JPS58194750A - 合成シリカ系ガラス及びその製造方法 - Google Patents

合成シリカ系ガラス及びその製造方法

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JPS58194750A
JPS58194750A JP7886082A JP7886082A JPS58194750A JP S58194750 A JPS58194750 A JP S58194750A JP 7886082 A JP7886082 A JP 7886082A JP 7886082 A JP7886082 A JP 7886082A JP S58194750 A JPS58194750 A JP S58194750A
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JP
Japan
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gel
glass
silica glass
production
sol
Prior art date
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Pending
Application number
JP7886082A
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English (en)
Inventor
Yoshio Yamazaki
山崎 淑夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Suwa Seikosha KK
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Suwa Seikosha KK
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Publication date
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Publication of JPS58194750A publication Critical patent/JPS58194750A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C1/00Ingredients generally applicable to manufacture of glasses, glazes, or vitreous enamels
    • C03C1/006Ingredients generally applicable to manufacture of glasses, glazes, or vitreous enamels to produce glass through wet route
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B19/00Other methods of shaping glass
    • C03B19/12Other methods of shaping glass by liquid-phase reaction processes

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Glass Melting And Manufacturing (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、金属アルコキシドの加水分解を利用した、い
わゆるゾル−ゲル法による合成ガラス墓参およびその製
造方法に関するものである。
さらに膵しくに、ゾル−ゲル法による合成ガラス基橡の
製造において、加水分解及び脱水縮合したtgIkゲル
基嶺の焼成過程にフッ酸又はフッ酸塩1含む溶液で処理
する工程を含むことt%轍とする合成シリカ系ガラス及
び該ガラスの製造方法に関するものである。
石英ガラスで代表されるシリカ系ガラスは、現在、20
00℃近い高温で浴psI!を形する高温溶融法で製造
されている。特vcTM明石英ガラスは、水晶を原料と
し、粉砕、洗浄、N製、溶解という工#It繰返して純
FjLt上けるという、煩雑で高エネルギーを必要とす
る製造工8if必費としている。
このため、透明石英ガラスの後れた光学特性や物M特性
にもかかわらず、高価であるためあまり使用されていな
い。
これに対して、金属アルコキシドの加水分解を利用した
ゾル−ゲル法では、原料の精製が害鳥であ沙、シかもゲ
ル化した基板′f1000℃m11の焼成温度で透明石
英ガラスなどを製造できる。
例えば、ケイ酸エチル(81(OOIHI)4)を原料
とした場合では、ケイ酸エチルと水とエチルフルコール
を混合し、ケイ酸エチル管加水分解し、ケイ酸ゲルとし
て一定形状にする。このゲルを加Ml、lがら、水、ア
ルコールを放出させ、三次元構造の透明石英ガラスを得
ることができる。
この場合、ゾル−ゲル法で形成された乾燥ゲルを徐々に
昇温して暁成すると、最高1000〜1100℃程度の
温度で完全な石英の三次元構造が完成する。
本発明に係わるこのゾル−ゲル法の%黴に、上記したよ
うに、従来の溶融法に比べてかなり低い焼成湯度でシリ
カ系ガラスが製造できるという、省エネルギー性たけで
はなく、原料となるケイ酸エチルなどの金属アルコキク
ド化合物が、一般に液体又は低融薇の固体であるので、
