JPS58130270A - 連続真空浸炭炉とその操業方法 - Google Patents

連続真空浸炭炉とその操業方法

Info

Publication number
JPS58130270A
JPS58130270A JP1121782A JP1121782A JPS58130270A JP S58130270 A JPS58130270 A JP S58130270A JP 1121782 A JP1121782 A JP 1121782A JP 1121782 A JP1121782 A JP 1121782A JP S58130270 A JPS58130270 A JP S58130270A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vacuum
carburizing
heating chamber
heating
temperature
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP1121782A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0248618B2 (ja
Inventor
Michio Sugiyama
杉山 道生
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to JP1121782A priority Critical patent/JPS58130270A/ja
Publication of JPS58130270A publication Critical patent/JPS58130270A/ja
Publication of JPH0248618B2 publication Critical patent/JPH0248618B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C8/00Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C8/06Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
    • C23C8/08Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases only one element being applied
    • C23C8/20Carburising
    • C23C8/22Carburising of ferrous surfaces

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は連続真空浸炭炉、とくに第1加熱室、第2加
熱室および冷却室からなる8室と、これらの3室を区画
する2つの中間真空扉からなる3室2扉タイプの連続真
空浸炭炉とその操業方法に関する。
真空炉中で被熱物を加熱後炭化水素ガスをこの炉に導入
して浸炭し、ついで拡散させた後急冷(焼入れ)して浸
炭部を硬化させる真空浸炭法は、従来のガス浸炭法にく
らべて高温で処理することができるため、浸炭時間が短
縮され、被熱物の表面炭素濃度や浸炭深さの制御は浸炭
および拡散時間の調整によって行うことが可能であり、
従来のガス浸炭法と異なり浸炭性ガス雰囲気中に酸素が
なく表面異常層が発生しないという特徴があるため急速
に普及してきた。
・このような真空浸炭処理には従来第1図に示すような
2室1扉タイプの半連続真空浸炭炉が実用されている。
この炉は発熱体IAと断熱材IBとからなる加熱室1と
、この加熱室1を内設した真空炉体4と、内部に冷却剤
7を収納し、蓋体9の装着で気密化できる冷却室6とが
連設され、前記加熱室1の発熱体LAに接続する加熱電
力源E、真空炉体4に接続する真空排気源Vおよび浸炭
性ガス源Cと、装入扉2、中間真空扉5、搬出扉10、
