JPS5812876U - Ｌｓｉ試験用プロ−ブ・カ−ド - Google Patents

Ｌｓｉ試験用プロ−ブ・カ−ド

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Publication number
JPS5812876U
JPS5812876U JP10492481U JP10492481U JPS5812876U JP S5812876 U JPS5812876 U JP S5812876U JP 10492481 U JP10492481 U JP 10492481U JP 10492481 U JP10492481 U JP 10492481U JP S5812876 U JPS5812876 U JP S5812876U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
probe card
test probe
lsi
lsi test
circuit board
Prior art date
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Pending
Application number
JP10492481U
Other languages
English (en)
Inventor
堀田　正樹
元介 三好
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP10492481U priority Critical patent/JPS5812876U/ja
Publication of JPS5812876U publication Critical patent/JPS5812876U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のプローブ・カードを用いてＬＳＩ′ウェ
ハの測定を行なう状態を一部破断して示す斜視図、第２
図は第１図のブプローブ・カードを示す斜視図、第３図
は本考案の一実施例によるプローブ・カードの断面図、
第４図は他の実施例によるプローブ・カードの断面図、
第５図は第４図のプローブ・カードの要部を拡大して示
す底面図である。 １・・・・・・絶縁物基板、２・・・・・・孔、３・・
・・・・プリント配線、４・・・・・・プリント基板、
５・・・・・・金属針、６・・・・・・プローブ・カー
ド、７・・・・・・ウェハ、８・・・・・・ＬＳＩ素子
、９・・・・・・透明電極、１０，１０ａ・・・・・・
透明絶縁板。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 位置合わせ用の孔を開口した絶縁物基板の表面に先端が
    前記孔の周縁に集束するようにプリント配線を設けてプ
    リント基板を形成すると共に、プリント配線の先端に夫
    々金属針を接続したＬＳＩ試験用プローブ・カードにお
    いて、前記プリント基板の表面に、透明電極をコーティ
    ングした透明絶縁板を貼付したことを特徴とするＬＳＩ
    試験用プローブ・カード。
JP10492481U 1981-07-15 1981-07-15 Ｌｓｉ試験用プロ−ブ・カ−ド Pending JPS5812876U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10492481U JPS5812876U (ja) 1981-07-15 1981-07-15 Ｌｓｉ試験用プロ−ブ・カ−ド

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10492481U JPS5812876U (ja) 1981-07-15 1981-07-15 Ｌｓｉ試験用プロ−ブ・カ−ド

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5812876U true JPS5812876U (ja) 1983-01-27

Family

ID=29899482

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10492481U Pending JPS5812876U (ja) 1981-07-15 1981-07-15 Ｌｓｉ試験用プロ−ブ・カ−ド

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JP (1) JPS5812876U (ja)

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