JPS58129228A - 熱流センサ−およびその製造方法 - Google Patents
熱流センサ−およびその製造方法Info
- Publication number
- JPS58129228A JPS58129228A JP1305082A JP1305082A JPS58129228A JP S58129228 A JPS58129228 A JP S58129228A JP 1305082 A JP1305082 A JP 1305082A JP 1305082 A JP1305082 A JP 1305082A JP S58129228 A JPS58129228 A JP S58129228A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thermopile
- sheet
- heat flow
- flow sensor
- thermocouples
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K17/00—Measuring quantity of heat
- G01K17/06—Measuring quantity of heat conveyed by flowing media, e.g. in heating systems e.g. the quantity of heat in a transporting medium, delivered to or consumed in an expenditure device
- G01K17/08—Measuring quantity of heat conveyed by flowing media, e.g. in heating systems e.g. the quantity of heat in a transporting medium, delivered to or consumed in an expenditure device based upon measurement of temperature difference or of a temperature
- G01K17/20—Measuring quantity of heat conveyed by flowing media, e.g. in heating systems e.g. the quantity of heat in a transporting medium, delivered to or consumed in an expenditure device based upon measurement of temperature difference or of a temperature across a radiating surface, combined with ascertainment of the heat transmission coefficient
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N25/00—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means
- G01N25/20—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating the development of heat, i.e. calorimetry, e.g. by measuring specific heat, by measuring thermal conductivity
- G01N25/48—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating the development of heat, i.e. calorimetry, e.g. by measuring specific heat, by measuring thermal conductivity on solution, sorption, or a chemical reaction not involving combustion or catalytic oxidation
- G01N25/4806—Details not adapted to a particular type of sample
- G01N25/4813—Details not adapted to a particular type of sample concerning the measuring means
- G01N25/482—Details not adapted to a particular type of sample concerning the measuring means concerning the temperature responsive elements
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、熱電堆および熱抵抗材から基本的に構成され
