JPS58162637U - プロ−ブカ−ド - Google Patents

プロ−ブカ−ド

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Publication number
JPS58162637U
JPS58162637U JP5913782U JP5913782U JPS58162637U JP S58162637 U JPS58162637 U JP S58162637U JP 5913782 U JP5913782 U JP 5913782U JP 5913782 U JP5913782 U JP 5913782U JP S58162637 U JPS58162637 U JP S58162637U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
probe card
card
punched
inner diameter
test probe
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5913782U
Other languages
English (en)
Inventor
藤田　年男
Original Assignee
富士通株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 富士通株式会社 filed Critical 富士通株式会社
Priority to JP5913782U priority Critical patent/JPS58162637U/ja
Publication of JPS58162637U publication Critical patent/JPS58162637U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来例のテストプローブカードを示す上面図、
第２図は従来のテストプローブカードの接続構成を示す
図、第３図は本考案の一実施例であるテストプローブカ
ードを示す上面図、第４図は本考案の実施例であるテス
トプローブカードの接続構成を示す図である。図におい
て１１はテストプローブカード、１２．１２’　はくり
抜き窓、１３．１３’、１４．１４’はコンタクトラン
ド、１５．１５’はプローブ針、１６は半導体素子、１
７は接着樹脂、１８はブローバステージ、１９゜１９′
は導体パターン、２１．２２はプリント板を示す。 ８２−

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 基板上に集積回路を形成してなる半導体装置の機能テス
    トにおいて、テストプローブカード中央が円形に打抜か
    れ、その周囲に沿ってプローブが設ケられ、該テストプ
    ローブカードが多層構造をなし上層の該カードの打抜円
    形の内径より、下層の該カードの打抜円形の内径を大と
    なしたことを特徴とするプローブカード。
JP5913782U 1982-04-23 1982-04-23 プロ−ブカ−ド Pending JPS58162637U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5913782U JPS58162637U (ja) 1982-04-23 1982-04-23 プロ−ブカ−ド

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5913782U JPS58162637U (ja) 1982-04-23 1982-04-23 プロ−ブカ−ド

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS58162637U true JPS58162637U (ja) 1983-10-29

Family

ID=30069463

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5913782U Pending JPS58162637U (ja) 1982-04-23 1982-04-23 プロ−ブカ−ド

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS58162637U (ja)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5153478A (ja) * 1974-11-06 1976-05-11 Hitachi Ltd Koteipuroobukaado

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5153478A (ja) * 1974-11-06 1976-05-11 Hitachi Ltd Koteipuroobukaado

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