被熱物Mの移送手段3、蓋体9に接続する真空排気源V
、加圧ガス源Gで構成されている。
この半連続真空浸炭炉の操業方法は第1表に示すように
、所定温度へ昇温させた高温の加ρ)室1へ空気を導入
して大気圧状態とした後、装入扉2を開放して前記移送
手段8により冷態の第1被熱物M1を装入し、直ちに装
入扉2を閉鎖する(第1工程)。つぎに第1被熱物M1
を所定の浸度温度に真空加熱後、浸炭性ガス源Cから供
給された浸炭性ガスの雰囲気中で所定時間浸炭処理する
つぎに浸炭性ガスの供給を止めて再び真空になし、前記
所定温度か、またはそれよりもやや高温に真空加熱して
第1被熱物M1へ侵入した炭素の真空拡散処理後、所定
の焼入れ温度へ降温させ、所定時間この焼入れ温度に保
持する。その間に冷却室6を真空排気する(第2工程)
。つぎに中間真空扉5を開放して前記移送手段3により
高温の被熱物Mlを冷却室6内の昇降台8へ移送し、直
ちに中間真空扉5を開鎖する(第3工程)。つきに前記
加圧ガス源Gから非酸化性ガスを噴入して冷却室6を加
圧状態になしつつ、前記昇降台8を降下させて第1被熱
物Mlを所定温度の冷却剤(油)7中へ浸漬させて急冷
(焼入れ)処理するとともに、高温の加熱室1へ空気を
導入して大気圧状態とした後、装入扉2を開放して冷態
の第2被熱物M2を装入し、直ちに装入扉2を閉鎖する
(第4工程)。つぎに第2被熱物M2を第1被熱物Ml
と同様に真空加熱して浸炭処理、拡散処理および焼入れ
温度への降温等を行う。その間に前記昇降台8に載置中
の冷態の被熱物Mlを所定位置へ上昇させると同時に冷
却室6を大気圧状態にもどした後、搬出扉10を開放し
て被熱物M1を炉外へ搬出し、搬出扉10を閉鎖して直
ちに冷却室6を真空排気する(第5工程)。以下、定常
状態では第3.4.5工程が所定時間毎に繰返えされる
。なお、通常冷却剤7はファンFにより攪拌されている
たとえば、浸炭深さが約1.2ffに達するように10
40°Cで真空浸炭した場合、第2図に示すように、各
被熱物Mは加熱室1内に約155分、冷却室6内に約5
分滞留する。これにより1回分の被熱物tφ(約400
 kg )は約160分毎に搬出(真空浸炭)されるた
め、単位時間あたりの処理能力が低い(約150kg/
h)という欠点がある。
この発明は、このような欠点を解消できる3室2扉タイ
プの連続真空浸炭炉とその操業方法を提供することが目
的である。
この発明の要旨とするところは、(1)炉の前後に形成
した装入口および搬出口にそれぞれ装入扉と搬出扉を設
け、炉の前部、中央部および後部をそれぞれ第1加熱室
、第2加熱室および冷却室となし、これらの各室に被熱
物の移送手段を配設し、かつ第1加熱室と第2加熱室と
は第1中間真空扉で区画し、第2加熱室と冷却室とは第
2中間真空扉で区画し、さらに第1加熱室は加熱電力鯨
、真空排気源および浸炭性ガス源に接続させ、高温環境
の大気圧状態ならびに真空圧状態において化学的、強度
的に安定な発熱体および断熱材で構成し、第2加熱室は
加熱電力源および真空排気源に接続させ、高温環境の真
空圧状態において化学的、強度的に安定な発熱体および
断熱材で構成し、冷却室に被熱物の冷却手段を配設し、
復圧ガス源および真空排気源に接続させて構成した連続
貞′γ浸炭焼、および(2)冷態の被熱物を高温大気圧
状態の第1加熱室へ装入後、所定の浸炭温度に真空加熱
し、つぎに浸炭性ガス雰囲気中で被熱物を浸炭処理した
後、再び真空になし、つぎに真空浸炭処理した高温の被
熱物を高温真空圧状態の第2加熱室へ移送して被熱物を
拡散処理した後、所定の焼入れ温度を保持させ、つぎに
焼入れ温度に保持されている高温の被熱物を真空圧状態
の冷却室へ移送して冷却手段により急冷後、大気圧状態
にした冷却室から真空浸炭焼入れした被熱物を炉外へ搬
出させる工程を連続的に行う連続真空浸炭炉の操業方法
である。
以下、この発明の連続真空浸炭炉の構成例を第3図によ
り説明する。第1加熱室11および第2加熱室16はそ
れぞれ高温強度が大で高温真空状態でも熱亀裂が生じな