た熱流センサーおよびその製造方法に関する。
た熱流センサーおよびその製造方法に関する。
従来より、熱抵抗理論を応用した熱流センサーとして、
多数の熱電対を接続してなる熱電堆の細線を熱抵抗材に
巻き付けたり、熱抵抗材に穿設した孔に通したり、ある
いけ熱抵抗材の表裏面に真の温接点、冷接点をそれぞれ
分離配置させたもの、さらには片面に設けた凹欠部に熱
抵抗体を充填した２枚の薄葉金属板の間に、全感温部が
同一平面ＦＫ配列せしめられた熱電対群を設けてなるも
のなどが知られているが、いずれも製造能率上もしくけ
製造技術上の鑓点を有し、品質の不均一や高価格を招く
と共に概して熱電対の配置密度が低く、感度の向りが図
れないなどの問題があった。
多数の熱電対を接続してなる熱電堆の細線を熱抵抗材に
巻き付けたり、熱抵抗材に穿設した孔に通したり、ある
いけ熱抵抗材の表裏面に真の温接点、冷接点をそれぞれ
分離配置させたもの、さらには片面に設けた凹欠部に熱
抵抗体を充填した２枚の薄葉金属板の間に、全感温部が
同一平面ＦＫ配列せしめられた熱電対群を設けてなるも
のなどが知られているが、いずれも製造能率上もしくけ
製造技術上の鑓点を有し、品質の不均一や高価格を招く
と共に概して熱電対の配置密度が低く、感度の向りが図
れないなどの問題があった。
本発明に係る熱流センサーは、上記のような従来技術の
楚点を解消したものであり、熱電堆の温接点および冷接
点がそれぞれ山部もしくは谷部に分離配置されるように
凹凸状に設置した熱電堆シートおよびその熱電堆シート
の両面四部に配置した熱抵抗材からなることを特徴とし
ている。
楚点を解消したものであり、熱電堆の温接点および冷接
点がそれぞれ山部もしくは谷部に分離配置されるように
凹凸状に設置した熱電堆シートおよびその熱電堆シート
の両面四部に配置した熱抵抗材からなることを特徴とし
ている。
上記において、熱電堆とは複数の熱電対を接続したもの
を意味し、また熱電堆シートとは平面の絶縁シートに熱
電堆を配設したものを言い、本発明ではこれを凹凸状に
して石いる。上記熱電堆シートとしては、例えば絶縁層
の表面もしくけ内部に熱電堆を１層のみ配設してなるも
のや絶縁層を介して熱電堆を２層以上にわたって配設し
てなるものが含まれるが、前者の場合は例えば熱電堆を
絶縁シートの片面に真空蒸着、陰極スパッタリング、塗
布その他の方法で付着、形成させ、必要に応じてその上
に他の絶縁シートを被覆させて得ることができ、また後
者の場合は例えば絶縁シートの両面に前記のような方法
で熱電堆を付着、形成させたり、さらには前記のように
絶縁シートの片面もしくは両面に熱電堆を付着、形成さ
せたものを２枚以上、接着剤その他の接着手段を用いて
、必要に応じて別途絶縁層を介して重ね合せ、各層の熱
電堆を直列に連結して得ることができる。なお、絶縁層
を介して熱電堆を２層以上にわたって配設してなる熱電
堆シートを用いるときは、熱流通過面における熱電対の
配置密度を、熱電堆が１層の場合に比して２倍、３倍と
容易に増加できるので、熱流センサーとしての感度を著
しく高めることができる。
を意味し、また熱電堆シートとは平面の絶縁シートに熱
電堆を配設したものを言い、本発明ではこれを凹凸状に
して石いる。上記熱電堆シートとしては、例えば絶縁層
の表面もしくけ内部に熱電堆を１層のみ配設してなるも
のや絶縁層を介して熱電堆を２層以上にわたって配設し
てなるものが含まれるが、前者の場合は例えば熱電堆を
絶縁シートの片面に真空蒸着、陰極スパッタリング、塗
布その他の方法で付着、形成させ、必要に応じてその上
に他の絶縁シートを被覆させて得ることができ、また後
者の場合は例えば絶縁シートの両面に前記のような方法
で熱電堆を付着、形成させたり、さらには前記のように
絶縁シートの片面もしくは両面に熱電堆を付着、形成さ
せたものを２枚以上、接着剤その他の接着手段を用いて
、必要に応じて別途絶縁層を介して重ね合せ、各層の熱
電堆を直列に連結して得ることができる。なお、絶縁層
を介して熱電堆を２層以上にわたって配設してなる熱電
堆シートを用いるときは、熱流通過面における熱電対の
配置密度を、熱電堆が１層の場合に比して２倍、３倍と
容易に増加できるので、熱流センサーとしての感度を著
しく高めることができる。
上記のような熱電堆シートにおいて、絶縁シートへの熱
電堆の配列態様に特別の限定はないが、例えば熱電堆の
温接点群および冷接点群が交互に線状に配列した熱電堆
シートを用いれば、それら温接点群および冷接点群がそ
れぞれ山部もしくは谷部となるように波板状に凹凸成形
することができるので、熱流センサーの製造能率や経済
性の点で好ましい。なお、本発明における熱電堆シート
の凹凸状設置に際して、その凹凸の形状に特別の限定は
なく、例えば断面が規則的もしくは不規則的な正弦波、
矩形波、台形波、三角波状などを広く包含する。
電堆の配列態様に特別の限定はないが、例えば熱電堆の
温接点群および冷接点群が交互に線状に配列した熱電堆
シートを用いれば、それら温接点群および冷接点群がそ
れぞれ山部もしくは谷部となるように波板状に凹凸成形
することができるので、熱流センサーの製造能率や経済
性の点で好ましい。なお、本発明における熱電堆シート
の凹凸状設置に際して、その凹凸の形状に特別の限定は
