JPS5818238A - 異方導電性エラストマ−シ−トの製造方法 - Google Patents
異方導電性エラストマ−シ−トの製造方法Info
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- JPS5818238A JPS5818238A JP56116471A JP11647181A JPS5818238A JP S5818238 A JPS5818238 A JP S5818238A JP 56116471 A JP56116471 A JP 56116471A JP 11647181 A JP11647181 A JP 11647181A JP S5818238 A JPS5818238 A JP S5818238A
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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- Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、シートの一方向ＫＯみ導電性を有する異方導
電性エラストマーシートに関する◎従来、多数本の導電
性線条がシート面に対して実質的ＶＣＩｌｌ直方向に配
向し九異方導電性工２ストマーシートは、電気接点を著
しく小さくシ、振動などによる外力に対する電気的接続
の安定性に優れている等多くの特長を有するため、カメ
ラ、電子時計、電卓等の精密小形機器、およびその他極
めて限られたスペースに収納される回路素子相互のコネ
クター材料として多岐にわたって利用されている。この
ような機能含有するものとしては、■絶縁性ゴムシート
と導電性微粒子管配合した導電性ゴムシートとを交互に
多数積層接着したものｔ１積層面に直角にスライスした
もの、■エラストマーシートの中に、シートに圧縮力が
加わった時にのみ粒子間の接触が行なわれるように調節
された量の導電性微粒子を添加したもの、■磁性を有す
る導電性線条を液状ゴム中に分散し、磁界ｔかけて前記
線条をシートの厚み方向に林立させ、その状態でゴムｔ
ｉｌＦ化させたもの等が知られているＯ しかしこれらのものは、■、■については電極の配置形
態に岬限があり、圧縮力依存性が大きい０■については
、製造工程上、導電性線条の密度がせいぜい５〜１０本
／ｍｍ”と金９多くとれず、ま九場所によシ密度にムラ
が生ずゐ欠点があった。
電性エラストマーシートに関する◎従来、多数本の導電
性線条がシート面に対して実質的ＶＣＩｌｌ直方向に配
向し九異方導電性工２ストマーシートは、電気接点を著
しく小さくシ、振動などによる外力に対する電気的接続
の安定性に優れている等多くの特長を有するため、カメ
ラ、電子時計、電卓等の精密小形機器、およびその他極
めて限られたスペースに収納される回路素子相互のコネ
クター材料として多岐にわたって利用されている。この
ような機能含有するものとしては、■絶縁性ゴムシート
と導電性微粒子管配合した導電性ゴムシートとを交互に
多数積層接着したものｔ１積層面に直角にスライスした
もの、■エラストマーシートの中に、シートに圧縮力が
加わった時にのみ粒子間の接触が行なわれるように調節
された量の導電性微粒子を添加したもの、■磁性を有す
る導電性線条を液状ゴム中に分散し、磁界ｔかけて前記
線条をシートの厚み方向に林立させ、その状態でゴムｔ
ｉｌＦ化させたもの等が知られているＯ しかしこれらのものは、■、■については電極の配置形
態に岬限があり、圧縮力依存性が大きい０■については
、製造工程上、導電性線条の密度がせいぜい５〜１０本
／ｍｍ”と金９多くとれず、ま九場所によシ密度にムラ
が生ずゐ欠点があった。
このような機能含有するエラストマーシートの理想的な
形ＩＩは、シートの中にシート面と重置方向に導通路が
相互に独立し、かつ無数に密度ムラがなくてきゐだけ整
列配置されておシ、また１本１本の導通路の直径が例え
ば５０μ以下というようにできるだけ小さいことである
。
形ＩＩは、シートの中にシート面と重置方向に導通路が
相互に独立し、かつ無数に密度ムラがなくてきゐだけ整
列配置されておシ、また１本１本の導通路の直径が例え
ば５０μ以下というようにできるだけ小さいことである
。