く蒸発もせず、高温状態で直接空気に触れても酸化燃焼
しない抵抗発熱体、たとえば再結晶処理を施した炭化ケ
イ素質発熱体、表面にアルミナ溶射被膜層を形成させた
炭化ケイ素質発熱体、最高加熱温度が1,000°C以
下、真空圧0.2ト一ル程度ならばNi−Cr系合金発
熱体またはFe−Cr系合金発熱体など、化学的、強度
的に安定な発熱体11A・16Aと、熱伝導率が小さく
、高温状態で繰返し真空、大気に触れても化学的、強度
的に安定な耐火材、たとえば高純度セラミックファイバ
からなる断熱材11. B・16Bで構成する。
つぎに、真空排気源■および浸炭性ガス源0に接続させ
た真空炉体14内に前記第1加熱室11を定置するとと
もに、前記発熱体11Aとそれの加熱電力源Eとを接続
させ、また真空炉体14の前端側に形成した装入口14
Aには装入扉12を、後端側に形成した移送口14Bに
は第1中間真空扉15をそれぞれ配設する。
前記真空容器14に対して気密的に連設され、かつ真空
排気源■に接続させた真空炉体17内に前記第2加熱室
16を定置するとともに、前記発熱体16Aとそれの加
熱電力源Eとを接続させ、また真空炉体17の移送口1
7Aには第2中rr11真空ji118を配設する。
前記真空炉体17には冷却剤21を収納した冷却室20
が連設され、その上部に神復圧ガス源Gおよび真空排気
源■に接続させた蓋体23を気密的に装着する。この冷
却室20に形成した搬出口2OAには搬出扉22を配設
する。また前記冷却室20の側壁部には前記冷却剤21
中に浸漬させたファンFが装着されている。
つぎに被熱物Mの移送手段として、前記真空炉体14内
にはコンベヤ18A・18U・18Dが、前記第1加熱
室11内にはコンベヤ18Bが配設されている。前記真
空炉体17内にはコンベヤ18Fが、前記第2加熱室1
6内にはコンベヤ13Eが配設されている。前記冷却室
20内にはコンベヤ13G−13Hが配設され、これら
のコンベヤ13GとIIHとの間に上昇または降下可能
な昇降台19が配設され、被熱物Mは冷却手段としての
冷却剤21へ昇降可能である。
なお、この連続真空浸炭炉には図示しないが、各加熱室
の温度および圧力制御機器、被熱物Mの移送制御機器、
装入扉12、第1・第2中間真空扉15・18、搬出扉
22の開閉制御機器などが付設されている。
つぎに、この発明の連続真空浸炭炉の操業方法を説明す
る。
この連続真空浸炭炉では第2表に示すように、所定温度
へ昇温させた高温の第1加熱室11−\空気を導入して
大気圧状態とした後、装入扉12を開放して、前記移送
手段13により冷態の第1被熱物Mlを装入し、直ちに
装入扉12を閉鎖する(第1工程)。つぎに第1被熱物
M1を所定の浸炭温度に真空加熱後、浸炭性ガス源Cか
ら供給された浸炭性ガスの雰囲気中で所定時間浸炭処理
する。その後浸炭性ガスの供給を止めて再び真空にする
。その間に所定温度へ昇温させた第2加熱室16を真空
排気する(第2工程)。つぎに第1中間真空扉15を開
放して真空浸炭処理した高温の第1被熱物Mlを前記移
送手段13により第2加熱室16へ移送し、直ちに第1
中間真空扉15を閉鎖する(第8工程)。つぎに第1被
熱物Mlを前記浸炭温度と同じか、それよりもやや高温
に真空加熱して、前記浸炭処理により第1被熱物M1へ
侵入した炭素の拡散処理を行い、その後所定の焼入れ温
度へ降温させて所定時間保持する。その間に高温の第1
加熱室11へ空気を導入して前記浸炭処理時に供給した
浸炭深ガスによって生成し、前記発熱体11、断熱材1
1Bへ付着した煤(八 炭素微粒子)を焼除して大気圧状態にもどし、装入扉1
2を開放して冷態の第2被熱物M2を装入し、直ちに装
入扉12を閉鎖する。一方冷却室20を真空排気する(
第4工程)。つぎに第1加熱室11では第2被熱物M1
を第1被熱物Mlと同様の真空加熱、浸炭処理を行う。
−力筒2中間真空扉18を開放して前記移送手段13に
より高温の第1被熱物M1を第2加熱室16から冷却室
