JPS58176545A - 音響式欠陥検出方式 - Google Patents

音響式欠陥検出方式

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JPS58176545A
JPS58176545A JP58042462A JP4246283A JPS58176545A JP S58176545 A JPS58176545 A JP S58176545A JP 58042462 A JP58042462 A JP 58042462A JP 4246283 A JP4246283 A JP 4246283A JP S58176545 A JPS58176545 A JP S58176545A
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JP
Japan
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signal
characteristic pattern
frequency
time
motion
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JP58042462A
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English (en)
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バ−ナ−ド・ダレル
ジヨセフ・クゼコウスキ−・サ−ド
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General Electric Co
Original Assignee
General Electric Co
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Publication date
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    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
    • F04C28/28—Safety arrangements; Monitoring
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/04—Analysing solids
    • G01N29/12—Analysing solids by measuring frequency or resonance of acoustic waves
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
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    • G—PHYSICS
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  • Testing Of Devices, Machine Parts, Or Other Structures Thereof (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
（発明の合一） 本発明は、たとえば回転装置や揺動装置のような運動装
置の内部の欠陥を検出するための診断システムおよび非
侵入式方法に関する。 空気調和装置に使用される回転圧縮機は、例外的に厳し
いｎ容公差を為し、場合によっては１インチ（２，５４
ＣＩ）の数万分の１のこともある。 それに加えて、回転圧縮機は密閉されているので、小さ
な粒子が存在したり組立中に入りこんだりすると、初期
において故障しがちである。圧縮機が、清浄（・正確な
寸法の部品によつ
【適切に組立てられると、内部に正常
な雑音（運転音）が発生する。 これらの音が変化すると、圧縮機の異常をあられり。　
　　　　　　　　　　　　１ ある種の欠陥は熟練した検査者によって発見することが
ぐきるが、人間の判断に委ねられている。 合格および不合格の判定基準は検査者によって変わり、
