JPS58197263A - 極小径超硬ドリル - Google Patents

極小径超硬ドリル

Info

Publication number
JPS58197263A
JPS58197263A JP7975982A JP7975982A JPS58197263A JP S58197263 A JPS58197263 A JP S58197263A JP 7975982 A JP7975982 A JP 7975982A JP 7975982 A JP7975982 A JP 7975982A JP S58197263 A JPS58197263 A JP S58197263A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ions
drill
small diameter
metal ions
implanted
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP7975982A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS634629B2 (ja
Inventor
Yasuhiro Shimizu
靖弘 清水
Akira Doi
陽 土居
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Electric Industries Ltd filed Critical Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority to JP7975982A priority Critical patent/JPS58197263A/ja
Publication of JPS58197263A publication Critical patent/JPS58197263A/ja
Publication of JPS634629B2 publication Critical patent/JPS634629B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/48—Ion implantation

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、耐摩耗性の優れた極小径超硬ドリルに関す
るものである。
半導体集積技術の発達に伴いプリント基板の精密加工が
大きな問題となっている。特許て最近のプリント基板は
ガラス繊維をエポキシ樹脂の中に埋込み多層化されたも
のが増えているため、ドリルでこのガラス繊維の部分を
削る時に刃先に大きな摩耗を生じ工具損傷となり易い。
この問題を解決するためにドリル刃の耐摩耗性を高める
ことが急務である。耐摩耗性を高める方法としてはＣＶ
Ｄ、ＰＶＤ等によりＴｉＣ、ＴｉＮなどの硬質材料全被
覆する方法が一般に行われているが、これではどうして
も刃先の部分でシャニブさが失われてしまい切味が落ち
て加工精度も悪くなる。
また、プリント基板のドリル加工は刃先にとって非常に
厳しい条件となっており、通常のコーティングでは硬質
膜は簡単に剥離してコーティングの効果を出すのが困難
である。
これに対し本発明法ではドリールの表面−を′含む内部
に金属および／又は非金属イオンを打込むことにより表
面硬化させ、それに続いて極く薄い硬質層の被覆処理を
施すことで切味低下や膜の剥離の問題を生ずることなく
ドリルの寿命向上を図ることができる。
金属イオンとしては■ａ、Ｖａ、■ａ族の元素及びＡｎ
。
Ｓｔが有効であり、非金属イオンにはＮイオンが主に使
われる。その表面強化機構は打込まれた金属イオンとＮ
イオンが結合し硬い窒化物を表面に作ることとＮイオン
の残りが基材の超硬合金を硬化させる２点が主なもので
ある。
特に表面の窒化物は基材にくい込む様な形で形成される
ため従来のコーティングによるものより摩耗に対する抵
抗が大きくなっている。
更にこの上に、極く薄く窒化物層を被覆することで耐摩
耗性を一層向上させうる。これは先に打込まれた窒化物
の核の上に被覆するため基材に直接被覆するよりも密着
性が良好なためである。
被膜はある程度以上になると欠けやすくなり刃先のシャ
ープさも失われてくるので通常８μｍ以下できれば１μ
ｍ程度が望ましい。又０．１μ以下では耐摩耗性向上の
効果が少い。
非金属としてＮイオンを例にとったが、硬質物質を形成
するものであればＢ、　Ｃ，Ｏ，Ｓ等の非金属イ、オン
でも本発明の効果に変りはない。
以下実施例をもって説明する。
実施例１゜ 極小径超硬ドリル（Ｋ１０相当、ドリル径０．９５Ｍ）
の刃先表面にＮイオンを打込む処理を施した試料と未処
理の試料を用意し表１に示す条件で寿命に至るまでのヒ
ツト数を比較した。
Ｎイオン打込みは５０ｆｆで行ない２Ｘ１０１７個のＮ
イオンを打込んだ。結果を表２に示す。
実施例２゜ 極小径超硬ドリル（Ｋ１０　ドリル径０．９！Ｍ１ｍ）
の刃先表面にＴｉイオンとＣイオンを同時に打込む処理
を施した試料と未処理の試料を用意し、実施例１と同じ
条件で寿命に至るまでのヒツト数を比較した。なおイオ
ンの打込みは７０１ｆｆで行なった。
結果を表３に示す。
実施例３゜ 極小径超硬ドリル（Ｋ１０　ドリル径１．０ａｍ）の刃
先表面にＣｒイオンとＣイオンを同時に打込み、しかる
後にＣｒＢＣｑの被覆をする処理を施した試料と未処理
の試料を用意し、実施例１と同じ条件で寿命に至るまで
のヒツト数を比較した。なおイオンの打込みは６０Ｗで
行ないＣｒ３Ｃ７の被覆の厚みは１μｍであった。
結果を表４に示す。
表４．。
実施例４゜ 極小超硬ドリル（Ｋ１０　ドリル径０．９５飢）の刃先
表面にＴｉイオンとＮイオンを同時に打込み、しかる後
にＴｉＮの被覆を施した試料を種々の厚みについて作成
し、これと未処理の試料を実施例１と同じ条件で寿命に
至るまでのヒツト数で比較した。
なおイオン打込みは５０■で行った。
結果を表５に示す。
表５゜