なく、例えば断面が規則的もしくは不規則的な正弦波、
矩形波、台形波、三角波状などを広く包含する。
本発明に係る熱流センサーの製造に際して、熱電堆シー
トの凹凸成形工程と熱抵抗材の配置工程は、そのいずれ
ｐｌが先行しても差支えないが、製造能率上からはそれ
らが同時に行なわれることが好ましい０熱電堆シートと
熱抵抗材との結合は、接着剤、固化液などの使用、加熱
その他の接着手段を用いて行なえばよく、また熱電堆シ
ートの凹凸成形に際して加熱手段を採用してもよい。な
お、上記のように熱電堆シートと熱抵抗材との結合後、
必要に応じてその片面もしくは両面に保護用、その他の
目的のシート類を被覆させると七ができる。
トの凹凸成形工程と熱抵抗材の配置工程は、そのいずれ
ｐｌが先行しても差支えないが、製造能率上からはそれ
らが同時に行なわれることが好ましい０熱電堆シートと
熱抵抗材との結合は、接着剤、固化液などの使用、加熱
その他の接着手段を用いて行なえばよく、また熱電堆シ
ートの凹凸成形に際して加熱手段を採用してもよい。な
お、上記のように熱電堆シートと熱抵抗材との結合後、
必要に応じてその片面もしくは両面に保護用、その他の
目的のシート類を被覆させると七ができる。
本発明を図面に基いて説明すれば、第１図、第２図はい
ずれも本発明に使用しうる熱電堆シートの一例の平面図
であり、熱電堆シート（１）は、絶縁シート（２）上に
多数の熱電対を接続して構成された熱電堆（３）が端子
（４）、（５）間に真空蒸看法などを用いて配設されて
なり、そこでは、熱電堆（３）の多数の温接点（６）、
冷接点（７）が、熱電堆シート（１）面に平行に交互に
描いた仮想線（Ｋ） 、（Ｌ）上に交互に配列されるよ
うにしている。なお、上記のような熱電堆シ−［１）を
２枚以上重ね合せたものも本発明に使用しうることは既
述のとおりである。
ずれも本発明に使用しうる熱電堆シートの一例の平面図
であり、熱電堆シート（１）は、絶縁シート（２）上に
多数の熱電対を接続して構成された熱電堆（３）が端子
（４）、（５）間に真空蒸看法などを用いて配設されて
なり、そこでは、熱電堆（３）の多数の温接点（６）、
冷接点（７）が、熱電堆シート（１）面に平行に交互に
描いた仮想線（Ｋ） 、（Ｌ）上に交互に配列されるよ
うにしている。なお、上記のような熱電堆シ−［１）を
２枚以上重ね合せたものも本発明に使用しうることは既
述のとおりである。
第３図、第４図はいずれも本発明に係る熱流センサーの
実施例の拡大概要断面図であり、１層もしくは２層以ト
の熱電堆を配設してなる熱電堆シー ） （４ａ）は上
記仮想線（Ｋ）、（Ｌ）においてそれぞれ山部もしくは
谷部となるように波板状に成形されている。第３図に示
すものは、例えば熱電堆シート（１ａ）をその両面から
、熱電堆の温接点および冷接点がそれぞれ山部もしくは
谷部に分離配置されるように、相互に歯合しつる凹凸面
を有する一対の熱抵抗材（８）、（８）により、接着剤
その他の接着手段を用いて挟圧して一体成形することに
より製造することができる。この製造方法は、製造能率
の点で優れると共に熱電堆シートの微細な凹凸成形も可
能にし、熱流通過面における熱電対の配置密度を高めて
高感度の熱流センサーとすることができる。さらに、こ
の第３図に示すような構造の熱流センサーでは、熱流通
過面全体にわたって厚さ方向の熱抵抗を略均−にするこ
とができるので、熱流測定１時における表面の温度むら
を非常に少なくでき、精度の高いものが得られる。
実施例の拡大概要断面図であり、１層もしくは２層以ト
の熱電堆を配設してなる熱電堆シー ） （４ａ）は上
記仮想線（Ｋ）、（Ｌ）においてそれぞれ山部もしくは
谷部となるように波板状に成形されている。第３図に示
すものは、例えば熱電堆シート（１ａ）をその両面から
、熱電堆の温接点および冷接点がそれぞれ山部もしくは
谷部に分離配置されるように、相互に歯合しつる凹凸面
を有する一対の熱抵抗材（８）、（８）により、接着剤
その他の接着手段を用いて挟圧して一体成形することに
より製造することができる。この製造方法は、製造能率
の点で優れると共に熱電堆シートの微細な凹凸成形も可
能にし、熱流通過面における熱電対の配置密度を高めて
高感度の熱流センサーとすることができる。さらに、こ
の第３図に示すような構造の熱流センサーでは、熱流通
過面全体にわたって厚さ方向の熱抵抗を略均−にするこ
とができるので、熱流測定１時における表面の温度むら
を非常に少なくでき、精度の高いものが得られる。
また、第４図に示すものは、並列させた複数の熱抵抗材
（８）の各間隙に熱電堆シー） （ｌａ）を縫うように
交互に通して波板状に曲げ、もしくは逆に、波板状に曲
げた熱電堆シート（１ａ）の両面四部に熱抵抗材（８）
を並列に配置し、さらに固化液（９）を充填して一体化
させると共に両面に保護シー） （１０）、（ｌＯ）を
接着してなるものである。
（８）の各間隙に熱電堆シー） （ｌａ）を縫うように
交互に通して波板状に曲げ、もしくは逆に、波板状に曲
げた熱電堆シート（１ａ）の両面四部に熱抵抗材（８）
を並列に配置し、さらに固化液（９）を充填して一体化
させると共に両面に保護シー） （１０）、（ｌＯ）を
接着してなるものである。
以上詳述したように、本発明においては、比較的安価で
