JPS5815144A - 印刷配線基板の検査装置 - Google Patents
印刷配線基板の検査装置Info
- Publication number
- JPS5815144A JPS5815144A JP11395381A JP11395381A JPS5815144A JP S5815144 A JPS5815144 A JP S5815144A JP 11395381 A JP11395381 A JP 11395381A JP 11395381 A JP11395381 A JP 11395381A JP S5815144 A JPS5815144 A JP S5815144A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- printed circuit
- circuit substrate
- camera
- circuit pattern
- printed wiring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は印刷配線基板の検査装置に関し、その目的とす
るところは印刷配線基板の回路パターンの亀裂あるいは
回路パターン間の短絡等の異常を高精度で素早く発見で
きるようにしたものである。
るところは印刷配線基板の回路パターンの亀裂あるいは
回路パターン間の短絡等の異常を高精度で素早く発見で
きるようにしたものである。
一般に印刷配線基板の製造工程においては、エツチング
工程の前に基板上の回路パターンが正しく描かれている
かどうか検査することが行なわれている。第１図にエツ
チングレジストインクで回路パターンＰ（図に点線群で
示す）を描いた印刷配線基板１を示してｐす、この基板
１上のパターンＰを検査者が目で見て回路パターンの開
放Ｐ１や短絡Ｐ２等の異常を発見するのが従来の検査方
法であった。しかしながら、この従来の検査方法では検
査者の目の疲れが激しいこと、またパターｙの異常を見
逃してしまうことがしばしばある等の問題があった。
工程の前に基板上の回路パターンが正しく描かれている
かどうか検査することが行なわれている。第１図にエツ
チングレジストインクで回路パターンＰ（図に点線群で
示す）を描いた印刷配線基板１を示してｐす、この基板
１上のパターンＰを検査者が目で見て回路パターンの開
放Ｐ１や短絡Ｐ２等の異常を発見するのが従来の検査方
法であった。しかしながら、この従来の検査方法では検
査者の目の疲れが激しいこと、またパターｙの異常を見
逃してしまうことがしばしばある等の問題があった。
本発明はこのような従来の欠点を解消する装置
゛において、検査動作を効率的に行なうことができ為 るようにしたもので、以下にその一実施例について図面
と共に説明する。
゛において、検査動作を効率的に行なうことができ為 るようにしたもので、以下にその一実施例について図面
と共に説明する。
まず、本発明はテレビジョンカメラで印刷配線基板のパ
ターンを撮像し、その映像信号と事前に準備された標準
パターンの映像信号とを比較してパターンの異常を自動
的に検査するようにしだものである。
ターンを撮像し、その映像信号と事前に準備された標準
パターンの映像信号とを比較してパターンの異常を自動
的に検査するようにしだものである。
３ ・
この場合、印刷配線基板をテレビジョンカメラで撮像す
る条件として、事前に準備した標準パターンを作成した
ときの位置と同じ位置で正しく撮像することが必要であ
る。本考案は特にこのカメラが正しい位置にあるかどう
か確認し、位置ずれがある場合は位置ずれ量を検出して
自動的に正しい位置に位置決めするようにしたものであ
る。
る条件として、事前に準備した標準パターンを作成した
ときの位置と同じ位置で正しく撮像することが必要であ
る。本考案は特にこのカメラが正しい位置にあるかどう
か確認し、位置ずれがある場合は位置ずれ量を検出して
自動的に正しい位置に位置決めするようにしたものであ
る。
今、第１図に示す印刷配線基板１１の回路パターンＰ（
図に魚群で示す）とその回路パターンＰ以外の部分の境
界線をテレビジョンカメラで撮像した場合、水平部分の
Ａ部分を設定する。同境界線で今度は垂直部を１ケ所、
すなわちＢ部分を設定する。実際の検査の場合は異常検
出精度をあげるために、テレビジョンカメラの視野を第
２図に示すようにする。またこの第２図は正しいカメラ
位置（標準位置）でもある。Ａ部は水平方向の画素数”
Ａで決定し、境界線は走査線ｉ！Ｌ、、２の間にある。
図に魚群で示す）とその回路パターンＰ以外の部分の境
界線をテレビジョンカメラで撮像した場合、水平部分の
Ａ部分を設定する。同境界線で今度は垂直部を１ケ所、
すなわちＢ部分を設定する。実際の検査の場合は異常検
出精度をあげるために、テレビジョンカメラの視野を第
２図に示すようにする。またこの第２図は正しいカメラ
位置（標準位置）でもある。Ａ部は水平方向の画素数”
Ａで決定し、境界線は走査線ｉ！Ｌ、、２の間にある。
Ｂ部は走査線番号Ｌｂで画素数ｎＢのところニーにある
。以上のＡおよびＢの各部の位置はカメラが標準位置に
ある場合である。実際に検査を行う場合は印刷配線基板
１を動かして標準位置に設定するか、カメラを動かして
標準位置に設定するかの２通りあるが、いずれであって
もよく、ここではカメラを動かして標準位置に設定する
。
。以上のＡおよびＢの各部の位置はカメラが標準位置に
ある場合である。実際に検査を行う場合は印刷配線基板
１を動かして標準位置に設定するか、カメラを動かして
標準位置に設定するかの２通りあるが、いずれであって
もよく、ここではカメラを動かして標準位置に設定する
。
次に、第３図に示すように実際に検査を行う場合、印刷
配線基板１に位置ずれがあるとする。この場合先ずＡ部
は先に示した画素数ｎ４の位置における境界線が何第目
の走査にあるかを見ると、Ｌ とＬ の間に存在
していることが分る。
配線基板１に位置ずれがあるとする。この場合先ずＡ部
は先に示した画素数ｎ４の位置における境界線が何第目
の走査にあるかを見ると、Ｌ とＬ の間に存在
していることが分る。
ａ＋３ ａ＋４
これによシ縦方向の位置のずれ量が分る。次に走査線Ｌ
ｂにおける境界線の位置はｎｂであることが分る。これ
により横方向の位置のずれ歓が分る。
ｂにおける境界線の位置はｎｂであることが分る。これ
により横方向の位置のずれ歓が分る。
横方向のずれ量をΔＸ、縦方向のずれ量をΔｙとすると
、Δ・＝・Ｂ”Ｂ、Δア＝＝Ｌ、。１ ’：’ａ＋３
で表わされる。
、Δ・＝・Ｂ”Ｂ、Δア＝＝Ｌ、。１ ’：’ａ＋３
で表わされる。
以上のようにして標準位置に対するずれ量ΔＸ。
