JPS5811742B2 - ウエハキヨウキユウソウチ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は例えばＩＣ等の半導体をマトリックス状等に多
数形成しであるウェハを、例えばウェハ自動検査装置（
電気特性検査装置）や、チップ分割（裁断）装置等に供
給する為の装置に適用するのに最適なウェハ供給装置に
関するものである。

周知の如くウェハ自動検査装置は、ウェハ載置台（検査
台）上に載置固定されたウェハの電気特性を自動的に検
査するものであって、ウェハのチップに接触された触針
と、チップの位置とをマトリックスライン（チップのま
す目）に沿って横方向及び／又は縦方向に順次相対的に
移動変更させながら、ウニへの多数のチップの電気特性
を１個づつ順次自動検査するものである。

なおこの装置においては、ウェハを載置上の所定位置に
位置決めした後は検査終了までの間無人稼動させること
が出来、検査中における監視は一切不要である。

しかしながらこの装置で最も難問題な作業に、ウェハ載
置台上へのウェハ供給作業がある。

即ち従来は操作者がウェハを直につまんで載置台上に供
給しているのであるが、この場合操作者の手指等がウェ
ハの半導体面上に直接触れないように充分な注意を払う
必要がある。

またウェハを載置台上で所定の基準位置に正確に位置決
めする必要がある為、従来は操作者が備え付けの顕微鏡
を見てウェハのマトリックスラインを拡大視しながら、
これを所定の縦横の基準線に位置合せするようにしてい
る。

しかるにこの作業は極めて困難であり、かつ多大の時間
を要するものであった。

そしてウェハの検査は無人稼動出来ても、ウェハの供給
作業は操作者に頼らなければならなかった為に、事実上
はこの装置を完全無人稼動させることは出来ず、例えば
無人稼動による終夜運転等を行ない難かった。

本発明は上述の如き実状に鑑み発明されたものであって
、 （ａ）位置決めの為の第】及び第２の構造部が形成され
、かつ上部にウェハが位置決めされて載置固定されて成
るパレット、 （ｂ）上記位置決めの為の第１の構造部に係合して上記
パレットを順次積み重ねて蓄積保持する第１及び第２の
保持手段、 （ｃ）上記位置決めの為の第２の構造部に係合して上記
パレットを所定状態に挾持して搬送する搬送手段、 とからなり、 （ｄ）上記第１の保持手段に蓄積保持されている上記パ
レットを上記搬送手段にて順次挾持して所定位置へ供給
し、更にその供給された上記パレットを上記所定位置か
ら上記第２の保持手段へ搬送して蓄積保持させるように
構成したことを特徴とするウェハ供給装置である。

このように構成することにより、ウェハを所定位置へ順
次自動的に、しかも極めて正確に供給することが出来る
ので、例えばウェハ自動検査装置を完全無人稼動させる
ことが出来る。

以下本発明をウェハ自動検査装置に適用した実施例を図
面に付き述べる。

先ず第１図及び第２図によって本装置の全体に付き述べ
れば、１はベースであり、ウェハ自動検査装置２はこの
ベース１上に載置されている。

なおウェハ自動検査装置２は、ウェハ載置台１２、その
上部に配置された多数の触針１３等を有する検査ヘッド
１４、更にその上部に配置された顕微鏡１５等を具備し
ている。

そして後述するウェハをパレットを介してウェハ載置台
１２上に載置して固定した状態で、検査ヘッド１４を相
対的に下降させて触針１３群をウェハの所定のパターン
上に接触させて、所定の電気特性検査を行なうように構
成されている。

なおこの検査はウェハのチップ１個づつについて順次行
なうから、１つのチップの検査終了の度に、ウェハ載置
台１２をウェハのマトリックスライン（半導体のます目
）に沿って横方向及び／又は縦方向に順次所定ピッチづ
つ移動させ、これによって触針１３群とチップとの相対
位置を順次ずらせるようになっている。

また前記パレットはウェハ載置台１２上の所定位置に正
確に位置決めされて、例えば真空吸着装置によって固定
されるように構成されている。

上記ウェハ自動検査装置２の一側部（例えば図中右側）
には複数個のパレットを蓄積しておく為のパレット蓄積
装置３がベース１上に設置されている。

そしてパレットをこのパレット蓄積装置３とウェハ自動
検査装置２との間で搬送する為のパレット挾持搬送装置
４がベース１上に設置されている。

なおこＸで云うウェハ６とは従来公知の如く薄いシリコ
ン板に例えばＩＣの如き半導体のチップ６ａを極めて多
数（例えば数１００個分）マトリックス状に形成したも
のである。

