JPH0865098A - 弾性表面波装置 - Google Patents
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- JPH0865098A JPH0865098A JP6198412A JP19841294A JPH0865098A JP H0865098 A JPH0865098 A JP H0865098A JP 6198412 A JP6198412 A JP 6198412A JP 19841294 A JP19841294 A JP 19841294A JP H0865098 A JPH0865098 A JP H0865098A
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- H03H9/6433—Coupled resonator filters
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 弾性表面波装置の周辺回路が平衡型、不平衡
型に関わらず、平衡−不平衡変換回路を必要とせず、小
型、高性能の弾性表面波装置を提供する。 【構成】 一方の端子が接地された送波側櫛形電極１
と、前記送波側櫛形電極１で励振された弾性表面波を電
気信号に変換する受波側櫛形電極２と、前記受波側櫛形
電極２の出力端子５に接続された平衡型弾性表面波フィ
ルタ３とを備えた構成とする。送波側櫛形電極１は、入
力端子４の一方の端子が接地されており、不平衡信号が
入力される。受波側櫛形電極２で受信された前記弾性表
面波は、平衡信号として電気信号に変換され、前記受波
側櫛形電極２の出力端子５に接続された前記平衡型弾性
表面波フィルタ３の入力端子８に入力される。
型に関わらず、平衡−不平衡変換回路を必要とせず、小
型、高性能の弾性表面波装置を提供する。 【構成】 一方の端子が接地された送波側櫛形電極１
と、前記送波側櫛形電極１で励振された弾性表面波を電
気信号に変換する受波側櫛形電極２と、前記受波側櫛形
電極２の出力端子５に接続された平衡型弾性表面波フィ
ルタ３とを備えた構成とする。送波側櫛形電極１は、入
力端子４の一方の端子が接地されており、不平衡信号が
入力される。受波側櫛形電極２で受信された前記弾性表
面波は、平衡信号として電気信号に変換され、前記受波
側櫛形電極２の出力端子５に接続された前記平衡型弾性
表面波フィルタ３の入力端子８に入力される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、通信機器等に使用され
る弾性表面波装置に関する。さらに詳しくは、ある特定
の周波数の電気信号のみを通すフィルターなどに使用す
ることができる弾性表面波装置に関する。
る弾性表面波装置に関する。さらに詳しくは、ある特定
の周波数の電気信号のみを通すフィルターなどに使用す
ることができる弾性表面波装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】移動体通信の発展にともない、移動体通
信機器等に使用される弾性表面波装置の特性に対する要
求がますます高くなってきている。従来、移動体通信機
器等のバンドパスフィルタとして使用されている弾性表
面波装置は、その全てがいわゆる不平衡型フィルタであ
った。一般に、増幅器やミキサなどの高周波回路部品
は、その特性上、平衡型の方が好ましいが、周辺回路と
の整合の問題などから主として不平衡型デバイスが使用
されている。
信機器等に使用される弾性表面波装置の特性に対する要
求がますます高くなってきている。従来、移動体通信機
器等のバンドパスフィルタとして使用されている弾性表
面波装置は、その全てがいわゆる不平衡型フィルタであ
った。一般に、増幅器やミキサなどの高周波回路部品
は、その特性上、平衡型の方が好ましいが、周辺回路と
の整合の問題などから主として不平衡型デバイスが使用
されている。
【０００３】従来から弾性表面波装置においては、高周
波数帯で現在広く用いられている、共振器型フィルタ
（特開昭５２−１９０４４号公報または特開平５−１８
３３８０号公報）や、いわゆる多電極型フィルタ（特開
昭５８−１５４９１７号公報）などは、その全てが不平
衡型デバイスであった。しかし、原理的には平衡型デバ
イスの実現が十分可能であり、平衡型弾性表面波フィル
タの移動体通信機器等への使用が期待されている。
波数帯で現在広く用いられている、共振器型フィルタ
（特開昭５２−１９０４４号公報または特開平５−１８
３３８０号公報）や、いわゆる多電極型フィルタ（特開
昭５８−１５４９１７号公報）などは、その全てが不平
衡型デバイスであった。しかし、原理的には平衡型デバ
イスの実現が十分可能であり、平衡型弾性表面波フィル
タの移動体通信機器等への使用が期待されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、移動体
通信機器等で使用される高周波回路部品は、そのほとん
どが不平衡型デバイスであり、平衡型デバイスと混在さ
せて使用する場合には、平衡−不平衡の変換回路が必要
となる。その結果、各種高周波部品の特性が向上する一
方で、部品点数が増大し、その結果、機器の小型化、低
コスト化が困難となるという課題を有していた。
通信機器等で使用される高周波回路部品は、そのほとん
どが不平衡型デバイスであり、平衡型デバイスと混在さ
せて使用する場合には、平衡−不平衡の変換回路が必要
となる。その結果、各種高周波部品の特性が向上する一
方で、部品点数が増大し、その結果、機器の小型化、低
コスト化が困難となるという課題を有していた。
【０００５】本発明は、前記従来の課題を解決するもの
であり、弾性表面波装置の周辺回路が平衡型、不平衡型
に関わらず、平衡−不平衡変換回路を必要とせず、小
型、高性能の弾性表面波装置を提供することを目的とす
る。
であり、弾性表面波装置の周辺回路が平衡型、不平衡型
に関わらず、平衡−不平衡変換回路を必要とせず、小
型、高性能の弾性表面波装置を提供することを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明の第１番目の弾性表面波装置は、一方の端子
が接地された送波側櫛形電極と、前記送波側櫛形電極で
励振された弾性表面波を電気信号に変換する受波側櫛形
電極と、前記受波側櫛形電極に接続された平衡型弾性表
面波フィルタとを備えたことを特徴とする。
め、本発明の第１番目の弾性表面波装置は、一方の端子
が接地された送波側櫛形電極と、前記送波側櫛形電極で
励振された弾性表面波を電気信号に変換する受波側櫛形
電極と、前記受波側櫛形電極に接続された平衡型弾性表
面波フィルタとを備えたことを特徴とする。
【０００７】また本発明の第２番目の弾性表面波装置
は、平衡型弾性表面波フィルタと、前記平衡型弾性表面
波フィルタに接続された送波側櫛形電極と、前記送波側
櫛形電極で励振された弾性表面波を電気信号に変換する
ための一方の端子が接地された受波側櫛形電極とを備え
たことを特徴とする。
は、平衡型弾性表面波フィルタと、前記平衡型弾性表面
波フィルタに接続された送波側櫛形電極と、前記送波側
櫛形電極で励振された弾性表面波を電気信号に変換する
ための一方の端子が接地された受波側櫛形電極とを備え
たことを特徴とする。
【０００８】また本発明の第３番目の弾性表面波装置
は、一方の端子が接地された第１の送波側櫛形電極と、
前記第１の送波側櫛形電極で励振された弾性表面波を電
気信号に変換する第１の受波側櫛形電極と、前記第１の
受波側櫛形電極に接続された平衡型弾性表面波フィルタ
と、前記平衡型弾性表面波フィルタに接続された第２の
送波側櫛形電極と、前記第２の送波側櫛形電極で励振さ
れた弾性表面波を電気信号に変換するための一方の端子
が接地された第２の受波側櫛形電極とを備えたことを特
徴とする。
は、一方の端子が接地された第１の送波側櫛形電極と、
前記第１の送波側櫛形電極で励振された弾性表面波を電
気信号に変換する第１の受波側櫛形電極と、前記第１の
受波側櫛形電極に接続された平衡型弾性表面波フィルタ
と、前記平衡型弾性表面波フィルタに接続された第２の
送波側櫛形電極と、前記第２の送波側櫛形電極で励振さ
れた弾性表面波を電気信号に変換するための一方の端子
が接地された第２の受波側櫛形電極とを備えたことを特
徴とする。
【０００９】前記第１〜３番目の弾性表面波装置の発明
においては、少なくとも３個以上の櫛形電極を弾性表面
波の伝搬方向に配置し、それぞれの櫛形電極を交互に、
送波側櫛形電極及び受波側櫛形電極としたことが好まし
い。
においては、少なくとも３個以上の櫛形電極を弾性表面
波の伝搬方向に配置し、それぞれの櫛形電極を交互に、
送波側櫛形電極及び受波側櫛形電極としたことが好まし
い。
【００１０】また前記第１〜３番目の弾性表面波装置の
発明においては、送波側櫛形電極および受波側櫛形電極
の両外側に、反射器を設けたことが好ましい。次に本発
明の第４番目の弾性表面波装置は、一方の端子が接地さ
れた送波側櫛形電極と、一方の端子が接地され、前記送
波側櫛形電極で励振された弾性表面波を、互いに位相が
異なる弾性表面波として受信するように、前記送波側櫛
形電極の両側に配置された、第１及び第２の受波側櫛形
電極と、前記第１及び第２の受波側櫛形電極に接続され
た平衡型弾性表面波フィルタとを備えたことを特徴とす
る。
発明においては、送波側櫛形電極および受波側櫛形電極
の両外側に、反射器を設けたことが好ましい。次に本発
明の第４番目の弾性表面波装置は、一方の端子が接地さ
れた送波側櫛形電極と、一方の端子が接地され、前記送
波側櫛形電極で励振された弾性表面波を、互いに位相が
異なる弾性表面波として受信するように、前記送波側櫛
形電極の両側に配置された、第１及び第２の受波側櫛形
電極と、前記第１及び第２の受波側櫛形電極に接続され
た平衡型弾性表面波フィルタとを備えたことを特徴とす
る。
【００１１】次に本発明の第５番目の弾性表面波装置
は、平衡型弾性表面波フィルタと、前記平衡型弾性表面
波フィルタに接続され、一方の端子が接地された第１及
び第２の送波側櫛形電極と、前記第１及び第２の送波側
櫛形電極で励振された弾性表面波を電気信号に変換する
ための一方の端子が接地された受波側櫛形電極とを備え
たことを特徴とする。
は、平衡型弾性表面波フィルタと、前記平衡型弾性表面
波フィルタに接続され、一方の端子が接地された第１及
び第２の送波側櫛形電極と、前記第１及び第２の送波側
櫛形電極で励振された弾性表面波を電気信号に変換する
ための一方の端子が接地された受波側櫛形電極とを備え
たことを特徴とする。
【００１２】次に本発明の第６番目の弾性表面波装置
は、一方の端子が接地された第１の送波側櫛形電極と、
一方の端子が接地され、前記第１の送波側櫛形電極で励
振された弾性表面波を、互いに位相が異なる弾性表面波
として受信するように、前記第１の送波側櫛形電極の両
側に配置された、第１及び第２の受波側櫛形電極と、前
記第１及び第２の受波側櫛形電極に接続された平衡型弾
性表面波フィルタと、前記平衡型弾性表面波フィルタに
接続され、一方の端子が接地された第２及び第３の送波
側櫛形電極と、前記第２及び第３の送波側櫛形電極で励
振された弾性表面波を電気信号に変換するための一方の
端子が接地された第３の受波側櫛形電極とを備えたこと
を特徴とする。
は、一方の端子が接地された第１の送波側櫛形電極と、
一方の端子が接地され、前記第１の送波側櫛形電極で励
振された弾性表面波を、互いに位相が異なる弾性表面波
として受信するように、前記第１の送波側櫛形電極の両
側に配置された、第１及び第２の受波側櫛形電極と、前
記第１及び第２の受波側櫛形電極に接続された平衡型弾
性表面波フィルタと、前記平衡型弾性表面波フィルタに
接続され、一方の端子が接地された第２及び第３の送波
側櫛形電極と、前記第２及び第３の送波側櫛形電極で励
振された弾性表面波を電気信号に変換するための一方の
端子が接地された第３の受波側櫛形電極とを備えたこと
を特徴とする。
【００１３】前記第４〜６番目の弾性表面波装置の発明
においては、少なくとも４個以上の櫛形電極を弾性表面