Δｙの信号によりカメラを標準位置に移動させる。
すなわち第４図において、４はテレビジョンカメラであ
り、これでもって印刷配膳基板１を撮１象し、カメラコ
ントロール８を通して高速度計算回路をｂｌ−１ もつインタフェース９を経由して、コンピュータ１０で
前記のずれ量を受は取り、再びインタフェース１２、パ
ルスモークドライブ１３を通して位置決メチ−プル用パ
ルスモータ７を回転させ、カメラ取付台６上に移動可能
に置かれたテレビジョンカメラ４を移動させて前記ΔＸ
、Δｙがともに零になる標準位置に設定する。この後印
刷配線基板１の回路パターンＰの異常の検出を前記テレ
ビジョンカメラ４を使用して行なう。なお１１は電源で
ある。本発明装置は以上のように印刷配線基板の位置決
めをその回路パターンを利用して行なうようにしたため
、位置決め専用のマーク等が不要であシ、したがって特
に回路パターン密度の高い印刷配線基板であっても確実
に位置決めできるものであり、その効果は大である。
り、これでもって印刷配膳基板１を撮１象し、カメラコ
ントロール８を通して高速度計算回路をｂｌ−１ もつインタフェース９を経由して、コンピュータ１０で
前記のずれ量を受は取り、再びインタフェース１２、パ
ルスモークドライブ１３を通して位置決メチ−プル用パ
ルスモータ７を回転させ、カメラ取付台６上に移動可能
に置かれたテレビジョンカメラ４を移動させて前記ΔＸ
、Δｙがともに零になる標準位置に設定する。この後印
刷配線基板１の回路パターンＰの異常の検出を前記テレ
ビジョンカメラ４を使用して行なう。なお１１は電源で
ある。本発明装置は以上のように印刷配線基板の位置決
めをその回路パターンを利用して行なうようにしたため
、位置決め専用のマーク等が不要であシ、したがって特
に回路パターン密度の高い印刷配線基板であっても確実
に位置決めできるものであり、その効果は大である。
第１図は印刷配線基板の回路パターン図、第２図は本発
明の一実施例によるテレビジョンカメラの正常位置にお
ける撮１象画面図、第３図は同位置ずれ状態の撮ｒ象画
面図、第４図は同装置の概略制御構成図である。 １・・・・・・印刷配線基板、Ｐ・・・・・・回路パタ
ーン、４・・・・・・テレビジョンカメラ、５・・・・
・・カメラ取付台、７・・・・・・パルスモータ １ｏ
・・・・コンピュータ。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 Ｐ 第２１！１ ３ ｍ
明の一実施例によるテレビジョンカメラの正常位置にお
ける撮１象画面図、第３図は同位置ずれ状態の撮ｒ象画
面図、第４図は同装置の概略制御構成図である。 １・・・・・・印刷配線基板、Ｐ・・・・・・回路パタ
ーン、４・・・・・・テレビジョンカメラ、５・・・・
・・カメラ取付台、７・・・・・・パルスモータ １ｏ
・・・・コンピュータ。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 Ｐ 第２１！１ ３ ｍ
Claims (1)
- 印刷配線基板の回路パターンとその回路パターン以外の
部分の境界線のうち複数個所で水平部と垂直部を設定す
るとともにこれをテレビジョンカメラで撮像し、その水
平走査線の順番により前記水平部の位置を検出し、一方
、その水平走査線の水平方向の画素数で垂直部の位置を
検出し、前記両位置検出信号に基づきテレビジョンカメ
ラまたは前記印刷配線基板を移動させて予め設定された
正常位置に位置決めするように構成した印刷配線基板の
検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11395381A JPS5815144A (ja) | 1981-07-20 | 1981-07-20 | 印刷配線基板の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11395381A JPS5815144A (ja) | 1981-07-20 | 1981-07-20 | 印刷配線基板の検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5815144A true JPS5815144A (ja) | 1983-01-28 |
| JPS6359457B2 JPS6359457B2 (ja) | 1988-11-18 |
Family
ID=14625339
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11395381A Granted JPS5815144A (ja) | 1981-07-20 | 1981-07-20 | 印刷配線基板の検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5815144A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5348871A (en) * | 1976-10-15 | 1978-05-02 | Chiyoda Chem Eng Construct Co | Process for acidifying and washing polluted sotl |
| JPS5442925A (en) * | 1977-09-09 | 1979-04-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Video pattern memory device |
-
1981
- 1981-07-20 JP JP11395381A patent/JPS5815144A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5348871A (en) * | 1976-10-15 | 1978-05-02 | Chiyoda Chem Eng Construct Co | Process for acidifying and washing polluted sotl |
| JPS5442925A (en) * | 1977-09-09 | 1979-04-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Video pattern memory device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6359457B2 (ja) | 1988-11-18 |
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