JPS58143621A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
- Publication number
- JPS58143621A JPS58143621A JP2600582A JP2600582A JPS58143621A JP S58143621 A JPS58143621 A JP S58143621A JP 2600582 A JP2600582 A JP 2600582A JP 2600582 A JP2600582 A JP 2600582A JP S58143621 A JPS58143621 A JP S58143621A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- deltaf
- width
- film thickness
- pitch
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
木舛明は＊属ストリッグｔ−Ｖする！４［性表面誠輌縦
ＫＦＩＭするものである。
ＫＦＩＭするものである。
グレーティング構造Ｏ象濶ストリｙグ反射錫′４Ｉ：４
ｒする弾性表＃Ｊ波装置は、第１図（ＩＢ）に示すよ−
うに、圧電性１４［１上に＊属ストリッーグ反射６４と
そのｍ−に表面波の伝搬路が同一でるる１４Ｍの入力お
よび出力くし形颯礁２，３を形成し、上記入力８よび出
力くし形慝億によるフィルタ骨性に購２−に示すごとく
金属ストリップ反射器４による急峻な帝域尉止籍性を持
たぜたものでるる、尚票１図（ｊ）は４１図（α］に於
けるＡ−Ａ−に歯う断面図でるり、同図中の５は電ｉ１
指を示し、叉Ｗは鴫礁幅、Ｐは電憔ピッチ。
ｒする弾性表＃Ｊ波装置は、第１図（ＩＢ）に示すよ−
うに、圧電性１４［１上に＊属ストリッーグ反射６４と
そのｍ−に表面波の伝搬路が同一でるる１４Ｍの入力お
よび出力くし形颯礁２，３を形成し、上記入力８よび出
力くし形慝億によるフィルタ骨性に購２−に示すごとく
金属ストリップ反射器４による急峻な帝域尉止籍性を持
たぜたものでるる、尚票１図（ｊ）は４１図（α］に於
けるＡ−Ａ−に歯う断面図でるり、同図中の５は電ｉ１
指を示し、叉Ｗは鴫礁幅、Ｐは電憔ピッチ。
ｄは４億−厚を夫々示す、この急峻な帯域耐止脣性を周
波数基準として用いた弾性表面波績電が提案されている
。一般に阻止帯域幅ｉｆは中心周波ａ九の１−以上で、
鴫礁材料としてはＡｔ編を用い、−億一臥は一極ピツチ
Ｐの４０〜６０饅で設計され、鴫極−厚ｄは上−の両件
を膚た丁ように決定されている。Ｊ：、−のごとく弾性
表面波＠直を製造するー、周波数着準稽度を高めるため
には、１度によるＳａ表面波遍直変膚の小さい圧電性４
板を用い、かつ阻止帯域幅７ｊと中心周ＩｉＬ砿ｊｍｏ
Ｊｌｉｉ造ばらつき電十分小さくする必資がるる。中心
周波数には蝋憔ピッチＰと弾性表＃Ｊ波遍度νからｆｏ
＝シ睦とに筐るため、実用上、阻止帯域＠４ｊの製造ば
らつきが間層となっている。阻止ｌＦ域幅ｉｆは金属ス
トリップ反射−の電極部′、Ｗおよび鴫−構製ｄによっ
て賀化するため、扁槽度の膚ａＩＬＩＩＩＫ４準を優る
ためには、喝礁−ψ′および鴫億属厚ｄＯ鋼造ばらつき
を十分小さくすることが必要である。
波数基準として用いた弾性表面波績電が提案されている
。一般に阻止帯域幅ｉｆは中心周波ａ九の１−以上で、
