JPS58133373A - 自動反転装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は自動反転装置１％に蒸着装置などで。

容器外部から、ワークを反転できる装置に関するもので
ある。

蒸着装置などのように、容器が真空引きされえり、ガス
置換されるものにおいては、容器外からワークを自動的
に反転できると、ワークに対する処理はワークを反転す
るだけで済み、反転させるごとに真空引きやガス置換を
行う必要がないため非常に処理作業が簡単になると同時
に処理時間が短縮でき、また、ワークに対しては同じ条
件で処理を細し得て、加工精度の均一化が図れる。

しかし、現在のところでは確実で簡単な自動反転装置は
見尚らない。

それゆえ１本発明の目的は容器外からワークを簡単な機
構で確実に反転できる自動反転装置ｆ：提供することに
ある。

上記目的を達成する本発明の特徴とするところは１弾性
部材によって一定方向に回転されている１転軸にワーク
を保持させ１弾性部材を弾性変形させ死時に回転軸を反
対方向に反転させてワークを反転させる仁とにある。

以下、ｇ面に示す実施例に基づいて本発明を説―する。

嬉ｉｌｌは本発明を適用し九プラネタリ式真空蒸着装置
を示している。

ｌは基台でその上にベルジャ２が載置され、ベルジャ２
の上部にモータ３によって回転する駆動軸４があり、２
本のアーム５が駆動軸より伸びてｉる。アーム５には支
持軸６が可回転的に取付けられており、支持軸６にはプ
ラネタリ７が固定され、プラネタリ７の外縁端は一台１
上のレール８に接している。プラネタリ７には複数の本
発明になる自動反転装置９が設けられている。支持軸６
と同軸的に押し軸１０が設けられ、押し軸１０には押し
盤１１が固定されている。押し軸１０は支持軸６とロッ
クできるようになっている。ベルジャ２の側部にはシリ
ンダ１２と真空ベローズ１３が設けられており、真空ベ
ローズ１３は矢印で示例えば半導体ウェハ１４が各々設
けられている。

各ワーク１４に対しては基台ｌ上の蒸着源１５から蒸着
させるべき金属粒子などが飛昇するようになっている。

＃Ｉ２図はプラネタＩＪ　７　ｔ−蒸着源１５側から見
え平面図で、プラネタリ７に複数個の自動反転装置９が
設けられ、各自動反転装置９に各々ワーク１４が設けら
れている状態を示している。

次に自動反転装置９について第３図によシ説明する。

第３図において、１５は支持部材で、これはプラネタリ
７に固定されている。支持部材１５の先端には回転軸１
６が可回転的に取付けられ１回転軸１６にワーク１４を
固定する保持部材１７が固定されている。回転軸１６は
ぜんまいばね１８の内端と結合され、ぜんまいはね１８
の外端は摺動部材１９の一端と結合されている。摺動部
材１９の他端と支持部材１５の間に圧縮ばね２ｏが設け
られている。

嬉４図、！Ｉ５図は＃１３図に示した自動反転装置９を
側方と下方からみた断面図および平面図であろう 放置状態では、圧縮ばね２ｏがぜんまいばね１８に打勝
って、第３図の点線あるいは嬉４図に示すように、ぜん
まいばね２０を伸張させ、それによってワーク１４は蒸
着＠１５に対して一定０面を見せている。

次に自動反転機構を蒸着装置における逃場に合わせて説
明する。

嬉１図の左側のグラネタリフはワーク１４をセットした
状態で、右側のプラネタリ７はワーク１４ｔ−反転して
いる状ｌｌＩを示している。

す表わち１両プラネタリ７は蒸着処理中は左側のプラネ
タリ７の状態にあって１．モータ３が動作すると駆動軸
４．アーム５によってプラネタリ７をレール８に沿って
蒸着源１５に対面させつつ回転させる。プラネタリ７が
レール８に沿って所定の回転をして、各ワーク１４の一
面に均一に蒸着膜が形成され友ら、シリンダ１２を操作
して、ワ−り１４を反転させる。

すなわち、第１図の右側のプラネタリ７で示すように、
真空ベローズ１３と押し軸１０が対向する位置までプラ
ネタリ７を移動させ、シリンダ１２により、真空ベロー
ズ１３を伸張させ、押し軸１（ｌ真空ベローズ１３で蒸
着源側に向って押圧する。すると押し盤１１も蒸着源側
に向って移動する。押し盤１１は各自動反転装置９の摺
動部材１９を第３図に実線で示すように、移動させる。