波の伝搬方向に配置し、それぞれの櫛形電極を交互に、
送波側櫛形電極及び受波側櫛形電極としたことが好まし
い。
においては、少なくとも４個以上の櫛形電極を弾性表面
波の伝搬方向に配置し、それぞれの櫛形電極を交互に、
送波側櫛形電極及び受波側櫛形電極としたことが好まし
い。
【００１４】また前記第４〜６番目の弾性表面波装置の
発明においては、送波側櫛形電極及び受波側櫛形電極の
両外側に、反射器を設けたことが好ましい。また前記第
１〜６番目の弾性表面波装置の発明においては、平衡型
弾性表面波フィルタが、４個の弾性表面波共振子を対称
格子型に接続したものを基本単位として、少なくとも１
段以上接続することにより構成したことが好ましい。
発明においては、送波側櫛形電極及び受波側櫛形電極の
両外側に、反射器を設けたことが好ましい。また前記第
１〜６番目の弾性表面波装置の発明においては、平衡型
弾性表面波フィルタが、４個の弾性表面波共振子を対称
格子型に接続したものを基本単位として、少なくとも１
段以上接続することにより構成したことが好ましい。
【００１５】また前記第１〜６番目の弾性表面波装置の
発明においては、送波側櫛形電極と、受波側櫛形電極と
によって現出する周波数特性において、挿入損失が最小
となる周波数と、平衡型弾性表面波フィルタの中心周波
数とがほぼ一致することが好ましい。
発明においては、送波側櫛形電極と、受波側櫛形電極と
によって現出する周波数特性において、挿入損失が最小
となる周波数と、平衡型弾性表面波フィルタの中心周波
数とがほぼ一致することが好ましい。
【００１６】また前記第１，３，４および６番目の弾性
表面波装置の発明においては、受波側櫛形電極の出力端
子と、平衡型弾性表面波フィルタの入力端子との間に、
インピーダンス整合回路を備えたことが好ましい。
表面波装置の発明においては、受波側櫛形電極の出力端
子と、平衡型弾性表面波フィルタの入力端子との間に、
インピーダンス整合回路を備えたことが好ましい。
【００１７】また前記第２〜３および５〜６番目の弾性
表面波装置の発明においては、平衡型弾性表面波フィル
タの出力端子と、送波側櫛形電極の入力端子との間に、
インピーダンス整合回路を備えたことが好ましい。
表面波装置の発明においては、平衡型弾性表面波フィル
タの出力端子と、送波側櫛形電極の入力端子との間に、
インピーダンス整合回路を備えたことが好ましい。
【００１８】また前記第１〜６番目の弾性表面波装置の
発明においては、送波側櫛形電極と受波側櫛形電極とが
形成された基板の物理定数と、平衡型弾性表面波フィル
タが形成された基板の物理定数とが、互いに異なること
が好ましい。
発明においては、送波側櫛形電極と受波側櫛形電極とが
形成された基板の物理定数と、平衡型弾性表面波フィル
タが形成された基板の物理定数とが、互いに異なること
が好ましい。
【００１９】また前記構成においては、送波側櫛形電極
と、受波側櫛形電極とが形成された基板の電気機械結合
係数が、平衡型弾性表面波フィルタが形成された基板の
電気機械結合係数よりも実質的に大きいことが好まし
い。
と、受波側櫛形電極とが形成された基板の電気機械結合
係数が、平衡型弾性表面波フィルタが形成された基板の
電気機械結合係数よりも実質的に大きいことが好まし
い。
【００２０】また前記構成においては、送波側櫛形電極
と、受波側櫛形電極とが形成された基板の周波数温度係
数と、平衡型弾性表面波フィルタが形成された基板の周
波数温度係数とがほぼ一致することが好ましい。
と、受波側櫛形電極とが形成された基板の周波数温度係
数と、平衡型弾性表面波フィルタが形成された基板の周
波数温度係数とがほぼ一致することが好ましい。
【００２１】また前記構成においては、送波側櫛形電極
と、受波側櫛形電極とが形成された基板と、平衡型弾性
表面波フィルタが形成された基板とが、気密保持のため
の容器に一体に実装したことが好ましい。
と、受波側櫛形電極とが形成された基板と、平衡型弾性
表面波フィルタが形成された基板とが、気密保持のため
の容器に一体に実装したことが好ましい。
【００２２】また前記構成においては、受波側櫛形電極
の出力端子と、平衡型弾性表面波フィルタの入力端子と
の間、または平衡型弾性表面波フィルタの出力端子と、
送波側櫛形電極の入力端子との間に接続されるインピー
ダンス整合回路を、気密保持のための容器に内蔵したこ
とが好ましい。
の出力端子と、平衡型弾性表面波フィルタの入力端子と
の間、または平衡型弾性表面波フィルタの出力端子と、
送波側櫛形電極の入力端子との間に接続されるインピー
ダンス整合回路を、気密保持のための容器に内蔵したこ
とが好ましい。
【００２３】また前記構成においては、気密保持のため
の容器が誘電体多層基板からなることが好ましい。また
前記構成においては、送波側櫛形電極と、受波側櫛形電
極と、平衡型弾性表面波フィルタとが、同一の基板上に
一体に形成されたことが好ましい。
の容器が誘電体多層基板からなることが好ましい。また
前記構成においては、送波側櫛形電極と、受波側櫛形電
極と、平衡型弾性表面波フィルタとが、同一の基板上に
一体に形成されたことが好ましい。
【００２４】また前記構成においては、送波側櫛形電極
と、受波側櫛形電極とを形成する電極の膜厚が、平衡型
弾性表面波フィルタを形成する電極の膜厚よりも厚いこ
とが好ましい。
と、受波側櫛形電極とを形成する電極の膜厚が、平衡型
弾性表面波フィルタを形成する電極の膜厚よりも厚いこ
とが好ましい。
【００２５】また前記構成においては、受波側櫛形電極
の出力端子と、平衡型弾性表面波フィルタの入力端子と
の間、または平衡型弾性表面波フィルタの出力端子と、
送波側櫛形電極の入力端子との間に接続されるインピー
ダンス整合回路を、気密保持のための容器に内蔵したこ
とが好ましい。
の出力端子と、平衡型弾性表面波フィルタの入力端子と
の間、または平衡型弾性表面波フィルタの出力端子と、
送波側櫛形電極の入力端子との間に接続されるインピー
ダンス整合回路を、気密保持のための容器に内蔵したこ
とが好ましい。
【００２６】また前記構成においては、気密保持のため
の容器が誘電体多層基板からなることが好ましい。
の容器が誘電体多層基板からなることが好ましい。
【００２７】
【作用】前記本発明の第１番目の弾性表面波装置の構成
によれば、一方の端子が接地された送波側櫛形電極と、
前記送波側櫛形電極で励振された弾性表面波を電気信号
に変換する受波側櫛形電極と、前記受波側櫛形電極に接
続された平衡型弾性表面波フィルタとを備えたことによ
り、弾性表面波装置の周辺回路が平衡型、不平衡型に関
わらず、平衡−不平衡変換回路を必要とせず、小型、高
性能の弾性表面波装置を得ることができる。その結果、
各種高周波部品に平衡型デバイスが使用でき、高周波回
路部の特性向上を図ることができる。
によれば、一方の端子が接地された送波側櫛形電極と、
前記送波側櫛形電極で励振された弾性表面波を電気信号
に変換する受波側櫛形電極と、前記受波側櫛形電極に接
続された平衡型弾性表面波フィルタとを備えたことによ
り、弾性表面波装置の周辺回路が平衡型、不平衡型に関
わらず、平衡−不平衡変換回路を必要とせず、小型、高
性能の弾性表面波装置を得ることができる。その結果、
各種高周波部品に平衡型デバイスが使用でき、高周波回
路部の特性向上を図ることができる。
【００２８】また本発明の第２番目の弾性表面波装置の
構成によれば、平衡型弾性表面波フィルタと、前記平衡
型弾性表面波フィルタに接続された送波側櫛形電極と、
前記送波側櫛形電極で励振された弾性表面波を電気信号
に変換するための一方の端子が接地された受波側櫛形電
極とを備えたことにより、前記同様に小型、高性能の弾
性表面波装置を得ることができ、各種高周波部品に平衡
型デバイスが使用でき、高周波回路部の特性向上を図る
ことができる。
構成によれば、平衡型弾性表面波フィルタと、前記平衡
型弾性表面波フィルタに接続された送波側櫛形電極と、
前記送波側櫛形電極で励振された弾性表面波を電気信号
に変換するための一方の端子が接地された受波側櫛形電
極とを備えたことにより、前記同様に小型、高性能の弾
性表面波装置を得ることができ、各種高周波部品に平衡
型デバイスが使用でき、高周波回路部の特性向上を図る
ことができる。
【００２９】また本発明の第３番目の弾性表面波装置の
構成によれば、一方の端子が接地された第１の送波側櫛
形電極と、前記第１の送波側櫛形電極で励振された弾性
表面波を電気信号に変換する第１の受波側櫛形電極と、
前記第１の受波側櫛形電極に接続された平衡型弾性表面
波フィルタと、前記平衡型弾性表面波フィルタに接続さ
れた第２の送波側櫛形電極と、前記第２の送波側櫛形電
極で励振された弾性表面波を電気信号に変換するための
一方の端子が接地された第２の受波側櫛形電極とを備え
たことにより、前記同様に小型、高性能の弾性表面波装
置を得ることができ、各種高周波部品に平衡型デバイス
が使用でき、高周波回路部の特性向上を図ることができ
る。
構成によれば、一方の端子が接地された第１の送波側櫛
形電極と、前記第１の送波側櫛形電極で励振された弾性
表面波を電気信号に変換する第１の受波側櫛形電極と、
前記第１の受波側櫛形電極に接続された平衡型弾性表面
波フィルタと、前記平衡型弾性表面波フィルタに接続さ
れた第２の送波側櫛形電極と、前記第２の送波側櫛形電
極で励振された弾性表面波を電気信号に変換するための
一方の端子が接地された第２の受波側櫛形電極とを備え
たことにより、前記同様に小型、高性能の弾性表面波装
置を得ることができ、各種高周波部品に平衡型デバイス
が使用でき、高周波回路部の特性向上を図ることができ
る。
【００３０】前記において、少なくとも３個以上の櫛形
電極を弾性表面波の伝搬方向に配置し、それぞれの櫛形
電極を交互に、送波側櫛形電極及び受波側櫛形電極とし
たという好ましい例によれば、弾性表面波の双方向損失
を低減でき、弾性表面波装置の挿入損失を低減すること
ができる。
電極を弾性表面波の伝搬方向に配置し、それぞれの櫛形
電極を交互に、送波側櫛形電極及び受波側櫛形電極とし
たという好ましい例によれば、弾性表面波の双方向損失
を低減でき、弾性表面波装置の挿入損失を低減すること
ができる。
【００３１】また前記において、送波側櫛形電極および
受波側櫛形電極の両外側に、反射器を設けたという好ま
しい例によれば、弾性表面波装置の挿入損失を低減する
ことができる。
受波側櫛形電極の両外側に、反射器を設けたという好ま
しい例によれば、弾性表面波装置の挿入損失を低減する
ことができる。
【００３２】次に本発明の第４番目の弾性表面波装置の
構成によれば、一方の端子が接地された送波側櫛形電極
と、一方の端子が接地され、前記送波側櫛形電極で励振
された弾性表面波を、互いに位相が異なる弾性表面波と
して受信するように、前記送波側櫛形電極の両側に配置
された、第１及び第２の受波側櫛形電極と、前記第１及
び第２の受波側櫛形電極に接続された平衡型弾性表面波
フィルタとを備えたことにより、弾性表面波装置の周辺
回路が平衡型、不平衡型に関わらず、平衡−不平衡変換
回路を必要とせず、小型、高性能の弾性表面波装置を得
ることができる。その結果、各種高周波部品に平衡型デ
バイスが使用でき、高周波回路部の特性向上を図ること
ができる。
構成によれば、一方の端子が接地された送波側櫛形電極
と、一方の端子が接地され、前記送波側櫛形電極で励振
された弾性表面波を、互いに位相が異なる弾性表面波と
して受信するように、前記送波側櫛形電極の両側に配置
された、第１及び第２の受波側櫛形電極と、前記第１及
び第２の受波側櫛形電極に接続された平衡型弾性表面波
フィルタとを備えたことにより、弾性表面波装置の周辺
回路が平衡型、不平衡型に関わらず、平衡−不平衡変換
回路を必要とせず、小型、高性能の弾性表面波装置を得
ることができる。その結果、各種高周波部品に平衡型デ
バイスが使用でき、高周波回路部の特性向上を図ること
ができる。
【００３３】次に本発明の第５番目の弾性表面波装置の
構成によれば、平衡型弾性表面波フィルタと、前記平衡
型弾性表面波フィルタに接続され、一方の端子が接地さ
れた第１及び第２の送波側櫛形電極と、前記第１及び第