またこ＼で云うパレット７とは、上記ウェハ６を上面に
吸着して搬送するものであり、ウェハ６はこのパレット
７の上面の所定の基準位置に正確に位置決めされた状態
で真空吸着により固定されている。

なお各パレット７は夫々ビニールパイプ等の可撓パイプ
を介して真空ポンプ（何れも図示せず）に接続されてい
て、真空ポンプの吸引作用によって各ウェハ６が各パレ
ット７上に吸着されるように構成されている。

またパレット７の周面には９０°間隔ではソ半円弧状を
なすパレット位置決めの為の凹部９ａ、９ｂ、１０ａ＞
１０ｂが形成されている。

次に第１図〜第３図によってパレット蓄積装置３の詳細
を説明する。

このパレット蓄積装置３は多数のパレット７を左右一対
のパレット搬送体（以下単に搬送体と記載）２１ａ、２
Ｉｂ上に上下に積み重ねて蓄積させるようにしたもので
ある。

この搬送体２１ａ。２１ｂははソ方形状をなすベース板
２２の上部に前後一対の支柱２３ａｔ２３ｂを植設した
ものである。

なおパレット７は前後一対の凹部９ａ。９ｂを両支社２
３ａ、２３ｂの内側に嵌合させた状態でこの両支社２３
ａ、２３ｂに沿って上下に複数個積み重ねられる。

但しこのパレット７の積み重ね状態で各パレット７の下
面で周辺部に突設された複数個の突起２９により上下パ
レット間には前記ウェハ６の厚さより若干大きな隙間３
０が出来る。

一方前記ベース１上には複数本の支柱２４によってパレ
ット搬送体載置台（以下単に載置台と記載）２５が所定
高さ位置に水平状に設置されている。

この載置台２５は断面はソコ字状をなしていて、この載
置台２５上に前記一対の搬送体２１ａ。

２１ｂが左右方向に並べた状態に着脱自在に載置される
。

なおこの載置状態では載置台２５に設けられた前後各一
対の位置決め用鋼球２６ａ。

２６ｂが各搬送体２１ａ、２１ｂのベース板２２の前後
面に形成された各一対の凹溝２７ａ。

２７ｂにバネ２８ａ、２８ｂにより弾性的に嵌合される
ことで、各搬送体２１ａ、２１ｂが載置台２５上に安定
良く位置決めされる。

そして前記載置台２５の下部には各搬送体２１ａ、２１
ｂに積み重ねられている複数個のパレット７を１段づつ
上昇又は下降させる為の一対のパレット昇降装置（以下
単に昇降装置と記載）３１が設けられている。

これら両昇降装置３１は、パレット群を昇降させる為の
昇降板３２、この昇降板３２を下から支える垂直支持体
３３及び水平支持体３４、この水平支持体３４の前後両
端に夫々垂直状に固着されたガイド筒３５及び筒状のナ
ツト３６、ガイド筒３５に挿通された垂直状のガイド軸
３７、ナツト３６に螺合された垂直状の送りネジ３８二
送りネジ３８を駆動する減速機付の同期モータ３９、モ
ータ３９の出力軸４０と送りネジ３８とを連動する歯車
４１，４２等から夫々構成されている。

しかしてモータ３９が所定時間の開作動されると、出力
軸４０によって歯車４１，４２を介して送りネジ３８が
所定回転数回転駆動される。

この結果ナツト３６が送りネジ３Ｂによって上方又は下
方に所定ピッチ分送られ、ガイド軸３７及びガイド筒３
５にて案内されながら両支持体３３゜３４を介して昇降
板３２が上方又は下方に所定ピッチ分（パレット１枚分
の厚さ）移動される。

なお両搬送体２１ａ、２１ｂのうち一方、例えば２１ａ
側に蓄積されているパレット７上のウェハ６は検査前の
ウェハであり、他方、例えば２ｉｂ側に蓄積されている
ウニノロは検査済みのウェハである。

そして一方の搬送体２１ａ側の昇降装置３１は昇降板３
２を所定ピッチづつ間欠的に上昇させて、この搬送体２
１ａに積み重ねられているパレット７群を１段づつ上昇
させることになる。

また他方の搬送体２Ｉｂ側の昇降装置３１は昇降板３２
を所定ピッチづつ間欠的に下降させて、この搬送体２１
ｂに順次間欠的に供給されるパレット７を１段づつ下降
させることになる。

この為一方の搬送体２１ａ側の昇降板３２は最下部位置
から間欠的な上昇を開始し、他方の搬送体２１ｉ側の昇
降板３２は最上部位置から間欠的な下降を開始すること
になる。

