンズ２８に入射された反射光は第１の格子
６４の固定された格子間隔と第２の格子６６の可変格子
間隔とに対応する波長を含んでいる。

回折格子６２が変位した場合、レンズ２８に対して反射
された光の波長成分は第１の格子６４の固定間隔からの
反射及び回折により生じた一定の波長成分と第２の格子
６６の可変間隔からの反射及び回折により生じた可変波
長成分とを有している。

第１と第２の格子６４と６６により生じせしめられた波
長出力ＷＶｌとＷＶ２とを表わす理想化されたグラフが
第５図に示されており、そこにおいて、たて軸は信号振
幅或は強度を示しており又よこ軸は波長を示している。

図示のとおり、ピークＷＶｌは複合化された回折格子６
２のあらゆる変位に関して相対的に固定された波長を有
しており又ピークＷＶ２は複合化回折格子６２の物理的
変位に関する関数としての波長で変化する。

このように、第１の回折格子６４は変位に応答する第２
の格子６６により供給される波長変化光に対するベース
ライン基準として機能する。

あらゆる一定温度が適用される場合、第５図に示される
ピークＷＶ、は相対的に固定された状態にある。

もしシステムにおける温度が変化した場合には、第１の
格子６４からの反射光及び第２の格子６６からの反射光
の波長は温度に依存した方式で変化することになろう。

温度の関数としての第１の格子６４からの屈折波長にお
ける変化はこのように回折格子６６の出力に関して温度
と相対的変位にもとづく変化を補償するための値として
利用されうる。

補償は、第１の温度Ｔ、と第２の温度Ｔ２との間の温度
Ｔ（即ちｗｖ、　［Ｔ＋３−ｗｖ、　（Ｔ２）　）　　
ニオケる変化に対する第１の波長ピークｗＶｌに関する
波長変化を上記温度Ｔにおける変化に対する第２の波長
ピークＷＶ２に関する変化から差引くことにより実行し
うる。

温度変化の補償に加えて第４図及び第５図に関連して説
明したように、信号出力は広帯域光源のスペクトルに関
して時間的変化に対しても補償されうる。かかる変化は
システムに誤差を生起することになる。

第６図に示されているように、光源１２からの光の部分
はファイバー７０を通してレンズ７４、回折格子７６及
びＣＣＤアレー７８とを含む検出器７２に導かれる。該
検出器７２は上述したように検出器３６に対するアナロ
グ的方法により機能する。光源は検出器７２により分析
されそして正規化器（ｎｏｍａｌｉ７ｅｒ）　　８Ｑに
供給されそこでは検出器３６からの出力４４を受は入れ
信号処理器４６に供給するためＣＣＤアレー７８の出カ
ニ関連シて出力４４を正規化（ｎｏｒｍａｌｉｚｅ）す
る。

