JPS58167411A - アルゴンの製造方法 - Google Patents
アルゴンの製造方法Info
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- JPS58167411A JPS58167411A JP57047781A JP4778182A JPS58167411A JP S58167411 A JPS58167411 A JP S58167411A JP 57047781 A JP57047781 A JP 57047781A JP 4778182 A JP4778182 A JP 4778182A JP S58167411 A JPS58167411 A JP S58167411A
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- Japan
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- gas
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- argon
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- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J3/00—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
- F25J3/02—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream
- F25J3/04—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream for air
- F25J3/04406—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream for air using a dual pressure main column system
- F25J3/04412—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream for air using a dual pressure main column system in a classical double column flowsheet, i.e. with thermal coupling by a main reboiler-condenser in the bottom of low pressure respectively top of high pressure column
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F25J3/04642—Recovering noble gases from air
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- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J2230/00—Processes or apparatus involving steps for increasing the pressure of gaseous process streams
- F25J2230/58—Processes or apparatus involving steps for increasing the pressure of gaseous process streams the fluid being argon or crude argon
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- Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は吸着剤を利用してアルゴンを含むガスからア
ルゴンを製造する方法に関する。
ルゴンを製造する方法に関する。
一般に、アルゴンの製造は、空気深冷分Ｓ装置からアル
ゴン含有量の比較的多−ｍ素を抜１出し、これを粗アル
ゴン塔で精留して粗アルゴンとし、この粗アルゴン中の
酸素をＭＡしたのち高純アルボン塔で精貿することＫよ
って竹われてφる。しかし、この方法は製造設備を多く
必豐とし、運転が１１雑であり、アルゴンの回収率も十
分でなく、エネルギー的にも不鮭済であるなどの欠点が
ある。
ゴン含有量の比較的多−ｍ素を抜１出し、これを粗アル
ゴン塔で精留して粗アルゴンとし、この粗アルゴン中の
酸素をＭＡしたのち高純アルボン塔で精貿することＫよ
って竹われてφる。しかし、この方法は製造設備を多く
必豐とし、運転が１１雑であり、アルゴンの回収率も十
分でなく、エネルギー的にも不鮭済であるなどの欠点が
ある。
また、上記以外のアルゴン製造法としては、アルゴン、
酸素、窒素の混合ガスを無加圧状１で２梅の吸着剤が充
填された吸着基に導入し、吸着基で窒素、＃累を吸着除
去し、アルゴンを侍る方法がある。（特開昭５２−１２
２２７３号公報参照）しかし、この方法では吸着剤の再
生を真空ポンプを朗いた減圧操作による脱着によって打
っているため、配管抵抗を小さくする必要かあり、配管
、弁郷を大瀝化せねばならず、設備費が増加する不都合
がある。また、万−運転中漏れがあれば真空度が低下し
、脱着性能が低下し、製品アルゴンの純度や回収率が低
下する。さらに、吸着基への混合ガスの吸込みおよび製
品アルゴン圧送のために２台のアルゴン圧縮機を用いて
おり、設備費が＾くなり、メンテナンスに手間ｔ−費す
る欠点がある。
酸素、窒素の混合ガスを無加圧状１で２梅の吸着剤が充
填された吸着基に導入し、吸着基で窒素、＃累を吸着除
去し、アルゴンを侍る方法がある。（特開昭５２−１２
２２７３号公報参照）しかし、この方法では吸着剤の再
生を真空ポンプを朗いた減圧操作による脱着によって打
っているため、配管抵抗を小さくする必要かあり、配管
、弁郷を大瀝化せねばならず、設備費が増加する不都合
がある。また、万−運転中漏れがあれば真空度が低下し
、脱着性能が低下し、製品アルゴンの純度や回収率が低
下する。さらに、吸着基への混合ガスの吸込みおよび製
品アルゴン圧送のために２台のアルゴン圧縮機を用いて
おり、設備費が＾くなり、メンテナンスに手間ｔ−費す
る欠点がある。
この発明は上記事情に髄みてなされたもので、設備が簡
単で、運転が容易であり、エネルギー消費が少なく、シ
かもアルゴン回収率の高−アルゴンの製造方法を提供す
ることを目的とするものである。
単で、運転が容易であり、エネルギー消費が少なく、シ
かもアルゴン回収率の高−アルゴンの製造方法を提供す
ることを目的とするものである。
以下、図面を参照してこの発明の詳細な説明する。
図面社この発明Ｏアルゴンの製造方法の実施例を示す一
部である。
部である。
空気深冷分離装置の書稍留塔１の上部楕貿塔２０中段か
ら抜龜出された、例えばアルゴン５〜１５襲、窒素１％
以下、ｉｌｌ素残部の混合ガス社、熱交換Ｉ！３に導入
され常温型で加温されたのち、圧縮機４により約５１に
加圧されたのち、２基の吸着１１！ｉ ＆、５Φ、５ｏ
により構成される＠着装置１１１ｆ Ｉ （）Ｍ ｌ
１１１１Ｆ！Ｉ ５ ａに導入される。各吸着器ｓ１．
５ｂ、５６Ｆ！、窒素吸着筒５ａ−ＭＳ、５ｂ−Ｍ８、
ｇｏ−Ｍｌと酸素吸着筒５＊−Ｏ８，５ｂ−０８，５ａ
−０８とこれら両筒をそれぞれ遅過する管６１．６ｂ
、５ｃ、弁７ａ、７ｂ、７ｏとから構成されてφる。こ
の弁？Ｆｉ原料ガスの組成によっては不要となる場合も
ある。％窒素吸ｙ＃筒５ａ−Ｍ８．５ｂ−ＭＳ、５ｏ−
ＭＳには、窒素を選択的に吸着するモレキュラーシーブ
スが充填されており、又各酸素級着筒５ａ−Ｏ８，５ｂ
−０８，５ｅ −０８には酸素を選択的に１＆漬する
カポンシーグスが充填されている。ｙＡ料ガスは大口弁
８１を経て、まず窒素吸着筒５ａ−ＭＳに入り、ここで
窒素が吸着除去されたのち、管６１、弁７ａを経て、酸
