JPS58136460A - 薄膜感熱記録ヘツド - Google Patents
薄膜感熱記録ヘツドInfo
- Publication number
- JPS58136460A JPS58136460A JP57017424A JP1742482A JPS58136460A JP S58136460 A JPS58136460 A JP S58136460A JP 57017424 A JP57017424 A JP 57017424A JP 1742482 A JP1742482 A JP 1742482A JP S58136460 A JPS58136460 A JP S58136460A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- resistor
- thin film
- heat generating
- recording head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N97/00—Electric solid-state thin-film or thick-film devices, not otherwise provided for
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Electronic Switches (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は薄膜感熱記録ヘッドに関する。
従来の薄膜感熱記録ヘッドは、第１図に図示の如く、グ
レーズ層付セラミック基板等の基板１上にアンダコート
層２を介してスパッタ法や真空蒸着法等により抵抗体層
３を形成し、更に尚該抵抗体層３上に通常Ａｌより成る
配線電極層４を形成した後に、第２図に図示の如くエツ
チングにより局部的にＡｌ配線電極層４を除去し、抵抗
体層３を謔出させ、次いで当該抵抗体層３及びＡｌ配線
電極層４上に第３図に図示の如く、耐腐食性及び耐摩耗
性を有する保護層５を形成していた。上記の如くエツチ
ングによりＡｌ配線電極層４を局部的に除去する結果、
その上に形成する保護層５の表面には第５図に図示の様
な凸凹６．７を生じ、両端のＡｌ配線電極層４上の保護
層５部分特に白部分６の肩が紙との摩耗により、平坦で
ある場合に比して約２０俤大きな摩耗減量を示す０この
ために保護層（耐摩耗層）５の厚さを全面が平坦な場合
に比して約２０チ厚くする必要があり、その結果、表面
温度の低下による濃度損失が生じ、それを補償するため
に高電力を抵抗体層３に掛ける必要が生じ、結果として
記録ヘッドの寿命の低下を招いていた０ 本発明の目的は、従来の薄膜感熱記録ヘッドが、Ａｌ
等の金属配線電極層４と抵抗体層３との間に段差が有る
ために、保一層５にも段差を生じ、記録ヘッドの摩耗が
大きいという欠点をなくシ、耐摩耗性に優れた薄膜感熱
ヘッドを提供することにある。
レーズ層付セラミック基板等の基板１上にアンダコート
層２を介してスパッタ法や真空蒸着法等により抵抗体層
３を形成し、更に尚該抵抗体層３上に通常Ａｌより成る
配線電極層４を形成した後に、第２図に図示の如くエツ
チングにより局部的にＡｌ配線電極層４を除去し、抵抗
体層３を謔出させ、次いで当該抵抗体層３及びＡｌ配線
電極層４上に第３図に図示の如く、耐腐食性及び耐摩耗
性を有する保護層５を形成していた。上記の如くエツチ
ングによりＡｌ配線電極層４を局部的に除去する結果、
その上に形成する保護層５の表面には第５図に図示の様
な凸凹６．７を生じ、両端のＡｌ配線電極層４上の保護
層５部分特に白部分６の肩が紙との摩耗により、平坦で
ある場合に比して約２０俤大きな摩耗減量を示す０この
ために保護層（耐摩耗層）５の厚さを全面が平坦な場合
に比して約２０チ厚くする必要があり、その結果、表面
温度の低下による濃度損失が生じ、それを補償するため
に高電力を抵抗体層３に掛ける必要が生じ、結果として
記録ヘッドの寿命の低下を招いていた０ 本発明の目的は、従来の薄膜感熱記録ヘッドが、Ａｌ
等の金属配線電極層４と抵抗体層３との間に段差が有る
ために、保一層５にも段差を生じ、記録ヘッドの摩耗が