２の送波側櫛形電極で励振された弾性表面波を電気信号
に変換するための一方の端子が接地された受波側櫛形電
極とを備えたことにより、前記同様に小型、高性能の弾
性表面波装置を得ることができ、各種高周波部品に平衡
型デバイスが使用でき、高周波回路部の特性向上を図る
ことができる。
構成によれば、平衡型弾性表面波フィルタと、前記平衡
型弾性表面波フィルタに接続され、一方の端子が接地さ
れた第１及び第２の送波側櫛形電極と、前記第１及び第
２の送波側櫛形電極で励振された弾性表面波を電気信号
に変換するための一方の端子が接地された受波側櫛形電
極とを備えたことにより、前記同様に小型、高性能の弾
性表面波装置を得ることができ、各種高周波部品に平衡
型デバイスが使用でき、高周波回路部の特性向上を図る
ことができる。
【００３４】次に本発明の第６番目の弾性表面波装置の
構成によれば、一方の端子が接地された第１の送波側櫛
形電極と、一方の端子が接地され、前記第１の送波側櫛
形電極で励振された弾性表面波を、互いに位相が異なる
弾性表面波として受信するように、前記第１の送波側櫛
形電極の両側に配置された、第１及び第２の受波側櫛形
電極と、前記第１及び第２の受波側櫛形電極に接続され
た平衡型弾性表面波フィルタと、前記平衡型弾性表面波
フィルタに接続され、一方の端子が接地された第２及び
第３の送波側櫛形電極と、前記第２及び第３の送波側櫛
形電極で励振された弾性表面波を電気信号に変換するた
めの一方の端子が接地された第３の受波側櫛形電極とを
備えたことにより、前記同様に小型、高性能の弾性表面
波装置を得ることができ、各種高周波部品に平衡型デバ
イスが使用でき、高周波回路部の特性向上を図ることが
できる。
構成によれば、一方の端子が接地された第１の送波側櫛
形電極と、一方の端子が接地され、前記第１の送波側櫛
形電極で励振された弾性表面波を、互いに位相が異なる
弾性表面波として受信するように、前記第１の送波側櫛
形電極の両側に配置された、第１及び第２の受波側櫛形
電極と、前記第１及び第２の受波側櫛形電極に接続され
た平衡型弾性表面波フィルタと、前記平衡型弾性表面波
フィルタに接続され、一方の端子が接地された第２及び
第３の送波側櫛形電極と、前記第２及び第３の送波側櫛
形電極で励振された弾性表面波を電気信号に変換するた
めの一方の端子が接地された第３の受波側櫛形電極とを
備えたことにより、前記同様に小型、高性能の弾性表面
波装置を得ることができ、各種高周波部品に平衡型デバ
イスが使用でき、高周波回路部の特性向上を図ることが
できる。
【００３５】前記において、少なくとも４個以上の櫛形
電極を弾性表面波の伝搬方向に配置し、それぞれの櫛形
電極を交互に、送波側櫛形電極及び受波側櫛形電極とし
たという好ましい例によれば、弾性表面波の双方向損失
を低減でき、弾性表面波装置の挿入損失を低減すること
ができる。
電極を弾性表面波の伝搬方向に配置し、それぞれの櫛形
電極を交互に、送波側櫛形電極及び受波側櫛形電極とし
たという好ましい例によれば、弾性表面波の双方向損失
を低減でき、弾性表面波装置の挿入損失を低減すること
ができる。
【００３６】また前記において、送波側櫛形電極及び受
波側櫛形電極の両外側に、反射器を設けたという好まし
い例によれば、弾性表面波装置の挿入損失を低減するこ
とができる。
波側櫛形電極の両外側に、反射器を設けたという好まし
い例によれば、弾性表面波装置の挿入損失を低減するこ
とができる。
【００３７】また前記において、平衡型弾性表面波フィ
ルタが、４個の弾性表面波共振子を対称格子型に接続し
たものを基本単位として、少なくとも１段以上接続する
という好ましい例によれば、周波数特性に優れた弾性表
面波装置を得ることができる。
ルタが、４個の弾性表面波共振子を対称格子型に接続し
たものを基本単位として、少なくとも１段以上接続する
という好ましい例によれば、周波数特性に優れた弾性表
面波装置を得ることができる。
【００３８】また前記において、送波側櫛形電極と、受
波側櫛形電極とによって現出する周波数特性において、
挿入損失が最小となる周波数と、平衡型弾性表面波フィ
ルタの中心周波数とがほぼ一致するという好ましい例に
よれば、弾性表面波装置の挿入損失を極小化することが
できる。
波側櫛形電極とによって現出する周波数特性において、
挿入損失が最小となる周波数と、平衡型弾性表面波フィ
ルタの中心周波数とがほぼ一致するという好ましい例に
よれば、弾性表面波装置の挿入損失を極小化することが
できる。
【００３９】また前記において、受波側櫛形電極の出力
端子と、平衡型弾性表面波フィルタの入力端子との間
に、インピーダンス整合回路を備えたという好ましい例
によれば、インピーダンス不整合損失のない、周波数特
性に優れた弾性表面波装置を得ることができる。
端子と、平衡型弾性表面波フィルタの入力端子との間
に、インピーダンス整合回路を備えたという好ましい例
によれば、インピーダンス不整合損失のない、周波数特
性に優れた弾性表面波装置を得ることができる。
【００４０】また前記において、平衡型弾性表面波フィ
ルタの出力端子と、送波側櫛形電極の入力端子との間
に、インピーダンス整合回路を備えたという好ましい例
によれば、前記同様、周波数特性に優れた弾性表面波装
置を得ることができる。
ルタの出力端子と、送波側櫛形電極の入力端子との間
に、インピーダンス整合回路を備えたという好ましい例
によれば、前記同様、周波数特性に優れた弾性表面波装
置を得ることができる。
【００４１】また前記において、送波側櫛形電極と受波
側櫛形電極とが形成された基板の物理定数と、平衡型弾
性表面波フィルタが形成された基板の物理定数とが、互
いに異なるという好ましい例によれば、周波数特性に優
れた弾性表面波装置を得ることができる。
側櫛形電極とが形成された基板の物理定数と、平衡型弾
性表面波フィルタが形成された基板の物理定数とが、互
いに異なるという好ましい例によれば、周波数特性に優
れた弾性表面波装置を得ることができる。
【００４２】また前記において、送波側櫛形電極と、受
波側櫛形電極とが形成された基板の電気機械結合係数
が、平衡型弾性表面波フィルタが形成された基板の電気
機械結合係数よりも実質的に大きいという好ましい例に
よれば、周波数特性に優れた弾性表面波装置を得ること
ができる。
波側櫛形電極とが形成された基板の電気機械結合係数
が、平衡型弾性表面波フィルタが形成された基板の電気
機械結合係数よりも実質的に大きいという好ましい例に
よれば、周波数特性に優れた弾性表面波装置を得ること
ができる。
【００４３】また前記において、送波側櫛形電極と、受
波側櫛形電極とが形成された基板の周波数温度係数と、
平衡型弾性表面波フィルタが形成された基板の周波数温
度係数とがほぼ一致するという好ましい例によれば、使
用温度に関わらず、周波数特性の安定した弾性表面波装
置を得ることができる。
波側櫛形電極とが形成された基板の周波数温度係数と、
平衡型弾性表面波フィルタが形成された基板の周波数温
度係数とがほぼ一致するという好ましい例によれば、使
用温度に関わらず、周波数特性の安定した弾性表面波装
置を得ることができる。
【００４４】また前記において、送波側櫛形電極と、受
波側櫛形電極とが形成された基板と、平衡型弾性表面波
フィルタが形成された基板とが、気密保持のための容器
に一体に実装したという好ましい例によれば、弾性表面
波装置の周辺回路が平衡型、不平衡型に関わらず、平衡
−不平衡変換回路を必要としない小型の弾性表面波装置
を得ることができる。
波側櫛形電極とが形成された基板と、平衡型弾性表面波
フィルタが形成された基板とが、気密保持のための容器
に一体に実装したという好ましい例によれば、弾性表面
波装置の周辺回路が平衡型、不平衡型に関わらず、平衡
−不平衡変換回路を必要としない小型の弾性表面波装置
を得ることができる。
【００４５】また前記において、受波側櫛形電極の出力
端子と、平衡型弾性表面波フィルタの入力端子との間、
または平衡型弾性表面波フィルタの出力端子と、送波側
櫛形電極の入力端子との間に接続されるインピーダンス
整合回路を、気密保持のための容器に内蔵したという好
ましい例によれば、前記同様、平衡−不平衡変換回路を
必要としない小型、高性能の弾性表面波装置を得ること
ができる。
端子と、平衡型弾性表面波フィルタの入力端子との間、
または平衡型弾性表面波フィルタの出力端子と、送波側
櫛形電極の入力端子との間に接続されるインピーダンス
整合回路を、気密保持のための容器に内蔵したという好
ましい例によれば、前記同様、平衡−不平衡変換回路を
必要としない小型、高性能の弾性表面波装置を得ること
ができる。
【００４６】また前記において、気密保持のための容器
が誘電体多層基板からなるという好ましい例によれば、
高周波特性に優れた、小型の弾性表面波装置が実現でき
る。また前記において、送波側櫛形電極と、受波側櫛形
電極と、平衡型弾性表面波フィルタとが、同一の基板上
に一体に形成されているという好ましい例によれば、小
型、低コストの弾性表面波装置が実現できる。
が誘電体多層基板からなるという好ましい例によれば、
高周波特性に優れた、小型の弾性表面波装置が実現でき
る。また前記において、送波側櫛形電極と、受波側櫛形
電極と、平衡型弾性表面波フィルタとが、同一の基板上
に一体に形成されているという好ましい例によれば、小
型、低コストの弾性表面波装置が実現できる。
【００４７】また前記において、送波側櫛形電極と、受
波側櫛形電極とを形成する電極の膜厚が、平衡型弾性表
面波フィルタを形成する電極の膜厚よりも厚いという好
ましい例によれば、周波数特性に優れた弾性表面波装置
を得ることができる。
波側櫛形電極とを形成する電極の膜厚が、平衡型弾性表
面波フィルタを形成する電極の膜厚よりも厚いという好
ましい例によれば、周波数特性に優れた弾性表面波装置
を得ることができる。
【００４８】また前記において、受波側櫛形電極の出力
端子と、平衡型弾性表面波フィルタの入力端子との間、
または平衡型弾性表面波フィルタの出力端子と、送波側
櫛形電極の入力端子との間に接続されるインピーダンス
整合回路を、気密保持のための容器に内蔵したという好
ましい例によれば、前記同様、平衡−不平衡変換回路を
必要としない小型、高性能の弾性表面波装置を得ること
ができる。
端子と、平衡型弾性表面波フィルタの入力端子との間、
または平衡型弾性表面波フィルタの出力端子と、送波側
櫛形電極の入力端子との間に接続されるインピーダンス
整合回路を、気密保持のための容器に内蔵したという好
ましい例によれば、前記同様、平衡−不平衡変換回路を
必要としない小型、高性能の弾性表面波装置を得ること
ができる。
【００４９】また前記において、気密保持のための容器
が誘電体多層基板からなるという好ましい例によれば、
高周波特性に優れた、小型の弾性表面波装置が実現でき
る。
が誘電体多層基板からなるという好ましい例によれば、
高周波特性に優れた、小型の弾性表面波装置が実現でき
る。
【００５０】
【実施例】以下実施例を用いて本発明をさらに具体的に
説明する。 （実施例１）図１は、本発明の第１の実施例における弾
性表面波装置の構成の概略を示す図である。図１におい
て、１は送波側櫛形電極、２は受波側櫛形電極、３は平
衡型弾性表面波フィルタである。本実施例では、まず、
４１°ＹカットＸ伝搬のニオブ酸リチウム基板上に、送
波側櫛形電極１と受波側櫛形電極２を、従来のフォトリ
ソグラフィ手法により形成した。電極材料には、約２重
量％の銅を不純物として含むアルミニウムを用いた。一
方、平衡型弾性表面波フィルタ３は、直列腕弾性表面波
共振子６と、並列腕弾性表面波共振子７とを、対称格子
型に接続することにより構成している。前記平衡型弾性
表面波フィルタ３は、直列腕弾性表面波共振子６の共振
周波数と、並列腕弾性表面波共振子７の反共振周波数と
を、ほぼ一致させることによりフィルタ特性を持たせ
た。圧電基板には、３６゜ＹカットＸ伝搬のタンタル酸
リチウムを用いて、前記送・受波側櫛形電極１、２と同
様、アルミニウム−銅合金を電極として、従来のフォト
リソグラフィ手法により電極パターンを形成した。前記