素吸着筒５ａ−Ｏ８に入り、ここでさらに酸素が吸着除
去されて、出口弁９ｍ、管１０より製品アルゴンが導出
される。
ら抜龜出された、例えばアルゴン５〜１５襲、窒素１％
以下、ｉｌｌ素残部の混合ガス社、熱交換Ｉ！３に導入
され常温型で加温されたのち、圧縮機４により約５１に
加圧されたのち、２基の吸着１１！ｉ ＆、５Φ、５ｏ
により構成される＠着装置１１１ｆ Ｉ （）Ｍ ｌ
１１１１Ｆ！Ｉ ５ ａに導入される。各吸着器ｓ１．
５ｂ、５６Ｆ！、窒素吸着筒５ａ−ＭＳ、５ｂ−Ｍ８、
ｇｏ−Ｍｌと酸素吸着筒５＊−Ｏ８，５ｂ−０８，５ａ
−０８とこれら両筒をそれぞれ遅過する管６１．６ｂ
、５ｃ、弁７ａ、７ｂ、７ｏとから構成されてφる。こ
の弁？Ｆｉ原料ガスの組成によっては不要となる場合も
ある。％窒素吸ｙ＃筒５ａ−Ｍ８．５ｂ−ＭＳ、５ｏ−
ＭＳには、窒素を選択的に吸着するモレキュラーシーブ
スが充填されており、又各酸素級着筒５ａ−Ｏ８，５ｂ
−０８，５ｅ −０８には酸素を選択的に１＆漬する
カポンシーグスが充填されている。ｙＡ料ガスは大口弁
８１を経て、まず窒素吸着筒５ａ−ＭＳに入り、ここで
窒素が吸着除去されたのち、管６１、弁７ａを経て、酸
素吸着筒５ａ−Ｏ８に入り、ここでさらに酸素が吸着除
去されて、出口弁９ｍ、管１０より製品アルゴンが導出
される。
この時、第）吸着■５０け減圧再生段階にある。
すなわち、吸着段階が終了したのち、人口弁８０１出ロ
弁９・が閉じ、排出弁ｉ１ａが−き、第５９＆着器５０
社はぼ大気圧まで減圧され、窒素吸層論５ｏ−Ｍ８およ
び酸素ｒＩ＆着筒５ ａ −ｃ ８１１Ｃ加圧ａ−で吸
着されていた窒素、酸素および筒内に残留していたガス
が排出弁１１０を経’、”１ｉ１２より放出される。原
料ガス中の窒素分が、この実施例のように少ない時は、
酸素一層１１１５ｃｍＯ８から減圧祝着した酸素によっ
て′ＩＭ票吸着＠ ５ ｃ −Ｍ ｌ！！内の毫しキエ
ツーシーブスが洗滌されるため減圧祝着Ｏみで電素獣看
塔５ｏ−ＭＳの再生社はぼ完了する。そして、弁７０が
貼じられ、弁１３０が１かれて、酸素吸着筒５ｏ−ＯＢ
ｔｉつづいて諷圧杏生が行われる。
弁９・が閉じ、排出弁ｉ１ａが−き、第５９＆着器５０
社はぼ大気圧まで減圧され、窒素吸層論５ｏ−Ｍ８およ
び酸素ｒＩ＆着筒５ ａ −ｃ ８１１Ｃ加圧ａ−で吸
着されていた窒素、酸素および筒内に残留していたガス
が排出弁１１０を経’、”１ｉ１２より放出される。原
料ガス中の窒素分が、この実施例のように少ない時は、
酸素一層１１１５ｃｍＯ８から減圧祝着した酸素によっ
て′ＩＭ票吸着＠ ５ ｃ −Ｍ ｌ！！内の毫しキエ
ツーシーブスが洗滌されるため減圧祝着Ｏみで電素獣看
塔５ｏ−ＭＳの再生社はぼ完了する。そして、弁７０が
貼じられ、弁１３０が１かれて、酸素吸着筒５ｏ−ＯＢ
ｔｉつづいて諷圧杏生が行われる。
巣ｊ！吸着４１５ｂは、この時減圧栴生後の洗滌再生お
よび使用準備の段階にある。すなわち、減圧祝着が終了
すると弁７ｔ＋が閉じられ、窒本吸着藺ｓｂ−ｍｓＫｒ
！ｌｌ索パージ弁１４ｂ１管１５、弁１６を経て空気痒
冷分離鋏１１１１からのｗｋ木が番人され、モレキエツ
ーシーブスの洗ｈｈ生が行われる。こＯ洗＃ＩＩＩＩ＆
ガスは排出弁１１ｂ、管１２より放出される。原料カス
中の一木分が少ない時嬬、上述のように仁の外部からの
ｒｋｌ、木による洗＃に再生は不要となる。−万、ＩＩ
ｌ隼吸漸簡５ｂ−ｏｓＫ＆ｉ、製品アルゴンガスの一部
が減圧弁１７． ｉｉｌ ８、アルゴンパージ弁１９ｂ
ｔ−経て導入され、絃嵩吸層Ｔｈ５ｂ−ｏｓＶ３のカー
ボンシープスに＃Ｉｋ着されている酸素がｆｋ、ｔＩｋ
腕増される。洗滌後のアルゴン酸素混合カスは、９Ｆ
１３ ｋ”−曾２０【経て、熱交換Ｗ３に尋人され、こ
こで、低温原料ガスと熱交換して冷却されたうえ、棺曽
塔２０中閣段に尋人される。この導入ガス株、上記原料
ガスより４＃木含箪が大島くなってψるのでｈｗ塔２の
原料ガス払出位置よりも下方Ｏ位置に導入される。この
ようにして洗−再生された絽２奴着塔５ｂは、ついで製
品アルゴンによって桝加圧され、次の吸着Ｋｆｉえるこ