次に第１図、第２図、第４図、第５図、第６図、第７Ａ
図〜第７Ｂ図によってパレット挟持搬送装置４の詳細を
説明する。

このパレット挟持搬送装置４は一方の搬送体２Ｉａ上に
積み重ねられているパレット７を両側から挾持して持上
げ、この後このパレット７を水平に搬送して、このパレ
ット７を前記ウエノ自動検査装置２のウェハ載置台１２
上に供給し、しかる後挾持しているパレット７を離して
このパレット７をウェハ載置台１２側の真空吸着装置に
よってその載置台１２上に固定してウニ・自動検査装置
２横で待期し、所定のウェハ検査後に再びこのパンツド
アを両側から挾持して他方の搬送体２１ｂまで逆搬送し
て、この搬送体２１ｂに順次積み重ねるような動作を繰
り返すものである。

しかしてこのパレット挟持搬送装置４は、パレット挾持
装置（以下単に挾持装置と記載）５１と、この挾持装置
５１を昇降させる為の昇降装置５２と、この昇降装置５
２を介して挾持装置５１を支持しかつこの挟持装置５１
を水平経路に沿って往復動させる為の往復駆動装置５３
等から構成されている。

前記往復駆動装置５３は、ベース１上に植設された左右
一対の支柱５６ａ、５６ｂ間に水平に架設された上下一
対のガイド軸５７ａｔ５７ｂ及びこれらの中間に水平に
架設された送りネジ５８と、両ガイド軸５７ａ、５７ｂ
にガイド筒５９ａ。

５９ｂにて挿通されかつ送りネジ５８に筒状ナツト６０
にて螺合された移動ブロック６１と、送りネジ５８を駆
動すべくベース１上にモータ支持台６９を介して取付け
られたモータ６２等から構成されている。

なおモータ６２はその出力軸６３を歯車６４ａ、６４ｂ
を介して送りネジ５８に連動されている。

そしてモータ６２が正回転又は逆回転されると、その出
力軸６３によって送りネジ５８が正回転又は逆回転駆動
され、ナツト６０部分で移動ブロック６１がネジ送りさ
れ、移動ブロック６１が両ガイド軸５７ａ、５７ｂに沿
って第３図右方向又は左方向に所定の速度で往復移動さ
れる。

なおこの移動ブロック６１の移動経路に沿ってベース１
上にセンサ一台６５が固設され、このセンサ一台６５上
には４つのマグネセンサー６６が取付けられている。

これらのマグネセンサー６６は移動ブロック６１に固着
されているマグネット６７を検出し、この移動ブロック
６１を２つの搬送体２１ａ、２１ｂの位置と、ウエノ自
動検査装置２のウェハ載置台１２の位置と、このウェハ
自動検査装置２横の時期位置との３つの位置で正確に位
置決めすべくモータ６２を制御する。

なおこの移動ブロック６２の位置検出並びにモータ６２
の制御には４つのマグネセンサー６６に対応させてセン
サ一台６５に取付けられた４つのマイクロスイッチ６８
が並用される。

前記昇降装置５２は前記挾持装置５１を支持して昇降す
る昇降ブロック７１と、この昇降ブロック７１の昇降を
ガイドする昇降ガイド７２と、この昇降ブロック７１を
昇降駆動するエアーシリンダー装置７３等から構成され
ている。

なお昇降ガイドＴ２は前記移動ブロック６１に固設され
ている。

そして昇降ブロックＴ１と昇降ガイド７２との互に対向
する左右両側面部分には垂直状をなして互に対向する名
一対のガイド溝（例えばＶ溝）７４ａ、７４ｂ及び７５
ａ、７５ｂが形成されており、これらのガイド溝７４ａ
と７５ａとの間及び７４ｂと７５ｂとの間には摺り抵抗
を小さくする為に夫々複数個の鋼球７６ａｔ７６ｂが遊
嵌されている。

従って昇降ブロック７１はこれら両ガイド溝７４ａｔ７
４ｂｔ７５ａｔ７５ｂ及び鋼球７６ａ、７６ｂにて案内
されて昇降ガイド７２に沿って上下に昇降される。

一方前記エアーシリンダー装置７３は前記移動ブロック
６１に形成された垂直状をなすシリンダー室７７と、こ
のシリンダー室７７内で上下動するピストン７８と、こ
のピストン７８に固着された垂直状のピストンロッド７
９等から構成されていて、ピストンロッドＴ９の上端は
前記昇降ブロック７１の上面に固着された連結板８０に
固着されている。

そしてピストン７８をエアーにて昇降駆動することによ
り、ピストンロッドＴ８及び連結板８０を介して昇降ブ
ロック７１が昇降駆動されることになる。

前記挟持装置５１はパレット７をその左右両側から挾持
するものであって、バレン）７の左右一対の凹部１０ａ
ｔ１０ｂに嵌合する左右一対のバレン）挾持用ローラ８
３ａｔ８３ｂが左右一対の挾持アーム８４ａｔ８４ｂの
先端下面に枢着又は固着されている。

