JPS5817348A - 物体の表面検査装置 - Google Patents
物体の表面検査装置Info
- Publication number
- JPS5817348A JPS5817348A JP11438481A JP11438481A JPS5817348A JP S5817348 A JPS5817348 A JP S5817348A JP 11438481 A JP11438481 A JP 11438481A JP 11438481 A JP11438481 A JP 11438481A JP S5817348 A JPS5817348 A JP S5817348A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- inspected
- light source
- rotating body
- reflected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Textile Engineering (AREA)
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- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は物体の表面を走査してその状態等を検査する
検査装置に関する。
検査装置に関する。
従来、かかる検査装置として例えば光源に発光ダイオー
ドを使用し、該発光ダイオードからの光を平ｗミラーを
つなぎ合わせた回転体に照射し１該回転体からの反射光
によって物体の表面を走査して検査するようにした検査
装置が知られている。
ドを使用し、該発光ダイオードからの光を平ｗミラーを
つなぎ合わせた回転体に照射し１該回転体からの反射光
によって物体の表面を走査して検査するようにした検査
装置が知られている。
しかしながら、発光ダイオードは一般に光が拡散してし
重うために、小さな検査物を精度よく検出することがで
倉ないという失点があった０このため１小さな検査対象
を検査するには光源を検査対象物に近付けるとともに１
検査対象物の大きさと同じ程度に受光素子を接近させる
必要があるが１検査対象が小さくなると素子の取付は等
が困難になるという欠点がある。また、回転体としては
平面ミラーをつなぎ合わせているためＳ１ラーとミラー
との境界で検査対象物または受光素子へ供給される光が
途切れて不連続となり）その結果１走査光が途切れたの
か検査対象物の原因によるのかを区別する装置が別途必
要となり、それだけ割り高となる。
重うために、小さな検査物を精度よく検出することがで
倉ないという失点があった０このため１小さな検査対象
を検査するには光源を検査対象物に近付けるとともに１
検査対象物の大きさと同じ程度に受光素子を接近させる
必要があるが１検査対象が小さくなると素子の取付は等
が困難になるという欠点がある。また、回転体としては
平面ミラーをつなぎ合わせているためＳ１ラーとミラー
との境界で検査対象物または受光素子へ供給される光が
途切れて不連続となり）その結果１走査光が途切れたの
か検査対象物の原因によるのかを区別する装置が別途必
要となり、それだけ割り高となる。
一方、走査によらないで単に発光素子と受光素子とを用
いて検査を行なう場合は１一般に１度しか検査が行なわ
れないために、ノイズ等によって誤動作する危険性が高
く、また光源にレーザ等の指向性の良好な高エネルギ光
源を用いてガラス状の表面を有する検査対象を照射する
場合には、その反射光もビーム状となり、そのため受光
素子の特定の部分に光が集中して素子を傷めたり、ある
いはその感度が飽和したりするという問題があった０ この発明は上記に鑑みなされたもので、検出素子の配置
構成上の制約がなく１安定でかつ高精度の検査装置を提
供することを目的とするものであるＯ 上記の目的は、この発明によれば、光源としてはレーザ
等の光の拡散が少なく指向性が良好な高エネルギ光源を
使用し、回転体としては真円でなく、その周面が曲面か
らなる鏡面を有するもので構成することにより、走査を
連続的に行ないうるようにして達成される。
いて検査を行なう場合は１一般に１度しか検査が行なわ
れないために、ノイズ等によって誤動作する危険性が高
く、また光源にレーザ等の指向性の良好な高エネルギ光
源を用いてガラス状の表面を有する検査対象を照射する
場合には、その反射光もビーム状となり、そのため受光
素子の特定の部分に光が集中して素子を傷めたり、ある
いはその感度が飽和したりするという問題があった０ この発明は上記に鑑みなされたもので、検出素子の配置
構成上の制約がなく１安定でかつ高精度の検査装置を提
供することを目的とするものであるＯ 上記の目的は、この発明によれば、光源としてはレーザ
等の光の拡散が少なく指向性が良好な高エネルギ光源を
使用し、回転体としては真円でなく、その周面が曲面か
らなる鏡面を有するもので構成することにより、走査を
連続的に行ないうるようにして達成される。
以下１この発明の実施例を図面を参照して説明する。
第１図はこの発明の実施例を示す構成概要図、第２ｖＡ
は第１図の回転体の構成を示す斜視ＩＬ第３図は回転体
の他の実施例を示す構成図である。
は第１図の回転体の構成を示す斜視ＩＬ第３図は回転体
の他の実施例を示す構成図である。
第１図において、１はレーザ等の指向性の良好な高エネ
ルギ光源、２は曲面を形成してなる鏡胃３を有し、軸４
の會わりで回転する回転体（ここでは断爾を楕円形とす
る）、６は検査対象物、７は外乱光をカットする光学的
フィルタ、８線受光素子である０なお１５は検査対象物
上に形成された凸部である。
ルギ光源、２は曲面を形成してなる鏡胃３を有し、軸４
の會わりで回転する回転体（ここでは断爾を楕円形とす
る）、６は検査対象物、７は外乱光をカットする光学的
フィルタ、８線受光素子である０なお１５は検査対象物
上に形成された凸部である。
したがって）光源１からの光は回転体２の鏡面３によっ
て反射され、該反射光はさらに凸部５または検査対象物
６で反射されてフィルタ７を介して受光素子８に到達す
る。回転体２は例えば図の矢印方向へ所定の速度で回転
するから１光［１からの光は該回転体２の鏡面３によっ