本発明は叙上の点に鑑み表されたものであり、上記理想
形態にできるだけ近づけたシートの厚み方向にのみ導電
性を有する異方導電性エラストマーシートを提供するも
のであゐ。
形態にできるだけ近づけたシートの厚み方向にのみ導電
性を有する異方導電性エラストマーシートを提供するも
のであゐ。
次に本発明の概略を図とと４に説明する。第１図（＆）
に示すように、紫外！Ｉ要要談型未硬化エラストマーを
塗布した金属基体１０表面に、所望の開ロバターンを形
成したマスク板３を設置し、前記未硬化工２ストマー２
に紫外ａＳを照射し、開口した露光部分３ａＫ対応した
エラストｗ−２ａを硬化せしめる。その後第１図（ｂ）
Ｋ示すように１未硬化部分Ｏエラストマー２ｂを懐剣等
で除去し、次いで、第１図（ｃ） Ｋ示すように前記金
属基体ｌのエラストマー除去面に電気メツキ法により金
属導電体４を少々くともエラストマー２０膜厚と同程度
に析出させる。しかるのち第１図（ｄ）に示すように、
蚊金属導電体４を含む硬化エラストマ−２ａｔ金属基体
１から剥離することにより、第２図に示す如くエラスト
マー２ａの厚み方向にのみ導電性含有する異方導電性エ
ラストマーシート管得ることができる。
に示すように、紫外！Ｉ要要談型未硬化エラストマーを
塗布した金属基体１０表面に、所望の開ロバターンを形
成したマスク板３を設置し、前記未硬化工２ストマー２
に紫外ａＳを照射し、開口した露光部分３ａＫ対応した
エラストｗ−２ａを硬化せしめる。その後第１図（ｂ）
Ｋ示すように１未硬化部分Ｏエラストマー２ｂを懐剣等
で除去し、次いで、第１図（ｃ） Ｋ示すように前記金
属基体ｌのエラストマー除去面に電気メツキ法により金
属導電体４を少々くともエラストマー２０膜厚と同程度
に析出させる。しかるのち第１図（ｄ）に示すように、
蚊金属導電体４を含む硬化エラストマ−２ａｔ金属基体
１から剥離することにより、第２図に示す如くエラスト
マー２ａの厚み方向にのみ導電性含有する異方導電性エ
ラストマーシート管得ることができる。
エラストマーとしては、硬化型ならば材質上物ＫＩＩｌ
ｌ定はないが、エンストマーシートの使用形態からして
種々の電気的、物理的、化学的特性管考え合わせれば、
紫外線硬化型のシリ；−ンエラストマーが好適であ夛、
市販の材料として、例えば信越化学社製商品名ｒＫＪＲ
−８０３０８Ｊ、ｒＫＪＲ−８０５０８１＄の紫外線硬
化型シリコーンエラストマーが使用できる。また金属導
電体としては、金属基体上に電気メッキできる金属なら
いずれも使用可能であるが、一般的に金、銀、銅、スズ
、ニッケルまたは、それらをペースとした合金が、接触
安定性や耐食性等の観点から適している０さらに金属基
体としては、電気メツキ後の金属導電体の剥離を容易に
するために１金属導電体を適度の密着性を有するような
材質管選ぶ必要があり、例えば平滑表面を有するステン
レス等が適切な材料として使用で自る０ 一 本発明の方法によれば、従来の方法では得られないいく
つかのすぐれた特長゛ｔもつ異方導電性エラストマーシ
ートが得られるＯすなわち従来の方法では、電気絶縁性
エラストマー中の導通路が、ランダム配列しかできず、
また導通路１１度も均一なｌ）が得にくい反面、意図的
に琳通路ｇｍ変を部分的に変化させようとして亀そのコ
ントロールが困難である。その点本発明の方法によれけ
導通路のランダム配列、整列配列は、マスク板のノ（タ
ーンで自由自在であや、又導通路密度を用途に応じて容
易に変えることが可能であるＯ又従来の方法のうち前記
■の方法は異方導電性に高信頼性含有するが、導電体と
して磁性線状体を用いる必要があり、材料選択に限界が
あるＯしかし本発明の方法によれば、電気メッキでき為
金属表ら一応どのよう壜材料でもよく、又異種金属を多
層メッキするととＫより、例えば、高い接触信頼性を必
要とすゐ導通路最外表面のみ金を使用し、導通路内部に
は、安価亀材料を使用すゐ等してＪ材料コストの低減、
省資源をはかｐながら高い接触信頼性含有する異方導電
性エラストマーシートの製造が可能となる。
ｌ定はないが、エンストマーシートの使用形態からして
種々の電気的、物理的、化学的特性管考え合わせれば、
紫外線硬化型のシリ；−ンエラストマーが好適であ夛、
市販の材料として、例えば信越化学社製商品名ｒＫＪＲ
−８０３０８Ｊ、ｒＫＪＲ−８０５０８１＄の紫外線硬