送・受波側櫛形電極１、２が形成された基板と、平衡型
弾性表面波フィルタ３が形成された基板は、セラミック
パッケージに一体に実装し、前記両基板間の電気的接続
及び、基板とセラミックパッケージの端子との電気的接
続はアルミニウムワイヤにより行なった。
説明する。 （実施例１）図１は、本発明の第１の実施例における弾
性表面波装置の構成の概略を示す図である。図１におい
て、１は送波側櫛形電極、２は受波側櫛形電極、３は平
衡型弾性表面波フィルタである。本実施例では、まず、
４１°ＹカットＸ伝搬のニオブ酸リチウム基板上に、送
波側櫛形電極１と受波側櫛形電極２を、従来のフォトリ
ソグラフィ手法により形成した。電極材料には、約２重
量％の銅を不純物として含むアルミニウムを用いた。一
方、平衡型弾性表面波フィルタ３は、直列腕弾性表面波
共振子６と、並列腕弾性表面波共振子７とを、対称格子
型に接続することにより構成している。前記平衡型弾性
表面波フィルタ３は、直列腕弾性表面波共振子６の共振
周波数と、並列腕弾性表面波共振子７の反共振周波数と
を、ほぼ一致させることによりフィルタ特性を持たせ
た。圧電基板には、３６゜ＹカットＸ伝搬のタンタル酸
リチウムを用いて、前記送・受波側櫛形電極１、２と同
様、アルミニウム−銅合金を電極として、従来のフォト
リソグラフィ手法により電極パターンを形成した。前記
送・受波側櫛形電極１、２が形成された基板と、平衡型
弾性表面波フィルタ３が形成された基板は、セラミック
パッケージに一体に実装し、前記両基板間の電気的接続
及び、基板とセラミックパッケージの端子との電気的接
続はアルミニウムワイヤにより行なった。
【００５１】次に、第１の実施例における弾性表面波装
置の動作原理について説明する。送波側櫛形電極１は、
入力端子４の一方の端子が接地されており、不平衡信号
が入力される。前記送波側櫛形電極１で励振された弾性
表面波は、受波側櫛形電極２で受信されるが、前記受波
側櫛形電極２の出力端子５の両方の端子が接地されてい
ないため、それぞれの端子では、１８０°位相がずれた
弾性表面波を受信することになる。したがって、前記受
波側櫛形電極２で受信された前記弾性表面波は、平衡信
号として電気信号に変換され、前記受波側櫛形電極２の
出力端子５に接続された前記平衡型弾性表面波フィルタ
３の入力端子８に入力される。
置の動作原理について説明する。送波側櫛形電極１は、
入力端子４の一方の端子が接地されており、不平衡信号
が入力される。前記送波側櫛形電極１で励振された弾性
表面波は、受波側櫛形電極２で受信されるが、前記受波
側櫛形電極２の出力端子５の両方の端子が接地されてい
ないため、それぞれの端子では、１８０°位相がずれた
弾性表面波を受信することになる。したがって、前記受
波側櫛形電極２で受信された前記弾性表面波は、平衡信
号として電気信号に変換され、前記受波側櫛形電極２の
出力端子５に接続された前記平衡型弾性表面波フィルタ
３の入力端子８に入力される。
【００５２】送波側櫛形電極１と、受波側櫛形電極２と
で現出される周波数特性は、ｓｉｎ（ｘ）／ｘ型のフィ
ルタ特性を有しており、その損失が最小となる周波数
（以下、単に中心周波数という）と、平衡型弾性表面波
フィルタ３の中心周波数がほぼ一致するように電極設計
を行なうことにより、弾性表面波装置全体として、フィ
ルタ特性をもたせることができる。従って、弾性表面波
装置の通過帯域では、前記送・受波側櫛形電極１、２で
現出される周波数特性、及び、平衡型弾性表面波フィル
タ３の周波数特性において、ともに損失が小さく、逆
に、通過帯域外ではともに損失が大きくなるため、全体
として従来の平衡−不平衡変換回路を使用した場合に比
較して、ダイナミックレンジの大きい高選択度のフィル
タを得ることができる。このように、前記両基板に形成
されたフィルタ特性を有するデバイスの中心周波数をほ
ぼ一致させることで、全体として、不平衡入力−平衡出
力に対応した、良好なフィルタ特性を有する弾性表面波
装置が得られる。
で現出される周波数特性は、ｓｉｎ（ｘ）／ｘ型のフィ
ルタ特性を有しており、その損失が最小となる周波数
（以下、単に中心周波数という）と、平衡型弾性表面波
フィルタ３の中心周波数がほぼ一致するように電極設計
を行なうことにより、弾性表面波装置全体として、フィ
ルタ特性をもたせることができる。従って、弾性表面波
装置の通過帯域では、前記送・受波側櫛形電極１、２で
現出される周波数特性、及び、平衡型弾性表面波フィル
タ３の周波数特性において、ともに損失が小さく、逆
に、通過帯域外ではともに損失が大きくなるため、全体
として従来の平衡−不平衡変換回路を使用した場合に比
較して、ダイナミックレンジの大きい高選択度のフィル
タを得ることができる。このように、前記両基板に形成
されたフィルタ特性を有するデバイスの中心周波数をほ
ぼ一致させることで、全体として、不平衡入力−平衡出
力に対応した、良好なフィルタ特性を有する弾性表面波
装置が得られる。
【００５３】本実施例では、送・受波櫛形電極１、２
と、平衡型弾性表面波フィルタ３とを、互いに物理定数
の異なる基板に形成した。すなわち、前記送・受波側櫛
形電極１、２を電気機械結合係数の大きい４１°Ｙカッ
トＸ伝搬のニオブ酸リチウム基板に、また、前記平衡型
弾性表面波フィルタ３を比較的電気機械結合係数の小さ
い３６°ＹカットＸ伝搬のタンタル酸リチウム基板に形
成した。平衡型弾性表面波フィルタ３の周波数特性は、
例えば、移動体通信機器等のシステムに適した基板を選
択する必要がある。一方、前記平衡型弾性表面波フィル
タ３の前段に配置され、プレフィルタとしての役割をも
有する送・受波側櫛形電極対１、２は、後段の平衡型弾
性表面波フィルタ３の周波数特性、特に帯域内特性に悪
影響を与えないようにする必要がある。従って、本実施
例では電気機械結合係数の大きい４１°ＹカットＸ伝搬
のニオブ酸リチウム基板を用いて、損失が最小となる周
波数帯域幅（以下、単に帯域幅という）を広くとった。
また、両基板は互いに近い周波数温度係数を持ってお
り、環境温度の変化に対しても、弾性表面波装置の特性
に大きな変化をもたらすことはない。
と、平衡型弾性表面波フィルタ３とを、互いに物理定数
の異なる基板に形成した。すなわち、前記送・受波側櫛
形電極１、２を電気機械結合係数の大きい４１°Ｙカッ
トＸ伝搬のニオブ酸リチウム基板に、また、前記平衡型
弾性表面波フィルタ３を比較的電気機械結合係数の小さ
い３６°ＹカットＸ伝搬のタンタル酸リチウム基板に形
成した。平衡型弾性表面波フィルタ３の周波数特性は、
例えば、移動体通信機器等のシステムに適した基板を選
択する必要がある。一方、前記平衡型弾性表面波フィル
タ３の前段に配置され、プレフィルタとしての役割をも
有する送・受波側櫛形電極対１、２は、後段の平衡型弾
性表面波フィルタ３の周波数特性、特に帯域内特性に悪
影響を与えないようにする必要がある。従って、本実施
例では電気機械結合係数の大きい４１°ＹカットＸ伝搬
のニオブ酸リチウム基板を用いて、損失が最小となる周
波数帯域幅（以下、単に帯域幅という）を広くとった。
また、両基板は互いに近い周波数温度係数を持ってお
り、環境温度の変化に対しても、弾性表面波装置の特性
に大きな変化をもたらすことはない。
【００５４】なお、本実施例で用いた基板の組合せ以外
でも、同様の効果が得られることは言うまでもない。ま
た、本実施例では送・受波側櫛形電極１、２と、平衡型
弾性表面波フィルタ３とを、互いに物理定数の異なる基
板上に形成したが、同一の基板上に一体に形成して弾性
表面波装置を構成してもよい。この場合には、送・受波
側櫛形電極１、２と、平衡型弾性表面波フィルタ３との
電気的接続は前記基板上で行なうことができ、弾性表面
波装置の小型化が可能となる。さらに、送・受波側櫛形
電極１、２と、平衡型弾性表面波フィルタ３とを、同一
の基板上に形成した場合には、両方の周波数特性の温度
変化が同等になるため、環境温度の変化に対しても一定
の周波数特性を維持することができる。
でも、同様の効果が得られることは言うまでもない。ま
た、本実施例では送・受波側櫛形電極１、２と、平衡型
弾性表面波フィルタ３とを、互いに物理定数の異なる基
板上に形成したが、同一の基板上に一体に形成して弾性
表面波装置を構成してもよい。この場合には、送・受波
側櫛形電極１、２と、平衡型弾性表面波フィルタ３との
電気的接続は前記基板上で行なうことができ、弾性表面
波装置の小型化が可能となる。さらに、送・受波側櫛形
電極１、２と、平衡型弾性表面波フィルタ３とを、同一
の基板上に形成した場合には、両方の周波数特性の温度
変化が同等になるため、環境温度の変化に対しても一定
の周波数特性を維持することができる。
【００５５】さらに、送・受波側櫛形電極１、２を形成
している電極の厚さを、平衡型弾性表面波フィルタ３を
形成している電極の厚さよりも厚くすることにより、前
記送・受波側櫛形電極１、２の実効的結合係数を大きく
することができ、本実施例のように、送・受波側櫛形電
極１、２で現出される周波数特性の帯域幅を大きくとる
ことができ、平衡型弾性表面波フィルタ３の帯域内特性
に及ぼす影響を軽減することができる。
している電極の厚さを、平衡型弾性表面波フィルタ３を
形成している電極の厚さよりも厚くすることにより、前
記送・受波側櫛形電極１、２の実効的結合係数を大きく
することができ、本実施例のように、送・受波側櫛形電
極１、２で現出される周波数特性の帯域幅を大きくとる
ことができ、平衡型弾性表面波フィルタ３の帯域内特性
に及ぼす影響を軽減することができる。
【００５６】以上のように、一方の端子が接地された送
波側櫛形電極１と、前記送波側櫛形電極１で励振された
弾性表面波を電気信号に変換する受波側櫛形電極２と、
前記受波側櫛形電極２に接続された平衡型弾性表面波フ
ィルタ３とを備えた構成により、前記弾性表面波装置の
入力側周辺回路が不平衡型であり、かつ、前記弾性表面
波装置の出力側周辺回路が平衡型であった場合に、平衡
−不平衡変換回路を必要としない、小型、高性能の弾性
表面波装置を得ることができる。
波側櫛形電極１と、前記送波側櫛形電極１で励振された
弾性表面波を電気信号に変換する受波側櫛形電極２と、
前記受波側櫛形電極２に接続された平衡型弾性表面波フ
ィルタ３とを備えた構成により、前記弾性表面波装置の
入力側周辺回路が不平衡型であり、かつ、前記弾性表面
波装置の出力側周辺回路が平衡型であった場合に、平衡
−不平衡変換回路を必要としない、小型、高性能の弾性
表面波装置を得ることができる。
【００５７】（実施例２）図２は、本発明の第２の実施
例における弾性表面波装置の構成の概略を示す図であ
る。図２において、１は送波側櫛形電極、２は受波側櫛
形電極、３は平衡型弾性表面波フィルタである。本実施
例では、送波側櫛形電極１と、受波側櫛形電極２と、平
衡型弾性表面波フィルタ３とを、３６°ＹカットＸ伝搬
のタンタル酸リチウム基板上に、従来のフォトリソグラ
フィ手法を用いて一体に形成した。電極材料には、第１
の実施例と同様、約２重量％の銅を不純物として含有す
るアルミニウムを用いた。平衡型弾性表面波フィルタ３
は、第１の実施例と同様に、直列腕弾性表面波共振子６
と、並列腕弾性表面波共振子７とを、対称格子型に接続
することにより構成している。前記送・受波側櫛形電極
１、２と、平衡型弾性表面波フィルタ３とが一体に形成
された基板を、セラミックパッケージに実装し、セラミ
ックパッケージとの電気的接続をアルミニウムワイヤに
より行なった。
例における弾性表面波装置の構成の概略を示す図であ
る。図２において、１は送波側櫛形電極、２は受波側櫛
形電極、３は平衡型弾性表面波フィルタである。本実施
例では、送波側櫛形電極１と、受波側櫛形電極２と、平
衡型弾性表面波フィルタ３とを、３６°ＹカットＸ伝搬
のタンタル酸リチウム基板上に、従来のフォトリソグラ
フィ手法を用いて一体に形成した。電極材料には、第１
の実施例と同様、約２重量％の銅を不純物として含有す
るアルミニウムを用いた。平衡型弾性表面波フィルタ３
は、第１の実施例と同様に、直列腕弾性表面波共振子６
と、並列腕弾性表面波共振子７とを、対称格子型に接続
