JPS58167918A - 超音波流速測定装置 - Google Patents

超音波流速測定装置

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JPS58167918A
JPS58167918A JP57048857A JP4885782A JPS58167918A JP S58167918 A JPS58167918 A JP S58167918A JP 57048857 A JP57048857 A JP 57048857A JP 4885782 A JP4885782 A JP 4885782A JP S58167918 A JPS58167918 A JP S58167918A
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JP
Japan
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ultrasonic
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JP57048857A
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Ichiro Ogura
一郎 小倉
Ayao Ito
伊藤 阿耶雄
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Original Assignee
Toshiba Corp
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/66Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by measuring frequency, phase shift or propagation time of electromagnetic or other waves, e.g. using ultrasonic flowmeters
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    • G01F1/667Arrangements of transducers for ultrasonic flowmeters; Circuits for operating ultrasonic flowmeters

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  • Electromagnetism (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は、超音波を利用して流体の流速や流量を肯定
する懺tK謁する。
〔発明の技術的背景とその問題点〕
第1wJK示す如く、測定管内の流体の流れ方向を斜め
に横切る線上に対向して超音波振動子P1.P。
のl対を配置して、流体の流れと同じ方向、すなわちP
lからP!への伝搬時間T1と逆方向すなわちP。
からPlへの伝搬時間T3の差ΔTから流体の流速を測
定する方法は超音波伝搬時間差法による流速測定法とし
て知られている。
すなわち、娠動子閾の距離で、流体の流れない凹所の距
離を1、流体の流れている部分にかかわる距離をLとし
、流体の流速なり1流体の流れの方向と超音波伝搬方向
のなす角を0、また流体中の音速をCとすれば流体と同
じ方向への伝搬時間T、は、 jL T+  =       +  □         
      ・・(1)CCCV鴎θ を九逆方向への伝搬時間T!は とな〉、時間差ΔTは ΔT = ’r、 −T。
となる、。一般K IIIJ定するVはCに比べて充分
小さいので C” *  C”  −V”aml# であゐから、流速Vは となって、ΔTを測定すれば流速Vを知ることができ、
伝書時間差法として知られている。この摺足によればΔ
Tを精度よく測定することが必要であり、T、又はT3
に対しΔTは10−’@度になる。たとえば、1005
mφの水道管でV = l m /aのときΔTキ15
Q(1awま九、tosasφの空気導管でV=10(
31/IOときΔT= 2765g撫度となシ、それぞ
れT1.Tmtllll定し、ΔTを得るためにはTi
T、の糊定分解能が高精度であることが要求されるので
、特願昭56−53014に示されるように振動子を同
時に駆動子し、対向する振動子で受信された#L形整形
l&通して比軟しΔTを測定する方法がある。
一方、各振動子で受信され良信号のクロス) −りをで
きるだけ少なくするため、振動子の駆動は各振動子毎に
行なわれるので、駆動用トランジスタのスイッチング特
性(上昇時間tR9下降時間’t)の差などにより、振