これら両挾持アーム８４ａ。８４ｂは左右一対の移動ブ
ロック８５ａｔ８５ｂの先端に固着されている。

一方前記昇降プロック７１にはは’Ｎ字状をなす左右一
対の支持板８６ａｔ８６ｂが対称状に固着されており、
これら両支持板８６ａｔ８６ｂ間に所定間隔隔てられた
前Ｆ一対のガイド軸８７ａ、８７ｂが前記両ガイド軸５
７ａｔ５７ｂと平行な水平状に架設されている。

なお一方のガイド軸８７ｂのはソ中央部には位置決め用
のストッパー８８が固着されている。

そして両移動ブロック８５ａｔａｓｂはこれらの前後両
端部に固着された一対のガイド筒、８９ａｔ８９ｂ及び
９０ａｔ９０ｂによって両ガイド軸８７ａｔ８７ｂに挿
通され、これら両ガイド軸８７ａｔ８７ｂにて案内され
て互に遠近方向に往復動自在に構成されている。

なおこれら両移動ブロック８５ａｔｓｓｂはこれらの間
に設けられたエアーシリンダー装置９１及び復動用のバ
ネ９２の相互動作によって上記往復駆動される。

即ち両ガイド軸８７ａ、８７ｂ間で一方の移動ブロック
８５ａにはこれら両ガイド軸８７ａ。

８７ｂと平行なシリンダー室９３が形成されており、こ
のシリンダー室９３内で往復動自在のピストン９４に一
端が固着されたピストンロッド９５の他端が他方の移動
ブロック８５ｂに固着されている。

前記バネ９２は圧縮バネにて構成されていて他方の移動
ブロック８５ｂに形成された凹部９６内に挿入され、か
つ一端が他方の支持板８６ｂに押圧されている。

この為このバネ９２の圧縮反撥力によって他方の移動ブ
ロック８５ｂは第５図左側に摺動附勢されている。

しかしてこの挾持装置５１は前記搬送体２１ａ部分に蓄
積されているパレット７のうち、最上段に位置されてい
るパレット７をその両側から挾持するのであるが、この
パレット挟持動作は次のように行なわれる。

即ち挟持開始前の状態ではシリンダー室９３の第５図左
側の分室９３ａにエアーが供給されていて、第５図仮想
線の如く一方の移動ブロック８５ａが一方の支持板８５
ａ側に押しつけられ、他方の移動ブロック８５ｂがピス
トン９４及びピストンロッド９５を介して他方の支持板
８６ｂ側に押しつけられている。

なおこの際バネ９２は圧縮されている。

この結果両ローラ８３ａｔ８３ｂの間隔は第７Ａ図の如
く最大に押し開かれた状態となっている。

そして挟持の開始は前記分室９３ａ内のエアーを抜くこ
とで開始される。

先ずこの分室９３ａ内のエアーを抜くと、バネ９２の圧
縮反撥力によって他方の移動ブロック８５ｂが第５図左
側に摺動され、ストッパー８８に当接して位置決めされ
る。

なおこの時一方の移動ブロック８５ａは何等移動しない
。

この結果先ず他方のローラ８３ｂが第７Ｂ図の如くパレ
ット７の他方の凹部１０ｂ内に嵌合する。

なおこのローラ８３ｂはパレット７の位置決め基準とな
るものであり、このローラ８３ｂの位置はストッパー８
８により正確に位置決めされる。

次にシリンダー室９３の第５図右側の分室９３ｂ内にエ
アーを供給すると、このエアーによりピストン９４には
第５図左側への押圧力が作用し、一方の移動ブロック８
５ａには第５図右側への押圧力が作用する。

しかして他方の移動ブロック８５ｂはストッパー８８に
て止められているからピストン９４は動き得す、この為
一方の移動ブロック８５ａのみが第５図右側に摺動され
る。

この結果一方のローラ８３ａが第７Ｃ図の如くパレット
７の一方の凹部１０ａ内に嵌合し、この時点で両ローラ
８３ａ、８３ｂによってパレット７が左右両側から強力
に挾持される。

またこの際パレット７は他方のローラ８３ｂを基準にし
て所定の基準位置に正確に位置決めされる。

なお挾持しているパレット７を離す時には、分室９３ｂ
内のエアーを抜き、分室９３ａ内にエアーを供給すれば
、両ローラ８３ａｔ８３ｂが同時にかつ互に離れる方向
に移動して、これらの間隔が開き、パレット７が両ロー
ラ８３ａ、８３ｂから離れることになる。