20の昇降台19へ移送し、直ちに第2中間真空扉18
を閉鎖する(第5工程)。つぎに冷却室2゜を復圧させ
るために復圧ガス源Gから非酸化性ガスを噴入させて所
定の低序状態になしつつ、前記昇降台19を前記冷却剤
(油)21中へ降下させて高温の第1被熱物M1を急冷
(焼入れ)処理後、昇降台19を所定位置へ上昇させる
。−力筒1中間真空扉15を開放して第2被熱物M2を
第1加熱室11から真空状態の第2加熱室16へ移送し
、直ちに第1中間真空扉15を閉鎖する(第6エ程)。
つぎに第2加熱室16では第2被熱物M2を第1被熱物
M1と同様に拡散処理、焼入れ温度へ降温、保持等を行
い、さらに冷却室20が大気圧状態にもどれば前記復圧
ガスの供給停止と同時に、搬出扉22を開放して第1被
熱物M1を炉外へ搬出し、搬出扉22を閉鎖すると同時
に冷却室20を真空圧状態にする。一方高温の第1加熱
室11へ空気を導入して前記同様の煤焼除をfrい、大
気圧状態にもどれば装入扉12を開放して冷態の第8被
熱物M3を装入し、直ちに装入扉12を閉鎖する(第7
エ程)。以下、定常状態では前記第5・6・7エ程が所
定時間毎に繰返えされる。なお、通常冷却剤はファンF
により攪拌されている。
たとえば、浸炭深さが約1.2 ffに達するように1
040℃で真空浸炭した場合、第4図に示すように、各
被熱物Mは第1加熱室11内に約75分、第2加熱内に
約75分、冷却室19内に約5分滞留する。これにより
各被熱物の真空浸炭処理時間は約155分であるが、第
2表に示すとおり定常状態では第1加熱室11、第2加
熱室16、冷却室19内にはそれぞれ被熱物Mが滞留す
る(第7エ程参照)。これにより1回分の被熱物M(約
4 o Okq )は約75分毎に真空浸炭処理されて
搬出されるため、単位時間あたりの処理能力が約320
に9に増大するという特徴がある。
したがって、この発明の連続真空浸炭炉の操業工程は従
来の半連続真空浸炭炉のそれと同様に3工程であるが、
前記のとおり1.2順浸炭の場合のサイクルタイムは約
75分(従来炉は約160分)に短縮できたため、真空
浸炭処理費は約1/2に低減させることができた。また
1040°C真空浸炭においてさらに浸炭深さを増大さ
せる場合は、第3表に示すように第1加熱室、第2加熱
室内における被熱物の滞留時間を長くするが、第1加熱
室における浸炭時間よりも第2加熱室における拡散時間
の延長割合が大きくなる。このため第3図に示すように
第1加熱室よりも第2加熱室を長くして、滞留被熱物数
を増加させることができるから、サイクルタイムはいず
れも従来の半連続真空浸炭炉の場合にくらべて著しく短
縮できることがわかる。
また、この発明の連続真空浸炭炉の操業方法において、
先行被熱物の真空浸炭処理により第1加・ 熱室内の発熱体および断熱材に付着した煤を空気導入に
よって焼除して炉外へ放出した後、後続の被熱物を装入
するため、加熱室の温度制御が容易であり、断熱材の断
熱効果が損われず、また第1加熱室と第2加熱室は独立
に温度、雰囲気調整可能であるという特徴を具備してい
る。
【図面の簡単な説明】
第1〜2図は従来の半連続真空浸炭炉とその操業例を示
す図で、第1図は半連続真空浸炭i1の構造を示す概要
図、第2図はこの炉による被ρ(物の経時温度曲線図、
第8〜4図はこの発明のへ連続真空浸炭炉とその操業例
を示す図で、第3〆1は(連続真空浸炭炉の構造を示す
概要図、第4図はこの炉l・でよる被熱物の経時温度曲
線図である。 11・・・第1加熱室、IIA・・・発熱体、11゛B
・・・断熱材、12・・・装入扉、13・・・移送手段
、14A・・・装入口、15・・・第1中間真空扉、1
6・・・第2加熱室、16 A・・・発熱体、16B・
・・断熱材、18・・・第2中間真空扉、20・・・冷
却室、2OA・・・搬出口、21・・・冷却剤、22・
・・搬出扉、C・・・浸炭性ガス源、E・・・加熱電力
源、G・・・復圧ガス源、M・・・被熱物、■・・・真
空排気源。 特  許  出  願  人 杉  山  道  生