とになる。
よび使用準備の段階にある。すなわち、減圧祝着が終了
すると弁７ｔ＋が閉じられ、窒本吸着藺ｓｂ−ｍｓＫｒ
！ｌｌ索パージ弁１４ｂ１管１５、弁１６を経て空気痒
冷分離鋏１１１１からのｗｋ木が番人され、モレキエツ
ーシーブスの洗ｈｈ生が行われる。こＯ洗＃ＩＩＩＩ＆
ガスは排出弁１１ｂ、管１２より放出される。原料カス
中の一木分が少ない時嬬、上述のように仁の外部からの
ｒｋｌ、木による洗＃に再生は不要となる。−万、ＩＩ
ｌ隼吸漸簡５ｂ−ｏｓＫ＆ｉ、製品アルゴンガスの一部
が減圧弁１７． ｉｉｌ ８、アルゴンパージ弁１９ｂ
ｔ−経て導入され、絃嵩吸層Ｔｈ５ｂ−ｏｓＶ３のカー
ボンシープスに＃Ｉｋ着されている酸素がｆｋ、ｔＩｋ
腕増される。洗滌後のアルゴン酸素混合カスは、９Ｆ
１３ ｋ”−曾２０【経て、熱交換Ｗ３に尋人され、こ
こで、低温原料ガスと熱交換して冷却されたうえ、棺曽
塔２０中閣段に尋人される。この導入ガス株、上記原料
ガスより４＃木含箪が大島くなってψるのでｈｗ塔２の
原料ガス払出位置よりも下方Ｏ位置に導入される。この
ようにして洗−再生された絽２奴着塔５ｂは、ついで製
品アルゴンによって桝加圧され、次の吸着Ｋｆｉえるこ
とになる。
かくして、各吸潅器５１．５ｂ、５Ｃを順次切換えるこ
とにより、連続して線菌アルゴンガスが得られることに
なる。
とにより、連続して線菌アルゴンガスが得られることに
なる。
このようなアルゴンの製造方法によれば、吸膚鈴５１の
原料カス入口偽をｉｋ索Ｉ＆看鋤５ａ−ＭＳとし、出口
側を酸素畝看筒５ｍ−０８としたので、吸着１＊５ｍの
再生＃＃嵩ｍ墳藺５ａ−ＣＪＢよＱ賦圧脱着した綬章が
電素奴着＄１１５ｉ−麺Ｓのモレ中ユラーシープスを洗
滌するととＫなり、特に原料ガスの１ｉ！木分が少な一
場合には、この脱層敵木による洗滌のみで１ｉｉｉ業＠
、要論５＆−ＭＢＣ）再生が光了し、製品アルゴンｔｆ
ｌｌｋ＆倉１１ａ５ｍ−１ｍｓの再生に用−る必散がな
くなり、アルゴンのロスが防止で龜る。家た、本料ガス
中Ｏ猿素分が多い場合にｕ、＊ｌＡ＊１１１１１Ｉ６
ａ ａ ｓと室Ｘ＆１Ｊｆｋ１５ ＆ −Ｍ８とを分
−Ｌ／％ Ｗｌｍｋｎｘ ｈ ５ ａ −ｈｉ ｓに空
気深冷分ｍ装置から洗−用歇巣を送るように栖成したの
で、亀嵩叡着餉５ｈ−ＭＳの抗麻褥生は安価なに隼で行
うことかで自、高価なアルゴンな絢いる必要がなく、ア
ルゴンのロスが少なくなる。さらに、＃ｋｗＡｋ着筒５
ｔ−Ｏ８の洗滌再生時、アルゴンと敵本よりなる烏ガス
を空気深冷分離装置１へ返送するようＫしたのでアルゴ
ン、＃Ｉｋ素のロスが防止で龜る。また、原料ガス中の
ｉｌｋ索含有割合につ−て何んら制約を受けないので、
従来のｈ留法によるアルゴン採取造Ｏ−の空気深冷分離
装置ｌのａ転の困−屓が緩和される。さらに、吸着基５
ａの出口側に賦素獣着筒５＆−Ｏ８をｆｉ−Ｌ、、たこ
とにより、ａ＆ｌｉ品アルゴンによるｆｋ論再再生完全
に行われなくとも拠用土間馳なく製品アルゴンを製造す
ることがでさる。これは、線品アルゴン中への少麺のｒ
ｌｔ素の混入鉱、製品アルゴンを帛飯絢に使用したｊｋ
ｂ＠Ｉｒｆ容されるためである。このため、製品アルコ
ンの外生用消費分か少なくてすみ、アルゴンのロスは少
なくなる。
原料カス入口偽をｉｋ索Ｉ＆看鋤５ａ−ＭＳとし、出口
側を酸素畝看筒５ｍ−０８としたので、吸着１＊５ｍの
再生＃＃嵩ｍ墳藺５ａ−ＣＪＢよＱ賦圧脱着した綬章が
電素奴着＄１１５ｉ−麺Ｓのモレ中ユラーシープスを洗
滌するととＫなり、特に原料ガスの１ｉ！木分が少な一
場合には、この脱層敵木による洗滌のみで１ｉｉｉ業＠
、要論５＆−ＭＢＣ）再生が光了し、製品アルゴンｔｆ
ｌｌｋ＆倉１１ａ５ｍ−１ｍｓの再生に用−る必散がな
くなり、アルゴンのロスが防止で龜る。家た、本料ガス
中Ｏ猿素分が多い場合にｕ、＊ｌＡ＊１１１１１Ｉ６
ａ ａ ｓと室Ｘ＆１Ｊｆｋ１５ ＆ −Ｍ８とを分
−Ｌ／％ Ｗｌｍｋｎｘ ｈ ５ ａ −ｈｉ ｓに空
気深冷分ｍ装置から洗−用歇巣を送るように栖成したの
で、亀嵩叡着餉５ｈ−ＭＳの抗麻褥生は安価なに隼で行