入手の容易な熱電堆シートを凹凸状にするのみで熱電堆
の温接点、冷接点を分離配置させることができるの、で
、製造能率の向上と共に量産化が可能となり、優れた熱
流センサーを比較的安価に市場に提供することができる
。また、熱電堆シートの採用により、曲面を呈する被熱
流測定部分にも適用しつるように熱流センサーに容易に
可撓性を付与することができ、また熱流通過面における
熱電対の配置密度を非常に高めることができるので、高
感度の熱流センサーを得ることができる。なお、このよ
うな熱流センサーを、相互に歯合しつる凹凸面を有する
一対の熱抵抗材による熱電堆シートの挟子、一体成形に
よって製造する場合は、製造能率をより高めつると共に
品質や性能の点でもより優れたものが得らｔｌることは
既述のとおりである。
入手の容易な熱電堆シートを凹凸状にするのみで熱電堆
の温接点、冷接点を分離配置させることができるの、で
、製造能率の向上と共に量産化が可能となり、優れた熱
流センサーを比較的安価に市場に提供することができる
。また、熱電堆シートの採用により、曲面を呈する被熱
流測定部分にも適用しつるように熱流センサーに容易に
可撓性を付与することができ、また熱流通過面における
熱電対の配置密度を非常に高めることができるので、高
感度の熱流センサーを得ることができる。なお、このよ
うな熱流センサーを、相互に歯合しつる凹凸面を有する
一対の熱抵抗材による熱電堆シートの挟子、一体成形に
よって製造する場合は、製造能率をより高めつると共に
品質や性能の点でもより優れたものが得らｔｌることは
既述のとおりである。
第１図、第２図は本発明に使用しうる熱電堆シートの一
例の平面図、第３図、第４図は本発明に係る熱流センサ
ーの実施例の拡大概要断面図である０ １、ＩＩＬ・・・熱電堆シート、 ２・・・絶縁シート
、３・・・熱電堆、４，５・・・端子、 ６・・・温接
点、 ７・・・冷接点、 ８・・・熱抵抗材、 ９・・
・固化液。 １ｏ・・・保護シート 以」 代理人 弁理士 安 藤 惇 逸
例の平面図、第３図、第４図は本発明に係る熱流センサ
ーの実施例の拡大概要断面図である０ １、ＩＩＬ・・・熱電堆シート、 ２・・・絶縁シート
、３・・・熱電堆、４，５・・・端子、 ６・・・温接
点、 ７・・・冷接点、 ８・・・熱抵抗材、 ９・・
・固化液。 １ｏ・・・保護シート 以」 代理人 弁理士 安 藤 惇 逸
Claims (8)
- （１）熱電堆および熱抵抗材から基本的に構成された熱
流センサーにおいて、熱電堆の温接点および冷接点がそ
れぞれ山部もしくは谷部に分離配置されるように凹凸状
に設置した熱電堆シートおよびその熱電堆シートの両面
四部に配置した熱抵抗材からなることを特徴とする熱流
センサー。 - （２） 熱電堆シートは、絶縁層の表面もしくは内部
に熱電堆を１層のみ配設してなる、特許請求の範囲第１
項記載の熱流センサー。 - （３） 熱電堆シートは、絶縁層を介して熱電堆を２
層以上にわたって配設してなる、特許請求の範囲第１項
記載の熱流センサー。 - （４） 熱電堆シートは波板状に設置されている、特
許請求の範囲第１項、第２項または第３項記載の熱流セ
ンサー。 - （５） 熱電堆シートをその両面から、熱電堆の温接
点および冷接点がそれぞれ山部もしくは谷部に分離配置
されるようにｑ相互に歯合しつる凹凸面を有する一対の
熱抵抗材により挟圧して一体成形することを特徴とする
熱流センサーの製造方法。 - （６） 熱電堆シートとして、絶縁層の表面もしくは
内部に熱電堆を１層のみ配設してなるものを用いる、特
許請求の範囲第５項記載の熱流センサーの製造方法。 - （７） 熱電堆シートとして、絶縁層を介して熱電堆
を２層以上にわたって配設してなるものを用いる、特許
請求の範囲第５項記載の熱流センサーの製造方法。 - （８）熱電堆シートは波板状に成形される、特許請求の
範囲第５項、第６項または第７項記載の熱流センサーの
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1305082A JPS58129228A (ja) | 1982-01-28 | 1982-01-28 | 熱流センサ−およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1305082A JPS58129228A (ja) | 1982-01-28 | 1982-01-28 | 熱流センサ−およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58129228A true JPS58129228A (ja) | 1983-08-02 |
Family
ID=11822291
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1305082A Pending JPS58129228A (ja) | 1982-01-28 | 1982-01-28 | 熱流センサ−およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58129228A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5772329A (en) * | 1994-02-22 | 1998-06-30 | Universite De Nantes | Process and device for transient measuring of surface temperatures and heat flux |