大きいという欠点をなくシ、耐摩耗性に優れた薄膜感熱
ヘッドを提供することにある。
本発明は薄膜感熱ヘッドに於ける抵抗体層上の金属配線
電極層を局部的に酸化して保護層の一部と成し、当該発
熱部の上面を当該発熱部を除いた前記金属配線電極層の
上面と略平坦と成し又はわずかに凸状と成した構造を有
することを特徴とする薄膜感熱記録ヘッドに係り、従来
の第６図に図示の如く抵抗体層５上のＡｌ配線電極層４
をエツチングで除去するという事ではなく、アルマイト
処理等の方法により局部的に酸化してその部分を発熱部
として使用することにより当該発熱部をも加えた発熱抵
抗体がＡｌ配線電極層と比して平坦又はわずかに凸状と
成した薄膜感熱記録ヘッドを提供するものである。
電極層を局部的に酸化して保護層の一部と成し、当該発
熱部の上面を当該発熱部を除いた前記金属配線電極層の
上面と略平坦と成し又はわずかに凸状と成した構造を有
することを特徴とする薄膜感熱記録ヘッドに係り、従来
の第６図に図示の如く抵抗体層５上のＡｌ配線電極層４
をエツチングで除去するという事ではなく、アルマイト
処理等の方法により局部的に酸化してその部分を発熱部
として使用することにより当該発熱部をも加えた発熱抵
抗体がＡｌ配線電極層と比して平坦又はわずかに凸状と
成した薄膜感熱記録ヘッドを提供するものである。
次に、本発明を、実施例を示す第４図乃至第６図に基づ
いて説明する。
いて説明する。
第４図に図示の如く、基板例えばグレーズ層を持つセラ
ミック基板１上にアンダーコート層２を介してＴａ−８
ｉ系、Ｃｒ−８ｉ系等の薄膜抵抗体層３及びＡｌ配線電
極層を真空蒸着法又はスパッタ法により第１図と同様に
して形成する０この後通常のホットエツチング工程ある
いは後述の陽極酸化法等により８本／Ｉ１１ 等に個
々の抵抗体を分離させるために、Ａ６配線及び抵抗体を
除去する。次にホトレジストを使用し抵抗体としたい長
さ、例えば２５０μｍ部分のみの１１面を露光させ他の
部分に徨いをし、その後蓚酸等の酸性溶液の中で陽極酸
化させる事等によ抄、アルミニウムをアルミナとしその
部分を第５図及び第６図に図示の如＜ ｌ？ａＯｓ絶縁
膜層３０とする。
ミック基板１上にアンダーコート層２を介してＴａ−８
ｉ系、Ｃｒ−８ｉ系等の薄膜抵抗体層３及びＡｌ配線電
極層を真空蒸着法又はスパッタ法により第１図と同様に
して形成する０この後通常のホットエツチング工程ある
いは後述の陽極酸化法等により８本／Ｉ１１ 等に個
々の抵抗体を分離させるために、Ａ６配線及び抵抗体を
除去する。次にホトレジストを使用し抵抗体としたい長
さ、例えば２５０μｍ部分のみの１１面を露光させ他の
部分に徨いをし、その後蓚酸等の酸性溶液の中で陽極酸
化させる事等によ抄、アルミニウムをアルミナとしその
部分を第５図及び第６図に図示の如＜ ｌ？ａＯｓ絶縁
膜層３０とする。
当該局部的に酸化され九ＡｈＯｓ絶縁膜層３０を発熱部
と成し、当該発熱部も発熱抵抗体の一部となす。其の後
、発熱部３０及びＡｌ配線電極層４上に５ｉ０２ｅ Ｔ
ａ２’ｓ ＋ ５ＩＳＮ４等の耐腐食性、耐摩耗性の保
護層５をスパッタ及びプラズマＣｖＤ法により堆積させ
る。このようなプロセスヲ経て表面の発熱抵抗体部が凹
でない薄膜感熱記録ヘッドを製作することが出来る。
と成し、当該発熱部も発熱抵抗体の一部となす。其の後
、発熱部３０及びＡｌ配線電極層４上に５ｉ０２ｅ Ｔ
ａ２’ｓ ＋ ５ＩＳＮ４等の耐腐食性、耐摩耗性の保
護層５をスパッタ及びプラズマＣｖＤ法により堆積させ
る。このようなプロセスヲ経て表面の発熱抵抗体部が凹
でない薄膜感熱記録ヘッドを製作することが出来る。
本発明に於いては、保護層５表面は発熱部３０上に於い
てもＡｌ配線電極層４上と略平坦な面を成し、従来のヘ
ッドの様に凹部を形成せず逆に第６図に図示の如くわず
かに凸となる。
てもＡｌ配線電極層４上と略平坦な面を成し、従来のヘ
ッドの様に凹部を形成せず逆に第６図に図示の如くわず
かに凸となる。
即ち、発熱抵抗体として使われる部分上に於いてもＡｌ
配線電極層４はエツチングにより除去される事なく残さ
れ、後にアルミナ化（酸化）される事により、非導体化
され、よって電流を発熱抵抗体のみへ流す。又当該部分
及びＡＩ配線電極層上に耐腐食性及び耐摩耗性の保護層
