JPS58120652U - プロ−ブカ−ド - Google Patents
プロ−ブカ−ドInfo
- Publication number
- JPS58120652U JPS58120652U JP1674082U JP1674082U JPS58120652U JP S58120652 U JPS58120652 U JP S58120652U JP 1674082 U JP1674082 U JP 1674082U JP 1674082 U JP1674082 U JP 1674082U JP S58120652 U JPS58120652 U JP S58120652U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe card
- electric circuit
- metal plate
- substrate
- circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面は本集品の構造を略示する側断面図である。
１・・・・・・基板、１１・・・・・・基板本体、ｌｌ
ａ・・・・・・絶縁層、１２・・・・・・スルーホール
、１３・・・・・・銅箔、１４・・・・・・窓部、１５
・・・・・・座部、１６・・・・・・ベース部材、１６
１・・・・・・丸穴、１７・・・・・・探針。
ａ・・・・・・絶縁層、１２・・・・・・スルーホール
、１３・・・・・・銅箔、１４・・・・・・窓部、１５
・・・・・・座部、１６・・・・・・ベース部材、１６
１・・・・・・丸穴、１７・・・・・・探針。
Claims (2)
- （１）平板状をなし、窓部が開設されて電気回路を備え
た基板と、前記電気回路に接続されて、複数の集積回路
が形成された半導体ウェハ中の単位集積回路にその検査
の為に接続される複数の探針とを具備するプローブカー
ドにおいて、前記基板は金属板の少くとも片面に、前記
電気回路の為のプリント配線が、絶縁素材よりなる膜゛
全弁して形成されたものであることを特徴とするプロー
ブカード。 - （２）前記金属板はアルミニウムよりなる実用新案登録
請求の範囲第１項記載のプローブカード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1674082U JPS58120652U (ja) | 1982-02-08 | 1982-02-08 | プロ−ブカ−ド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1674082U JPS58120652U (ja) | 1982-02-08 | 1982-02-08 | プロ−ブカ−ド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58120652U true JPS58120652U (ja) | 1983-08-17 |
Family
ID=30029099
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1674082U Pending JPS58120652U (ja) | 1982-02-08 | 1982-02-08 | プロ−ブカ−ド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58120652U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS516678A (ja) * | 1974-06-28 | 1976-01-20 | Ibm |
-
1982
- 1982-02-08 JP JP1674082U patent/JPS58120652U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS516678A (ja) * | 1974-06-28 | 1976-01-20 | Ibm |
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