JPS58130139A - 付着性の良好な反射防止膜 - Google Patents
付着性の良好な反射防止膜Info
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- JPS58130139A JPS58130139A JP1124682A JP1124682A JPS58130139A JP S58130139 A JPS58130139 A JP S58130139A JP 1124682 A JP1124682 A JP 1124682A JP 1124682 A JP1124682 A JP 1124682A JP S58130139 A JPS58130139 A JP S58130139A
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- JP
- Japan
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- antireflection film
- layer
- refractive index
- glass substrate
- adhesive strength
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
- C03C17/3429—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating
- C03C17/3447—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating comprising a halide
- C03C17/3452—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating comprising a halide comprising a fluoride
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、ＢよＯ，−０ａＯ系ガラス基板上く形成され
た反射防止膜に関する。
た反射防止膜に関する。
光学ガラス基板例えばメガネレンズ、カメラレンズの反
射率を低下させるために１表面に反射防止膜を形成させ
ることはよく知られている。
射率を低下させるために１表面に反射防止膜を形成させ
ることはよく知られている。
ところで、高屈岬率低分数で軽量な光学ガラスとして最
近開発されたＢ、Ｏ□−０ａＯ系ガラス、褥Ｋ
Ｂ、０． １１〜５３重量％Ｏａ０
２５ 〜４５ ＴｉＯよ＋Ｎｂ、０． ８〜１９ ただし Ｔｉｅ、 ０〜１５Ｎｔ）、
０． ０〜１９ ８１０、 ０〜３６ Ｙ□０１ ０〜１１ ８ｒＯ＋ＢａＯ＋Ｚｎ０ ０ 〜 ７Ｚｒ
０． ０〜１１ Ｌｉ、Ｏ＋Ｎａ、Ｏ＋に、ＯＯ〜４ Ｍｇ０ Ｏ〜 １０ ｐｂｏ ｏ 〜 ４ム１，０．
０〜 ４ Ｌａ、０，０〜１５ Ｔａ、Ｏ，Ｏ〜１ ９ Ｗ０１ ０〜１１ なる組成のガラスは、他の光学ガラスに比べれば比較的
ヤケを生じ易い傾向があり、そのためかどうか正確な原
因は不明であるが、前記ガラスを製造してしばらく、例
えば１週間以上放置した後に反射防止膜を形成させると
、反射防と膜のガラスに対する付着性が悪くなり、不良
品の発生が比較的大きいという欠点があった。
近開発されたＢ、Ｏ□−０ａＯ系ガラス、褥Ｋ
Ｂ、０． １１〜５３重量％Ｏａ０
２５ 〜４５ ＴｉＯよ＋Ｎｂ、０． ８〜１９ ただし Ｔｉｅ、 ０〜１５Ｎｔ）、
０． ０〜１９ ８１０、 ０〜３６ Ｙ□０１ ０〜１１ ８ｒＯ＋ＢａＯ＋Ｚｎ０ ０ 〜 ７Ｚｒ
０． ０〜１１ Ｌｉ、Ｏ＋Ｎａ、Ｏ＋に、ＯＯ〜４ Ｍｇ０ Ｏ〜 １０ ｐｂｏ ｏ 〜 ４ム１，０．
０〜 ４ Ｌａ、０，０〜１５ Ｔａ、Ｏ，Ｏ〜１ ９ Ｗ０１ ０〜１１ なる組成のガラスは、他の光学ガラスに比べれば比較的
ヤケを生じ易い傾向があり、そのためかどうか正確な原
因は不明であるが、前記ガラスを製造してしばらく、例
えば１週間以上放置した後に反射防止膜を形成させると
、反射防と膜のガラスに対する付着性が悪くなり、不良