を形成するが、保護層の下地に凹部がない為保護層表面
にも凹部が生じる事なく逆に陽極酸化によりわずかに凸
状となり、それ故、紙が平面で摩耗するので、抵抗体上
全面が均一に摩耗され耐摩耗性が改善される。
配線電極層４はエツチングにより除去される事なく残さ
れ、後にアルミナ化（酸化）される事により、非導体化
され、よって電流を発熱抵抗体のみへ流す。又当該部分
及びＡＩ配線電極層上に耐腐食性及び耐摩耗性の保護層
を形成するが、保護層の下地に凹部がない為保護層表面
にも凹部が生じる事なく逆に陽極酸化によりわずかに凸
状となり、それ故、紙が平面で摩耗するので、抵抗体上
全面が均一に摩耗され耐摩耗性が改善される。
この本発明の保護層表面が平坦な薄膜記録ヘッドによれ
ば、従来のＡｌ配線電極部分が凸であるものに比べて約
２０俤の摩耗量の低減が可能である。
ば、従来のＡｌ配線電極部分が凸であるものに比べて約
２０俤の摩耗量の低減が可能である。
従って全体の保護層を２０％薄くする事が可能となり、
保護層中での温度降下の低減、その結果抵抗体発熱温度
の低下、延いては長寿命化、そして直接的には保護層材
料の低減が可能となる０
保護層中での温度降下の低減、その結果抵抗体発熱温度
の低下、延いては長寿命化、そして直接的には保護層材
料の低減が可能となる０
第１図乃至第３図は従来の薄膜感熱記録ヘッドの製造工
程に沿った断面図、第４図乃至第６図は本発明の薄膜感
熱記録ヘッドの製造工程に沿った断面図である。 ３・・・抵抗体層 ４・・・金属配線電極層 ３０・・・発熱・部 代理人弁理士 薄 １）利 ｆ 糖Ｉ Ｖ 糖２１￥］ ′ｐＪｉ口
程に沿った断面図、第４図乃至第６図は本発明の薄膜感
熱記録ヘッドの製造工程に沿った断面図である。 ３・・・抵抗体層 ４・・・金属配線電極層 ３０・・・発熱・部 代理人弁理士 薄 １）利 ｆ 糖Ｉ Ｖ 糖２１￥］ ′ｐＪｉ口
Claims (1)
- 薄膜感熱ヘッドに於ける抵抗体層上の金属配線電極層を
局部的に酸化して発熱部と成し、当該発熱部の上面又は
発熱部及び配線電極間を当該発熱部を除いた前記金属配
線電極層の上面と略平坦と成し又はわずかに凸状と成し
た構造を有することを特徴とする薄膜感熱記録ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57017424A JPS58136460A (ja) | 1982-02-08 | 1982-02-08 | 薄膜感熱記録ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57017424A JPS58136460A (ja) | 1982-02-08 | 1982-02-08 | 薄膜感熱記録ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58136460A true JPS58136460A (ja) | 1983-08-13 |
Family
ID=11943627
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57017424A Pending JPS58136460A (ja) | 1982-02-08 | 1982-02-08 | 薄膜感熱記録ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58136460A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04134803U (ja) * | 1991-06-06 | 1992-12-15 | アルプス電気株式会社 | チツプ抵抗器 |
-
1982
- 1982-02-08 JP JP57017424A patent/JPS58136460A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04134803U (ja) * | 1991-06-06 | 1992-12-15 | アルプス電気株式会社 | チツプ抵抗器 |
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