また同一検査者でも日によって異なることがある。また
ある種の欠陥はどの検査者によっても発見することがで
きない。寿命を縮めるような硬い材料の小さな粒子を見
付けることは不可能であった。 圧縮機の保証期間は５年間であり、現場で修理するのは
＾価につく。本発明は人間の検査者よりも高感度であり
、合格判定基準は一員している。 従来の方法を使用すれば１個所以上の試験場を必会とし
たが、本発明は１個所の試験場で検査することができる
。 （発明の概要） 回転装置および揺動装置、ならびにその他の繰返し運動
する装置の振動は、時間および周波数の両型面で分析さ
れる。各々のタイプの分析は、特定タイプの特性パター
ン（ｓｉｇｎａｔｕｒｅ　）に対して有用ぐあり、また
両者を併せた分析は欠陥ならびにその個所の検出により
一層効果的である。好ましくは、検知器が、装置のケー
シングに設けられる。条件づけされた信号を処理するこ
とにより、時間特性パターンと一組の周波数特性パター
ンと、がつくられる。時間特性パターンは、装置の位置
に関係づけられでいるもので、条件づけされた信号の包
絡線（時間に対するピーク値）である。−組の周波数特
性パターンは、運動のサイクルの内の各区分毎のパワー
スペクトルである。これらの特性パターンは合格の装置
（良品）の特性パターンと比較されて、運動する部分の
特定の位置における撮動の異状が判定される。 圧縮機等の回転＠菌を検査する一例としての診−断シス
テムは、実時間で時間および周波数分析を実行する。信
号条件づけ回路が、低周波雑音とエイリアシング（ａｌ
　１ａｓｉｒ＋ｏ）誤差の原因となる＾周波成分とをフ
ィルタ作用により排除する。平均化の同期をとるために
、１回転に１回、位置基準を発生１６手段が設けられる
。第１分析手段が、整流器とビークホロワとで構成され
ている。第２分析手段が、高速フーリエ変換装置と、こ
の出力を二乗して各パワースペクトルを乗じさせる手段
と、出力と直流オフセットを決定しこれを減算する手段
とで構成されている。別個のスペクトル、たとえば、１
回転の１／１６の各々の区分におけるスペクトルは、弁
動作等の大きな９ｉ音が他の回転位置での欠陥をマスク
しないように作用する。時間および周波数特性パターン
と合格の圧縮機の基準データとの比較はコンビコータで
実行される。 この技術は非侵入式であり、従来の技術によって見出せ
なかった欠陥を検出し、そして、人に、よる検査におい
て典型的であった判断の変動を排除する。 （好ましい実施例の説明） 第１図を参照すると、本発明の診断システムによって行
なわれる分析は、周波数平面および時間平面の両者を用
いている。分析の各タイプは、それぞれ特定タイプの特
性パターンに対して有用である。もし２個の事象が同時
に起こり、これらの事象が異なった周波数成分を含んで
いるとすると、これらの事象は周波数平面によって区別
できる。 もし、ランダム雑音にうもれた小さな信号が存在したり
、同一周波数成分を有した２個の事象が時間的に離れて
起こったりする場合、これらは時間平均化することによ
って−１容易に検出される。 圧縮機１１のケーシング上に設けた加速度計もしくは他
の振動検知器１０は、圧縮機の機械的および音響的振動
を表わす電気信号を発生する。検知器の信号は、信号条
件づけ回路に送られ、そこで増幅され且つフィルタ作用
を受けた後に、時間および周波数分析のために２方向に
分けられる。時間分析のために、信号は整流されてビー
クホロワ１３に供給され、そこで信号の包格線が発生さ
れて、アナログ・デジタル（Ａ／ｌ’）’）変換器１４
においてディジタル化され、そして、コンピュータ・シ
ステム１５においで分析される。周波数分析のために、
高速フーリエ変換が行なわれ、コンビ１−夕においてパ
ワースペクトルが分析される。 パワースペクトルは、市場で入手できるハードウェア・
システムを用いることによって高速で発生される。高速
フーリエ変換装置（ＦＦＴ）１６は、帯域幅内における
等価的な信号レベルを表わすアナログ出力電圧を出力す
る。この出力電圧はアナログ・デジタル変換器１７にお
いてデジタル化されて、二乗回路１８に供給され、そし
て、その結果がコンピュータに送られる。たとえば１回
転の１／１６のような、１回転の内の等しい各区分に対
して夫々個別のスペクトルが計算される。これは、弁運