そC〕化合物の精製が蒸溜法など、きわめて簡便な方法
で操作で更に、高温溶融法で11混合できないよう々新
規な組成の7リカ系ガラス材料も作成できる可能性をも
っている。
このような数々の長所をもつゾル−ゲル法ではあるが、
シリカ系ガラスを完敗させる途中の温度で、それぞれ初
期の加水分解条件やゾル状態からゲル化する条件に依存
する複雑な内部構造をとるため、[&にの割れや白濁化
が解決すべきs髄として残っている。
^一層融法ではみられない特異な内部構造として、吸看
水やガスの脱離などによる数十オングストロームから数
百オングストロームにわたる孔径のマイクロポーラス構
造の形成であり、本発明に係わる7リカガラスの場合、
900℃程鼠までこのマイクロポーラス構造は一持され
る。
このマイクロポーラスの内部は、遊離のシラノ   、
゛1−ル基(−81−OH)が残存していると推定され
る。従って完全な石英の三次元構造とするためには、こ
のマイクロポーラスを消滅させることが必要となる。
これまでの実験解析によシ、900℃から1000℃壕
での湯度範囲で約20囁の体積収縮を伴う構造変化で完
全な石英の三次元構造となるたt、乾燥ゲルが微妙な条
件差により割れ及び白濁が起ることが判明している。
これらの現象に、マイクロポーラス構造が昇温によりゲ
ル基板の表面から耐融封止されるfC杓、内部の遊離ン
ラノール基の脱水縮合反応■−8l−0)1−)−HO
−8i−→−81−0−81− +HIO・・・■によ
り生じるHsOが閉じ込められるため、その内圧によっ
て起ると推定される。
本発明は、このようなゾル−ゲル法によ47’J力系カ
ラスの製造方法において重要な意味をもつ74クロポー
ラス栴迄のII向付近の孔&會フン酸又はフン酸塩を含
む溶液で処理することにより、ゲル内部の孔径よりも広
けてやり、前記した昇温時に表面の孔が溶融制止されH
,Oが閉じ込められ、夷11tl を白濁現象が起こる
ことを基本的に解決したものである。
本弛明の考え方の基本は、上記したように、ゾル−ゲル
法によるシリカ系ガラスの製造上達けられないマイクロ
ポーラス構造に起因する細孔の溶融封止1.s面付近の
孔径を内部の孔径より拡げることにより、ポーラス構造
の消滅をスムーズに打なわせようとするものである。
この目的のための処理方法としては、ガラスのエツチン
グ剤としては、フッ瞭やその塩を含む溶液が簡便で有効
であるが、熱燐酸、硼フッ酸やその塩も有効である。
以下に、本発明の具体的な実施例を簡単に説明する。
実II&例 エタノール&4−.エチルンリケート4α29゜α1N
塩@5bwtfフラスコ内で3時間攪拌混合してエチル
シリケートの加水分解を行なつfce続いてこの混合物
を直径50鵬のテフロンコートしたンヤーレlC入れ、
ピンポールを有するポリエチレン族の砲tiiiとして
密封し、60℃の恒温槽中に入れ1日放置した後、95
℃に昇温して更に4日間放置して、乾燥ゲルを完成した
次に、この乾燥ゲルをルツボ炉に入れ、15℃/時間の
昇温速度で900℃まで上げると、直径30勝の焼成ゲ
ルが得られた。
この焼成ゲルは、細孔径が20〜100オングストロー
ムに亘って分布しているマイクロポーラス構造をとって
いた。
この焼成ケルを46%フッ化水素酸、水、グリセリンを
それぞわ10:80:10の重量比で混合した暇液に約
1分間浸漬エツチングし、充分水洗した後乾燥し、前記
ルツボ炉にて、20℃膚関の昇温速度で1000℃まで
上げたところ、直径25w1の透明石英ガラスが得られ
た。
なお、追加実験でフッ酸含有溶液は、グリセ11ンなど
の有機水浴性化合物を添加すると、ガラス安面の凹凸全
平滑化するレベリング作用があり、不発明の目的に好適
であることが判った。
石英ガラスになっていることtよ、赤外線吸収スペクト
ル、X−回折、比重、硬f尋により確認しに0 以上、本発明の実施例を簡単に説明したが、これKより
従来のゾル−ゲル法でFi峻しがった大型板状の透明石
英ガラスが、釧れや白濁を全く生じなくて、歩留夛よ〈
製造出来るようになった。
また、本発明の効果ii、石英ガラスで代表される7リ
カ系ガラスの製造にとと首らず、透明アルミナガラスの
ゾル−ゲル法VCよる製造においても確認された。
即ち、原料とし、てアルミニウムイソプロポキンド(h
n(ocsHv)s)?用い、前記実施fIlと同様の
加水分解条件、転線ゲル、焼成ゲルとし、フッ酸系溶液
で処理すること番でより、1200℃まで昇−してb的
物管得ることができた。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)  金Xアルコキシドの加水分解を利用したゾル
    −ゲル法による合成ガラス基板の製造において、加水分
    解及び脱水縮合した乾燥ゲル基金の焼成過程にフッ酸又
    はフッ酸塩を含む#!液で処理する工&1含むこと1−
    *徴とする合成シリカ系ガラス及び該ガラスの製造方法
  2. (2)金属アルコキシドとして、メチルンリケー) (
    81(OOHm)4)  又は、エチルシリケート(8
    1(OCIHI)4)又は、イソプロビルンリケー) 
    (Si(OCmHy−1ao)4)のいずれかを用いた
    請求範囲@1項記載の合成シリカ系ガラス及び該ガラス
    の製造方法。
JP7886082A 1982-05-10 1982-05-10 合成シリカ系ガラス及びその製造方法 Pending JPS58194750A (ja)

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