動子の駆動に数十QWのずれへtが生じる。また、駆動
回路から振動子までの接続−の長さの差によっても振動
子から放射される超音波パルス発生の時間にずれを生じ
ることがあり友。この様なずれは見かけ上ΔTとして計
測されるので、流速測定のオフセットとして測定される
ことがあった。従来、このオフセットは流体の流れてい
ない状態で測定し、流体の流速測定のとき線、111定
値から差し引いて真の測定値としていた。
このオ、7セツトを測定するためには、測定管内の流体
の流れを静止させなければならないので、測定管を測定
系から取シはすした9、又は流体を一時止める必要があ
シ、連続運転されている状態での流速測定装置において
はオフセットを常時決定することは困離であった。
を九、特願昭56−53014に示されるような波形処
理を行なって波形を比較しても、二つの超音波信号の周
波数が異なっている場合、たとえ超音波共ll11波数
。たとえばf、 = 1.00 Whiz 、 f、=
 1.01MH1とじB ex 5とすれば約59Hs
ecのずれが生じることになる。
〔発明の目的〕
この発明の目的は、流体の流れを静止させずに、振動子
の周波数の差、駆動回路による超音波パルス発生の遅嬌
の差などによる流速ゼロのと龜のオフセット出力を補正
することのできる超音波流速測定装置を提供することに
ある。
〔発明の概要〕
この発明は、測定管に対向して配置され九超音波振動子
から同時に放射され九超音波ノ(ルスが対向する振動千
両で反射され、再び受信されたとき、その反射波の受信
信号の到着の時間差を各“受信波形を比較して測定し、
流速ゼロのオフセットとして滝遭出力を補正することを
%黴とする。
〔発明の実施例〕
jI1図で振動子P1から放射され九超音波パルスは振
動子P、で受信されるとともに一部は振動子P!の表面
で反射され、再び振動子P、に受信される。
この時間TiLlは、 となる。ただしvH流適が反射波となって伝搬している
と龜にVからV′に変化し九ことを示す。一般に反射波
が受信される時間は数6μ弐から数mm1cでこの間“
に流速の変化は小さいとすればV + V’となって(
4)式は、 ’rat = ’r、 + Tt          
  ・・・(5)となる。を九、P鵞から放射されて、
Plで反射する超音波パルスが再び烏で受信される時間
T1も、V)V’とすれば、 TRI −To + Ts             
   ・・・(6)となって、 TILI ” Tag              ・
・・(7)であるから、流体の流れに関係なく等しくな
る。
すなわち、1対の振動子から放射し、対向する振動、子
の表面で反射して、再びもとのl対の振動子に受信され
る2つの反射波を比較し九と龜、2つの反射波にずれが
あれば、このずれの時間は、振動子の駆動(超音波パル
ス放射)のずれΔtもしくは超音波周波数の差によるず
れΔtで、流速がゼロのと亀に対向する振動子に受信さ
れ九伝搬受信波のずれと同じ原因によるもので、流速(
mのオフセラ)01[因になる値に等しい、、fIL体
が流れている状態でも対向する振動子に受信された伝搬
受信波の到着時間の差から反射受信、牌ヤ到着時間の葺
を差し引いた時間が流体の流れの影響を受けて生じえ真
の伝搬時間の差ΔTとなるのでこのΔTの値にもとづい
て(4)式による関係から、流速4tWのオフセット成
分を取)除いえ精りo良い流速Vを求めることがで龜る
籐2図に本発明の一実施例を示す。図においてり■ツク
回路は、伝搬受信波の伝搬時間差および反射受信波の受
信時間差を針側するに必要な分解能を持つ周期のクロッ
クを発生する回路で、またこのクロックは分周して、第
3図のタイムチャートに示すような駆動パルス、伝搬波
受信ゲート信号1反射波受信ゲート信号をそれぞれ発生
する駆動タイミング発生回路、伝搬波ゲート信号発生囲
路、および反射波ゲート信号発生回路の入力になる。
1に3図は、駆動タイミングパルス、伝搬波受信ゲート
パルス、反射波受信ゲートパルスのタイムチャートで、
伝搬波受信ゲートパルスPpの中心は振動子間距離(j
12 g 22mと22b)を流体内での音速(lll
ii定を行なう標準的な条件下での)で除し1 九値T、すなわち、 だけ駆動タイミングパルスPdよシ遅れて発生され、そ
のパルス幅2τはToの10〜20%の時間に設定する
を九、反射波受信ゲートパルスP&は、駆動タイミング
パルスPdより約2T、遅れて発生され、そのパルス@
2丁はToの15〜30%の時間にする。駆動タイミン
グパルスPdの周期T′は1回躯動タイミングに放射さ
れた超音波パルスが対向する振動子間で伝搬と反射を、
繰り返し、次の駆動タイiングによって放射された超音
波パルスと干渉しない程度に滅真する時間に設定する必
要がある。たとえばT′二lOTo 14度にする。駆