品の発生が比較的大きいという欠点があった。
他方、眼鏡レンズに使用する場合には特に高い付着強度
を有する反射防止膜が求められている。
を有する反射防止膜が求められている。
従って、本発明の目的は前記ガラス基板上に形成させた
反射防止膜の付着性を向上させることにある。
反射防止膜の付着性を向上させることにある。
本発明者は鋭意研究の結果、前記ガラスと反射防止膜と
の間に酸化アルミニウム１１を介在させると、反射防止
膜の付着強度がｆＬ＜向上することを見い出し、本発明
を成すに至った。
の間に酸化アルミニウム１１を介在させると、反射防止
膜の付着強度がｆＬ＜向上することを見い出し、本発明
を成すに至った。
即ち本発明は、Ｂ２０．−〇ａＯ系ガラス特に前記組成
のガラス（これは、屈折率ｎ４：１．６８〜１．７１、
アツベ＠ 〒ａ ： ４１．６〜４６．５、比重：２．
８８〜＆１Ｂを有する）ψ 基板上に、酸化アルミニウム曖を介して形成された反射
防止膜を提供する。
のガラス（これは、屈折率ｎ４：１．６８〜１．７１、
アツベ＠ 〒ａ ： ４１．６〜４６．５、比重：２．
８８〜＆１Ｂを有する）ψ 基板上に、酸化アルミニウム曖を介して形成された反射
防止膜を提供する。
本発明に於いて、酸化アルミニウム層の厚さは通常１０
０〜２０，０００人で十分であり、好ましくは２００〜
５［＋００Ａである。
０〜２０，０００人で十分であり、好ましくは２００〜
５［＋００Ａである。
この場合、酸化アルミニウムーは１００人より薄いと効
果が少なく、逆に２へ０００Ａより厚いと層中にクラッ
クを生ずるといった他の不都合が生じる。また、本発明
では酸化アルミニウム層は多層反射防止膜の最内層（基
板に接する１−）を兼用して（・でもよく、この場合に
は厚さは１の整数倍である。
果が少なく、逆に２へ０００Ａより厚いと層中にクラッ
クを生ずるといった他の不都合が生じる。また、本発明
では酸化アルミニウム層は多層反射防止膜の最内層（基
板に接する１−）を兼用して（・でもよく、この場合に
は厚さは１の整数倍である。
酸化アルミニウム層は、通常の薄膜形成技術例えば真空
蒸着、イオンブレーティング、スノくツタリング、ＯＶ
Ｄ等により容易に形成される。
蒸着、イオンブレーティング、スノくツタリング、ＯＶ
Ｄ等により容易に形成される。
反射防止膜それ自身はよく知られており、比較的高い屈
折率を有するガラス用として例えば１〜ｓｌ構造のもの
がある。代表的な多層構造の反射防止膜は次のとおりで
ある。
折率を有するガラス用として例えば１〜ｓｌ構造のもの
がある。代表的な多層構造の反射防止膜は次のとおりで
ある。
ここで高、低、中屈折率物質の高、低、中とは相対的な
意味でｂるが、具体的には 高ＩＢｌ折’ｉｌ物質トＬ テＴｈｏ□、ＴＩＬｚ０５
、ＺｒＯ，、ＨｆＯ。
意味でｂるが、具体的には 高ＩＢｌ折’ｉｌ物質トＬ テＴｈｏ□、ＴＩＬｚ０５
、ＺｒＯ，、ＨｆＯ。
低屈折率物質として 日１０１１０１Ｉ１゜中Ｍｉ折率
ａｌｔｎ質トＬ テｓｉｏ、Ｏｅ？、 、 ＬａＦＪ、
Ｙ！Ｏ。
ａｌｔｎ質トＬ テｓｉｏ、Ｏｅ？、 、 ＬａＦＪ、
Ｙ！Ｏ。
などが知られている。
次いで、図面を引用して実施例によＩ）本発明をより具
体的に説明する。
体的に説明する。
実施例１
ここではガラス基板（Ｓ）として
Ｂ、Ｏ□ ４α２２重量％
ＯａＯ２７，２０
Ｔｉｅ、 ａ Ｏ５
ＳｉＯ□ ６．４２
Ｔａ、０． １ ＆ １５
からなる組成のガラス（ｎ４ １．７０３５）を使用Ｌ
町： 。
町： 。
第１図（イ）に示すように、ガラス基板（Ｓ）の上Ｋ・
酸化アルオニウム（Ａｌ□ｏ、 ）−−−−一厚さ ２
００ＡＯ高屈折率物質として 酸化ジ＃ コニウＡ （ＺｒＯ，）−−−−一厚さ１３
００ＡＯ低屈折率物質として フッ化マグネシウム（ＭｇＦ、 ）−−−一厚さ ９０
０八を順次真空蒸着した。
酸化アルオニウム（Ａｌ□ｏ、 ）−−−−一厚さ ２
００ＡＯ高屈折率物質として 酸化ジ＃ コニウＡ （ＺｒＯ，）−−−−一厚さ１３
００ＡＯ低屈折率物質として フッ化マグネシウム（ＭｇＦ、 ）−−−一厚さ ９０
０八を順次真空蒸着した。
この例は先にあげた２４反射防止膜を使用したもので、