| US6079873A (en) * | 1997-10-20 | 2000-06-27 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of Commerce | Micron-scale differential scanning calorimeter on a chip |
| KR100791987B1 (ko) * | 2006-05-04 | 2008-01-04 | 연세대학교 산학협력단 | 분배 유로를 갖는 열센서와 그 제조방법 |
| US7588367B2 (en) * | 2005-04-25 | 2009-09-15 | Mettler-Toledo Ag | Thermoanalytical sensor |
-
1982
- 1982-01-28 JP JP1305082A patent/JPS58129228A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5772329A (en) * | 1994-02-22 | 1998-06-30 | Universite De Nantes | Process and device for transient measuring of surface temperatures and heat flux |
| US6079873A (en) * | 1997-10-20 | 2000-06-27 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of Commerce | Micron-scale differential scanning calorimeter on a chip |
| US7588367B2 (en) * | 2005-04-25 | 2009-09-15 | Mettler-Toledo Ag | Thermoanalytical sensor |
| KR100791987B1 (ko) * | 2006-05-04 | 2008-01-04 | 연세대학교 산학협력단 | 분배 유로를 갖는 열센서와 그 제조방법 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3619340A (en) | Multilayered thermal insulation material | |
| US4386128A (en) | Heat insulating laminate | |
| JP2004281666A (ja) | 熱電変換デバイス | |
| US4160969A (en) | Transducer and method of making | |
| JPS58129228A (ja) | 熱流センサ−およびその製造方法 | |
| JPWO2020051251A5 (ja) | ||
| WO2000077478A1 (fr) | Detecteur de vitesse d'ecoulement | |
| US4795498A (en) | Low cost thermocouple apparatus and methods for fabricating the same | |
| CN106706167B (zh) | 一种高灵敏度快速响应热流传感器 | |
| JPS60127770A (ja) | 熱発電素子 | |
| JP4043820B2 (ja) | 測温シート | |
| JPH06258149A (ja) | 薄膜型熱電対素子 | |
| CN211013312U (zh) | 无源无线声表面波高温热流传感器 | |
| JPS6010138A (ja) | 熱流束測定装置 | |
| CN209841755U (zh) | 一种基于陶瓷基片的微热板气敏阵列器件 | |
| TW201248128A (en) | Thermopile sensing element | |
| JP3836229B2 (ja) | 熱電堆型赤外線検知素子 | |
| JPH0760120B2 (ja) | 光パワーセンサ | |
| JPS6057681B2 (ja) | 温度検出素子 | |
| JP3058305B2 (ja) | サーミスタ及びその製造方法 | |
| JP2000146656A (ja) | フロ―センサおよびその製造方法 | |
| US7285750B2 (en) | Pressure-punch device for film welding | |
| JPH06260686A (ja) | 積層サーモパイル及びその製造方法 | |
| JPS6177727A (ja) | 熱電堆型赤外検出素子 | |
| JPS6346546B2 (ja) |