鴫礁材料としてはＡｔ編を用い、−億一臥は一極ピツチ
Ｐの４０〜６０饅で設計され、鴫極−厚ｄは上−の両件
を膚た丁ように決定されている。Ｊ：、−のごとく弾性
表面波＠直を製造するー、周波数着準稽度を高めるため
には、１度によるＳａ表面波遍直変膚の小さい圧電性４
板を用い、かつ阻止帯域幅７ｊと中心周ＩｉＬ砿ｊｍｏ
Ｊｌｉｉ造ばらつき電十分小さくする必資がるる。中心
周波数には蝋憔ピッチＰと弾性表＃Ｊ波遍度νからｆｏ
＝シ睦とに筐るため、実用上、阻止帯域＠４ｊの製造ば
らつきが間層となっている。阻止ｌＦ域幅ｉｆは金属ス
トリップ反射−の電極部′、Ｗおよび鴫−構製ｄによっ
て賀化するため、扁槽度の膚ａＩＬＩＩＩＫ４準を優る
ためには、喝礁−ψ′および鴫億属厚ｄＯ鋼造ばらつき
を十分小さくすることが必要である。
月見ば、圧電性４＆に直置によるｗＲ−が小さいＸカッ
ト１１２°Ａｌ１１４ｉＹｆＲ虐Ｌ 番７”ａｈａ （
タンタル績リチウム、νｓｅｗ １ｉｏｏシＩ）単請晶
′４砺としてＡｔ薄貞を用いた。ｈ±２５υ逓Ｗｘ （
ｐ考１２μ罵）、Ｉｆ−２−８−に：Ｉ１２ Ｊｌｊｌ
ｚ （’ｆ／ｆ＊ ；ｔ２±ｏ、ｏａ％ ）、四ｓ＝
ｚｐｓｗｈ （’７１ ｍ ４０ 優 ）、 ｄ
ｚ （Ｌ４Ｊｌｌｌ （’／ｘｐ ＝４２−）の
弾性表面波−纜において、屯−属４ｄを一定とした場曾
に軒容される４礁１雇ばらつき１ｗは±α２μ罵（Ｉｐ
７ｐ−±Ｓ−）櫨直である。
ト１１２°Ａｌ１１４ｉＹｆＲ虐Ｌ 番７”ａｈａ （
タンタル績リチウム、νｓｅｗ １ｉｏｏシＩ）単請晶
′４砺としてＡｔ薄貞を用いた。ｈ±２５υ逓Ｗｘ （
ｐ考１２μ罵）、Ｉｆ−２−８−に：Ｉ１２ Ｊｌｊｌ
ｚ （’ｆ／ｆ＊ ；ｔ２±ｏ、ｏａ％ ）、四ｓ＝
ｚｐｓｗｈ （’７１ ｍ ４０ 優 ）、 ｄ
ｚ （Ｌ４Ｊｌｌｌ （’／ｘｐ ＝４２−）の
弾性表面波−纜において、屯−属４ｄを一定とした場曾
に軒容される４礁１雇ばらつき１ｗは±α２μ罵（Ｉｐ
７ｐ−±Ｓ−）櫨直である。
通常のＡｔ蒸層とホトエＶテンダ法を用いた＊構ストリ
ップ反射−の属造グａセスでは、 Ａｔ纏厚ばらつきを
土Ｓ−ｍ度児込ひとすれば、この場せの＃を一幅ばらつ
き１ＦＦＳ櫨ＪＦは土α１μ罵橿度となる０通常のプロ
セス技術では２Ｊ土α１μ諺の摺度で歩留り艮〈盆瀾ス
）Ｖッグ反射反射属造することは砺めてｍｍである。上
記のごとく、従来技術では＊属ストリップ反射−の歩留
りが雇く歩留り良くＪＡ造できないという欠点ｔイして
いるＯ 本発明の目的は上ｓｄした従来技術の欠点ｔなくし、貞
造歩留りを同上させたＩｆ４波数基準付き弾性表ｒｆｉ
ｒＩＬ映瀘を提供することＫろる。
ップ反射−の属造グａセスでは、 Ａｔ纏厚ばらつきを
土Ｓ−ｍ度児込ひとすれば、この場せの＃を一幅ばらつ
き１ＦＦＳ櫨ＪＦは土α１μ罵橿度となる０通常のプロ
セス技術では２Ｊ土α１μ諺の摺度で歩留り艮〈盆瀾ス
）Ｖッグ反射反射属造することは砺めてｍｍである。上
記のごとく、従来技術では＊属ストリップ反射−の歩留
りが雇く歩留り良くＪＡ造できないという欠点ｔイして
いるＯ 本発明の目的は上ｓｄした従来技術の欠点ｔなくし、貞
造歩留りを同上させたＩｆ４波数基準付き弾性表ｒｆｉ
ｒＩＬ映瀘を提供することＫろる。
本発明は、ＬｉＴαθ島単結晶、水蟲尋の直置による弾
性表ｄｊｉ波速度変１とが小さく鴫Ａ嘘砿結曾係叔が比