することにより構成している。前記送・受波側櫛形電極
１、２と、平衡型弾性表面波フィルタ３とが一体に形成
された基板を、セラミックパッケージに実装し、セラミ
ックパッケージとの電気的接続をアルミニウムワイヤに
より行なった。
【００５８】次に、第２の実施例における弾性表面波装
置の動作原理について説明する。平衡型弾性表面波フィ
ルタ３の入力端子８には、平衡信号が入力され、所定の
周波数特性を付与された後、前記平衡型弾性表面波フィ
ルタ３の出力端子９より、平衡信号として出力される。
前記周波数特性を有する平衡信号は、前記平衡型弾性表
面波フィルタ３の出力端子９に接続された送波側櫛形電
極１に入力され、弾性表面波が励振される。前記弾性表
面波を受信する受波側櫛形電極２は、その出力端子５の
一方の端子が接地されており、前記弾性表面波は不平衡
信号として電気信号に変換される。
置の動作原理について説明する。平衡型弾性表面波フィ
ルタ３の入力端子８には、平衡信号が入力され、所定の
周波数特性を付与された後、前記平衡型弾性表面波フィ
ルタ３の出力端子９より、平衡信号として出力される。
前記周波数特性を有する平衡信号は、前記平衡型弾性表
面波フィルタ３の出力端子９に接続された送波側櫛形電
極１に入力され、弾性表面波が励振される。前記弾性表
面波を受信する受波側櫛形電極２は、その出力端子５の
一方の端子が接地されており、前記弾性表面波は不平衡
信号として電気信号に変換される。
【００５９】本実施例では、送・受波側櫛形電極１、２
と、平衡型弾性表面波フィルタ３とを同一の基板上に一
体に形成したが、互いに物理定数の異なる基板上に形成
してもよい。
と、平衡型弾性表面波フィルタ３とを同一の基板上に一
体に形成したが、互いに物理定数の異なる基板上に形成
してもよい。
【００６０】以上のように、平衡型弾性表面波フィルタ
３と、前記平衡型弾性表面波フィルタ３に接続された送
波側櫛形電極１と、前記送波側櫛形電極１で励振された
弾性表面波を電気信号に変換する、一方の端子が接地さ
れた受波側櫛形電極２とを備えた構成により、前記弾性
表面波装置の入力側周辺回路が平衡型であり、かつ、前
記弾性表面波装置の出力側周辺回路が不平衡型であった
場合に、平衡−不平衡変換回路を必要としない、小型、
高性能の弾性表面波装置を得ることができる。
３と、前記平衡型弾性表面波フィルタ３に接続された送
波側櫛形電極１と、前記送波側櫛形電極１で励振された
弾性表面波を電気信号に変換する、一方の端子が接地さ
れた受波側櫛形電極２とを備えた構成により、前記弾性
表面波装置の入力側周辺回路が平衡型であり、かつ、前
記弾性表面波装置の出力側周辺回路が不平衡型であった
場合に、平衡−不平衡変換回路を必要としない、小型、
高性能の弾性表面波装置を得ることができる。
【００６１】（実施例３）図３は、本発明の第３の実施
例における弾性表面波装置の構成の概略を示す図であ
る。図３において、１及び１０はそれぞれ第１及び第２
の送波側櫛形電極、２及び１１はそれぞれ第１及び第２
の受波側櫛形電極、３は平衡型弾性表面波フィルタであ
る。本実施例では、まず、４１°ＹカットＸ伝搬のニオ
ブ酸リチウム基板上に、第１及び第２の送波側櫛形電極
１、１０と、第１及び第２の受波側櫛形電極２、１１と
を、従来のフォトリソグラフィ手法により形成した。電
極材料には、約２重量％の銅を不純物として含むアルミ
ニウムを用いた。一方、平衡型弾性表面波フィルタ３
は、直列腕弾性表面波共振子６と、並列腕弾性表面波共
振子７とを、対称格子型に接続することにより構成して
いる。圧電基板には、３６゜ＹカットＸ伝搬のタンタル
酸リチウムを用いて、前記第１及び第２の送・受波側櫛
形電極１、２、１０、１１と同様、アルミニウム−２％
銅合金を電極として、従来のフォトリソグラフィ手法に
より電極パターンを形成した。前記第１及び第２の送・
受波側櫛形電極１、２、１０、１１が形成された基板
と、平衡型弾性表面波フィルタ３が形成された基板は、
セラミックパッケージに一体に実装し、前記両基板間の
電気的接続及び、基板とセラミックパッケージの端子と
の電気的接続はアルミニウムワイヤにより行なった。
例における弾性表面波装置の構成の概略を示す図であ
る。図３において、１及び１０はそれぞれ第１及び第２
の送波側櫛形電極、２及び１１はそれぞれ第１及び第２
の受波側櫛形電極、３は平衡型弾性表面波フィルタであ
る。本実施例では、まず、４１°ＹカットＸ伝搬のニオ
ブ酸リチウム基板上に、第１及び第２の送波側櫛形電極
１、１０と、第１及び第２の受波側櫛形電極２、１１と
を、従来のフォトリソグラフィ手法により形成した。電
極材料には、約２重量％の銅を不純物として含むアルミ
ニウムを用いた。一方、平衡型弾性表面波フィルタ３
は、直列腕弾性表面波共振子６と、並列腕弾性表面波共
振子７とを、対称格子型に接続することにより構成して
いる。圧電基板には、３６゜ＹカットＸ伝搬のタンタル
酸リチウムを用いて、前記第１及び第２の送・受波側櫛
形電極１、２、１０、１１と同様、アルミニウム−２％
銅合金を電極として、従来のフォトリソグラフィ手法に
より電極パターンを形成した。前記第１及び第２の送・
受波側櫛形電極１、２、１０、１１が形成された基板
と、平衡型弾性表面波フィルタ３が形成された基板は、
セラミックパッケージに一体に実装し、前記両基板間の
電気的接続及び、基板とセラミックパッケージの端子と
の電気的接続はアルミニウムワイヤにより行なった。
【００６２】次に、第３の実施例における弾性表面波装
置の動作原理について説明する。第１の送波側櫛形電極
１は、入力端子４の一方の端子が接地されており、不平
衡信号が入力される。前記第１の送波側櫛形電極１で励
振された弾性表面波は、第１の受波側櫛形電極２で受信
されるが、前記受波側櫛形電極２の出力端子５の両方の
端子が接地されていないため、それぞれの端子では、１
８０°位相がずれた弾性表面波を受信することになる。
したがって、前記第１の受波側櫛形電極２で受信された
弾性表面波は、平衡信号として電気信号に変換され、前
記第１の受波側櫛形電極２の出力端子５に接続された前
記平衡型弾性表面波フィルタ３の入力端子８に入力され
る。前記平衡型弾性表面波フィルタ３で、所定の周波数
特性を付与された後、平衡信号として出力された信号
は、前記平衡型弾性表面波フィルタ３の出力端子９に接
続された第２の送波側櫛形電極１０に入力され、再度弾
性表面波が励振される。前記弾性表面波を受信する第２
の受波側櫛形電極１１は、その出力端子１３の一方の端
子が接地されており、前記弾性表面波は不平衡信号とし
て電気信号に変換される。
置の動作原理について説明する。第１の送波側櫛形電極
１は、入力端子４の一方の端子が接地されており、不平
衡信号が入力される。前記第１の送波側櫛形電極１で励
振された弾性表面波は、第１の受波側櫛形電極２で受信
されるが、前記受波側櫛形電極２の出力端子５の両方の
端子が接地されていないため、それぞれの端子では、１
８０°位相がずれた弾性表面波を受信することになる。
したがって、前記第１の受波側櫛形電極２で受信された
弾性表面波は、平衡信号として電気信号に変換され、前
記第１の受波側櫛形電極２の出力端子５に接続された前
記平衡型弾性表面波フィルタ３の入力端子８に入力され
る。前記平衡型弾性表面波フィルタ３で、所定の周波数
特性を付与された後、平衡信号として出力された信号
は、前記平衡型弾性表面波フィルタ３の出力端子９に接
続された第２の送波側櫛形電極１０に入力され、再度弾
性表面波が励振される。前記弾性表面波を受信する第２
の受波側櫛形電極１１は、その出力端子１３の一方の端
子が接地されており、前記弾性表面波は不平衡信号とし
て電気信号に変換される。
【００６３】本実施例においても、第１の送・受波側櫛
形電極１、２で現出される周波数特性の中心周波数と、
平衡型弾性表面波フィルタ３の中心周波数と、第２の送
・受波側櫛形電極１０、１１で現出される周波数特性の
中心周波数とがほぼ一致するように電極設計を行った。
また、第１及び第２の送・受波側櫛形電極１、２は、電
気機械結合係数の大きい基板を用いているため、平衡型
弾性表面波フィルタ３の周波数温度変化を考慮しても、
その通過帯域を十分カバーできる帯域幅を有している。
なお、本実施例で用いた基板の組合せ以外でも、同様の
効果が得られることは言うまでもない。
形電極１、２で現出される周波数特性の中心周波数と、
平衡型弾性表面波フィルタ３の中心周波数と、第２の送
・受波側櫛形電極１０、１１で現出される周波数特性の
中心周波数とがほぼ一致するように電極設計を行った。
また、第１及び第２の送・受波側櫛形電極１、２は、電
気機械結合係数の大きい基板を用いているため、平衡型
弾性表面波フィルタ３の周波数温度変化を考慮しても、
その通過帯域を十分カバーできる帯域幅を有している。
なお、本実施例で用いた基板の組合せ以外でも、同様の
効果が得られることは言うまでもない。
【００６４】また、弾性表面波装置の帯域外減衰量をさ
らに確保するために、平衡型弾性表面波フィルタ３の基
本構成である、４個の弾性表面波共振子６、７の対称格
子型回路を多段に接続してもよい。一方、第１の送・受
波櫛形電極１、２で現出される周波数特性におけるスト
ップバンド周波数と、第２の送・受波櫛形電極１０、１
１で現出される周波数特性におけるストップバンド周波
数とを、互いに異なる周波数とすることでも、弾性表面
波装置の帯域外減衰量を十分確保することができる。
らに確保するために、平衡型弾性表面波フィルタ３の基
本構成である、４個の弾性表面波共振子６、７の対称格
子型回路を多段に接続してもよい。一方、第１の送・受
波櫛形電極１、２で現出される周波数特性におけるスト
ップバンド周波数と、第２の送・受波櫛形電極１０、１
１で現出される周波数特性におけるストップバンド周波
数とを、互いに異なる周波数とすることでも、弾性表面
波装置の帯域外減衰量を十分確保することができる。
【００６５】また、本実施例では第１及び第２の送・受
波側櫛形電極１、２、１０、１１と、平衡型弾性表面波
フィルタ３とを、互いに物理定数の異なる基板上に形成
したが、同一の基板上に一体に形成して弾性表面波装置
を構成してもよい。この場合には、送・受波側櫛形電極
１、２、１０、１１と、平衡型弾性表面波フィルタ３と
の電気的接続は前記基板上で行なうことができ、弾性表
面波装置の小型化が可能となる。さらに、送・受波側櫛
形電極１、２、１０、１１と、平衡型弾性表面波フィル
タ３とを、同一の基板上に形成した場合には、両方の周
波数特性の温度変化が同等になるため、環境温度の変化
に対しても一定の周波数特性を維持することができる。
さらに、送・受波側櫛形電極１、２、１０、１１を形成
している電極の厚さを、平衡型弾性表面波フィルタ３を
形成している電極の厚さよりも厚くすることにより、前
記第１及び第２の送・受波側櫛形電極１、２、１０、１
１の実効的な結合係数を大きくすることができ、本実施
例と同様に、第１及び第２の送・受波側櫛形電極１、
２、１０、１１で現出される周波数特性の帯域幅を大き
くとることができ、平衡型弾性表面波フィルタ３の帯域
内特性に及ぼす影響を軽減することができる。
波側櫛形電極１、２、１０、１１と、平衡型弾性表面波
フィルタ３とを、互いに物理定数の異なる基板上に形成
したが、同一の基板上に一体に形成して弾性表面波装置
を構成してもよい。この場合には、送・受波側櫛形電極
１、２、１０、１１と、平衡型弾性表面波フィルタ３と
の電気的接続は前記基板上で行なうことができ、弾性表
面波装置の小型化が可能となる。さらに、送・受波側櫛
形電極１、２、１０、１１と、平衡型弾性表面波フィル
タ３とを、同一の基板上に形成した場合には、両方の周
波数特性の温度変化が同等になるため、環境温度の変化
に対しても一定の周波数特性を維持することができる。
さらに、送・受波側櫛形電極１、２、１０、１１を形成
している電極の厚さを、平衡型弾性表面波フィルタ３を
形成している電極の厚さよりも厚くすることにより、前
記第１及び第２の送・受波側櫛形電極１、２、１０、１
１の実効的な結合係数を大きくすることができ、本実施
例と同様に、第１及び第２の送・受波側櫛形電極１、