動タイ建ング発生回路は、クロック回路からのクロック
信号を分周するなどして、周期がT′である駆動タイン
ングパルスPa&発生する。駆動タイミングパルスPd
は2つの駆動−@ 23m 、 23b K入力され、
各駆動回路鉱それぞれ振動子22m 、 22bを駆動
して、超音波パルスを放射する。九とえば振動子22m
から放射され良能音波パルスは測定管内を伝搬するがこ
のとき流体が流れていれば、流れの方向により(1)式
又拡(2)弐に示される伝搬時間を要して対向する振動
子22bに到適し、wi駆動子電気信号に変換され受信
囲路24Mの入力となる。
一方到達し良能音波パルスの一部は振動子22b表面で
反射され、放射したもとの振動子22aの方へ進むこの
とき再び(1)式又Fi(2)式で示される伝搬時間を
要してもとの振動子221に反射波の信号として受信さ
れ電気信号に変換され受信回路24bの入力となる。振
動子22kから放射された超音波パルスも同様にして伝
撤し受信回路24bの入力となシ、一部紘反射して受信
11j124mの入力となる。
放射され良能音波パルスは減衰しなから伝搬と反射を<
°〉返し消滅していく。嬉3図の最下段に例として振動
子221に接続されている受信回路24bの出力を示す
。受信−路の出力信号341線振動子駆動信号が受信囲
路24b Kもれ良信号で、出力信号34b紘揚−子2
2#hから放射された超音波パルスによる受信信号を示
す、を九出力信号34Cは振動子22mから放射され、
振動子22bで反射して、再び振動子22mで受信され
九反射波の信号を示す。
を九、出力信号344 Fi振動子22bから放射され
九超音波パルスが振動子22mで反射し、さらに振動子
22bで反射され振動子22畠に受信された信号を示す
。このような各受信−@ 24m、 24bの出力は、
到達の時間の針絢が容易なようにゼ寵クロス回路のよう
な波形処理を行なう波形整形1路25m、 25bを経
て、受信波ゲート回路26m、26bに入力される。
受信波ゲート囲路26bでは、伝搬波受信ゲート信号に
よシ受信信号34bに相当する時間だけを抽出し、ζ0
11号を時間差カウンタ211に入力する。
一方受信波グート回路26i4WR動子22bでの受信
信号について同様の抽出をして、時間差カウンタ211
 K入力する。時間差カウンタ211は、先着し友受信
信号からもう一方の受信信号が入力される壕での時間を
針側するような回路でたとえは本実施例ではクロック回
路からのクロック信号をその時間の間カウントするディ
ジタル方式の計測が行なわれどちらの受信信号が先着し
たかも識別する。
そしてこのカウント数は、伝搬波ゲート信号発生回路か
らの信号によって切シ換えられるレジスタスイッチ21
2によって、伝搬時間差レジスターに記憶される。次に
受信出力34Cに相当する反射波のwL形処mされえ信
号は、同じく受信波ゲート閏ml 26b″1?反射波
受信ゲート信号により抽出され、時間差カウンタ211
 K入力されるとともに、受信波ダート回路2軸も同様
の抽出を行なってその出力は時間差カウンタ211に入
力され、時間差カウンタ211a反射波の受信の時間差
を計測する。反射波の時間差のカウント値は、レジスタ
スイッチ212によシ反射波時間差レジスタ214に記
憶される。
このようにして、@一時間差Vジスタには(3)式で示
される真の伝搬時間差ΔTと2′)の振動子22m。
22bの駆動遅延などによる超音波ノ(ルス発生のずれ
Δtおよびw1駆動波数め違いによるずれΔtを含む伝
搬時間差が、を九反射波時間差レジスタには、超音波パ
ルス発生のずれt−1、および、周波数の違いニヨるず
れΔtのゼロフロ一時のオフセット相当する時間差が記
憶され九ことに立る。第2図に示す実施例では、各レジ
スタの内容なルへ回路215゜216 Kよってアナロ
グ値に変換し、その出力を差動増幅回路217の同相、
反転位相入力にしてその差をとってΔTを得るとともに
、流速を得るに必要な振動子の位置関係で決まる係数(
(4)式の第1項)を掛算して出力し、ゼpフ田−のオ
フセット成分をなくし九流速■を出力する。
11114には、第3図のレジスタスイッチ以降構成を
CPUを用い九ディジタル演算処理を行危う本発明の他
実施例を示す。伝搬波ゲート信号32、および反射波ゲ
ート信号33はCPU411を介して、プログラム起動
す413内に記憶させであるプログラム起動させる制御
信号となって、第5図に示すようなフローチャートにも
とづく演算処理を行なう。
数値メモ1J412はCPUによって制御され、・時間
差カウンタ211の内容や、演算過程での結果などを一
時的に記憶するメモリで、D/A415は結果をアナロ
グ値に変換する回路である。
本発明の実施例として、伝搬時間差および反射波時間差
の測定にはクロタフをカウントするデイジメルカウンタ