反射防止膜とガラス基板との間に酸化アルミニウム層を
設けている。
反射防止膜とガラス基板との間に酸化アルミニウム層を
設けている。
こうして得られた本発明の反射防止膜は酸化アルミニウ
ムＩ−のないものに比べてガラス基板（Ｆｔ）に対する
付着力が向上しており、分光反射率特性は＠１図（ロ）
に示した通りである。
ムＩ−のないものに比べてガラス基板（Ｆｔ）に対する
付着力が向上しており、分光反射率特性は＠１図（ロ）
に示した通りである。
実施例２
ここではガラス基板（Ｓ）として
Ｂ、０． ４４．０２重量％
ＯａＯ３４゜５０
Ｔｉｅ２１４．０５
Ｓ”’ｚ ＆ ６３
ＳｒＯα８０
の組成を有するガラス（ｎ４ １．７００６）を使用し
た。
た。
第２図（イ）に示すようにガラス基板（Ｓ）の上に厚さ
Ａ／４＝８００ＡのＡ１□０８層を蒸着した後、低屈折
率物質としてＭｇｙ、（Ａ）及び高屈折率物質としてＺ
ｒＯ，（Ｂ）を順次交互に４００人／１００人／７０〇
八／２００、ｊ／３００人／１２００Ａ／９００への厚
さに蒸着した。
Ａ／４＝８００ＡのＡ１□０８層を蒸着した後、低屈折
率物質としてＭｇｙ、（Ａ）及び高屈折率物質としてＺ
ｒＯ，（Ｂ）を順次交互に４００人／１００人／７０〇
八／２００、ｊ／３００人／１２００Ａ／９００への厚
さに蒸着した。
こうして得られた８層反射防止膜の分光反射率特性を第
２図（ロ）に示す。
２図（ロ）に示す。
本発明によれば、前記組成のガラス基板に対する反射防
止膜の付着強度が向上し、そのため不良品の発生が減少
するほか、眼鏡レンズ用として好適なものが提供される
。
止膜の付着強度が向上し、そのため不良品の発生が減少
するほか、眼鏡レンズ用として好適なものが提供される
。
第１図（（イ）は本発明の実施例１にかかわる反射防と
膜の断面構造を説明する図で図（ロ）は、その分光反射
特性を示す図である。 第２図（イ）は本発明の実施例２にかかわる反射防止膜
の断面構造を説明する図で１図（ロ）はその分光反射特
性を示す図である。 〔主要部分の符号の説明〕 ５−−−−−−−ガラス基板 Ａ−−−−−一低屈折率物質１− Ｂ−−−−−一高屈折率物質層 Ｃ・−−−、Ａ１１０゜ 出願人 日本光学工業株式会社 代理人 渡 辺 隆 男 １３暮・）Ｖ（♂）
膜の断面構造を説明する図で図（ロ）は、その分光反射
特性を示す図である。 第２図（イ）は本発明の実施例２にかかわる反射防止膜
の断面構造を説明する図で１図（ロ）はその分光反射特
性を示す図である。 〔主要部分の符号の説明〕 ５−−−−−−−ガラス基板 Ａ−−−−−一低屈折率物質１− Ｂ−−−−−一高屈折率物質層 Ｃ・−−−、Ａ１１０゜ 出願人 日本光学工業株式会社 代理人 渡 辺 隆 男 １３暮・）Ｖ（♂）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ Ｂ、０ｌ−ＯａＯ系ガツガラス基板上酸化アルミ
ニウム層を介して又は酸化アルミニウムを自体の最内層
として形成したことを％微とする反射防止膜。 ２ 前記Ｂ、Ｏ，−Ｃｔａｏ系ガラスが、次の組成重量
ノ（−セントで Ｂ、０． １ １〜５５ ０ａＯ２５〜４３ ＴｉＯ，＋Ｎｔ）、０． ８〜１９ただし、
ＴｉＯ□ ０〜１５Ｎｂ、０．
０〜１９ ｓｉｏ、 ｏ〜３６ Ｙ、０． ０〜１１ ８ｒＯ＋ＢａＯ＋ＺｎＯＯ〜７ Ｚｒ０． ０〜１１ Ｌｉ Ｏ＋Ｎａ Ｏ＋Ｋ ＯＯ〜４Ｍｇ０
Ｏ〜 １０ ｐｂｏ ｏ 〜 ４ＡＩ、０．
０〜 ４ Ｌａ、ＯＪ Ｏ〜 １５ ＴａｌＯ＠ ０〜１ ９ ＷＯ８０〜 １１ を有するものであることを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載の反射防止膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1124682A JPS58130139A (ja) | 1982-01-27 | 1982-01-27 | 付着性の良好な反射防止膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1124682A JPS58130139A (ja) | 1982-01-27 | 1982-01-27 | 付着性の良好な反射防止膜 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58130139A true JPS58130139A (ja) | 1983-08-03 |
