JPS58128733A - ステ−ジの直線ガイド機構 - Google Patents
ステ−ジの直線ガイド機構Info
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- JPS58128733A JPS58128733A JP57010002A JP1000282A JPS58128733A JP S58128733 A JPS58128733 A JP S58128733A JP 57010002 A JP57010002 A JP 57010002A JP 1000282 A JP1000282 A JP 1000282A JP S58128733 A JPS58128733 A JP S58128733A
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- JP
- Japan
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- stage
- connecting rods
- fixed base
- links
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- Pending
Links
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 11
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 claims 1
- 230000008775 paternal effect Effects 0.000 claims 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 abstract 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 241001629511 Litchi Species 0.000 description 1
- 241000270666 Testudines Species 0.000 description 1
- 206010044565 Tremor Diseases 0.000 description 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/028—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors along multiple or arbitrary translation directions, e.g. XYZ stages
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/04—Constructional details
Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、帰注文点奮用いた４対の平行リンクから＃Ｉ
成される＾精ｉｔのステージの社線ガイド慎檎に関する
。
成される＾精ｉｔのステージの社線ガイド慎檎に関する
。
ｘ＠７ライチやグロジェクシーンアライナなどのマスク
アライナ装置では、ウエノ）とマスクを超高稽願（サプ
ミクａン）に７ツイメントする８欽が生している。しか
しながら、従来技術＼ では＾精度の梢アライメントの可能なステージのガイド
＠榊が見当らない、す“なわちコロやナベ９面を用いた
ガイド機構ではステイノクスリーグや駆動が生ずると共
に、移動時にヨーイ／グ、ピッチングが生ずる欠点があ
った。
アライナ装置では、ウエノ）とマスクを超高稽願（サプ
ミクａン）に７ツイメントする８欽が生している。しか
しながら、従来技術＼ では＾精度の梢アライメントの可能なステージのガイド
＠榊が見当らない、す“なわちコロやナベ９面を用いた
ガイド機構ではステイノクスリーグや駆動が生ずると共
に、移動時にヨーイ／グ、ピッチングが生ずる欠点があ
った。
第１図は従来技術のガイド機構の一例を示すものである
。すなわち、ステージ１は４枚の板バネ２により支持さ
れ、ベース４に取着するボイスコイル１動［１１１＄５
により板バネ２を介して微動するようになっている。ボ
イスコイル駆動Ｉａ傳５を駆動すると板バネ２が弾性変
形をしてステージをガイドするが、この慟栴ではステ−
ジの中心を正確に押さないと各板バネ２に不均等の力が
加わり、４枚の敬バネ２が均一に変形しなくなるためス
テージにヨーイング等が生ずることになる。従って、正
確な位置決めが内−である欠点を有していた。
。すなわち、ステージ１は４枚の板バネ２により支持さ
れ、ベース４に取着するボイスコイル１動［１１１＄５
により板バネ２を介して微動するようになっている。ボ
イスコイル駆動Ｉａ傳５を駆動すると板バネ２が弾性変
形をしてステージをガイドするが、この慟栴ではステ−
ジの中心を正確に押さないと各板バネ２に不均等の力が
加わり、４枚の敬バネ２が均一に変形しなくなるためス
テージにヨーイング等が生ずることになる。従って、正
確な位置決めが内−である欠点を有していた。
本発明は、従来技術の欠点を解消すべく提案され次もの
で、その目的は１％精度の直線微動が可能であると共に
、＠簾、薄形のステージの厘巌ガイド慟構を提供するに
ある。
で、その目的は１％精度の直線微動が可能であると共に
、＠簾、薄形のステージの厘巌ガイド慟構を提供するに
ある。
本発明は、以上の目的を達成する次めに、四角平面状の