次にパレット挾持搬送装置４によるウェハ自動検査装置
２へのパレット７の供給動作を説明する。

このパレット供給作業はその挾持装置５１が一方の搬送
体２１ａに蓄積されているパレット７群の最上段のパレ
ット７を挾持する動作から開始される。

即ち第１図に仮想線で示されるように挾持装置５１が一
方の搬送体２１ａの前側に位置している状態で、この挾
持装置５１が昇降装置５２によって所定量下降された後
前述の如きパレット７の挟持動作が行なわれて、この挟
持装置５１によって最上段のパレット７が挾持される。

この後昇降装置５２によって挟持装置が所定量上昇され
て元の所定高さに復帰されるが、この時挾持されたパレ
ット７が搬送体２１ａの両支柱２３ａ、２３ｂの間から
上方に抜き出されることになる。

なおこの際パレット７は他方のローラ８３ｂを基準位置
としてこの挟持装置５１の所定の基準位置に前述の如く
正確に位置決めされている。

この後挾持装置５１が往復駆動装置５３によって第１図
左方向に水平に移動され、挾持しているパレット７をウ
ェハ自動検査装置２のパレット載置台１２の真上位置へ
所定高さに沿って水平に搬送する。

しかして第１図に点線で示されるようにパレットＴがウ
ェハ載置台１２の真上位置に達した時に挟持装置５１の
移動が停止するが、この際の挾持装置５１の停止位置が
正確であること、並びにパレット７がこの挾持装置５１
の所定の基準位置に正確に位置決めされていることで、
パレット７はウェハ載置台１２に対して所定の基準位置
に正確に位置決めされる。

またウェハ６はパレット７上の所定の基準位置に予め正
確に位置決めされて固定されているから、結果としてウ
ェハ６がウェハ載置台１２の所定の基準位置に正確に位
置決めされた状態に供給されることになる。

なおこの後ウェハ載置台１２が所定量上昇されてパレッ
ト７の下面に密着され、この載置台１２の真空吸着装置
によってパレット７がとの載置台１２上に真空吸着にて
固定される。

そして挾持装置５１が前述の如くパンツ）７を離した後
、このウェハ載置台１２は所定量下降される。

この後挾持装置５１は往復駆動装置５３によって第１図
に実線で示される時期位置まで逆搬送されて停止し、ウ
ェハ６の前述の如き電気特性検査が終了されるまで時期
する。

この状態でウェハ載置台１２及び検査ヘッド１４の相互
の上昇並びに下降動作によって、検査ヘッド１４の触針
１３群がウェハ６の所定のパターンに接触されて前述の
如き所望の検査が行なわれる。

そしてウェハ６の電気特性検査作業が終了すると、検査
ヘッド１４が上昇復帰すると共にウェハ載置台１２が下
降復帰し、挟持装置５１が再びつエバ載置台１２の上部
位置へ移動する。

この後ウェハ載置台１２によってパレット７が再び所定
高さに上昇され、挾持装置５１によって前述の如くパレ
ット７が挾持される。

なおこの後ウェハ載置台１２の真空吸着が断だれてパレ
ット７がこの載置台１２から離され、この載置台１２は
元の位置に下降される。

この後挾持装置５１が往復駆動装置５３によって第１図
右方向に水平に移動され、挾持しているパレット７を他
方の搬送体２１ｂの真上位置へ所」定高さに沿って水平
に搬送する。

この後挾持装置５１が昇降装置５２によって所定量下降
されて、挾持されているパレット７が両支柱２３ａ、２
３ｂ間に上方から挿入される。

そしてこのパレット７が搬送体２１ｂの最上段に載置さ
れた状態で、挾持装置５１が前述の如くパレット７を離
す。

以上により一連のパレット搬送動作が終了するが、この
後挾持装置５１は昇降装置５２によって再び所定高さに
上昇されてから、往復駆動装置５３によって一方の搬送
体２１ａの前位置まで搬送されて停止し、次の作業に備
えることになる。

しかして以上の如きパレット搬送作業は総て自動制御さ
れて自動的に行なわれるから、ウェハ自動検査装置２へ
のパレット供給を無人稼動で行なうことが出来る。

そしてこの結果ウェハ自動検査装置２を完全に無人稼動
出来て、例えば無人稼動による終夜運転が可能となる。

但し検査前のウェハを蓄積した搬送体２１ａをパレット
搬送体載置台２５上に供給したり、検査済みのウェハが
蓄積された搬送体２１ｂを取り除いて、空の搬送体２１
ｂをパレット搬送体載置台２５上に供給する作業は人手
に由らなければならない。