動によって生じる大きな雑音が、他のＵ−タロ転角度位
置で生じる欠陥をマスクするのを防止する。周波数分析
は、１６個のロータ位置区分に分割される。ある区分で
は比較的雑音が大きくまたある区分では静かである。も
し雑音レベルが均等に分布０された場合には、感度が１
６倍に増加する。しかし均等に分配されていないので、
感度の改善は、特に通常静かである処理部分において、
２〜３倍程度の改善である。 時間と周波数は、信号対雑音比を改善するために１６回
平均化される。圧縮機の軸２０の端部にあるスロットを
検知する磁気検知器１９等の装置によって、情誼基準信
号が１回転に１回発生される。この信号はＦＦＴ’（高
速フーリエ変換装置）１６と］ンビュータ１５に供給さ
れ、データの平均化を同期させるのに用いられる。従っ
て、軸の。 同一角度位置において常に分析が始まり、分析はロータ
位１に関連づけられる。コンピュータは前処理されたデ
ータを分析し、その結果を検査する。 圧縮機を駆動するモータ及び試験台（２１）は、」ンピ
ュータによって制御される。ビデオ端末２２は、プログ
ラムの選択、変更および出力表示に使用される。表示さ
れたものの永久的な記録をとるためにハードコピー装置
１２３が利用できる。 ポンプとしても知られている、代表的な室内空気調和装
置の圧縮機を、そのカバーをはずした状態で第２図に示
す。圧縮機は、駆動モータを取付けこれらを容器内に密
閉する前に試験される。軸２０とカム２４はシリンダ２
５を駆動する。このシリンダ２５は、回転する時、ばね
でバイアスされた羽根２７によつ（内室２６の壁に対し
て押しつけられている。冷媒入口２８は回転シリンダに
よつＣ密封され、そし−Ｃ１ガスは圧縮されて、ばね型
の排出弁２９が開いた時にポートより排出される。構造
に起因する機械的な振動は、空気圧によってポンプのケ
ーシング３０に対して保持されている加速度計１０によ
って検知される。 よくある欠陥は作業の抜け、たとえば安全孔を穿孔する
作業を忘れることぐある。これは加速度計によっＣ発生
される特性パターンを変化させる。 この場合、圧力が増加し、排出弁が開く時に生じる流れ
の雑音が一層高くなる。また別な欠陥は、ポンプ内部に
異物があることである。たとえば羽根をつくるようなか
たい材料は、柔かい材料をすり減らし時間がたつにつれ
、くず（異物）がたまり、ポンプを停止させることもあ
る。 合格判定基準は、時間および周波数特定パターンを合格
の圧縮機の特性パターンと比較することに基づいている
。大多数の圧縮機はその保証期間よりも長い期間運転し
続けるので、統計的なデータをとることができる。装置
のサンプルを試験して、それらの特性パターンが統計的
に平均化される。不合格率は知られているので、特性パ
ターンが正規値からかけはなれている該割合の装置はす
ンプルから除外される。その後の全Ｃの装置は統計的に
導き出したデータを用いて試験される。各・モデルはそ
れ自身の一組の基準データを有しており、新しいモデル
が導入されまた旧いモデルの再設計がなされたとぎ、新
しい一組のＭ準が迅速に作られる。本発明は、回転圧縮
機以外の装置にも適用することができ、揺動および回転
装置を含む、運動が繰返えすような運動装置における問
題を診断するのに使用できる。 第３図は、検知器１０によって発生された、ポンプの振
動に対応する信号を示す。この信号は、低周波の余分な
雑音と、エイリアシングＷＡ差の原因となる高周波成分
とを除くためにフィルタ作用を受ける。この条件づけさ
れた信号の周波数帯は、構成したひとつのシステムにお
いて４乃至２５ＫＨｚである。第４図は、整流した信号
の包絡線と等しい時間間隔でのサンプリング点を示す。 １回転の間のピーク値データが、試験される装置の時間
特性パターンとなり得るが、通常は、数回転あるいは数
サイクルの運動が平均化される。許容される装置または
合格の装置の時間および周波数特性パターンが第５図お
よび第６図に実線の曲線で示されているが、実際には、
コンピュータ・システム１５にデジタル―として記憶さ
れている。特性パターンはロータ位置に関係づけられる
。完全な１回転に対して１個の時間特性パターンがある
が、周波数特性パターンは１６個ある。各周波数特性パ
ターンは、１回転の１／１６の各区分における信号の平
均パワースペクルトである。これよりも多数のあるいは
