JPS58130546A - 炭化珪素質基板およびその製造方法 - Google Patents

炭化珪素質基板およびその製造方法

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JPS58130546A
JPS58130546A JP56209991A JP20999181A JPS58130546A JP S58130546 A JPS58130546 A JP S58130546A JP 56209991 A JP56209991 A JP 56209991A JP 20999181 A JP20999181 A JP 20999181A JP S58130546 A JPS58130546 A JP S58130546A
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Akira Enomoto
亮 榎本
Hidetoshi Yamauchi
山内　英俊
Shoji Tanigawa
庄司 谷川
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Ibiden Co Ltd
Ibigawa Electric Industry Co Ltd
Original Assignee
Ibiden Co Ltd
Ibigawa Electric Industry Co Ltd
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