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 （１）表面を含む内部に金属イオンおよび／または非金
    属イオンを注入されてなることを特徴とする極小径超硬
    ドリル。 （２、特許請求の範囲第（１）項において、金属イオン
    がＴｉ　、　Ｖ、針、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｈｆ、Ｔａ、
    Ｗ、Ａ４Ｓｉのうち１種又は２種以上、非金属イオンが
    Ｂ、　Ｃ，Ｎ、　Ｏ，Ｓの１種又は２種以上であること
    を特徴とする極小径超硬ドリル。 （３）表面を含む内部に金属イオンおよび／または非金
    属イオンを注入されてあり、更にその表面に■ａ、■ａ
    、■ａ族金属の炭化物、窒化物、硼化物。 炭窒化物及び硼窒化物から選ばれた硬質膜が被覆されて
    なることを特徴とする極小径超硬ドリル。 （４）特許請求の範囲第（３）項において、外層の硬質
    膜が０．１〜３μｍであることを特徴とする極小径超硬
    ドリル。
JP7975982A 1982-05-11 1982-05-11 極小径超硬ドリル Granted JPS58197263A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7975982A JPS58197263A (ja) 1982-05-11 1982-05-11 極小径超硬ドリル

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7975982A JPS58197263A (ja) 1982-05-11 1982-05-11 極小径超硬ドリル

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS58197263A true JPS58197263A (ja) 1983-11-16
JPS634629B2 JPS634629B2 (ja) 1988-01-29

Family

ID=13699142

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7975982A Granted JPS58197263A (ja) 1982-05-11 1982-05-11 極小径超硬ドリル

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS58197263A (ja)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60128262A (ja) * 1983-12-15 1985-07-09 Toshiba Corp 高熱伝導性複合回路基板の製造方法
JPS62202074A (ja) * 1986-02-28 1987-09-05 Hitachi Ltd イオン注入処理による切削工具の長寿命化方法
WO1987006273A2 (en) * 1986-04-10 1987-10-22 MTU MOTOREN- UND TURBINEN-UNION MüNCHEN GMBH Coating to protect against wear and fretting corrosion of, in particular, metal mechanical components held together by frictional adherence
US4864676A (en) * 1986-06-04 1989-09-12 Heinrich Schaiper Tooth brush
FR2672829A1 (fr) * 1991-02-19 1992-08-21 Nitruvid Procede pour realiser une liaison par brasage entre deux pieces, notamment une piece ceramique et une piece metallique, et ensemble soude realise par ce procede.
JPH0598419A (ja) * 1991-02-19 1993-04-20 Sumitomo Metal Mining Co Ltd 表面被覆鋼製品及びその製造方法
CN116855910A (zh) * 2023-07-13 2023-10-10 中浙高铁轴承有限公司 一种高铁轴承用Ti-V-W-N薄膜的制备方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4991266A (ja) * 1972-12-29 1974-08-31