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)炉の前後に形成した装入口および搬出口にそれぞ
    れ装入扉および搬出扉を設け、炉の前部、中央部および
    後部をそれぞれ第1加熱室、第2加熱室および冷却室と
    なし、これらの各室に被熱物の移送手段を配設し、かつ
    第1加熱室と第2加熱室とは第1中間真空扉で区画し、
    第2加熱室と冷却室とは第2中間真空扉で区画し、さら
    に第1加熱室は加熱電力源、真空排気源および浸炭性ガ
    ス源に接続させ、高温環境の大気圧状態ならびに真空圧
    状態において化学的、強度的に安定な発熱体および断熱
    材で構成し、第2加熱室は加熱電力源および真空排気源
    に接続させ、高温環境の真空圧状態において化学的、強
    度的に安定な発熱体および断熱材で構成し、冷却室に被
    熱物の冷却手段を配設し、復圧ガス源および真空排気源
    に接続させて構成したことを特徴とする連続真空浸炭炉
  2. (2)冷態の被熱物を高温大気圧状態の第1加熱室へ装
    入後、所定の浸炭温度に真空加熱し、つぎに浸炭性ガス
    雰囲気中で被熱物を浸炭処理した後、再び真空になし、
    つぎに真空浸炭処理した高温の被熱物を高温真空圧状態
    の第2加熱室へ移送して、被熱物を拡散処理した後、所
    定の焼入れ温度を保持させ、つぎに焼入れ温度に保持さ
    れている高温の被熱物を真空圧状態の冷却室へ移送して
    冷却手段により急冷後、大気圧状態にした冷却室から真
    空浸炭焼入れした被熱物を炉外へ搬出させる工程を連続
    的に行なうことを特徴とする連続真空浸炭炉の操業方法
JP1121782A 1982-01-27 1982-01-27 連続真空浸炭炉とその操業方法 Granted JPS58130270A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1121782A JPS58130270A (ja) 1982-01-27 1982-01-27 連続真空浸炭炉とその操業方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1121782A JPS58130270A (ja) 1982-01-27 1982-01-27 連続真空浸炭炉とその操業方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS58130270A true JPS58130270A (ja) 1983-08-03
JPH0248618B2 JPH0248618B2 (ja) 1990-10-25