対辺を固定ベースとこれに直交する連接棒で被包し、前
記連接棒の両端位置近傍から前記固定ベースおよびステ
ージに弾性支点を介して連結する４対の平行リンクを設
置し、前記ステージを固定ペース間ｔ＊動手段によって
倣動するようＫしたステージの厘組ガイド機構を％値と
し次ものである。
対辺を固定ベースとこれに直交する連接棒で被包し、前
記連接棒の両端位置近傍から前記固定ベースおよびステ
ージに弾性支点を介して連結する４対の平行リンクを設
置し、前記ステージを固定ペース間ｔ＊動手段によって
倣動するようＫしたステージの厘組ガイド機構を％値と
し次ものである。
以下、本発明の実施例を図に基づいて政明する。
第２図において、ステージ１は薄板の四角平の対辺を挾
んで固定ベース６．７が対峙して配置されている。そし
てステージ１の他の対辺には連接−８が対峙して配置さ
れている０便って。
んで固定ベース６．７が対峙して配置されている。そし
てステージ１の他の対辺には連接−８が対峙して配置さ
れている０便って。
固定ベース７と連接棒８は直交して配置されている。連
接棒８の両端部近傍には一対の平行リンク２，５．２’
、５．４，５．４’、５’が形成され、リンク２．２’
、 ４．４’はステージ１の各隅角部と、リンク５．５
’、 ５．５’は一足べ一諷６と連結しているそして、
これ等の各リンクは弾性支点、９，１０゜９’、 １０
’、 １１．１２．１１’、 １２’、 Ｉｔ、 １４
．１５’、 ｉ４’、 １５．１６゜１５’、１（５’
を弁して連結している。ベース６（ベース７でもよいン
には微動手段である電歪素子１７が配設され、との電歪
素子１７の一端はステージ１に当接している。
接棒８の両端部近傍には一対の平行リンク２，５．２’
、５．４，５．４’、５’が形成され、リンク２．２’
、 ４．４’はステージ１の各隅角部と、リンク５．５
’、 ５．５’は一足べ一諷６と連結しているそして、
これ等の各リンクは弾性支点、９，１０゜９’、 １０
’、 １１．１２．１１’、 １２’、 Ｉｔ、 １４
．１５’、 ｉ４’、 １５．１６゜１５’、１（５’
を弁して連結している。ベース６（ベース７でもよいン
には微動手段である電歪素子１７が配設され、との電歪
素子１７の一端はステージ１に当接している。
亀３１に！ａ ｈ ８１１記栴成を有する山−ガイド機
構を原理図的に、表示したものである。すなわち、ステ
ージ１が静止位置にあるときは、りンク２，５等は相互
に半行状態になっている。今１ｗｃ４図に示すごと〈電
歪素子１７１に駆動すると、ステージ１は木矢イ方向に
押される。ステージ１が木矢イ方図に移動すると各りン
ク２，５はそれぞれ傾斜し、連接棒８紘ステージ１の移
動量の半分だけ木矢口方向に移動すると共に木矢ハ方向
に下式の−だけ移動する。
構を原理図的に、表示したものである。すなわち、ステ
ージ１が静止位置にあるときは、りンク２，５等は相互
に半行状態になっている。今１ｗｃ４図に示すごと〈電
歪素子１７１に駆動すると、ステージ１は木矢イ方向に
押される。ステージ１が木矢イ方図に移動すると各りン
ク２，５はそれぞれ傾斜し、連接棒８紘ステージ１の移
動量の半分だけ木矢口方向に移動すると共に木矢ハ方向
に下式の−だけ移動する。
δ＝（すｙりの長さ− （リンクの長さ）１−（連接環
８Ｃ嗜噛吐１）！すなわち、ステージ１は木矢イ方向の
みしか移動せず、かつ、スムースＫ１１ｌｌ＋すること
ができる。ステージ１が木矢二、ホ、へ、ト方向Ｋかり
に移動する場合には、連接棒８を曲げるかリンク２．５
等をｍ屈させるか、各支点部にガタが存在するかしなけ
ればならない、連接棒８およびリンク２．５等はステー
ジ１の微動に対し充分な強度を有しておシ、各支点は弾
性支点を形成しているため前記の凹け、座屈、ガタ等は
生じない、従って、ステージは木矢二、ホ、へ。
８Ｃ嗜噛吐１）！すなわち、ステージ１は木矢イ方向の
みしか移動せず、かつ、スムースＫ１１ｌｌ＋すること
ができる。ステージ１が木矢二、ホ、へ、ト方向Ｋかり
に移動する場合には、連接棒８を曲げるかリンク２．５
等をｍ屈させるか、各支点部にガタが存在するかしなけ
ればならない、連接棒８およびリンク２．５等はステー
ジ１の微動に対し充分な強度を有しておシ、各支点は弾
性支点を形成しているため前記の凹け、座屈、ガタ等は
生じない、従って、ステージは木矢二、ホ、へ。
ト方図に移動することはなく、ヨーイング、ピッチング
等の発生を完全に防止することができる。
等の発生を完全に防止することができる。
以上によｐ、ステージ１は木矢イ方図に高精［Ｋ微動で
きる。又、ステージ１．固定ベース６．７．連接棒８等
は薄板状に形成できるので、軽量、薄形の構造とするこ
とができる。
きる。又、ステージ１．固定ベース６．７．連接棒８等
は薄板状に形成できるので、軽量、薄形の構造とするこ
とができる。
以上の実施例では木矢イ方図の移動にりいて説明したが
、電歪素子１７とステージ１との保合状態を変えれは木
矢イ方向と逆方向に対しても同様に高Ｎ［の微動が可能
となる。
、電歪素子１７とステージ１との保合状態を変えれは木
矢イ方向と逆方向に対しても同様に高Ｎ［の微動が可能
となる。
第５図は前記構成を有する山−ガイド機構を相互Ｋｌ又
させて横１した９のである。これによって木矢イ方向の
みならず木矢イ′方図に対しても微動可能となる。この
場合、ステージ１とステージ１′との間は球１Ｂによっ
て支持されている。それぞれのステージ１．１′は木矢
イ方向、木矢イ′方回とレタする方向には前記したごと
く移動しない構造となっているため、相互干渉なくそれ
ぞれの方図に尚軸′匿に微動できる。