２、１０、１１で現出される周波数特性の帯域幅を大き
くとることができ、平衡型弾性表面波フィルタ３の帯域
内特性に及ぼす影響を軽減することができる。
【００６６】以上のように、一方の端子が接地された第
１の送波側櫛形電極１と、前記第１の送波側櫛形電極１
で励振された弾性表面波を電気信号に変換する第１の受
波側櫛形電極２と、前記第１の受波側櫛形電極２に接続
された平衡型弾性表面波フィルタ３と、前記平衡型弾性
表面波フィルタ３に接続された第２の送波側櫛形電極１
０と、前記第２の送波側櫛形電極１０で励振された弾性
表面波を電気信号に変換する、一方の端子が接地された
第２の受波側櫛形電極１１とを備えた構成により、前記
弾性表面波装置の入力側及び出力側周辺回路が不平衡型
である場合に、平衡−不平衡変換回路を必要としない、
小型、高性能の弾性表面波装置を得ることができる。
１の送波側櫛形電極１と、前記第１の送波側櫛形電極１
で励振された弾性表面波を電気信号に変換する第１の受
波側櫛形電極２と、前記第１の受波側櫛形電極２に接続
された平衡型弾性表面波フィルタ３と、前記平衡型弾性
表面波フィルタ３に接続された第２の送波側櫛形電極１
０と、前記第２の送波側櫛形電極１０で励振された弾性
表面波を電気信号に変換する、一方の端子が接地された
第２の受波側櫛形電極１１とを備えた構成により、前記
弾性表面波装置の入力側及び出力側周辺回路が不平衡型
である場合に、平衡−不平衡変換回路を必要としない、
小型、高性能の弾性表面波装置を得ることができる。
【００６７】（実施例４）図４は、本発明の第４の実施
例における弾性表面波装置の構成の概略を示す図であ
る。図４において、１は送波側櫛形電極、２は受波側櫛
形電極、３は平衡型弾性表面波フィルタである。
例における弾性表面波装置の構成の概略を示す図であ
る。図４において、１は送波側櫛形電極、２は受波側櫛
形電極、３は平衡型弾性表面波フィルタである。
【００６８】本実施例では、送波側櫛形電極１と受波側
櫛形電極２とを複数個設置し、さらに、その両外側に反
射器１４を設けることで、先に示した実施例における、
１組の送・受波側櫛形電極１、２で現出される周波数特
性を改善している。すなわち、従来の多電極構成の弾性
表面波フィルタを、平衡−不平衡変換回路として用いて
いる。このように、平衡−不平衡変換回路の役割を担う
送・受波側櫛形電極１、２で現出される周波数特性を改
善することによって、より優れた弾性表面波装置を得る
ことができる。
櫛形電極２とを複数個設置し、さらに、その両外側に反
射器１４を設けることで、先に示した実施例における、
１組の送・受波側櫛形電極１、２で現出される周波数特
性を改善している。すなわち、従来の多電極構成の弾性
表面波フィルタを、平衡−不平衡変換回路として用いて
いる。このように、平衡−不平衡変換回路の役割を担う
送・受波側櫛形電極１、２で現出される周波数特性を改
善することによって、より優れた弾性表面波装置を得る
ことができる。
【００６９】また、同様の効果を得る方法として、送・
受波側櫛形電極の両外側に反射器を設け、弾性表面波の
双方向損失を低減する方法、または、送波側櫛形電極の
構成を一方向性電極とする方法などがあり、いずれの場
合も弾性表面波装置の特性向上が図れる。
受波側櫛形電極の両外側に反射器を設け、弾性表面波の
双方向損失を低減する方法、または、送波側櫛形電極の
構成を一方向性電極とする方法などがあり、いずれの場
合も弾性表面波装置の特性向上が図れる。
【００７０】（実施例５）図５は、本発明の第５の実施
例における弾性表面波装置の構成の概略を示す図であ
る。図５において、１は送波側櫛形電極、２は第１の受
波側櫛形電極、１１は第２の受波側櫛形電極、３は平衡
型弾性表面波フィルタである。本実施例では、第１の実
施例と同様、４１°ＹカットＸ伝搬のニオブ酸リチウム
基板上に、送波側櫛形電極１と第１及び第２の受波側櫛
形電極２、１１を形成し、平衡型弾性表面波フィルタ３
を、３６゜ＹカットＸ伝搬のタンタル酸リチウム基板上
に形成した。前記送・受波側櫛形電極１、２、１１が形
成された基板と、平衡型弾性表面波フィルタ３が形成さ
れた基板は、セラミックパッケージに一体に実装し、前
記両基板間の電気的接続及び、基板とセラミックパッケ
ージの端子との電気的接続はアルミニウムワイヤにより
行なった。
例における弾性表面波装置の構成の概略を示す図であ
る。図５において、１は送波側櫛形電極、２は第１の受
波側櫛形電極、１１は第２の受波側櫛形電極、３は平衡
型弾性表面波フィルタである。本実施例では、第１の実
施例と同様、４１°ＹカットＸ伝搬のニオブ酸リチウム
基板上に、送波側櫛形電極１と第１及び第２の受波側櫛
形電極２、１１を形成し、平衡型弾性表面波フィルタ３
を、３６゜ＹカットＸ伝搬のタンタル酸リチウム基板上
に形成した。前記送・受波側櫛形電極１、２、１１が形
成された基板と、平衡型弾性表面波フィルタ３が形成さ
れた基板は、セラミックパッケージに一体に実装し、前
記両基板間の電気的接続及び、基板とセラミックパッケ
ージの端子との電気的接続はアルミニウムワイヤにより
行なった。
【００７１】次に、第５の実施例における弾性表面波装
置の動作原理について説明する。送波側櫛形電極１は、
入力端子４の一方の端子が接地されており、不平衡信号
が入力される。前記送波側櫛形電極１で励振された弾性
表面波は、前記送波側櫛形電極１の両側に配置された第
１及び第２の受波側櫛形電極２、１１で受信される。前
記第１及び第２の受波側櫛形電極２、１１は、共に一方
の端子が接地されており、かつ、互いに位相の異なる弾
性表面波が受信されるように配置されている。例えば、
本実施例では、送波側櫛形電極１と第１の受波側櫛形電
極２との弾性表面波伝搬距離と、送波側櫛形電極１と第
２の受波側櫛形電極１１との弾性表面波伝搬距離とを、
互いに弾性表面波の１／２波長だけ異ならせてある。こ
のような構成とすることで、前記第１及び第２の受波側
櫛形電極２、１１から出力される電気信号は、互いに位
相が１８０°異なっており、平衡型弾性表面波フィルタ
３の入力端子８に平衡信号として入力される。
置の動作原理について説明する。送波側櫛形電極１は、
入力端子４の一方の端子が接地されており、不平衡信号
が入力される。前記送波側櫛形電極１で励振された弾性
表面波は、前記送波側櫛形電極１の両側に配置された第
１及び第２の受波側櫛形電極２、１１で受信される。前
記第１及び第２の受波側櫛形電極２、１１は、共に一方
の端子が接地されており、かつ、互いに位相の異なる弾
性表面波が受信されるように配置されている。例えば、
本実施例では、送波側櫛形電極１と第１の受波側櫛形電
極２との弾性表面波伝搬距離と、送波側櫛形電極１と第
２の受波側櫛形電極１１との弾性表面波伝搬距離とを、
互いに弾性表面波の１／２波長だけ異ならせてある。こ
のような構成とすることで、前記第１及び第２の受波側
櫛形電極２、１１から出力される電気信号は、互いに位
相が１８０°異なっており、平衡型弾性表面波フィルタ
３の入力端子８に平衡信号として入力される。
【００７２】以上のように、一方の端子が接地された送
波側櫛形電極１と、一方の端子が接地され、前記送波側
櫛形電極で励振された弾性表面波を、互いに位相が異な
る弾性表面波として受信するように、前記送波側櫛形電
極の両側に配置された、第１及び第２の受波側櫛形電極
２、１１と、前記第１及び第２の受波側櫛形電極２、１
１に接続された平衡型弾性表面波フィルタ３とを備えた
構成により、前記弾性表面波装置の入力側周辺回路が不
平衡型であり、かつ、前記弾性表面波装置の出力側周辺
回路が平衡型であった場合に、平衡−不平衡変換回路を
必要としない、小型、高性能の弾性表面波装置を得るこ
とができる。
波側櫛形電極１と、一方の端子が接地され、前記送波側
櫛形電極で励振された弾性表面波を、互いに位相が異な
る弾性表面波として受信するように、前記送波側櫛形電
極の両側に配置された、第１及び第２の受波側櫛形電極
２、１１と、前記第１及び第２の受波側櫛形電極２、１
１に接続された平衡型弾性表面波フィルタ３とを備えた
構成により、前記弾性表面波装置の入力側周辺回路が不
平衡型であり、かつ、前記弾性表面波装置の出力側周辺
回路が平衡型であった場合に、平衡−不平衡変換回路を
必要としない、小型、高性能の弾性表面波装置を得るこ
とができる。
【００７３】（実施例６）図６は、本発明の第６の実施
例における弾性表面波装置の構成の概略を示す図であ
る。図６において、１は第１の送波側櫛形電極、１０は
第２の送波側櫛形電極、２は受波側櫛形電極、３は平衡
型弾性表面波フィルタである。
例における弾性表面波装置の構成の概略を示す図であ
る。図６において、１は第１の送波側櫛形電極、１０は
第２の送波側櫛形電極、２は受波側櫛形電極、３は平衡
型弾性表面波フィルタである。
【００７４】本実施例では、第５の実施例と同様、４１
°ＹカットＸ伝搬のニオブ酸リチウム基板上に、第１及
び第２の送波側櫛形電極１、１０、及び受波側櫛形電極
２を形成し、平衡型弾性表面波フィルタ３を、３６゜Ｙ
カットＸ伝搬のタンタル酸リチウム基板上に形成した。
前記送・受波側櫛形電極１、２、１０が形成された基板
と、平衡型弾性表面波フィルタ３が形成された基板は、
セラミックパッケージに一体に実装し、前記両基板間の
電気的接続及び、基板とセラミックパッケージの端子と
の電気的接続はアルミニウムワイヤにより行なった。
°ＹカットＸ伝搬のニオブ酸リチウム基板上に、第１及
び第２の送波側櫛形電極１、１０、及び受波側櫛形電極
２を形成し、平衡型弾性表面波フィルタ３を、３６゜Ｙ
カットＸ伝搬のタンタル酸リチウム基板上に形成した。
前記送・受波側櫛形電極１、２、１０が形成された基板
と、平衡型弾性表面波フィルタ３が形成された基板は、
セラミックパッケージに一体に実装し、前記両基板間の
電気的接続及び、基板とセラミックパッケージの端子と
の電気的接続はアルミニウムワイヤにより行なった。
【００７５】次に、第６の実施例における弾性表面波装
置の動作原理について説明する。平衡型弾性表面波フィ
ルタ３の入力端子８には、平衡信号が入力され、所定の
周波数特性を付与された後、前記平衡型弾性表面波フィ
ルタ３の出力端子９より、平衡信号として出力される。
前記周波数特性を有する平衡信号は、前記平衡型弾性表
面波フィルタ３の出力端子９に接続され、一方の端子が
接地された第１及び第２の送波側櫛形電極１、１０に入
力され、弾性表面波が励振される。前記弾性表面波を受
信する受波側櫛形電極２は、その出力端子５の一方の端
子が接地されており、前記第１及び第２の送波側櫛形電
極１、１０で励振された弾性表面波が同位相で受信する
ように配置され、前記弾性表面波は不平衡信号として電
気信号に変換され、前記受波側櫛形電極２の出力端子５
より出力されることになる。例えば、本実施例では、第
１の送波側櫛形電極１と受波側櫛形電極２との弾性表面
波伝搬距離と、第２の送波側櫛形電極１０と受波側櫛形
電極２との弾性表面波伝搬距離とを、互いに弾性表面波
の１／２波長だけ異ならせてある。このような構成とす
ることで、入力された電気信号が逆位相であるために、
前記受波側櫛形電極２で受信される弾性表面波は同位相
となる。
置の動作原理について説明する。平衡型弾性表面波フィ
ルタ３の入力端子８には、平衡信号が入力され、所定の
周波数特性を付与された後、前記平衡型弾性表面波フィ
ルタ３の出力端子９より、平衡信号として出力される。
前記周波数特性を有する平衡信号は、前記平衡型弾性表
面波フィルタ３の出力端子９に接続され、一方の端子が
接地された第１及び第２の送波側櫛形電極１、１０に入
力され、弾性表面波が励振される。前記弾性表面波を受
信する受波側櫛形電極２は、その出力端子５の一方の端
子が接地されており、前記第１及び第２の送波側櫛形電
極１、１０で励振された弾性表面波が同位相で受信する
ように配置され、前記弾性表面波は不平衡信号として電
気信号に変換され、前記受波側櫛形電極２の出力端子５
より出力されることになる。例えば、本実施例では、第
１の送波側櫛形電極１と受波側櫛形電極２との弾性表面
波伝搬距離と、第２の送波側櫛形電極１０と受波側櫛形