化型シリコーンエラストマーが使用できる。また金属導
電体としては、金属基体上に電気メッキできる金属なら
いずれも使用可能であるが、一般的に金、銀、銅、スズ
、ニッケルまたは、それらをペースとした合金が、接触
安定性や耐食性等の観点から適している０さらに金属基
体としては、電気メツキ後の金属導電体の剥離を容易に
するために１金属導電体を適度の密着性を有するような
材質管選ぶ必要があり、例えば平滑表面を有するステン
レス等が適切な材料として使用で自る０ 一 本発明の方法によれば、従来の方法では得られないいく
つかのすぐれた特長゛ｔもつ異方導電性エラストマーシ
ートが得られるＯすなわち従来の方法では、電気絶縁性
エラストマー中の導通路が、ランダム配列しかできず、
また導通路１１度も均一なｌ）が得にくい反面、意図的
に琳通路ｇｍ変を部分的に変化させようとして亀そのコ
ントロールが困難である。その点本発明の方法によれけ
導通路のランダム配列、整列配列は、マスク板のノ（タ
ーンで自由自在であや、又導通路密度を用途に応じて容
易に変えることが可能であるＯ又従来の方法のうち前記
■の方法は異方導電性に高信頼性含有するが、導電体と
して磁性線状体を用いる必要があり、材料選択に限界が
あるＯしかし本発明の方法によれば、電気メッキでき為
金属表ら一応どのよう壜材料でもよく、又異種金属を多
層メッキするととＫより、例えば、高い接触信頼性を必
要とすゐ導通路最外表面のみ金を使用し、導通路内部に
は、安価亀材料を使用すゐ等してＪ材料コストの低減、
省資源をはかｐながら高い接触信頼性含有する異方導電
性エラストマーシートの製造が可能となる。
以下本発明の実施例について説明する０表面管平滑にみ
がいた１ ｍｍ厚のステンレス鋼板（１００Ｘ１００ｍ
ｍ）の表面を脱脂、酸洗浄し、水洗乾燥した後、紫外線
硬化型液状シリコーンエラストマー（信越化学社製商品
名ｒＫＪＲ−８０３０ＳＪ）を、前記ステンレス鋼板上
に膜厚０．１ｍｍに均一塗布する。一方所望のノ（ター
ンを形成したマスク板（露光部分として０．０５ｍｍφ
の孔を縦方向愈らびに横力向ＩＩＣ０，２ｍｍの等間隔
に２ＧＧ個ずつ整列穿設したもの）ｔ−予じめ用意して
シき、これ管前記ステンレス鋼板上に載置し、その上か
ら前記シリコーンエラスト−ｒ −Ｋ紫外線！照射すゐ
Ｏ照射条件は光源距離１０ａｍ、光源２ｋＷオゾンタイ
ブ水銀灯、照射時間１０秒である。
がいた１ ｍｍ厚のステンレス鋼板（１００Ｘ１００ｍ
ｍ）の表面を脱脂、酸洗浄し、水洗乾燥した後、紫外線
硬化型液状シリコーンエラストマー（信越化学社製商品
名ｒＫＪＲ−８０３０ＳＪ）を、前記ステンレス鋼板上
に膜厚０．１ｍｍに均一塗布する。一方所望のノ（ター
ンを形成したマスク板（露光部分として０．０５ｍｍφ
の孔を縦方向愈らびに横力向ＩＩＣ０，２ｍｍの等間隔
に２ＧＧ個ずつ整列穿設したもの）ｔ−予じめ用意して
シき、これ管前記ステンレス鋼板上に載置し、その上か
ら前記シリコーンエラスト−ｒ −Ｋ紫外線！照射すゐ
Ｏ照射条件は光源距離１０ａｍ、光源２ｋＷオゾンタイ
ブ水銀灯、照射時間１０秒である。
この条件により露光部分のシリコーンエラストマーを硬
化せしめた後、マスク板管取〕はすし、トルエンで未硬
化シリコーンエラストｉ一部分を充分に除去する。次い
で得られたシリコーンエラストマーコーティング金属基
体の表面露出部分を簡単に酸洗し、硫酸鋼メッキ浴（Ｃ
ｕ８０４２Ｇ・Ｏｇ／ｌ 、Ｈ，８０４ｇ／ｌ、レベリ
ング剤２５ｇ／ｊ）中で浴温２０°Ｃ１電流密度５ム／
ｄｍｌ、メッキ時間１００分で銅メッキし、金属基体の
表面露出部分に析出要約１００μの銅メツキ体を得る。
化せしめた後、マスク板管取〕はすし、トルエンで未硬
化シリコーンエラストｉ一部分を充分に除去する。次い
で得られたシリコーンエラストマーコーティング金属基
体の表面露出部分を簡単に酸洗し、硫酸鋼メッキ浴（Ｃ
ｕ８０４２Ｇ・Ｏｇ／ｌ 、Ｈ，８０４ｇ／ｌ、レベリ
ング剤２５ｇ／ｊ）中で浴温２０°Ｃ１電流密度５ム／
ｄｍｌ、メッキ時間１００分で銅メッキし、金属基体の
表面露出部分に析出要約１００μの銅メツキ体を得る。
しかるのちこれを中和処理し、充分に水洗を行なった後
、加熱乾燥し、最後に前記鋼メッキ体管有する硬化シリ
コーンエラストマーを金属基体から剥離し、第２図に示
すようなエラストマーの厚み方向にのみ導電性を有する