次にウェハ６をそのマトリックス方向の基準線である縦
方向及び横方向（以下これらをＸ方向及びＹ方向と記載
する。

）に沿って移動させる為の駆動状況を説明する。

第８図はウェハ載置台１２のＸ方向及びＹ方向への駆動
方法の一例を説明する概略図である。

ウェハ載置台１２は、パルスモータ１０２が正転又は逆
転駆動されることにより、ピニオン１０３及びラック１
０４を介してＸ方向スライダー１０１によってＸ方向に
正送り又は逆送りされる。

またウェハ載置台１２はパルスモータ１０５が正転又は
逆転駆動されることにより、ピニオン１０６及びラック
１０４を介してＹ方向スライダー１０８によってＹ方向
に移動される。

なお、ウェハ６のマトリックスラインの縦横のます目は
、上記Ｘ方向及びＹ方向と平行となっている。

従ってウェハ載置台１２がＸ方向又はＹ方向に移動する
ことにより、との載置台１２上に前述の如くパレット７
を介して載置固定されているウェハ６は、そのマトリッ
クスラインと平行に上記Ｘ方向並びにＹ方向に正送り又
は逆送りされることになる。

次に検査ヘッド１４の触針１３群を、ウェハ６の各チッ
プ６ａのパターンの所定位置に順次接触させて前述の如
き電気特性検査を行なう為のスキャニング動作を第９図
〜第１１図にもとづいて説明する。

先ずこのスキャニング動作はウニノロをウェハ載置台１
２の前述の如き駆動によって触針１３に対して間欠的に
蛇行駆動することによって行なわれる。

なおこ＼で云う触針１３は位置検出用のセンサーを兼ね
ているものとする。

この場合ウェハ自動検査装置２のスタートスイッチをオ
ンすると、パルスモータ１０２又は１０５が正転又は逆
転駆動されて、ウェハ６が前述の如きＸ方向又はＹ方向
に移動される。

この結果触針１３がウェハ６の外周の近傍位置、例えば
第９図に示すα点にまで移動する。

なおこの場合ウェハ自動検査装置２に設けられたストッ
プスイッチがオンとなることで、ウェハ６に対する触針
１３の位置が確認されて、ウェハ６の上記移動が停止す
る。

そしてこの時点から、ウェハ自動検査装置２に内装され
たパルス発振器（図示せず）から、第１１Ａ図に示すパ
ルス信号が端子１０９に供給される。

また第１１Ｂ図に示すパルス信号は端子１１０及び１１
２に供給され、第１１Ｆ図に示すパルス信号は端子１１
１に供給される。

そして第１１Ａ図に示す第１のパルス信号Ａは、アンド
回路１１４の一方の入力端子に供給されると共に、フリ
ップフロップ回路１１８の入力端子に供給される。

しかしアンド回路１１４の一方の入力端子１１０には、
レベル″１”の入力信号が供給されていない為アンド回
路１１４の出力信号は０”である。

従ってパルスモータ１０５にパルス信号Ａが供給される
ことはなく、上記パルスモータ１０５は停止状態を続け
る。

一方フリップフロップ回路１１９は、パルス信号Ａによ
って位相反転し、この時の出力信号にもとづきパルスモ
ータ１０２に内装されたスイッチ回路１２１を、例えば
接点ａに切換える。

次に端子１１１に第１１Ｆ図に示すパルス信号Ａ′が供
給される。

なおこのパルス信号Ａ′は上記パルス信号Ａに比較し、
ｔ１時間遅延したものである。

この時端子１１２に供給されている信号のレベルは”０
”であるが、インバータ１２３の動作によってアンド回
路１１５の一方の入力端子に第１１Ｇ図に示すレベル″
１”の信号が供給される。

従って上記アンド回路１１５の他の入力端子に、上記の
パルス信号Ａ′が供給されると、その出力信号のレベル
は第１１Ｈ図に示す如く１”となり、この信号はアンド
回路１１８の入力端子に供給される。

この時増巾回路１１５の出力信号はレベル″０”である
から、インバータ１２３によって第１１１図に示す如く
レベル″１”に変換され、アンド回路１１８の一方の入
力端子に供給される。

故にアンド回路１１８の出力信号のレベルは第１１Ｊ図
に示す如く１”となり、スイッチ回路１２１を介してパ
ルスモータ１０２に供給され、前記パルスモータ１０２
を例えば正転方向に駆動する。

パルスモータ１０２の回転角度は、供給されるパルス信
号のパルス巾に対応するものであり、本実施例において
は、ウェハ６を第９図のＸ方向に距離１２６ａ分例えば
正送りするように設定されている。