摺動部材１９が移動すると、圧縮ばね２０によって伸張
されていたぜんまいばね１８は本来の状態に戻ろうとし
てまきこみ動作を起し１回転軸１６を回転させる。従っ
て１回転軸１６の回転につれて保持部材１７も回転して
、ワーク１４は点線の位置から図示する位置まで揺動回
転する。更にこの動作を進行させると１、ワーク１４は
反対面を蒸着１ｆ１５に対して見せるようになる。

この状態で、押し軸１０を支持軸６と自動的にロックさ
せれば、真空ベローズ１３を収縮させても、各ワーク１
４は反対面を蒸着源１５に見せた状態に維持きれる。

次に、ワーク１４の反転の終っていないプラネタリ７を
回転させて真空ベローズ１３のところへ移動させ、上記
の反転動作を行う。

必要なプラネタリ７におけるワーク１４０反転が完了し
えら、再びプラネタリ７をレール８に沿って回転させ、
各ワーク１４に均一な蒸着膜を形成する。

蒸着処理が終ったら、ベルジャｚ内の真空を解き、ワー
ク１４を保持部材１７から外す。

この時に、１ｌＰＬ軸１０と回転軸６のロックを手―で
外せば、各プラネタリ７における自動反転装置９はリセ
ットされる。

以上述べえように１本発明においてワーク１４をベルジ
ャ言外から反転させることが可能である。

従って、ベルジャ２内の雰囲気を反転の前後にをいて変
更する必要はなく、Ｓ着条件が変動しないので、均一な
蒸着膜が形成できる。

また、自動反転装置は簡単な構成である丸め。

反転作業は確実に行われ、故障を起すことも殆どない。

そして１反転作業は短時間で行える。

上記実施例では放置状態ではぜんまいばね１８が伸張さ
れているが、逆に、ばね２０として引張りばねを用い、
ぜんまいはね１８を尚初において回転軸１６に巻込ませ
ておいて、ワーク１４を反転させたい時にはベルジャ２
外から、引張ばねを引伸し摺動部材１９を第３図の点線
で示すように引き上げて、ぜんまいばね１８を復元させ
るようになっていてもよい。

を九、保持部材１７には１個のワーク１番を設けて、そ
の両面に蒸着１［ｔ−設けたが、ワーク１４の片面のみ
に蒸着膜を設けたい場合には、２個のワーク１４を１個
の保持部材１７に背中合せに設け１反転によって所定の
片面ずつに蒸着膜を形成するように利用してもよい。

更に、本発明は蒸着装置だけに適用できるものでなく、
各種の装置に適用できろう

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の適用例を示す真空蒸着装置の概略断面
図、第２図は第１図のプラネタリを蒸着す自動反転装置
を側方および蒸着源側からみた断Ｅｌｉ図訃よび平面図
である。 １４・・・ワーク、１Ｂ・・・支持部材、１６・・・回
転軸。 １７・・・保持部材、１８・・・ぜんまいばね、１９・
・・摺鵠１図 躬２０ 躬３Ｉ２１ ／−〜・、

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、容器内に支持部材が設けられ、この支持部材に反転
   処理されるべきワークを保持する保持部材とこの保持部
   材が取付けられた回転軸が設けられ。 回転軸と支持部材の間には弾性部材が設けられ、鍍弾性
   部材の放置状態においては一定の方向に回転せられてワ
   ークはある一面を所定の方向に向けており、容器外から
   弾性部材を弾性変形した状態では回転軸が反対方向に回
   転されてワークの他面が所定の方向に回転されることを
   特徴とする自動反転装置。 ２　上記特許請求の範囲第１項において、回転軸にはぜ
   んまいばねの内端が固定され、外端は摺動部材の一端に
   固定され、摺動部、材の他端と支持部材の間に圧縮ばね
   が設けられて、圧縮ばねはぜんまいばねを伸張させて回
   転軸は一定の方向に回転せられ、圧縮ばねを圧縮すると
   、ぜんまいはねの伸張がゆるめられて、回転軸が反対方
   向に回転されることを特徴とする自動反転装置。