JPS58197912A - 分波機能を有する弾性表面波フイルタ - Google Patents
分波機能を有する弾性表面波フイルタInfo
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- JPS58197912A JPS58197912A JP7996482A JP7996482A JPS58197912A JP S58197912 A JPS58197912 A JP S58197912A JP 7996482 A JP7996482 A JP 7996482A JP 7996482 A JP7996482 A JP 7996482A JP S58197912 A JPS58197912 A JP S58197912A
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- JP
- Japan
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- piezoelectric thin
- surface acoustic
- substrate
- filter
- thin film
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- Pending
Links
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 26
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 15
- 239000010408 film Substances 0.000 abstract 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 230000005428 wave function Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02543—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles
- H03H9/02574—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles of combined substrates, multilayered substrates, piezoelectrical layers on not-piezoelectrical substrate
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、分波機能を持ったフィルタ、更に詳しく言え
ば、多層の圧電薄膜を形成した、弾性表面波を伝搬する
基板と、導電性細線で出来た複数個のトランスデユーサ
を形成してなる、ＶＩＰ。
ば、多層の圧電薄膜を形成した、弾性表面波を伝搬する
基板と、導電性細線で出来た複数個のトランスデユーサ
を形成してなる、ＶＩＰ。
ｔＪＨＦの周波数範囲で動作するバンドパスフィルタの
構成に関する。
構成に関する。
従来の容量素子やインダクタンス素子を組合せたフィル
タに代るものとして、弾性表面波金利用したフィルタが
開発式れ、通信機やテレビジョン受信機にすでに使用さ
れている。これ等の弾性表面波回路装置は、小型に出来
ること、動作特性が安定していること、特性のそろつ友
装置が安価に出来る等の多くの利点を有する。
タに代るものとして、弾性表面波金利用したフィルタが
開発式れ、通信機やテレビジョン受信機にすでに使用さ
れている。これ等の弾性表面波回路装置は、小型に出来
ること、動作特性が安定していること、特性のそろつ友
装置が安価に出来る等の多くの利点を有する。
しかし、近年、受信部と送信部を持った無線通信機等で
は、第１図のようなアンテナ１、受信機３、送信機５の
３箋子を、受信フィルタ２と送信フィルタ４で結び付け
る分波機能を持ったフィルタが必要になってきた。
は、第１図のようなアンテナ１、受信機３、送信機５の
３箋子を、受信フィルタ２と送信フィルタ４で結び付け
る分波機能を持ったフィルタが必要になってきた。
アンテナ１から入射する受信電力は、受信フィルタ２を
通り受信機３に入るが、送信フィルタ４により送信８５
には入らない。送信機５からの送信電力は、送信フィル
タ４ｆ通りアンテナ１から放射されるが、受信フィルタ
２により受信機３にＬ入らない。
通り受信機３に入るが、送信フィルタ４により送信８５
には入らない。送信機５からの送信電力は、送信フィル
タ４ｆ通りアンテナ１から放射されるが、受信フィルタ
２により受信機３にＬ入らない。
一般に、圧電薄膜を用いた弾性表面波フィルタは、第２
図のように、圧電基板または非圧電基板上に形成された
圧電性薄膜上に、Ａｔ等で出来た入力用および出力用の
すだれ状電極（トランスデユーサ）を形成することによ
って構成する。
図のように、圧電基板または非圧電基板上に形成された
圧電性薄膜上に、Ａｔ等で出来た入力用および出力用の
すだれ状電極（トランスデユーサ）を形成することによ
って構成する。
第２図は、非圧電基板の上に短絡用の金属薄膜９を介し
てＺｎＯ等の圧電薄膜８を形成した例である。トランス
デユーサは、圧電薄膜の上面に形成しているが、上面に
短絡＠管形成し、非圧電基板と圧電薄膜との間にトラン
スデユーサを形成しても良い。
てＺｎＯ等の圧電薄膜８を形成した例である。トランス
デユーサは、圧電薄膜の上面に形成しているが、上面に
短絡＠管形成し、非圧電基板と圧電薄膜との間にトラン
スデユーサを形成しても良い。
しかし、この構造で、第１図のアンテナ共用器の工つな