上述した具体例において、反射・１生格子は光源に影響
を与えるために使用されていた。

理解しうるように、透過性格子も同様に使用される。

当業者にとって明らかなように、本発明の請求範囲とそ
れ等の均等の範囲内において決定されるような本発明の
精神と範囲を逸脱しない限りにおいて図説された本発明
に係る光学的格子変換器に関する多くの変形や修正があ
りうる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る変換器についての°第１の具体例
を示す図である。 第２図は第１図の装置についての第１の変形例を示す図
である。 第２Ａ図は第１図の装置についての第２の変形例を示す
図である。 第３図は本発明に係る変換器についての第２の具体例を
示す図である。 第３Ａ図は第３図の装置についての第１の変形例を示す
図である。 第３Ｂ図は第３図の装置についての第２の変形例を示す
図である。 第３Ｃ図は第３図のシステムについて回折波長と相対変
位との関係を表わすグラフでありたて軸はナノメーター
単位で表わされる波長を示しよこ軸はセンナメーターで
表わされる絶対位置変位を示す。 第４図は第３の変換システムに関する複合回折格子を示
す図である。 第゛５図は第４図の複合回折格子から得られる出力信号
を示す理想化されたグラフであり、たて軸は振幅或は強
度信号を表わし又よこ軸は波長を表わしている。 第６図は光源スペクトルの時間又は温度による変化につ
いて出力信号を補償するためのシステムに関する概略的
ブロックダイアグラムである。 １０　、５０　：検出器（光学的変換器システム）、１
２：光源、　　　　　１４　、３２　：光ファイバー、
１８、２８．３８．７４　：レンズ、 ２０、２０’　、　５２．６２　：反射性回折格子、６
４．２２．２２’　　：第１格子、 ６６．２４．２４’　　：第２格子、 ２６：境界部、　　　　？２　、３６　：検出器、４０
：透過性回折格子、７８，４２：ＣＣＤアレー、４６：
信号処理手段、　４８：シャフト、５４：ダイアフラム
、　　７６二回折格子、８０：正規化手段。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、回折格子、広帯域光学的放射をもって予め定められ
   た角度で格子を照射する手段、及び格子により回折され
   た放射に応答する検出手段とを含みかつ該格子はその長
   さ方向に沿って一定でない格子間隔を有しており又該検
   出手段は放射の照射に関連して格子の変位に起因した回
   折放射の特性における変化を検出するものであることに
   より特徴付けられる光学検出器。 ２、該回折格子は反射性回折格子であることを特徴とす
   る請求項１記載の光学検出器。 ３、該回折格子は第１の格子間隔をもつ第１の部分と第
   ２の格子間隔を有する第２の部分を有しかつ検出手段は
   、境界部分が照射される放射に対して変位する時に第１
   と第２の格子の間にある境界に対する照射にもとづく特
   性における変化を検出するものであることを特徴とする
   請求項１又は２記載の光学検出器。 ４、格子は第１の格子間隔を持った第１の部分境界によ
   って分離されている異なる第２の格子間隔を持った第２
   の部分とを有する第１の格子と固定された格子間隔を有
   する第２の格子とを含みかつ検出手段は、照射された放
   射に関して境界部分の変位に起因する両格子からの回折
   放射についての特性上の変化に応答する手段と第１と第
   ２の格子の双方に共通の検出された特性におけるあらゆ
   る誤差を補償しかつ第２の格子からの検出された放射を
   使用する手段とを含んでいることを特徴とする請求項１
   又は２に記載の光学検出器。 ５、格子の格子間隔は少くとも累進的に変化する部分を
   含んでいることを特徴とする請求項１又２に記載の光学
   検出器。 ６、当該部分は直線的に変化することを特徴とする請求
   項５記載の光学検出器。 ７、格子は可変的格子間隔を有する第１の格子と固定さ
   れた格子間隔を有する第２の格子とを含み、かつ検出手
   段は照射された放射に対する第１の格子の変位に起因し
   て両格子からの回折放射の特性上の変化に応答する手段
   と該第１と第２の格子の双方に共通している検出された
   特性上のあらゆる誤差を補償しかつ検出された第２の回
   折格子からの放射を使用する手段とを含んでいることを
   特徴とする請求項１又は２に記載の検出器。 ８、放射手段は広帯域光を発生するための光学的光源、
   該光源と結合された入力部と、出力部とを有する光ファ
   イバー及び、広帯域光を予め定められた角度で該光ファ
   イバーの出力部から該回折格子に導くための手段とを含
   んでいることを特徴とする前記したいづれかの請求項に
   記載された検出器。 ９、検出手段は入力端部と出力端部とを有する光ファイ
   バー、該回折放射を該光ファイバーの入力端部に指向さ
   せる手段及び少くとも回折光の波長を決定するため光フ
   ァイバーの出力端部に結合された手段とを含むことを特
   徴とする前記したいづれかの請求項に記載の検出器。 １０、波長決定手段は透過性回折格子、該光ファイバー
   の出力端部から発せられる放射を該透過性回折格子に指
   向させるための手段及び回折放射を検出するための放射
   応答性素子の列とを含んでおりかつ該回折された放射は
   回折放射により照射される放射応答素子のうちの選択さ
   れた素子の関数として検出されるものであることを特徴
   とする請求項９記載の検出器。 １１、物理的パラメーターに応答しかつ該回折格子に結
   合され該物理的パラメーターに応答して該回折格子に歪
   を与えるため該格子に力を付加する手段により特徴付け
   られかつ該検出手段は、該回折格子により経験された歪
   に起因する回折放射の特性上の変化を検出するための手
   段を含むことにより特徴付けられている前述したいづれ
   かの請求項記載の検出器。 １２、物理的パラメーターに応答する手段は圧力に応答
   するものであることを特徴とする請求項１１記載の検出
   器 １３、該物理的パラメーターに応答する手段は温度に応
   答するものであることを特徴とする請求項１１記載の検
   出器。 １４、広帯域放射の部分を検出しかつそれに応答して回
   折放射の検出された特性を正規化する手段により特徴付
   けられている前述のいづれかの請求項記載の検出器