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4991266A (ja) * 1972-12-29 1974-08-31

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60128262A (ja) * 1983-12-15 1985-07-09 Toshiba Corp 高熱伝導性複合回路基板の製造方法
JPS62202074A (ja) * 1986-02-28 1987-09-05 Hitachi Ltd イオン注入処理による切削工具の長寿命化方法
WO1987006273A2 (en) * 1986-04-10 1987-10-22 MTU MOTOREN- UND TURBINEN-UNION MüNCHEN GMBH Coating to protect against wear and fretting corrosion of, in particular, metal mechanical components held together by frictional adherence
WO1987006273A3 (fr) * 1986-04-10 1988-02-11 Mtu Muenchen Gmbh Couche protectrice contre l'usure et la corrosion par frottement, en particulier de pieces mecaniques metalliques accouplees par liaison de force
US4864676A (en) * 1986-06-04 1989-09-12 Heinrich Schaiper Tooth brush
FR2672829A1 (fr) * 1991-02-19 1992-08-21 Nitruvid Procede pour realiser une liaison par brasage entre deux pieces, notamment une piece ceramique et une piece metallique, et ensemble soude realise par ce procede.
EP0500454A1 (fr) * 1991-02-19 1992-08-26 Nitruvid Procédé pour réaliser une liaison par brasage entre deux pièces, notamment une pièce céramique et une pièce métallique, et ensemble soudé réalisé par ce procédé
JPH0598419A (ja) * 1991-02-19 1993-04-20 Sumitomo Metal Mining Co Ltd 表面被覆鋼製品及びその製造方法
CN116855910A (zh) * 2023-07-13 2023-10-10 中浙高铁轴承有限公司 一种高铁轴承用Ti-V-W-N薄膜的制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPS634629B2 (ja) 1988-01-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100645409B1 (ko) 초경합금 삽입체
JPH09234606A (ja) 高硬度・高圧縮応力多層コートの工具
KR20010062076A (ko) 피복된 ｐｃｂｎ 절삭 공구
MY138872A (en) Diamond coated tool and method of manufacturing the same
HK1055572A1 (en) Scalpel blade having high sharpness and toughness
CA2553564A1 (en) Coated abrasives
JPS58197263A (ja) 極小径超硬ドリル
JPH09300106A (ja) 表面被覆超硬合金製スローアウェイインサート
JPS6219503B2 (ja)
CN107881468B (zh) 一种印刷电路板加工用涂层微钻刀及其制备方法
JPH09300105A (ja) 表面被覆超硬合金製スローアウェイインサート
US4436775A (en) Hard metal body and method of making same
JPS60123209A (ja) 電子集積回路積層基板の穴明け加工用切削工具
KR930010709B1 (ko) 우수한 내마모성을 갖는 표면 피복 경질 부재
TWM607787U (zh) 具有自潤滑硬膜複合塗層的pcb刀具
CN207632873U (zh) 一种印刷电路板加工用涂层微钻刀
JP3327424B2 (ja) 樹脂及び粉末成形用硬質合金金型
KR20210027694A (ko) 그라비어 롤의 제조 방법
JPH078445B2 (ja) プリント基板用穴明けドリル
JPS58136766A (ja) 表面被覆超硬合金部材
JPH0749165B2 (ja) 耐衝撃性に優れる被覆超硬合金工具
JPS58136767A (ja) 表面被覆超硬合金部材
JPH04214855A (ja) 耐剥離性向上セラミックコーティング皮膜
JPS58136770A (ja) 表面被覆超硬合金部材
JPS6357102A (ja) コ−テイングチツプ