、１個の入力用に対して２個の出力用のトランスデユー
サを形成する場合は、トランスデユーサを同一直線上に
並べる必要があるため、伝搬損失の増加、回折等がフィ
ルタの特性に重要な影偉を与えるため好１しくｋい。
、１個の入力用に対して２個の出力用のトランスデユー
サを形成する場合は、トランスデユーサを同一直線上に
並べる必要があるため、伝搬損失の増加、回折等がフィ
ルタの特性に重要な影偉を与えるため好１しくｋい。
本発明の目的は、第１図のアンテナ共用器のようなアン
テナ端子に対して、受信端子および送信端子等の複数の
入出力端子を持ち、分波機能をそなえ、かつ、単一基板
または単一チップ上に形成された弾性表面波バンドパス
フィルタを提供することにある。
テナ端子に対して、受信端子および送信端子等の複数の
入出力端子を持ち、分波機能をそなえ、かつ、単一基板
または単一チップ上に形成された弾性表面波バンドパス
フィルタを提供することにある。
本発明は、上記目的を達成するため第３図のような多層
の圧電薄膜を導入することにより、第１図のような分波
機能を有する弾性表面波フィルタを単一チップ上に構成
するものである。
の圧電薄膜を導入することにより、第１図のような分波
機能を有する弾性表面波フィルタを単一チップ上に構成
するものである。
以下本発明を第３図に示す実施例に４とづいて説明する
第３図は基板１９の上にＺｎＯ等の２層の圧電薄膜１６
．１８を短絡用の金属薄膜１７を介して形成した構造の
断面図である。第２図のトランスデユーサ１１またに１
２に対応するトランスデユーサ杖１３，１４．１５であ
る。第３図の例では、１３．１４は圧電薄膜１６の上面
に形成し、１５は基板と圧電薄膜１８との間に形成して
いる。
第３図は基板１９の上にＺｎＯ等の２層の圧電薄膜１６
．１８を短絡用の金属薄膜１７を介して形成した構造の
断面図である。第２図のトランスデユーサ１１またに１
２に対応するトランスデユーサ杖１３，１４．１５であ
る。第３図の例では、１３．１４は圧電薄膜１６の上面
に形成し、１５は基板と圧電薄膜１８との間に形成して
いる。
このように、圧電薄膜の多層構造を導入するととにより
、第１図のような分波機能を有する弾性表面波フィルタ
を単一基板または単一チップ上に形成することが出来る
。以下、理由を説明する。
、第１図のような分波機能を有する弾性表面波フィルタ
を単一基板または単一チップ上に形成することが出来る
。以下、理由を説明する。
第３図で、１３を第１図のアンテナ端子１３′。
１４を受信機端子１４’、１５を送信機端子１５’に夫
々接続てれているものとする。ここで、１４
（は受信周波数で決定される繰少返天し周期、１５は
送信周波数で決定される繰シ返えし周期のトランスデユ
ーサとする。また、１３は周波数特性が受信および送信
帯域にまたがる広い帯域に設計される。
々接続てれているものとする。ここで、１４
（は受信周波数で決定される繰少返天し周期、１５は
送信周波数で決定される繰シ返えし周期のトランスデユ
ーサとする。また、１３は周波数特性が受信および送信
帯域にまたがる広い帯域に設計される。
アンテナからの受信電力により、トランスデュ、−サ１
３は弾性表面波を励振する。この弾性表面波ｉ、１４．
１５を同時に通過するが、１５は、電極周期が受信周波
数と異なる光め、１５に受信電力が現われることはない
。１４では電極周期が受信局波数と一致しているため弾
性表面波は電気信号に変換され、受信機に取り出すこと
が出来る。
３は弾性表面波を励振する。この弾性表面波ｉ、１４．
１５を同時に通過するが、１５は、電極周期が受信周波
数と異なる光め、１５に受信電力が現われることはない
。１４では電極周期が受信局波数と一致しているため弾
性表面波は電気信号に変換され、受信機に取り出すこと
が出来る。
送信機からの送信電力が１５に加わる場合は、１５から
弾性表面波として励振が前と同様の理由で１４では電気
信号に変換されない。１３は前述のように広い周波数範
囲に設計されているため、弾性表面波は、電気信号に変
換されアンテナから外部へ放射される。
弾性表面波として励振が前と同様の理由で１４では電気
信号に変換されない。１３は前述のように広い周波数範
囲に設計されているため、弾性表面波は、電気信号に変
換されアンテナから外部へ放射される。
したがって、第３図のような圧電薄膜の多層構造を導入
するこそにより、第１図のような分波機能を持ったフィ
ルタを単一基板または単一チップ上に構成することが出
来る。
するこそにより、第１図のような分波機能を持ったフィ
ルタを単一基板または単一チップ上に構成することが出
来る。
以上の説明から分るように、トランスデユーサ１３．１
４．１５の位置は必ずしも第３図のよう・に配置する必
要はなく、１３を圧電薄膜と基板の間に形成しても良＜
、１４．１５の位置は逆でも良い。
４．１５の位置は必ずしも第３図のよう・に配置する必
要はなく、１３を圧電薄膜と基板の間に形成しても良＜
、１４．１５の位置は逆でも良い。
以上から分るように、本発明の根本は、多層の圧電薄膜
を導入することによυ、複数の入出力端子を持った弾性
表面波フィルタを構成することであｐｌ ２層構造に限
る必要はない。また、必ずしも圧電薄膜のみである必要
もなく、非圧電薄膜を含んでいても良い。
を導入することによυ、複数の入出力端子を持った弾性
表面波フィルタを構成することであｐｌ ２層構造に限
る必要はない。また、必ずしも圧電薄膜のみである必要
もなく、非圧電薄膜を含んでいても良い。
尚本発明で電気・音響トランスデユーサと称したものは
電気より音響及び音響より電気への変換ｔ＆ｆ）ランス
デューサのいずれをも意味する。
電気より音響及び音響より電気への変換ｔ＆ｆ）ランス