少数の周波数特性パターンを使用することもできるが、
数を多くすることは妥当な費用で実重量にフーリエ変換
をする能力により制限される。検査される圧縮機の時間
特性パターンは、各点毎に基準と比較される。合格の装
置は、第５図で基準の両側に点線の曲線として示した限
界内にある。同時に、検査される圧縮機の周波数特性パ
ターンは、各点毎に合格の装置の一組の基準特性パター
ンと比較され、限界内にあるかあるいは欠陥があるか判
断される。周波数特性パターンのひとつが拡大して第７
図に示されている。 基準データは４〜２５ＫＨ７に対してのみ利用でき、他
の周波数はフィルタで除かれている。第７゜図に示され
ている合格判定の限界は多数の良好はポンプの試験結果
から求められる。 ポンプの不合格の判定は時間と周波数の２平面において
なされ得る。多数のｌ単点があり、たとえば時間平面で
１０００個の点、周波数平面で１０００個の点ある。試
験台は熟練していない作業員によって操作でき、基準デ
ータとの比較はコンピュータにより自動的になされ、装
置が合格したかあるいは不合格であるかを作業員に表示
して知らせる。技術者あるいは修理具が、不合格となっ
た圧縮機の特性パターンを調べ、欠陥の性質および場所
を決定する。運動装置の特定の場所での振動の異常がみ
つけだされて決定され、是正措置がとられる。 診断システムの特別な実施例を、第８図の詳細なブ日ツ
ク図を参照して詳細に説明する。振動信号は、空気圧に
よってポンプ１１に対して保持され（いる加速度計１０
によって発生される。モータ３２が軸２０に結合されて
、ポンプをその正常な動作方面に駆動する。データ収集
はつねに同じ角度位置から始まり、完全な１６回転にた
いして平均化される。信号は、試験台に配置された前置
増幅器３３によって増幅され、高域通過フィルタ３４　
（４０００）１ｚ　）によりフィルタ作用を受け、コン
ピュータ電子回路への３０フイ一ト程度のケーブルを駆
動する。このフィルタは、２０００Ｈ１以下に存在する
工場で発生されるほぼすべての雑音を除去する。信号は
増幅器３５によって適切なレベルにまで増幅され、８極
の低域通過、２５ＫＨ７、■イリアシング防止フィルタ
３６に印加される。このフィルタの出力は条件づけされ
た信号であり、時間平面と周波数平面における分析に使
用される。 時間平面分析において、条件づけされた信号は、全波整
流器３７、それから包絡線検出回路３８に供給される。 整流された信号は、立上りが早く且つ立下りが匿いビー
ク測定回路によってピーク検波される。包絡線は、サン
プルホールド回路３９によっＣ１回転の間１０２４個の
点でサンプルされ、ア゛すＬ］グ・デジタル変換器４０
によってデジタル数に変換され、そして、入出力インタ
ーフェース４１を介して巴ンビュータの中央処理ＶＲ１
１（ＣＰＵ）４０に人力される。１６回転にわたって各
点毎にソフトウェア・プログラムによって平均化される
。信号の包絡線はポンプ内で何が起こっているかの情報
を与える。 位置基準信号を発生する検知器１９は、圧縮機の軸の外
表面に設けた長さ方向のスロットを検知づる磁気ビック
オフ装置である。位置基準信号はモータ制御２１に供給
されるとともに、正方向に向う信号の大きざが基準値以
上に上昇した時に出力パルスを発生する比較器４３に供
給される。シ、］ミツト・トリガ４４は比較器からのパ
ルスを整形し、入力インターフニー２４１に１回転につ
き１個の基準化゛号を供給する。５弓の信号はデータの
平均化を同期さけるのに用いられる。 周波数平面分析においＣ５条件づけされた信号は、二】
ンビュータにより制御されるアナログ・マルチプレクサ
４５に送られる。マルチプレクサ（ＭＵＸ）の出力は、
たとえば、カリ小ルニア州すニーベイルのレティコン（
Ｒｅｔｉｃｏｎ）コーポレーションによって開発され販
売されているような電荷結合デバイス（ＣＣＤ’）高速
フーリエ変換装置（ＦＦＴ）４６によって分析される。 この装置は、−２５ＫＨｚから＋２５ＫＨｚの範囲をカ
バーする全５１２点の変換を２〜３ミリ秒で行う。 完全な変換が１回転の内の各区分毎に実時間で行うこと
ができ、したがって弁動作等の各事象を分離して分析で
きる。このことは、１回転以上の間にわたって行なわれ
て、すべての雑音源を混在させてしまう単一周波数分析
に対して、顕著な利点を有している。ＣＣＤＦＦＴ６４