Family

ID=11771796

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1121782A Granted JPS58130270A (ja) 1982-01-27 1982-01-27 連続真空浸炭炉とその操業方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS58130270A (ja)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0147845A2 (en) * 1983-12-27 1985-07-10 Chugai Ro Co., Ltd. Method af gas carburizing and herdening and continuous furnace therefor
EP0829554A1 (de) * 1996-09-16 1998-03-18 ALD AICHELIN GesmbH. Niederdruck-Aufkohlungsanlage mit mehreren hintereinander angeordneten Kammern
JP2001220659A (ja) * 2000-02-07 2001-08-14 Chugai Ro Co Ltd 間欠駆動式真空浸炭炉
EP1642995A1 (en) * 2003-07-04 2006-04-05 Nachi-Fujikoshi Corp. Method of continuous vacuum carburization of metal wire, metal band or metal pipe and apparatus therefor
JP2008178245A (ja) * 2007-01-19 2008-07-31 Denshi Kogaku Center:Kk 瞬停発生装置
JP2009046700A (ja) * 2007-08-14 2009-03-05 Dowa Thermotech Kk 熱処理方法及び熱処理設備
WO2015163155A1 (ja) * 2014-04-24 2015-10-29 株式会社Ihi 熱処理装置

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5683416B2 (ja) * 2011-08-31 2015-03-11 株式会社Ihi 真空加熱炉の絶縁抵抗改善方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5431976A (en) * 1977-08-13 1979-03-09 Norichika Tanaka Multiistage vertical incinerator
JPS568915A (en) * 1979-07-03 1981-01-29 Victor Co Of Japan Ltd Nonlinear distortion reducing circuit of digital filter

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5431976A (en) * 1977-08-13 1979-03-09 Norichika Tanaka Multiistage vertical incinerator
JPS568915A (en) * 1979-07-03 1981-01-29 Victor Co Of Japan Ltd Nonlinear distortion reducing circuit of digital filter

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0147845A2 (en) * 1983-12-27 1985-07-10 Chugai Ro Co., Ltd. Method af gas carburizing and herdening and continuous furnace therefor
EP0829554A1 (de) * 1996-09-16 1998-03-18 ALD AICHELIN GesmbH. Niederdruck-Aufkohlungsanlage mit mehreren hintereinander angeordneten Kammern
JP2001220659A (ja) * 2000-02-07 2001-08-14 Chugai Ro Co Ltd 間欠駆動式真空浸炭炉
JP4537522B2 (ja) * 2000-02-07 2010-09-01 中外炉工業株式会社 間欠駆動式真空浸炭炉
EP1642995A1 (en) * 2003-07-04 2006-04-05 Nachi-Fujikoshi Corp. Method of continuous vacuum carburization of metal wire, metal band or metal pipe and apparatus therefor
EP1642995A4 (en) * 2003-07-04 2008-12-24 Nachi Fujikoshi Corp METHOD FOR CONTINUOUS VACUUM CARBURATION OF METAL CABLE, METAL STRIP, OR METAL PIPE, AND ASSOCIATED APPARATUS
JP2008178245A (ja) * 2007-01-19 2008-07-31 Denshi Kogaku Center:Kk 瞬停発生装置
JP2009046700A (ja) * 2007-08-14 2009-03-05 Dowa Thermotech Kk 熱処理方法及び熱処理設備
WO2015163155A1 (ja) * 2014-04-24 2015-10-29 株式会社Ihi 熱処理装置
CN106104187A (zh) * 2014-04-24 2016-11-09 株式会社Ihi 热处理装置
JPWO2015163155A1 (ja) * 2014-04-24 2017-04-13 株式会社Ihi 熱処理装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0248618B2 (ja) 1990-10-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6116910B2 (ja)
JPH08285462A (ja) 真空下で金属加工物を熱処理する装置
JPH03193864A (ja) 窒化炉装置
JPS624465B2 (ja)
JPS58130270A (ja) 連続真空浸炭炉とその操業方法
JPH0141684B2 (ja)
JPS63148088A (ja) 連続式真空熱処理炉
JP5428032B2 (ja) 浸炭処理方法
JP3211356B2 (ja) インライン式プラズマcvd装置
JP2009091638A (ja) 熱処理方法及び熱処理装置
JPH09111309A (ja) 連続式焼結炉
JPS60190511A (ja) 金属熱処理設備
JP2003183724A (ja) 熱処理炉
JPH0452214A (ja) 真空熱処理炉
JP3537049B2 (ja) 連続真空浸炭方法およびその装置
JP2001004282A (ja) 真空加熱装置
JPS6328853A (ja) バツチ式浸炭方法
JP3547700B2 (ja) 連続真空浸炭炉
JP2954728B2 (ja) 窒化装置
JP2833051B2 (ja) 真空熱処理方法
JPS63100124A (ja) 熱処理装置
JP2555868B2 (ja) 真空熱処理方法
JP2871111B2 (ja) 真空炉における冷却方法
JP3412218B2 (ja) 雰囲気熱処理方法
JPH0514025B2 (ja)