較的小さい圧＃４注着板を用いた上−弾性表面波練直に
おいて、貧顧ストリップ反射−〇域億ピッチＰの倍欽２
Ｐで規格化した鴫億貞厚’／２ｐ １％ １００７〜（
１０２１とｒｘ ルよう（Ｃｍ＝ｍ＊を迩ぷことにより
＃Ｌ檀ｌ嘔の調造ばらつきによる組止帯域幅変虐を大幅
に縮小させたこと１ｊＩ：時数とＴ１゜ 金属ストリッグ反射−の阻止帯域幅Δｊは、―紀の如く
１極幅Ｗと電憶編厚ｄによって複−に変虐するが、従来
技術では比横的Ｔ４礪磯４ｄが薄い領域（’／２Ｐ≦Ｑ
、０２０ （２優）〕で域礪１旙Ｗと電１ｌｉｉ膚厚ｄ
（Ｑ１０係を呼禰に−べた鑵告は少なく 、’／２７≦
２−以下の値域を禎ム的に用いた偽もない、我々は、
Ｌｓ７’＠Ｏｍｇ ｆ蝋性基板に、筐たＡｔを鴫−材料
に用いたＪｉ曾についてｄｊとＷおよびｄｏ＠像【広魂
−にわたりて−べ墨５１に示す績果奮優たＡＳＫＳ図の
一釆では、鴫−ｄｊを’／２ｐ ユＬ１０１４ （ｔ４
％ ）とすることによりｗ／Ｐの直、即ち域１１＠＃に
＃−係にｌルＬ＝α７チと定筐る。Ｊ４１’＆、 ｃＬ
／２ｐ＃ＬＱ０７〜（１０２１（［１７〜２．１優）で
あれば、ＩＬ価幅か鴫櫨ピッチの６０〜７０饅０ＩＩｉ
−で変化（ｐ ＝ ７．２＾纒のときＪｌｌｚ壬ｔ４μ
〃Ｌ〕しテ４ Ｕ／ｆ、の１砿ｖＩＬに河するばらつき
はα１憾以下になる。従って、 ’／２ｐ ２１ＬＩ
０７〜ｕ０２１ （１７〜２．１１ ）を満たす時、電
４ｉ幅のばらつきｔ’Ｆ容直は従来に比べ大＠に増大さ
れ、大−なＪｌｉｉ４ｔｉ−り同上を期待できる。
性表ｄｊｉ波速度変１とが小さく鴫Ａ嘘砿結曾係叔が比
較的小さい圧＃４注着板を用いた上−弾性表面波練直に
おいて、貧顧ストリップ反射−〇域億ピッチＰの倍欽２
Ｐで規格化した鴫億貞厚’／２ｐ １％ １００７〜（
１０２１とｒｘ ルよう（Ｃｍ＝ｍ＊を迩ぷことにより
＃Ｌ檀ｌ嘔の調造ばらつきによる組止帯域幅変虐を大幅
に縮小させたこと１ｊＩ：時数とＴ１゜ 金属ストリッグ反射−の阻止帯域幅Δｊは、―紀の如く
１極幅Ｗと電憶編厚ｄによって複−に変虐するが、従来
技術では比横的Ｔ４礪磯４ｄが薄い領域（’／２Ｐ≦Ｑ
、０２０ （２優）〕で域礪１旙Ｗと電１ｌｉｉ膚厚ｄ
（Ｑ１０係を呼禰に−べた鑵告は少なく 、’／２７≦
２−以下の値域を禎ム的に用いた偽もない、我々は、
Ｌｓ７’＠Ｏｍｇ ｆ蝋性基板に、筐たＡｔを鴫−材料
に用いたＪｉ曾についてｄｊとＷおよびｄｏ＠像【広魂
−にわたりて−べ墨５１に示す績果奮優たＡＳＫＳ図の
一釆では、鴫−ｄｊを’／２ｐ ユＬ１０１４ （ｔ４
％ ）とすることによりｗ／Ｐの直、即ち域１１＠＃に
＃−係にｌルＬ＝α７チと定筐る。Ｊ４１’＆、 ｃＬ
／２ｐ＃ＬＱ０７〜（１０２１（［１７〜２．１優）で
あれば、ＩＬ価幅か鴫櫨ピッチの６０〜７０饅０ＩＩｉ
−で変化（ｐ ＝ ７．２＾纒のときＪｌｌｚ壬ｔ４μ
〃Ｌ〕しテ４ Ｕ／ｆ、の１砿ｖＩＬに河するばらつき
はα１憾以下になる。従って、 ’／２ｐ ２１ＬＩ
０７〜ｕ０２１ （１７〜２．１１ ）を満たす時、電
４ｉ幅のばらつきｔ’Ｆ容直は従来に比べ大＠に増大さ
れ、大−なＪｌｉｉ４ｔｉ−り同上を期待できる。
以下本発明を具体的実Ｉ／１杏を用いて膵−に説明する
。本発明の実施例として、Ｘカット１１２゜−転Ｙ伝ｍ
ｌ Ｌ＊７６０ｍ基板上に人力および出力くし形（極（
中心Ａ ａ 赦２５０ ｊｆｆｚ 、帯域−５０Ｍ Ｈ
ｚ 。
。本発明の実施例として、Ｘカット１１２゜−転Ｙ伝ｍ