の出力は、時間に対して量子化されるアナログ電圧であ
る。出力電圧はフーリエ変換の大きさに比例しているが
、電圧は直流バイアスに重畳されている。平均化したパ
ワースペクトルが望ましいので、高速フーリエ変換装置
４６からの信号は平均化される前に二乗されなければな
らない。二乗する前に直流バイアスを除去しＣおかない
と、パワー評価に誤りを導くこととなる。 これは以下のようにして達成される。コンピュータはア
ナログ・マルチプレクサ４５が接地入力を選択するよう
に命令する。高速フーリエ変換装置４６において、入力
を接地した５１２点の平均値をｉｌｔ　Ｗ−ｄることに
よってオフセットを算出する。 オフセットを表わす出力電圧は差動増幅器４７を通過し
、この信号はサンプルホールド回路４８によってサンプ
リングされ、アナログ・デジタル変換器４９によってデ
ジタルの等価値に変換される。 デジタル化されたオフセットはデジタル乗算器５０をバ
イパスして、］ンビュータによって制御されるデジタル
・マルチプレクサ５１を介して加算器５２に送られ、そ
して］ンビュータのダイレクト・メモリ・アクセス・ボ
ード５３に送られてメモリ５４に読みこまれる。オフセ
ット値は二乗されることなく直接送られることに注意さ
れたい。 ＦＦ−「オフセットは入出力インターフェース４１から
ｆ−１−ド・う・ソチ回路５５に供給され、ここで一時
記憶されてデジタル・アナログ（Ｄ／Ａ＞変換器５６に
供給される。オフセットのデジタル等価値はアナログ信
号に変換され、次いでこの信号は、差動増幅器４７を用
いて実時間で分析されるデータから減算される。試験デ
ータをとる前に各ポンプに対してオフセットを計算する
。短いデータ収集期間の間のドリフトは、さほど重要で
ない。代りの好ましい他の方法は、オフセットをデジタ
ル値として保有して、これを適用することである。 オフセットを決定してこれを減算すると、増幅器４７の
出力は、１回転の１／１６の各区分毎におけるフーリエ
変換の大きさに比例した電圧である。ＦＦＴのアナログ
出力はサンプリングされてデジタル値に変換される（回
路４８と４９）。このデジタル値は、２人力デジタル乗
算器によって二乗され、この積はデジタル・マルチプレ
クサ５１によっＣ２人力デジタル加算器５２に送られる
。 加算器の出力と２人力の一方は、ダイレクト・メモリ・
アクセス・ボード５３を介してコンビュ−タのメモリ５
４に接続される。加算器５２は周波数データを平均化す
るのに使用される。この処理はデータ収集速度の２倍で
動作しているクロック５７によつ°ＣＴｏＩＩ１１され
る。この制御は、メモリの読出しおよび書込みサイクル
を交互に制御する、読出しは、メモリの現在の内容、す
なわちＦＦｌの１点に対する累算計算値を加算器の一方
の人力に与える。同時に、二乗されたＦ　Ｆ−ｒ出力の
１個の値が加算器の他方の入力に読みこまれる。２個の
人力は加算され、次のクロックサイクルを持った後に合
計値をメモリに書きこむ。゛各回転に対して、夫々５１
２個の点からなるパワースペクトルが全部で１６あり、
したがつ【合計８１９２個のデータ値を有している。た
とえば、１０ＫＨｚ領域中には１６個のパワー値があり
、他の領域も同様ぐある。Ｆ　Ｆ　１装置は正および負
の両平面に値を向えでおり、データ値の数を４０９６に
減らすために対応する対は加算される。４個のデータ点
からなる各相が平均化されて、最終的なデータ点の数を
１０２４にしている。これは時間平面分析の場合と同数
である。クロックおよび駆動波＠５７は、交互にクロッ
クパルスをＣＣＤＦＦＴ４６とアナログ・デジタル変換
器４０および４９とに送っている。サイクル要求は、読
み出しあるいは書き込みをするためにメモリ対してなさ
れる。アナログ・デジタル変換回路は、サイクル要求が
メモリに送られる速度の半分の速度で、サンプリングし
ている。 コンピュータ・システム１５は、代表例として、デジタ
ル・イクイップメント・コーポレーションのＰＤＰｌ　
１／２３ミニコンピユータである。各基準点におけるす
べてのデータを１６回転に対して合計した後、平均値を
うるために除算される。 試験される圧縮機のデータ点は、合格の圧縮機の基準デ
ータと比較され、所定の限界を超えているかどうか決定
される。これは、各点毎に時間平面での１０２４個の点