このようにして一方向の移動が終了した時、ウェハ載置
台１２が触針１３に当接する高さ迄垂直に上昇する。

しかしウェハ６が触針１３と水平方向に位置づれしてい
る場合には、ウェハ６と触針１３とが接触することがな
く、ウェハ載置台１２はそのま＼もとの高さ迄垂直に下
降する。

次に端子１０９にパルス信号Ｂが供給され、これと同時
に端子１１０に第１１Ｂ図に示すパルス信号ＴＡが供給
されると、アンド回路１１４の出力信号は”１”となる
。

この信号はアンド回路１１７の入力端子に供給されるが
、この時アンド回路１１７の一方の入力端子には、既に
インバータ１２５によって″】”なる信号が供給されて
いるから、上記アンド回路１１７の出力信号のレベルも
第１１Ｅ図に示すように１”となり、このパル子巾に対
応してパルスモータ１０５が例えば正方向に所定角度回
転する。

この結果ウェハ６は第９図に示すようにＹ方向に所定距
離１２７移動する。

そして既述の如くウェハ載置台１２が垂直に上昇し、触
針１３に当接しない場合には、そのま＼下降してもとの
位置で停止する。

またパルス信号Ｂが供給されて上述の動作が成されてい
る間、上記パルス信号Ｂによってフリップフロップ回路
１１９が位相反転する。

そしてフリップフロップ回路１１９の出力信号によって
、スイッチ回路１２１の可動接点が接点すに切換えられ
る。

次に端子１１１にパルス信号Ｂ′が供給されると、アン
ド回路１１５は既述の如き動作を行ないその出力信号は
第１１Ｈ図に示すようにレベル″】”となり、この信号
はアンド回路１１８に供給される。

そしてアンド回路１１Ｂも既述の如き動作を行ない、そ
の出力信号はスイッチ回路１２１のｂ接点を介してパル
スモータ１０２に供給Ｔれる。

この為にパルスモータ１０２は、パルス信号Ｂ’のパル
ス巾に対応した時間、逆方向に回転する。

従ってウェハ６はＸ方向に所定距離１２６ｂ分例えば逆
送りされてα点と同一位相位置であるα′点で停止する
。

そして概述の如くにウェハ載置台１２が垂直に所定高さ
上昇する。

この間端子１０９にはパルス信号Ｃが供給されて、フリ
ップフロップ回路１１９を位相反転させ、これにともな
いスイッチ回路１２１の可動接点を接点ａに切換える。

また上記ウェハ載置台１２が垂直に上昇して触針１３に
当接すると、端子１１３に信号が供給される。

この信号は増巾器１１６によってレベル“１”に増巾さ
れ、各インバータ１２４，１２５の入力端子に供給され
る。

この為インバータ回路１２４゜１２５の出力信号は第１
１Ｄ図及び第１１１図に示すように”１”となりアンド
回路１１７゜１１８のそれぞれの出力信号のレベルは第
１１Ｄ図及び第１１Ｊ図に示すように０”となる。

そして各パルスモータ１２０，１２２は回転を停止する
。

この時ウェハ載置台１２が上昇し、触針１３を介してウ
ェハ６に形成されたチップ６ａの１つをスキャンしてそ
の電気特性を検査する。

このようにしてチップ６ａのスキャンが終了するとウェ
ハ載置台１２は再び下降する。

チップ６ａと触針１３とが離れると、端子１１３に供給
される検出信号のレベルは再び０″となる。

従ってアンド回路１１７，１１８のそれぞれの入力端子
の一端には、インバータ１２４，１２５の動作によって
レベル″１”の信号が供給される。

次に第１１ｉ図に示すパルス信号Ｃ′が入力端子１１１
に供給される。

そしてパルスモータ１０２は、パルス信号Ｃ′のパルス
巾に対向した時間回転し再び停止する。

この後既述の如くウニ・載置台１２が上昇し触針１３が
チップ６ａに当接し、このチップ６ａのスキャンを行な
う。

上述の如き一連の動作が成されている間、パルスモータ
１０５を駆動するだめのパルス信号り。

Ｅ、Ｆは、すべてアンド回路１１７によって阻止Ｔ激、
上記パルスモータ１２０は駆動しない。

そしてチップ６ａのテストをＸ方向に順次行な。

つた後、第９図γ点に達した時ウニ・載置台１２が上昇
してもウェハ６は触針１３に当接しない。

この時第１０図に示す回路は初期状態に復帰し、ウェハ
載置台１２はＹ方向に１ピツチ移動する。

この時ウェハ載置台１２が上昇して触針１３に当接すれ
ば、第１１Ａ図に示したパルス信号Ｃについて述べた動
作が再び行なわれ、ウェハ載置台１２はＸ方向にのみ順
次例えば逆送りされて前述の如きチップ６ａのスキンが
継続される。