ｌ Ｌ＊７６０ｍ基板上に人力および出力くし形（極（
中心Ａ ａ 赦２５０ ｊｆｆｚ 、帯域−５０Ｍ Ｈ
ｚ 。
Ａｔ績単４α１〜ａｓｔｔｗ＝ ） ｋ形成し１両電礪
關に中心屑波赦７ｅ ｍ ２ｓｏ ｍｚ （蝋４ｉｉピ
ッチｐｚ１２ｔｔｔｘ）、阻止帯域＠ ’ｆ−ｉＭＨ”
（’ｆｅｅ ＝ｔ２＊ ） Ｏ愈属ストｖッグ反射−
を配置した膚波砿４羊付きＳａＷ面波フィルタについて
述べる。
關に中心屑波赦７ｅ ｍ ２ｓｏ ｍｚ （蝋４ｉｉピ
ッチｐｚ１２ｔｔｔｘ）、阻止帯域＠ ’ｆ−ｉＭＨ”
（’ｆｅｅ ＝ｔ２＊ ） Ｏ愈属ストｖッグ反射−
を配置した膚波砿４羊付きＳａＷ面波フィルタについて
述べる。
電極−厚ｄは、’／２ｐ ＝ １４鋒を考慮してｄ＝＝
＝ｃＬ２ｓｓＫＲ１１し１ｇ礪ｍｗはＰ／２ ＝ Ｌ６
ｆｉ’ａ ｋ中心−とした。この時、ｌｌＥ億幅ばらつ
き１−１４ｊｌｌＮＩＫ対し”Ｃ’ｄｊＡ 止’ｌ 域
＠Ｉｆ ＯＫ ｍ ハ＋ ａ２ｊ＃ｚ （Ｉｆ／１ ＝
１２土１０８−）以下で６９、従来技術に比べ屯憔−
ばらつき許＃瀘の大ｌＩＭ１に胃大が町−とｔりだ。不
夷廁内によれば、本発明は肩＃Ｌ畝轟準付き弾性表１成
輌置の顧鑞歩留つ向上に多大の幼果を舊する。
＝ｃＬ２ｓｓＫＲ１１し１ｇ礪ｍｗはＰ／２ ＝ Ｌ６
ｆｉ’ａ ｋ中心−とした。この時、ｌｌＥ億幅ばらつ
き１−１４ｊｌｌＮＩＫ対し”Ｃ’ｄｊＡ 止’ｌ 域
＠Ｉｆ ＯＫ ｍ ハ＋ ａ２ｊ＃ｚ （Ｉｆ／１ ＝
１２土１０８−）以下で６９、従来技術に比べ屯憔−
ばらつき許＃瀘の大ｌＩＭ１に胃大が町−とｔりだ。不
夷廁内によれば、本発明は肩＃Ｌ畝轟準付き弾性表１成
輌置の顧鑞歩留つ向上に多大の幼果を舊する。
上紀夷趨ガでは、圧ｌｌ１ｃ注着板としてＬＥＴα０１
率ｄｏｔ’ＦＢいたが磁気−砿績曾係威に２が１優以下
の＃科、伺ば水晶尋で一上紀大１ガと同者の幼果を得る
ことが出来る。
率ｄｏｔ’ＦＢいたが磁気−砿績曾係威に２が１優以下
の＃科、伺ば水晶尋で一上紀大１ガと同者の幼果を得る
ことが出来る。
上−〇ごとく本発明によれば、菫Ａストリップ反射−の
域礁輸に対する製造ばらつき軒谷櫨を大＠に増大するこ
とが出来る。これより、本亀−は瀘属ストリ ラグ反射
−を有する弾性禰司藏輌纜の真速歩留りな大−に向上す
ることが出来１本ｇＩｊ＆蝋のＩｌ＆造コストの大−低
酸に多大の効果をＭすることは明白で６る。
域礁輸に対する製造ばらつき軒谷櫨を大＠に増大するこ
とが出来る。これより、本亀−は瀘属ストリ ラグ反射
−を有する弾性禰司藏輌纜の真速歩留りな大−に向上す
ることが出来１本ｇＩｊ＆蝋のＩｌ＆造コストの大−低
酸に多大の効果をＭすることは明白で６る。
４１１！１ （ｇ）は一般的な＊禰ストリッグ反射湯を
舊する弾性ｊｌ庸ａｍ直を模式的に示す斜視図、Ｊｌ
１ ｍ （ｊ）は４１４１％Ｉ（ｇ）４Ｄｊ−Ａ−にθ
う斬−−１４２図は薦１−の弾性表面波輌瀘の膚波畝４
＃性図、１Ｉｈ５−は鴫−−１と域−ピラチルｏ比Ｐ１
ｗ Ｏ酸化に対する電値ピッチＰの倍数２ｐで虞４１と
した蝋櫨属厚うりＰと中心周波畝ｆ・で填楊 （ｂ）
１＆ニジた耐圧帯域１１！１０／ｊ、 Ｃ）−膳を示す
−で６る。 １・−圧電性基＠ ２・・・入力くし杉−一６・
・・出力くし形１ｍ ４・・・貧禰ストリ ツブ反射錫 ５・・・鑞礪指 代場人弁場士 薄 １）鳥、！ 狛１ 刀
舊する弾性ｊｌ庸ａｍ直を模式的に示す斜視図、Ｊｌ