と周波数平面での１０２４個の点に対して行なわれる。 許容限界を超えるデータ点が充分に存在する場合、赤ラ
ンプが点灯され、圧縮機が不合格品であることを検査者
に指示する。 ポン／を不合格として排除するのに必要な、限界を超え
たデータ点の数は、技術者がと７の程度の許。 容公差を望む入・に依存す８．。欠陥ポンプは、なにが
悪いのス＼を見るために修理台にもっていかれる。 コンピュータ・システムは、欠陥がなにでありその場合
がどこであるのかを、もつと正確に指通するハードコピ
ーのグラフィック表示を提供することも可能である。 運動装置の内部欠陥を検査するこの自動診断システムお
よび方法は、迅速であり、単一の試験場のみを使用し、
検査者よりも感度が良く、判断のむらを除去し、そして
、従来の試験によって見出されなかった欠陥を見出す。 周波数は可聴域お“よびその上の近可聴域に制限される
ことなく超音波にまで広がる。 本発明をその好ましい実施例を参照して詳しく小し説明
したが、本発明の精神ならびに範囲から逸脱することな
く、形式ならびに詳絹に関して前述および他の変更がで
きることは当業者にとって理解されよう。
【図面の簡単な説明】
第１図は、圧縮Ｉｌ１診断システムの簡略ブロック図、
第２図は、検査される圧縮機の内部構成部品の略図、第
３図は、検知器によって発生される振動信号を示す波形
図、第４図は、等時間間隔でサンプリングされた検知信
号の包絡線を示す波形図、第５図は、基準時間特性パタ
ーンと合格の装置の許容限界を示すグラフ、第６図は、
完全な１回転に対する一組の周波数特性パターンを示す
グラフ、第７図は、拡大して示す１個の周波数特性パタ
ーンと合格の許容限界を示すグラフ、そして、第８図は
、圧縮機診断システムの実施例のブロック図である。 １０・・・・・・検知器、１１・・・・・・圧縮機、１
２・・・・・・信号条件づけ回路、−１３・・・・・・
ビークホロワ、□ １４．１７・・・・・・アナログ・デジタル変換器、１
５・・・・・・コンピュータ・システム、１６・・・・
・・高速フーリエ変換装鱈、１８・・・・・・二乗回路
、１９・・・・・・位置基準検知器、２０・・・・・・
軸、２１・・・・・・試験台およびモータ１１１御、２
２・・・・・・端末、２３・・・・・・ハードコピー装
置。 特許出願人

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 （１）繰返し運動をする運動装置の内部欠陥の非侵入式
    検出方法であって、少なくとも１サイクルの運動の間前
    記装置の振動に対応した検知信号を発生し、前記検知信
    号を分析して、検知信号の包絡線である時間特性パター
    ンをつくり、かつ、１サイクルの内の各区分におけるパ
    ワースベクルトである一組の周波数特性パターンをつく
    り、そして、これらの特性パターンを合格の装置の特性
    パターンと比較して、振動の異常を判定することを特徴
    とする方法。 （２）前記検知信号の分析が装置の位置と関連づけられ
    でいる特許請求の範囲第（１）項記載の方法。 （３）前記特性パターンが所定数のサイクルにわたって
    平均化される特許請求の範囲第（２）項記載の方法。 （４）前記時間特性パターンおよび周波数特性パターン
    が実時間でつくられる特許請求の範囲第（１）項記載の
    方法。 （５）前記検知信号が、時間および周波数分析に先立ち
    、余分な雑音を排除するために高域通過フィルタ作用を
    受け、かつ、エイリアシング防止のための低域通過フィ
    ルタ作用を受けることにより、条件づけられている特許
    請求の範囲第（１）項記載の方法。 （６）繰返し運動をする回転装置の内部欠陥の非侵入式
    検出方法であって、所定数の回転の間前記装置の振動を
    検知して、検知信号を発生し、低周波の余分な雑音と、
    ■イリアシング誤差の原因となる８周波とを除去するよ
    うに、前記検知信号に対し条件づけを行い、平均化を同
    期させるために各回転毎に位置基準を発生し、前記条件
    づけされた信号の平均包絡線である時間特性パターンを
    つくり、１回転の内の等しい各区分における前記条件づ
    けされた信号の平均化したパワースペクトルである一組
    の周波数特性パターンをつくり、そして・、前記時間特