異方導電性エツス）ｗ−シートラ得る。
、加熱乾燥し、最後に前記鋼メッキ体管有する硬化シリ
コーンエラストマーを金属基体から剥離し、第２図に示
すようなエラストマーの厚み方向にのみ導電性を有する
異方導電性エツス）ｗ−シートラ得る。
以上説明したように本実１ｊｌよれば、導通路の配列は
マスク板のパターンによって自由に選択でき、導通路書
度も必要に応じて容易に変更できて、信頼性の高い異方
導電性エラストマーシートの提供が可能である。
マスク板のパターンによって自由に選択でき、導通路書
度も必要に応じて容易に変更できて、信頼性の高い異方
導電性エラストマーシートの提供が可能である。
第１図ら）〜（ｄ）は本発明の異方導電性エラストマー
シートの各製造工程を示す説明図、第２図はそのエラス
トミーシートの斜視図である◇１・・・・・・基体、２
＊ ２ ＠ ＋ ２ ｂ・旧・・エラストマー、４・
・・・・・金属導電体、５・・・・・・紫外線。 第１図 （ａ） 第２図
シートの各製造工程を示す説明図、第２図はそのエラス
トミーシートの斜視図である◇１・・・・・・基体、２
＊ ２ ＠ ＋ ２ ｂ・旧・・エラストマー、４・
・・・・・金属導電体、５・・・・・・紫外線。 第１図 （ａ） 第２図
Claims (1)
- 電気絶縁性の未硬化エラス）−ｒ−を塗布した基→体表
面に１所定の開ロバターンを有するマスク板を載置し、
そのマスク板の開口部分と対応する未硬化エツスト！一
部分を硬化せしめ九後、マスク板で覆われていた未硬化
エラストマ一部分を除去し、しかるのち基体のエラスト
マー除去表面に、導電層を少なくともエラスト！−０膜
厚と同程度の厚みに形成して、その導電層を含む硬化エ
ラストマーを基体から剥離すること管特徴とする異方導
電性エラストマーシートの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56116471A JPS5818238A (ja) | 1981-07-27 | 1981-07-27 | 異方導電性エラストマ−シ−トの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56116471A JPS5818238A (ja) | 1981-07-27 | 1981-07-27 | 異方導電性エラストマ−シ−トの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5818238A true JPS5818238A (ja) | 1983-02-02 |
Family
ID=14687920
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56116471A Pending JPS5818238A (ja) | 1981-07-27 | 1981-07-27 | 異方導電性エラストマ−シ−トの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5818238A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6243008A (ja) * | 1985-08-05 | 1987-02-25 | レイケム・リミテツド | 異方的導電性物品 |
| JP2014162124A (ja) * | 2013-02-26 | 2014-09-08 | Fujikura Ltd | 伸縮性基板、その製造方法、及び伸縮性基板を備える電子部品 |
-
1981
- 1981-07-27 JP JP56116471A patent/JPS5818238A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6243008A (ja) * | 1985-08-05 | 1987-02-25 | レイケム・リミテツド | 異方的導電性物品 |
| JP2014162124A (ja) * | 2013-02-26 | 2014-09-08 | Fujikura Ltd | 伸縮性基板、その製造方法、及び伸縮性基板を備える電子部品 |
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