１ ｍ （ｊ）は４１４１％Ｉ（ｇ）４Ｄｊ−Ａ−にθ
う斬−−１４２図は薦１−の弾性表面波輌瀘の膚波畝４
＃性図、１Ｉｈ５−は鴫−−１と域−ピラチルｏ比Ｐ１
ｗ Ｏ酸化に対する電値ピッチＰの倍数２ｐで虞４１と
した蝋櫨属厚うりＰと中心周波畝ｆ・で填楊 （ｂ）
１＆ニジた耐圧帯域１１！１０／ｊ、 Ｃ）−膳を示す
−で６る。 １・−圧電性基＠ ２・・・入力くし杉−一６・
・・出力くし形１ｍ ４・・・貧禰ストリ ツブ反射錫 ５・・・鑞礪指 代場人弁場士 薄 １）鳥、！ 狛１ 刀
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 グレーティング−造の＊−ストリシグ反射６を圧罐性基
碩上に形成した弾性表面波輌直において、金属ストリッ
グ反射−のＩＥ価ピッチＩの倍ａ２ｐで填格した′４−
編厚構厚砺虞厚ｙｄとした時、ｄ／２ｐで表わされる。 ）の−がαυ０７〜α０２１の１１ｉ−円であることｖ
ｔ籍倣とする弾性減面＃Ｌ輌直。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2600582A JPS58143621A (ja) | 1982-02-22 | 1982-02-22 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2600582A JPS58143621A (ja) | 1982-02-22 | 1982-02-22 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58143621A true JPS58143621A (ja) | 1983-08-26 |
Family
ID=12181575
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2600582A Pending JPS58143621A (ja) | 1982-02-22 | 1982-02-22 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58143621A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5506552A (en) * | 1993-11-05 | 1996-04-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Surface acoustic wave filter with multiple ground terminals |
-
1982
- 1982-02-22 JP JP2600582A patent/JPS58143621A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5506552A (en) * | 1993-11-05 | 1996-04-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Surface acoustic wave filter with multiple ground terminals |
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