うことかで自、高価なアルゴンな絢いる必要がなく、ア
ルゴンのロスが少なくなる。さらに、＃ｋｗＡｋ着筒５
ｔ−Ｏ８の洗滌再生時、アルゴンと敵本よりなる烏ガス
を空気深冷分離装置１へ返送するようＫしたのでアルゴ
ン、＃Ｉｋ素のロスが防止で龜る。また、原料ガス中の
ｉｌｋ索含有割合につ−て何んら制約を受けないので、
従来のｈ留法によるアルゴン採取造Ｏ−の空気深冷分離
装置ｌのａ転の困−屓が緩和される。さらに、吸着基５
ａの出口側に賦素獣着筒５＆−Ｏ８をｆｉ−Ｌ、、たこ
とにより、ａ＆ｌｉ品アルゴンによるｆｋ論再再生完全
に行われなくとも拠用土間馳なく製品アルゴンを製造す
ることがでさる。これは、線品アルゴン中への少麺のｒ
ｌｔ素の混入鉱、製品アルゴンを帛飯絢に使用したｊｋ
ｂ＠Ｉｒｆ容されるためである。このため、製品アルコ
ンの外生用消費分か少なくてすみ、アルゴンのロスは少
なくなる。
このように、この発明のアルゴンの振迄方法によれは、
アルゴンの回収率が概められるとともに、製造輪重がＳ
本化され、設漏費用も低く、逓転も容易となり、メンテ
ナンス−む易となる。また、空気陳冷分岨＃ｃｄｌｋの
アルゴン採取に係る趣転の困ｊ１ｍＫが飯和される。さ
らに、従来の梢餉法のごとく冷却、加熱を織り返す必要
がなく、エネルギー消費も少なく、経街性に富むなどの
オリ点か侍られる。
アルゴンの回収率が概められるとともに、製造輪重がＳ
本化され、設漏費用も低く、逓転も容易となり、メンテ
ナンス−む易となる。また、空気陳冷分岨＃ｃｄｌｋの
アルゴン採取に係る趣転の困ｊ１ｍＫが飯和される。さ
らに、従来の梢餉法のごとく冷却、加熱を織り返す必要
がなく、エネルギー消費も少なく、経街性に富むなどの
オリ点か侍られる。
図面雌この＠明のアルゴンの胸造ヵ法の−Ｍを下す系統
図である。 １・・・・・空気深冷分離装置の抜精留塔、２・・・・
・上部の精留塔、４・・用圧動慎、５・曲吸詣袈−１５
１・・・−＠ｌ吸着齢、５ｂ・・・・°鞄２吸詣番、５
ｃ・回路）吸Ｎｌ１１．５ ａ −Ｍ Ｓ ＝−窒素吸
庸筒、５ａ−ＯＢ・・・・・酸素吸着筒、１４・・・・
・酸素パージ弁、１５・・・・・管、１６・・・・・弁
、１７・・・・・減圧弁、１８・・・・・管、１９・・
・・・アルゴンバージ弁。
図である。 １・・・・・空気深冷分離装置の抜精留塔、２・・・・
・上部の精留塔、４・・用圧動慎、５・曲吸詣袈−１５
１・・・−＠ｌ吸着齢、５ｂ・・・・°鞄２吸詣番、５
ｃ・回路）吸Ｎｌ１１．５ ａ −Ｍ Ｓ ＝−窒素吸
庸筒、５ａ−ＯＢ・・・・・酸素吸着筒、１４・・・・
・酸素パージ弁、１５・・・・・管、１６・・・・・弁
、１７・・・・・減圧弁、１８・・・・・管、１９・・
・・・アルゴンバージ弁。
Claims (1)
- （１） 空気−愉分Ｓ装猿の精留塔から抜き出された
アルゴン、酸素、窒素の混合ガスを原料ガスとし、■こ
の原料ガスを加温加圧して奮＊ｔａ層−が充填された窒
素歓ＮＩ筒から敏嵩執着剤が充填された酸素吸着筒Ｋ１
１次流し製品アルゴンガスを得る工程、および上記吸着
筒の再生に際し、＠両吸看簡を減圧とし窒素、酸素を脱
着させ、＃素吸層筒からの脱着酸素ガスで窒素吸’ｐａ
１１１を洗＆丹生する工程、θ製品アルゴンガスの一部
を酸１ｇｒＩ＆看簡に流し、酸素吸着筒を洗滌再生する
とともに洗論廃ガスを空気深冷分離装置の精留塔に返送
する工程によってアルゴンを製造することｆ％ＷＫとす
るアルゴンの製造方法。 （副 空気深冷分離装置の精留塔から抜ネ出されたアル
ゴン、酸素、窒素の混合ガスを原料ガスとし、■この原
料ガスな加温加圧して窒素ａ着剤が充填された窒素吸着
筒から酸素ａｍ剤が充填された酸素１着筒に順次流し製
品アルゴンガスを得る１膓、および上記吸着筒の再生に
際し、Ｏ絢吸着筒を減圧とし、窒素、酸素を脱着させ、
酸素吸着筒からＯ脱着酸素ガスで窒素吸着筒を洗滌再生
する工程、θ製品アルゴンガスの一部を酸素吸着筒に流
し、酸素吸着筒を洗滌再生するとともに洗ｋｓガスを空
気深冷分−懺置Ｏ精智塔に返送する工程、Ｏ空気深冷分
離装置からの酸素ガスを窒素吸着筒に流し、窒素吸着塔
な洗滌再生する工程によってアルゴンを製造することを