Family
ID=11772579
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1124682A Pending JPS58130139A (ja) | 1982-01-27 | 1982-01-27 | 付着性の良好な反射防止膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58130139A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03137036A (ja) * | 1989-10-12 | 1991-06-11 | Corning Fr Sa | 急速退色、高屈折率光互変性ガラス |
| EP1333298A2 (en) * | 2002-01-25 | 2003-08-06 | Alps Electric Co., Ltd. | Multilayer film optical filter, method of producing the same, and optical component using the same |
| US7563738B2 (en) * | 2004-11-09 | 2009-07-21 | Kabushiki Kaisha Ohara | Optical glass |
| CN103755137A (zh) * | 2014-01-24 | 2014-04-30 | 四川瑞天光学有限责任公司 | 一种高折射率、低分散的光学玻璃及其制备方法 |
| CN108424007A (zh) * | 2018-06-13 | 2018-08-21 | 宁波纳诺特新材料科技有限公司 | 一种光伏玻璃减反膜 |
-
1982
- 1982-01-27 JP JP1124682A patent/JPS58130139A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03137036A (ja) * | 1989-10-12 | 1991-06-11 | Corning Fr Sa | 急速退色、高屈折率光互変性ガラス |
| EP1333298A2 (en) * | 2002-01-25 | 2003-08-06 | Alps Electric Co., Ltd. | Multilayer film optical filter, method of producing the same, and optical component using the same |
| EP1333298A3 (en) * | 2002-01-25 | 2005-04-13 | Alps Electric Co., Ltd. | Multilayer film optical filter, method of producing the same, and optical component using the same |
| US7563738B2 (en) * | 2004-11-09 | 2009-07-21 | Kabushiki Kaisha Ohara | Optical glass |
| CN103755137A (zh) * | 2014-01-24 | 2014-04-30 | 四川瑞天光学有限责任公司 | 一种高折射率、低分散的光学玻璃及其制备方法 |
| CN108424007A (zh) * | 2018-06-13 | 2018-08-21 | 宁波纳诺特新材料科技有限公司 | 一种光伏玻璃减反膜 |
| CN108424007B (zh) * | 2018-06-13 | 2021-03-02 | 宁波纳诺特新材料科技有限公司 | 一种光伏玻璃减反膜 |
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