そしてこの一連の動作の繰返しによって、ウェハ６の全
チップが順次スキャンされて所望の電気特性検査が行な
われることになる。

本発明は上述の如く、 （ａ）位置決めの為の第１及び第２の構造部が形成され
、かつ上部にウェハが位置決めされて載置固定されて成
るパレット、 （ｂ）上記位置決めの為の第１の構造部に係合して上記
パレットを順次積み重ねて蓄積保持する第１及び第２の
保持手段、 （ｃ）上記位置決めの為の第２の構造部に係合して。

上記パレットを所定状態に挾持して搬送する搬送手段、 とからなり、 （ｄ）上記第１の保持手段に蓄積保持されている上記パ
レットを上記搬送手段にて順次挾持して所定位置へ供給
し、更にその供給された上記パレットを上記所定位置か
ら上記第２の保持手段へ搬送して蓄積保持させるように
構成したことを特徴とするウェハ供給装置である。

従って本発明によれば、予めウェハをパレット上に位置
決めして固定しておくだけで、後はそのパレットによっ
てウェハを所定位置へ順次自動的に搬送して供給するこ
とが出来るので、操作者の手指等がウニ・の半導体面上
に不測に触れるような不都合を全く生じない。

しかもパレットを第１の保持手段に順次積重ねて蓄積保
持している状態から所定位置へ供給し、更に所定位置か
ら第２の保持手段へ搬送して再び順次積み重ねて蓄積保
持する迄の間、一貫してパレットを所定状態に正確に位
置決めしておくことが出来、特に、所定位置へ供給され
たパレットが所定状態に正確に位置決めされていること
によって、ウェハを極めて正確に位置決めさせた状態で
所定位置へ供給することが出来る。

この結果所定位置にてウェハをその都度位置合せするよ
うな、誠に面倒なウニ・位置合せ作業を一切性う必要が
なくて、作業時間を飛躍的に短縮させることが出来る。

従って実施例の如く本発明によるウェハ供給装置を用い
て例えばウニ・自動検査装置へのウェハ自動供給作業を
行なうようにすれば、とのウェハ自動検査装置を完全無
人稼動させることが出来て、工数低減による人件費の節
約、装置の稼動工率向上に伴う原価償却効率向上等大き
な実用性を発揮する。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明をウェハ自動検査装置に適用した一実施例
を示したものであって、第１図は装置全体の斜視図、第
２図は同上の正面図、第３図はパレット蓄積装置部分の
断面図、第４図はパレット挟持搬送装置における往復駆
動装置部分の断面図、第５図はパレット挟持搬送装置部
分におけるパレット挟持装置部分の断面図、第６図は第
５図Ｖ−■線断面図、第７Ａ図〜第７Ｃ図はパレット挟
持動作を説明する平面図、第８図はウェハ載置台の駆動
系の概略を説明する平面図、第９図はウェハ載置台の移
動状態を説明する平面図、第１０図はパルスモータを駆
動するだめの制御回路図、第１１Ａ図〜第１１Ｊ図は制
御回路を説明するためのパルス信号の波形図である。 なお図面に用いられている符号において、２はウェハ自
動検査装置、３はパレット蓄積装置、４はパレット挟持
搬送装置、６はウェハ、９ａ。 ９ｂは位置決めの為の第１の構造部である凹部、１０ａ
、１０ｂは位置決めの為の第２の構造部である凹部、１
２はウェハ載置台、２１ａは第１の保持手段であるパレ
ット搬送体、２１ｂは第２の保持手段であるパレット搬
送体、５１はパレット挟持装置、５２は昇降装置、５３
は往復駆動装置、８３ａ、８３ｂはパレット挟持用ロー
ラ、８８は位置決め用ストッパーである。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ （ａ）位置決めの為の第１及び第２の構造部が形成
   され、かつ上部にウェハが位置決めされて載置固定され
   て成るパレット、 （ｂ）上記位置決めの為の第１の構造部に係合して上記
   パレットを順次積み重ねて蓄積保持する第１及ｄ第２の
   保持手段、 （ｃ）上記位置決めの為の第２の構造部に係合して上記
   パレットを所定状態に挾持して搬送する搬送手段、 とからなり、 （ｄ）上記第１の保持手段に蓄積保持されている上記パ
   レットを上記搬送手段にて順次挾持して所定位置へ供給
   し、更にその供給された上記パレットを上記所定位置か
   ら上記第２の保持手段へ搬送して蓄積保持させるように
   構成したことを特徴とするウェハ供給装置。