を用いる例で示し九が、他の時間測定方法たとえd%流
積分によるアナログによる測定でもよい。
〔発明の効果〕
本発明によれば、超音titm*子の駆動遅延の差中、
超音波周波数のずれなどによるゼロフロ一時のオフセッ
シ出力を、流体の流れを停止させることなく、tえ、超
音波パルス放射毎に測定補正することができるので、流
速−V四のオフセット値を除去し良精度の高い流速測定
が可能になり、流速を積分して得られb流量の測定にお
いても安定な計測が可能となる。
【図面の簡単な説明】
JIIwAは超音波伝搬時間差法による流速針の基本的
構成図、1121mは本発明の一実施例の構成図、第3
図は、受信回路出力と、駆動タイミングノくルス、伝搬
波ゲート、(シス9反射波ゲートノ(ルスの関係を示す
タイムチャート、第4図は本発明の他の実施例の構成図
、第5図は中央処理制御装置(CPU )を用いる実施
例のフローチャートである。 21・・・流速測定管、2211.b・・・振動子、2
3a、b・・・振動子駆動aim、24a、b・・・受
信回路、25a、b・・・波形lll形路路26a、b
・・・受信波ゲート回路、201・・・クロック発生回
路、202.・・・駆動タイ電ング発生tm賂、203
・・・伝搬波ゲート信号発生回路、204・・・反射波
ゲート信号発生回路、211・・・時間差計測カウンタ
、 212・・・レジスタ切9換スイッチ、213・・・伝
単時間差レジスタ、 214・・・反射波時間差レジスタ、 215・・・伝搬時間差ディジタルアナログ変換回路、
216・・・反射波時間差ディジタルアナログ変換回路
、217・・・差動増幅回路、31・・・駆動タイ建ン
グパルス、32・・・伝搬波ゲートパルス、33・・・
反射波ゲートパルス、34畠・・・駆動信号、 34b・・・対向する振動子からの伝搬波信号、34c
・・・対向する振動子で反射し、再びもとの振動子で受
信され良信号、 34d、・、f・・・振動子間で反射をくシ返し行って
受4、′ 僅され良信号、 411・・・中央処理制御装置、 412・・11込み可絽数値メモリ、 413・・・観み出し専用プログラムメモリ、414・
・・歇値演算J61111路、415・・・ディジメル
アナ繋グ変換回路。 代理人 弁理士 勤 近 憲 佑 (ほか14) 第4′I!J 230        23追 2a 1 02 2b 3゜      Z 70、、’)  20125o        ’75
回路 2 03 6a2C F −33mM* 241 カラ〉り 411    数かう、、    12(RAM) CP(J         13 第5図 ・6 6 .6

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 流体が過流する測定管内の流体の流れ方向を斜めに横切
    る線上に一対の超音波振動子を対向配置し、これらの振
    動子間を流体の流れ方向と同方向および逆方向に伝搬す
    る超音波O伝搬時間から流体の流速を測定する装置にお
    いて、一対の超音波振動子をほぼ同時に駆動し、超音波
    パルスを放射する手段と、対向する振動子からほぼ同時
    に放射され丸前記超音波パルスがそれぞれ弛の振動子に
    受信される壕での伝搬時間の差を計測する手段と、対向
    する振動子から放射された前記超音波パルスがそれぞれ
    他の振動子で反射され、再び放射したもとの振動子にそ
    れぞれ受信されるまでの時間の差を計−する手段と、前
    記の他の振動子に受信されるtでの伝搬時間の差の計測
    値から、前記の反射波が受信されるまでの時間の差の計
    測値を差し4龜、これに係数を乗じて出力する手段を具
    備して成ることを特徴とする超音波流速測定装置。
JP57048857A 1982-03-29 1982-03-29 超音波流速測定装置 Pending JPS58167918A (ja)

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JP57048857A JPS58167918A (ja) 1982-03-29 1982-03-29 超音波流速測定装置
DE8383301635T DE3361828D1 (en) 1982-03-29 1983-03-23 Ultrasonic flowmeter
EP83301635A EP0094148B1 (en) 1982-03-29 1983-03-23 Ultrasonic flowmeter
US06/479,901 US4483202A (en) 1982-03-29 1983-03-29 Ultrasonic flowmeter

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