    性パターンおよび周波数特性パターンを合格の装置の基
    準データおよび統計的に導き出した合格判定限界と比較
    して、回転装置の特定の位置での振動の異状を判定する
    ことを特徴とする方法。 （７）＃記条件づけされた信号が約４〜２５ＫＨ７の周
    波数帯域を有している特許請求の範囲第（６）項記載の
    方法。 （８）前記位置基準が回転装置の軸の位置を検知するこ
    とによって発生される特許請求の範囲第（６）項記載の
    方法。 （９）高速フーリエ変換を行い、その出力を二乗するこ
    とにより各パワースペクトルを生じさせる特許請求の範
    囲第（６）項記載の方法。 （１０）前記高速フーリエ変（、換の出力の直流オフヒ
    ツトを決定して、出りを゛二乗する前に該オフセットを
    減算する特許請求の範囲第（９）項記載の方法。 （１１）繰返し運動をする運動＃Ａ置を検査するための
    音響式欠陥検出システムであって、前記装置の振動を表
    わす電気信号を発生する検知器と、前記装置の少なくと
    も１サイクルの運動の間の前記電気信号の包絡線であっ
    て、装置の位置に関係づけられている時間特性パターン
    をつくる第１手段と、１サイクルの運動の内の各区分に
    おける前記電気信号のパワースペクトルであって、装置
    の位置に関係づけられている周波数特性パターンをつく
    る第２手段と、そして、前記特性パターンを合格の装置
    の特性パターンと比較して、内部の欠陥を判定する手段
    とを有するシステム。 （１２）雑音、ならびにエイリアシング誤差の原因とな
    る高周波を除去するために、高域通過および低域通過フ
    ィルタ作用を行う信号条件づけ手段を有ず２、特許請求
    の範囲第（１１）項記載のシスデ“ム。 （１３）前記電気信号の分析を同期させるために各運動
    サイクル毎に位置基準を発生させる手段を有する特許請
    求の範囲第（１１）号記載のシステム。 （’１″４）前記第２手段が高速フーリエ変換装置と、
    この出力を二乗する乗算器とを有している特許請求の範
    囲第（１１）項記載のシステム。 （１５）繰返し運動をす８回転装置を検査するための音
    響式欠陥検出システムであって、前記ＶＲ置の振動を表
    わす電気信号を発生する検出器と、低周波雑音とエイリ
    アシング誤差の原因となる高周波とをフィルタ作用に′
    より除去するように前゛記電気信号を条件づけする手段
    と、゛平均化を同期するために１回転につ基１同位置基
    準を発生する手段と、所定数の回転の間にわたる前記条
    件づけされた電気信号の平均包絡線である時間特性パタ
    ーンをつくる第１分析手段と、１回転の内の各区分にお
    ける前記条件づけされた信号の平均化したパワースペク
    トルである一組の周波数特性パターンをつくる第２分析
    手段と、そして、前記時間および周波数特性パターンを
    、統計的に導き出した合格の装置の基準テークと比較し
    て、内部の欠陥を判定する手段とを有するシステム。 （１６）前記信号条件づけ手段が、約４ＫＨｚ以下およ
    び約２５ＫＨｚ以上の信号を除去する高域通過および低
    域通過フィ′ルタより成る特許請求の範囲第（１５）項
    記載のシステム。 （１７）前記位置基準発生手段が、前記回転装置の軸の
    位置を検知する磁気検知器と、１回転毎に１パルスを発
    生する比較器およびシュミットトリガを含む手段とより
    成る特許請求の範囲第（１５〉項記載のシステム。 （１８）前記第１分析手段が、整流器とビークボＯワと
    を有する特許請求の範囲第（１５）項記載のシステム。 （１９）前記第２分析手段が、高速フーリエ変換装置と
    、この出力を二乗して各パワースペクトルを生じる手段
    とを有する特許請求の範囲第（１８）項記載のシステム
    。 （２０）前記高速フーリエ変換装置の出力の直流オフセ
    ットを決定し、このオフセットを減算Ｊる手段を有する
    特許請求の範囲第（１９）項記載のシステム。、
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