電極２との弾性表面波伝搬距離とを、互いに弾性表面波
の１／２波長だけ異ならせてある。このような構成とす
ることで、入力された電気信号が逆位相であるために、
前記受波側櫛形電極２で受信される弾性表面波は同位相
となる。
【００７６】以上のように、平衡型弾性表面波フィルタ
３と、前記平衡型弾性表面波フィルタ３に接続され、一
方の端子が接地された第１及び第２の送波側櫛形電極
１、１０と、前記第１及び第２の送波側櫛形電極１、１
０で励振された弾性表面波を電気信号に変換する、一方
の端子が接地された受波側櫛形電極２とを備えた構成に
より、前記弾性表面波装置の入力側周辺回路が平衡型で
あり、かつ、前記弾性表面波装置の出力側周辺回路が不
平衡型であった場合に、平衡−不平衡変換回路を必要と
しない、小型、高性能の弾性表面波装置を得ることがで
きる。
３と、前記平衡型弾性表面波フィルタ３に接続され、一
方の端子が接地された第１及び第２の送波側櫛形電極
１、１０と、前記第１及び第２の送波側櫛形電極１、１
０で励振された弾性表面波を電気信号に変換する、一方
の端子が接地された受波側櫛形電極２とを備えた構成に
より、前記弾性表面波装置の入力側周辺回路が平衡型で
あり、かつ、前記弾性表面波装置の出力側周辺回路が不
平衡型であった場合に、平衡−不平衡変換回路を必要と
しない、小型、高性能の弾性表面波装置を得ることがで
きる。
【００７７】（実施例７）図７は、本発明の第７の実施
例における弾性表面波装置の構成の概略を示す図であ
る。図７において、１は第１の送波側櫛形電極、２は第
１の受波側櫛形電極、１１は第２の受波側櫛形電極、３
は平衡型弾性表面波フィルタ、１０は第２の送波側櫛形
電極、１５は第３の送波側櫛形電極、１７は第３の受波
側櫛形電極である。
例における弾性表面波装置の構成の概略を示す図であ
る。図７において、１は第１の送波側櫛形電極、２は第
１の受波側櫛形電極、１１は第２の受波側櫛形電極、３
は平衡型弾性表面波フィルタ、１０は第２の送波側櫛形
電極、１５は第３の送波側櫛形電極、１７は第３の受波
側櫛形電極である。
【００７８】本実施例では、第５及び第６の実施例と同
様、４１°ＹカットＸ伝搬のニオブ酸リチウム基板上
に、第１の送波側櫛形電極１と第１及び第２の受波側櫛
形電極２、１１、及び第２及び第３の送波側櫛形電極１
０、１５と第３の受波側櫛形電極１７を形成し、平衡型
弾性表面波フィルタ３を、３６゜ＹカットＸ伝搬のタン
タル酸リチウム基板上に形成した。前記送・受波側櫛形
電極１、２、１０、１１、１５、１７が形成された基板
と、平衡型弾性表面波フィルタ３が形成された基板は、
セラミックパッケージに一体に実装し、前記両基板間の
電気的接続及び、基板とセラミックパッケージの端子と
の電気的接続はアルミニウムワイヤにより行った。
様、４１°ＹカットＸ伝搬のニオブ酸リチウム基板上
に、第１の送波側櫛形電極１と第１及び第２の受波側櫛
形電極２、１１、及び第２及び第３の送波側櫛形電極１
０、１５と第３の受波側櫛形電極１７を形成し、平衡型
弾性表面波フィルタ３を、３６゜ＹカットＸ伝搬のタン
タル酸リチウム基板上に形成した。前記送・受波側櫛形
電極１、２、１０、１１、１５、１７が形成された基板
と、平衡型弾性表面波フィルタ３が形成された基板は、
セラミックパッケージに一体に実装し、前記両基板間の
電気的接続及び、基板とセラミックパッケージの端子と
の電気的接続はアルミニウムワイヤにより行った。
【００７９】次に、第７の実施例における弾性表面波装
置の動作原理について説明する。第１の送波側櫛形電極
１は、入力端子４の一方の端子が接地されており、不平
衡信号が入力される。前記第１の送波側櫛形電極１で励
振された弾性表面波は、前記送波側櫛形電極の両側に配
置された第１及び第２の受波側櫛形電極２、１１で受信
される。前記第１及び第２の受波側櫛形電極２、１１
は、共に一方の端子が接地されており、かつ、互いに位
相の異なる弾性表面波が受信されるように配置されてい
る。例えば、本実施例では、送波側櫛形電極１と第１の
受波側櫛形電極２との弾性表面波伝搬距離と、送波側櫛
形電極１と第２の受波側櫛形電極１１との弾性表面波伝
搬距離とを、互いに弾性表面波の１／２波長だけ異なら
せてある。このような構成とすることで、前記第１及び
第２の受波側櫛形電極２、１１から出力される電気信号
は、互いに位相が１８０°異なっており、平衡型弾性表
面波フィルタ３の入力端子８に平衡信号として入力され
る。次に、前記平衡型弾性表面波フィルタ３の出力端子
９より出力される平衡信号は、前記平衡型弾性表面波フ
ィルタ３の出力端子９に接続され、一方の端子が接地さ
れた第２及び第３の送波側櫛形電極１０、１５に入力さ
れ、弾性表面波が励振される。前記弾性表面波を受信す
る第３の受波側櫛形電極１７は、その出力端子１８の一
方の端子が接地されており、前記第２及び第３の送波側
櫛形電極１０、１５で励振された弾性表面波が同位相で
受信するように配置され、前記弾性表面波は不平衡信号
として電気信号に変換され、前記第３の受波側櫛形電極
１７の出力端子１８より出力されることになる。例え
ば、本実施例では、第１の送波側櫛形電極１と、第１及
び第２の受波側櫛形電極２、１１との配置と同様に、第
２の送波側櫛形電極１０と第３の受波側櫛形電極１７と
の弾性表面波伝搬距離と、第３の送波側櫛形電極１５と
第３の受波側櫛形電極１７との弾性表面波伝搬距離と
を、互いに弾性表面波の１／２波長だけ異ならせてあ
る。このような構成とすることで、入力された電気信号
が逆位相であるために、前記受波側櫛形電極１７で受信
される弾性表面波は同位相となる。
置の動作原理について説明する。第１の送波側櫛形電極
１は、入力端子４の一方の端子が接地されており、不平
衡信号が入力される。前記第１の送波側櫛形電極１で励
振された弾性表面波は、前記送波側櫛形電極の両側に配
置された第１及び第２の受波側櫛形電極２、１１で受信
される。前記第１及び第２の受波側櫛形電極２、１１
は、共に一方の端子が接地されており、かつ、互いに位
相の異なる弾性表面波が受信されるように配置されてい
る。例えば、本実施例では、送波側櫛形電極１と第１の
受波側櫛形電極２との弾性表面波伝搬距離と、送波側櫛
形電極１と第２の受波側櫛形電極１１との弾性表面波伝
搬距離とを、互いに弾性表面波の１／２波長だけ異なら
せてある。このような構成とすることで、前記第１及び
第２の受波側櫛形電極２、１１から出力される電気信号
は、互いに位相が１８０°異なっており、平衡型弾性表
面波フィルタ３の入力端子８に平衡信号として入力され
る。次に、前記平衡型弾性表面波フィルタ３の出力端子
９より出力される平衡信号は、前記平衡型弾性表面波フ
ィルタ３の出力端子９に接続され、一方の端子が接地さ
れた第２及び第３の送波側櫛形電極１０、１５に入力さ
れ、弾性表面波が励振される。前記弾性表面波を受信す
る第３の受波側櫛形電極１７は、その出力端子１８の一
方の端子が接地されており、前記第２及び第３の送波側
櫛形電極１０、１５で励振された弾性表面波が同位相で
受信するように配置され、前記弾性表面波は不平衡信号
として電気信号に変換され、前記第３の受波側櫛形電極
１７の出力端子１８より出力されることになる。例え
ば、本実施例では、第１の送波側櫛形電極１と、第１及
び第２の受波側櫛形電極２、１１との配置と同様に、第
２の送波側櫛形電極１０と第３の受波側櫛形電極１７と
の弾性表面波伝搬距離と、第３の送波側櫛形電極１５と
第３の受波側櫛形電極１７との弾性表面波伝搬距離と
を、互いに弾性表面波の１／２波長だけ異ならせてあ
る。このような構成とすることで、入力された電気信号
が逆位相であるために、前記受波側櫛形電極１７で受信
される弾性表面波は同位相となる。
【００８０】以上のように、一方の端子が接地された第
１の送波側櫛形電極１と、一方の端子が接地され、前記
第１の送波側櫛形電極１で励振された弾性表面波を、互
いに位相が異なる弾性表面波として受信するように、前
記第１の送波側櫛形電極１の両側に配置された、第１及
び第２の受波側櫛形電極２、１１と、前記第１及び第２
の受波側櫛形電極２、１１に接続された平衡型弾性表面
波フィルタ３と、前記平衡型弾性表面波フィルタ３に接
続され、一方の端子が接地された第２及び第３の送波側
櫛形電極１０、１５と、前記第２及び第３の送波側櫛形
電極１０、１５で励振された弾性表面波を電気信号に変
換する、一方の端子が接地された第３の受波側櫛形電極
１７とを備えた構成により、前記弾性表面波装置の入力
及び出力側周辺回路が共に不平衡型である場合に、平衡
−不平衡変換回路を必要としない、小型、高性能の弾性
表面波装置を得ることができる。
１の送波側櫛形電極１と、一方の端子が接地され、前記
第１の送波側櫛形電極１で励振された弾性表面波を、互
いに位相が異なる弾性表面波として受信するように、前
記第１の送波側櫛形電極１の両側に配置された、第１及
び第２の受波側櫛形電極２、１１と、前記第１及び第２
の受波側櫛形電極２、１１に接続された平衡型弾性表面
波フィルタ３と、前記平衡型弾性表面波フィルタ３に接
続され、一方の端子が接地された第２及び第３の送波側
櫛形電極１０、１５と、前記第２及び第３の送波側櫛形
電極１０、１５で励振された弾性表面波を電気信号に変
換する、一方の端子が接地された第３の受波側櫛形電極
１７とを備えた構成により、前記弾性表面波装置の入力
及び出力側周辺回路が共に不平衡型である場合に、平衡
−不平衡変換回路を必要としない、小型、高性能の弾性
表面波装置を得ることができる。
【００８１】（実施例８）図８は、本発明の第８の実施
例における弾性表面波装置の構成の概略を示す図であ
る。図８において、１は送波側櫛形電極、２は第１の受
波側櫛形電極、１１は第２の受波側櫛形電極、３は平衡
型弾性表面波フィルタである。
例における弾性表面波装置の構成の概略を示す図であ
る。図８において、１は送波側櫛形電極、２は第１の受
波側櫛形電極、１１は第２の受波側櫛形電極、３は平衡
型弾性表面波フィルタである。
【００８２】本実施例では、送波側櫛形電極１と受波側
櫛形電極２、１１とを複数個設置し、さらに、その両外
側に反射器１４を設けることで、先に示した実施例５、
６、７における、３個の送・受波側櫛形電極で現出され
る周波数特性を改善している。すなわち、従来の多電極
構成の弾性表面波フィルタを、平衡−不平衡変換回路と
して用いている。このように、平衡−不平衡変換回路の
役割を担う送・受波側櫛形電極で現出される周波数特性
を改善することによって、より優れた弾性表面波装置を
得ることができる。
櫛形電極２、１１とを複数個設置し、さらに、その両外
側に反射器１４を設けることで、先に示した実施例５、
６、７における、３個の送・受波側櫛形電極で現出され
る周波数特性を改善している。すなわち、従来の多電極
構成の弾性表面波フィルタを、平衡−不平衡変換回路と
して用いている。このように、平衡−不平衡変換回路の
役割を担う送・受波側櫛形電極で現出される周波数特性
を改善することによって、より優れた弾性表面波装置を
得ることができる。
【００８３】また、同様の効果を得る方法として、２個
の送波側櫛形電極または受波側櫛形電極の両外側に反射
器を設け、弾性表面波の双方向損失を低減する方法、ま
たは、送波側櫛形電極または受波側櫛形電極の構成を一
方向性電極とする方法などがあり、いずれの場合も弾性
表面波装置の特性向上が図れる。
の送波側櫛形電極または受波側櫛形電極の両外側に反射
器を設け、弾性表面波の双方向損失を低減する方法、ま
たは、送波側櫛形電極または受波側櫛形電極の構成を一
方向性電極とする方法などがあり、いずれの場合も弾性
表面波装置の特性向上が図れる。
【００８４】（実施例９）図９は、本発明の第９の実施
例における弾性表面波装置の構成の概略を示す図であ
る。図９において、１は送波側櫛形電極、２は受波側櫛
形電極、３は平衡型弾性表面波フィルタ、１９はインピ
ーダンス整合回路である。
例における弾性表面波装置の構成の概略を示す図であ
る。図９において、１は送波側櫛形電極、２は受波側櫛
形電極、３は平衡型弾性表面波フィルタ、１９はインピ