てその反射角度が変えられ１これによって検査体６を連
続的に走査することが可能である。被検査対象６上に凸
部５が存在するか否かによって受光素子８に入射する光
の量が変化するので、これにより凸部の存在を検知する
ことができる。
て反射され、該反射光はさらに凸部５または検査対象物
６で反射されてフィルタ７を介して受光素子８に到達す
る。回転体２は例えば図の矢印方向へ所定の速度で回転
するから１光［１からの光は該回転体２の鏡面３によっ
てその反射角度が変えられ１これによって検査体６を連
続的に走査することが可能である。被検査対象６上に凸
部５が存在するか否かによって受光素子８に入射する光
の量が変化するので、これにより凸部の存在を検知する
ことができる。
上記の例では回転体の形状を楕円としたが、第３図に示
すような形状にしてもよく−これは、その１回転におい
て対象物を走査する回数が第１図または第２図に示され
るものよりも多い場合であり、要するに対象物を連続的
に走査しうる構成であれば、如何なる形状のものでもよ
いものである０なおへ走査光源は対象物表面上の凹凸愉
の形状により、円形走査為直線走査と使い別け、検査対
象からの反射光を効率よくとらえるようにすることが望
ましい。
すような形状にしてもよく−これは、その１回転におい
て対象物を走査する回数が第１図または第２図に示され
るものよりも多い場合であり、要するに対象物を連続的
に走査しうる構成であれば、如何なる形状のものでもよ
いものである０なおへ走査光源は対象物表面上の凹凸愉
の形状により、円形走査為直線走査と使い別け、検査対
象からの反射光を効率よくとらえるようにすることが望
ましい。
以上のように、この発明によれば１以下の如き効果を期
待することができる。
待することができる。
１）光源にレーザを使用したため、従来のものより光源
を検査物から離すことができる。また、従来の方式では
１受光素子は検査対象のオーダの距離に近づける必要が
あつ、たが、この方式では対象表面の性質にもよるが、
検査対象の幅の１００倍以上のオーダで離すことも可能
である。
を検査物から離すことができる。また、従来の方式では
１受光素子は検査対象のオーダの距離に近づける必要が
あつ、たが、この方式では対象表面の性質にもよるが、
検査対象の幅の１００倍以上のオーダで離すことも可能
である。
２）レーザビームの径のオーダの検査対象を検査するこ
とができる。
とができる。
３）走査光が対象表面を途切れることなく走査するため
、対象表面が滑らかな場合は連続して反射光が得られ、
したがって異物がある場合との区別が容易である。
、対象表面が滑らかな場合は連続して反射光が得られ、
したがって異物がある場合との区別が容易である。
４）表面を何度も走査するためＳ／Ｎ比を上げることが
できる。ノイズに対して誤動作しにくい受光回路を設計
することができる０ ５）光源を走査する方式であるため１受光素子を傷めた
り１感度が飽和することがない０なおく以上の実施例で
は検査対象物上に形成された凸部の検査装置について述
べたが１凹部についても同様であり、さらに一般的な検
査対象物表面の形状や反射率の変化に関する情報を得る
ことができるものである。
できる。ノイズに対して誤動作しにくい受光回路を設計
することができる０ ５）光源を走査する方式であるため１受光素子を傷めた
り１感度が飽和することがない０なおく以上の実施例で
は検査対象物上に形成された凸部の検査装置について述
べたが１凹部についても同様であり、さらに一般的な検
査対象物表面の形状や反射率の変化に関する情報を得る
ことができるものである。
第ｉｖＡはこの発明の実施例を示す構成概要図、第２図
は第１図の走査装置を示す斜視図、第３図は走査装置の
他の実施例を示す構成図である。 符号説明
は第１図の走査装置を示す斜視図、第３図は走査装置の
他の実施例を示す構成図である。 符号説明
Claims (1)
- 馬面が連続した肉面からなる鏡面にて要職され１所定の
軸のまわりに回転駆動せしめられる真円でない回転体と
、ｌ！Ｒ転体の前記鏡面を照射する指向性の良好な高エ
ネルギ光源とを有してなり１前記回転体により検査対象
物体を走査することによりその表面の状態を検査するよ
うにしたことを特徴とする物体の表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11438481A JPS5817348A (ja) | 1981-07-23 | 1981-07-23 | 物体の表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11438481A JPS5817348A (ja) | 1981-07-23 | 1981-07-23 | 物体の表面検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5817348A true JPS5817348A (ja) | 1983-02-01 |
Family
ID=14636317
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11438481A Pending JPS5817348A (ja) | 1981-07-23 | 1981-07-23 | 物体の表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5817348A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6776725B1 (en) | 1999-05-19 | 2004-08-17 | Mizuno Corporation | Golf club head |
-
1981
- 1981-07-23 JP JP11438481A patent/JPS5817348A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6776725B1 (en) | 1999-05-19 | 2004-08-17 | Mizuno Corporation | Golf club head |
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