させて横１した９のである。これによって木矢イ方向の
みならず木矢イ′方図に対しても微動可能となる。この
場合、ステージ１とステージ１′との間は球１Ｂによっ
て支持されている。それぞれのステージ１．１′は木矢
イ方向、木矢イ′方回とレタする方向には前記したごと
く移動しない構造となっているため、相互干渉なくそれ
ぞれの方図に尚軸′匿に微動できる。
鉛６図、＃４７図は記５図の側聞をそれぞれ表示したも
のである。
のである。
一以上の説明に↓っＣ９３ら〃・のことく、本発明によ
れば、篩鞘厩のＩｊＬ緘倣動が口Ｊ舵となると共に、＠
量、薄形の効果を上けることができる。
れば、篩鞘厩のＩｊＬ緘倣動が口Ｊ舵となると共に、＠
量、薄形の効果を上けることができる。
第２図は本発８ＡＯ寮施例を示す平面図７、第５図およ
び第４図は実施的の原理管示す説明図、第５図は他の実
施的（２軸ガイド）を示す平面図。
び第４図は実施的の原理管示す説明図、第５図は他の実
施的（２軸ガイド）を示す平面図。
第６図はその＠面図、第７図は第５図のＡ−Ａ側１ｉｌ
ｉ断面図である。
ｉ断面図である。
１．１′・・・ステージ
２、５．２’ 、 ３’、 ４．５．４’、５’・・・
リンク６．７・・・固定ベース ８・・・遵Ｗｋ４
１ｉｌＩ９、１０．９’、 １０’、 １１．１２．１
１’、 １２’、 １３．１４．１５’、１４’。
リンク６．７・・・固定ベース ８・・・遵Ｗｋ４
１ｉｌＩ９、１０．９’、 １０’、 １１．１２．１
１’、 １２’、 １３．１４．１５’、１４’。
１５、１６．１５’、 １６’・・・弾性支点１７．１
７’・・・電歪素子 １８・・・球代理人弁理士
薄 １）４−串へ ・ ・ 、１θ１ 第 １１ Ｃα）（ｂ） 第２図 Ｙ６図 第７図 ＝１５７ ＄３図 茎４０
７’・・・電歪素子 １８・・・球代理人弁理士
薄 １）４−串へ ・ ・ 、１θ１ 第 １１ Ｃα）（ｂ） 第２図 Ｙ６図 第７図 ＝１５７ ＄３図 茎４０
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ｔ 四角平面状のステージを平面方向に１鯨ｗ、徽動さ
せるステージの直−ガイド機構において。 前記ステージの対辺ｔ−ｐんで対峙して配電される１定
ベースと、この同定ベースに厘父し、前記ステージの他
の対辺を挾んで対峙して配置される連接棒と、この連接
棒の両端位置近傍において、前記固定ベースおよびステ
ージのそれぞれにｌ１４Ｌ注支点を介して連結する４対
の平行リンクと、前記ステージを前記固定ベース間に微
動させるｇ、、１手段とを備えることを％黴とするステ
ージの直線ガイド機構。 ２、 ′ｆｃＪ配−足ベース、連級棒、平行リンクおよ
び微動手段を愉える一巌ガイドＩ！構を相互に１りさせ
て横１し、紬ｍ［−ステージを平面二直父方回に微動さ
せるようにした％軒＊Ｘの範１１１［ＩＸＪに１畝のス
テージＱ直巌ガイド憬構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57010002A JPS58128733A (ja) | 1982-01-27 | 1982-01-27 | ステ−ジの直線ガイド機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57010002A JPS58128733A (ja) | 1982-01-27 | 1982-01-27 | ステ−ジの直線ガイド機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58128733A true JPS58128733A (ja) | 1983-08-01 |
Family
ID=11738206
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57010002A Pending JPS58128733A (ja) | 1982-01-27 | 1982-01-27 | ステ−ジの直線ガイド機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58128733A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6277634U (ja) * | 1985-10-31 | 1987-05-18 | ||
| US4673261A (en) * | 1985-05-16 | 1987-06-16 | Alessi Industries, Inc. | Motion control apparatus for precise repeatable positioning |
-
1982
- 1982-01-27 JP JP57010002A patent/JPS58128733A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4673261A (en) * | 1985-05-16 | 1987-06-16 | Alessi Industries, Inc. | Motion control apparatus for precise repeatable positioning |
| JPS6277634U (ja) * | 1985-10-31 | 1987-05-18 | ||
| JPH0230113Y2 (ja) * | 1985-10-31 | 1990-08-14 |
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