ーダンス整合回路である。
【００８５】本実施例では、第４の実施例において、受
波側櫛形電極２の出力端子５と、平衡型弾性表面波フィ
ルタ３の入力端子８との間に、入出力のインピーダンス
整合回路１９を設けたものである。上記実施例に挙げた
構成の弾性表面波装置の場合、一般に、平衡−不平衡変
換回路の役割を担う送・受波側櫛形電極からなるデバイ
スは、その前段または後段に配置される平衡型弾性表面
波フィルタ３とのインピーダンス整合を電極設計のみで
行なうことが困難な場合がある。インピーダンス整合が
とれていない場合には、弾性表面波装置としての特性が
劣化するため、本実施例のように、インピーダンス整合
回路１９を付加することが好ましい。
波側櫛形電極２の出力端子５と、平衡型弾性表面波フィ
ルタ３の入力端子８との間に、入出力のインピーダンス
整合回路１９を設けたものである。上記実施例に挙げた
構成の弾性表面波装置の場合、一般に、平衡−不平衡変
換回路の役割を担う送・受波側櫛形電極からなるデバイ
スは、その前段または後段に配置される平衡型弾性表面
波フィルタ３とのインピーダンス整合を電極設計のみで
行なうことが困難な場合がある。インピーダンス整合が
とれていない場合には、弾性表面波装置としての特性が
劣化するため、本実施例のように、インピーダンス整合
回路１９を付加することが好ましい。
【００８６】インピーダンス整合回路を１９実現する方
法としては、整合回路素子を弾性表面波装置が実装され
たセラミックパッケージに一体に実装する、または、前
記セラミックパッケージを多層構造とし、その内部にイ
ンピーダンス整合回路素子を実現してもよい。
法としては、整合回路素子を弾性表面波装置が実装され
たセラミックパッケージに一体に実装する、または、前
記セラミックパッケージを多層構造とし、その内部にイ
ンピーダンス整合回路素子を実現してもよい。
【００８７】また、弾性表面波装置と、前記弾性表面波
装置の周辺回路の入出力端子とのインピーダンス整合を
図るためのインピーダンス整合回路を付加してもよい。
以上のように、平衡−不平衡変換回路の役割を担う送・
受波側櫛形電極からなるデバイスと、その前段または後
段に配置される平衡型弾性表面波フィルタと間にインピ
ーダンス整合を設けることにより、周波数特性に優れた
弾性表面波装置を得ることができる。
装置の周辺回路の入出力端子とのインピーダンス整合を
図るためのインピーダンス整合回路を付加してもよい。
以上のように、平衡−不平衡変換回路の役割を担う送・
受波側櫛形電極からなるデバイスと、その前段または後
段に配置される平衡型弾性表面波フィルタと間にインピ
ーダンス整合を設けることにより、周波数特性に優れた
弾性表面波装置を得ることができる。
【００８８】
【発明の効果】以上の実施例の説明より明らかなよう
に、本発明の第１〜６番目の弾性表面波装置は、例え
ば、一方の端子が接地された送波側櫛形電極と、前記送
波側櫛形電極で励振された弾性表面波を電気信号に変換
する受波側櫛形電極と、前記受波側櫛形電極に接続され
た平衡型弾性表面波フィルタとを備えた構成とすること
により、弾性表面波装置の周辺回路が平衡型、不平衡型
に関わらず、平衡−不平衡変換回路を必要としない、小
型、高性能の弾性表面波装置を得ることができる。その
結果、各種高周波部品に平衡型デバイスが使用でき、高
周波回路部の特性向上を図ることができる。
に、本発明の第１〜６番目の弾性表面波装置は、例え
ば、一方の端子が接地された送波側櫛形電極と、前記送
波側櫛形電極で励振された弾性表面波を電気信号に変換
する受波側櫛形電極と、前記受波側櫛形電極に接続され
た平衡型弾性表面波フィルタとを備えた構成とすること
により、弾性表面波装置の周辺回路が平衡型、不平衡型
に関わらず、平衡−不平衡変換回路を必要としない、小
型、高性能の弾性表面波装置を得ることができる。その
結果、各種高周波部品に平衡型デバイスが使用でき、高
周波回路部の特性向上を図ることができる。
【図１】本発明の第１の実施例における弾性表面波装置
の構成の概略を示す図。
の構成の概略を示す図。
【図２】本発明の第２の実施例における弾性表面波装置
の構成の概略を示す図。
の構成の概略を示す図。
【図３】本発明の第３の実施例における弾性表面波装置
の構成の概略を示す図。
の構成の概略を示す図。
【図４】本発明の第４の実施例における弾性表面波装置
の構成の概略を示す図。
の構成の概略を示す図。
【図５】本発明の第５の実施例における弾性表面波装置
の構成の概略を示す図。
の構成の概略を示す図。
【図６】本発明の第６の実施例における弾性表面波装置
の構成の概略を示す図。
の構成の概略を示す図。
【図７】本発明の第７の実施例における弾性表面波装置
の構成の概略を示す図。
の構成の概略を示す図。
【図８】本発明の第８の実施例における弾性表面波装置
の構成の概略を示す図。
の構成の概略を示す図。
【図９】本発明の第９の実施例における弾性表面波装置
の構成の概略を示す図。
の構成の概略を示す図。
１ 送波側櫛形電極 ２ 受波側櫛形電極 ３ 平衡型弾性表面波フィルタ ４ 送波側櫛形電極の入力端子 ５ 受波側櫛形電極の出力端子 ６ 直列腕弾性表面波共振子 ７ 並列腕弾性表面波共振子 ８ 平衡型弾性表面波フィルタの入力端子 ９ 平衡型弾性表面波フィルタの出力端子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 関 俊一 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (24)
- 【請求項１】 一方の端子が接地された送波側櫛形電極
と、前記送波側櫛形電極で励振された弾性表面波を電気
信号に変換する受波側櫛形電極と、前記受波側櫛形電極
に接続された平衡型弾性表面波フィルタとを備えたこと
を特徴とする弾性表面波装置。 - 【請求項２】 平衡型弾性表面波フィルタと、前記平衡
型弾性表面波フィルタに接続された送波側櫛形電極と、
前記送波側櫛形電極で励振された弾性表面波を電気信号
に変換するための一方の端子が接地された受波側櫛形電
極とを備えたことを特徴とする弾性表面波装置。 - 【請求項３】 一方の端子が接地された第１の送波側櫛
形電極と、前記第１の送波側櫛形電極で励振された弾性
表面波を電気信号に変換する第１の受波側櫛形電極と、
前記第１の受波側櫛形電極に接続された平衡型弾性表面
波フィルタと、前記平衡型弾性表面波フィルタに接続さ
れた第２の送波側櫛形電極と、前記第２の送波側櫛形電
極で励振された弾性表面波を電気信号に変換するための
一方の端子が接地された第２の受波側櫛形電極とを備え
たことを特徴とする弾性表面波装置。 - 【請求項４】 少なくとも３個以上の櫛形電極を弾性表
面波の伝搬方向に配置し、それぞれの櫛形電極を交互
に、送波側櫛形電極及び受波側櫛形電極とした請求項
１，２または３記載に弾性表面波装置。 - 【請求項５】 送波側櫛形電極および受波側櫛形電極の
両外側に、反射器を設けた請求項１，２，３または４に
記載の弾性表面波装置。 - 【請求項６】 一方の端子が接地された送波側櫛形電極
と、一方の端子が接地され、前記送波側櫛形電極で励振
された弾性表面波を、互いに位相が異なる弾性表面波と
して受信するように、前記送波側櫛形電極の両側に配置
された、第１及び第２の受波側櫛形電極と、前記第１及
び第２の受波側櫛形電極に接続された平衡型弾性表面波
フィルタとを備えたことを特徴とする弾性表面波装置。 - 【請求項７】 平衡型弾性表面波フィルタと、前記平衡
型弾性表面波フィルタに接続され、一方の端子が接地さ
れた第１及び第２の送波側櫛形電極と、前記第１及び第
２の送波側櫛形電極で励振された弾性表面波を電気信号
に変換するための一方の端子が接地された受波側櫛形電
極とを備えたことを特徴とする弾性表面波装置。 - 【請求項８】 一方の端子が接地された第１の送波側櫛
形電極と、一方の端子が接地され、前記第１の送波側櫛
形電極で励振された弾性表面波を、互いに位相が異なる
弾性表面波として受信するように、前記第１の送波側櫛
形電極の両側に配置された、第１及び第２の受波側櫛形
電極と、前記第１及び第２の受波側櫛形電極に接続され
た平衡型弾性表面波フィルタと、前記平衡型弾性表面波
フィルタに接続され、一方の端子が接地された第２及び
第３の送波側櫛形電極と、前記第２及び第３の送波側櫛
形電極で励振された弾性表面波を電気信号に変換するた
めの一方の端子が接地された第３の受波側櫛形電極とを
備えたことを特徴とする弾性表面波装置。 - 【請求項９】 少なくとも４個以上の櫛形電極を弾性表
面波の伝搬方向に配置し、それぞれの櫛形電極を交互
に、送波側櫛形電極及び受波側櫛形電極とした請求項
６，７または８に記載の弾性表面波装置。 - 【請求項１０】 送波側櫛形電極及び受波側櫛形電極の
両外側に、反射器を設けた請求項６，７，８または９に
記載の弾性表面波装置。 - 【請求項１１】 平衡型弾性表面波フィルタが、４個の
弾性表面波共振子を対称格子型に接続したものを基本単
位として、少なくとも１段以上接続することにより構成
した請求項１，２，３，６，７または８に記載の弾性表
面波装置。 - 【請求項１２】 送波側櫛形電極と、受波側櫛形電極と
によって現出する周波数特性において、挿入損失が最小
となる周波数と、平衡型弾性表面波フィルタの中心周波
数とがほぼ一致する請求項１，２，３，６，７または８
に記載の弾性表面波装置。 - 【請求項１３】 受波側櫛形電極の出力端子と、平衡型
弾性表面波フィルタの入力端子との間に、インピーダン
ス整合回路を備えた請求項１，３，６または８に記載の
弾性表面波装置。 - 【請求項１４】 平衡型弾性表面波フィルタの出力端子
と、送波側櫛形電極の入力端子との間に、インピーダン
ス整合回路を備えた請求項２，３，７または８に記載の
弾性表面波装置。 - 【請求項１５】 送波側櫛形電極と受波側櫛形電極とが
形成された基板の物理定数と、平衡型弾性表面波フィル
タが形成された基板の物理定数とが、互いに異なる１，
２，３，６，７または８に記載の弾性表面波装置。 - 【請求項１６】 送波側櫛形電極と、受波側櫛形電極と
が形成された基板の電気機械結合係数が、平衡型弾性表
面波フィルタが形成された基板の電気機械結合係数より
も実質的に大きい請求項１５に記載の弾性表面波装置。 - 【請求項１７】 送波側櫛形電極と、受波側櫛形電極と
が形成された基板の周波数温度係数と、平衡型弾性表面
波フィルタが形成された基板の周波数温度係数とがほぼ
一致する請求項１５に記載の弾性表面波装置。 - 【請求項１８】 送波側櫛形電極と、受波側櫛形電極と
が形成された基板と、平衡型弾性表面波フィルタが形成
された基板とが、気密保持のための容器に一体に実装し
た請求項１５に記載の弾性表面波装置。 - 【請求項１９】 受波側櫛形電極の出力端子と、平衡型
弾性表面波フィルタの入力端子との間、または平衡型弾
性表面波フィルタの出力端子と、送波側櫛形電極の入力
端子との間に接続されるインピーダンス整合回路を、気
密保持のための容器に内蔵した請求項１８に記載の弾性
表面波装置。 - 【請求項２０】 気密保持のための容器が誘電体多層基
板からなる請求項１９に記載の弾性表面波装置。 - 【請求項２１】 送波側櫛形電極と、受波側櫛形電極
と、平衡型弾性表面波フィルタとが、同一の基板上に一
体に形成された請求項１，２，３，６，７または８に記
載の弾性表面波装置。 - 【請求項２２】 送波側櫛形電極と、受波側櫛形電極と
を形成する電極の膜厚が、平衡型弾性表面波フィルタを
形成する電極の膜厚よりも厚い請求項２１に記載の弾性
表面波装置。 - 【請求項２３】 受波側櫛形電極の出力端子と、平衡型
弾性表面波フィルタの入力端子との間、または平衡型弾
性表面波フィルタの出力端子と、送波側櫛形電極の入力
端子との間に接続されるインピーダンス整合回路を、気
密保持のための容器に内蔵した請求項２２記載の弾性表
面波装置。 - 【請求項２４】 気密保持のための容器が誘電体多層基
板からなる請求項２３に記載の弾性表面波装置。
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