デューサのいずれをも意味する。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明の適用可能なフィルタを含む回路図を
示す。第２図は圧電薄膜を用い友禅性表面波フィルタの
従来例構成図、第３図は本発明によるバンドパスフィル
タの実施例の構成図。 １・・・アンテナ、２．４・・・フィルタ、３・・・受
信機、５・・・送信機、６，７．１３．１４．１５・・
・トランスデユーサ用のすたれ状電極、１１．１２・・
・入力または出力電気端子、８，１６．１８・・・圧電
薄膜、９．１７・・・短絡用金属、１０．１９・・・基
板、２０￥５１図 ＶＪｚ 口 ＪＩＦＪ３ 口 ■
示す。第２図は圧電薄膜を用い友禅性表面波フィルタの
従来例構成図、第３図は本発明によるバンドパスフィル
タの実施例の構成図。 １・・・アンテナ、２．４・・・フィルタ、３・・・受
信機、５・・・送信機、６，７．１３．１４．１５・・
・トランスデユーサ用のすたれ状電極、１１．１２・・
・入力または出力電気端子、８，１６．１８・・・圧電
薄膜、９．１７・・・短絡用金属、１０．１９・・・基
板、２０￥５１図 ＶＪｚ 口 ＪＩＦＪ３ 口 ■
Claims (1)
- １、基板上に、圧電性薄膜が複数層多層に形成され、複
数個の電気・音響トランスデユーサが１つの薄膜の上又
は下面に設けられ、さらに少く共１つの電気音響トラン
スデユーサが他の薄膜の上又は下面に設けられているこ
とヲ特徴とする分波機能を有する弾性表面波フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7996482A JPS58197912A (ja) | 1982-05-14 | 1982-05-14 | 分波機能を有する弾性表面波フイルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7996482A JPS58197912A (ja) | 1982-05-14 | 1982-05-14 | 分波機能を有する弾性表面波フイルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58197912A true JPS58197912A (ja) | 1983-11-17 |
Family
ID=13704987
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7996482A Pending JPS58197912A (ja) | 1982-05-14 | 1982-05-14 | 分波機能を有する弾性表面波フイルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58197912A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62171327A (ja) * | 1986-01-24 | 1987-07-28 | Hitachi Ltd | 弾性表面波分波器モジュールおよび無線機 |
| US5160869A (en) * | 1989-12-26 | 1992-11-03 | Sumitomo Electric Industries Ltd. | Surface acoustic wave device |
| US7479845B2 (en) | 1998-06-09 | 2009-01-20 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Branching filter package |
-
1982
- 1982-05-14 JP JP7996482A patent/JPS58197912A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62171327A (ja) * | 1986-01-24 | 1987-07-28 | Hitachi Ltd | 弾性表面波分波器モジュールおよび無線機 |
| US5160869A (en) * | 1989-12-26 | 1992-11-03 | Sumitomo Electric Industries Ltd. | Surface acoustic wave device |
| US7479845B2 (en) | 1998-06-09 | 2009-01-20 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Branching filter package |
| US7602263B2 (en) | 1998-06-09 | 2009-10-13 | Oki Semiconductor Co., Ltd. | Branching filter package |
| US7679472B2 (en) | 1998-06-09 | 2010-03-16 | Oki Semiconductor Co., Ltd. | Branching filter package |
| US7859362B2 (en) | 1998-06-09 | 2010-12-28 | Oki Semiconductor Co., Ltd. | Branching filter package |
| US7893794B2 (en) | 1998-06-09 | 2011-02-22 | Oki Semiconductor Co., Ltd. | Branching filter package |
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