特徴とするアルゴンの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57047781A JPS58167411A (ja) | 1982-03-25 | 1982-03-25 | アルゴンの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57047781A JPS58167411A (ja) | 1982-03-25 | 1982-03-25 | アルゴンの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58167411A true JPS58167411A (ja) | 1983-10-03 |
| JPH0351647B2 JPH0351647B2 (ja) | 1991-08-07 |
Family
ID=12784909
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57047781A Granted JPS58167411A (ja) | 1982-03-25 | 1982-03-25 | アルゴンの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58167411A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4732580A (en) * | 1986-10-01 | 1988-03-22 | The Boc Group, Inc. | Argon and nitrogen coproduction process |
| JPH03164410A (ja) * | 1990-07-30 | 1991-07-16 | Sumitomo Seika Chem Co Ltd | 高濃度アルゴンの製造方法 |
| JPH05132305A (ja) * | 1991-05-14 | 1993-05-28 | Air Prod And Chem Inc | 高純度アルゴン製造方法 |
| US5601634A (en) * | 1993-09-30 | 1997-02-11 | The Boc Group, Inc. | Purification of fluids by adsorption |
-
1982
- 1982-03-25 JP JP57047781A patent/JPS58167411A/ja active Granted
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4732580A (en) * | 1986-10-01 | 1988-03-22 | The Boc Group, Inc. | Argon and nitrogen coproduction process |
| JPH03164410A (ja) * | 1990-07-30 | 1991-07-16 | Sumitomo Seika Chem Co Ltd | 高濃度アルゴンの製造方法 |
| JPH0525801B2 (ja) * | 1990-07-30 | 1993-04-14 | Sumitomo Seika Kk | |
| JPH05132305A (ja) * | 1991-05-14 | 1993-05-28 | Air Prod And Chem Inc | 高純度アルゴン製造方法 |
| US5601634A (en) * | 1993-09-30 | 1997-02-11 | The Boc Group, Inc. | Purification of fluids by adsorption |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0351647B2 (ja) | 1991-08-07 |
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