JPS58100348A - 電子線装置の撮影装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は電子線装置の撮影装置、％に横型顕微鏡等、電
子線径路が横方向に照射するように設定された電子線装
置の撮影装置に関するものである。

電子顕微鏡等の電子線装置では、通常、写真撮影を連続
的に行い得る様感光板送り機構を備えているが、かかる
電子線装置の撮影装置の従来例としては例えば第１図に
示すようなものがある。これは、縦型の電子線装置１の
下方に配置したカメラ室６内に未撮影感光板収納箱８及
び撮影済感光板収納箱９を夫々上下方向に装填し、これ
らの二つの感光板収納箱８．９の間に送り板５を配置し
て成る。未撮影感光板収納箱８内には未使用の感光板１
０が多数配置され順次共に、ラック・アンド・ビニオン
方式によって駆動部材７に係合し、カメラ室６内に設は
友ガイド溝４にそって感光板収納箱８．９内位置とｌ！
察室２直下の撮影位置１１との間で往復運動出感光板１
０を撮影位置１１に向かって移動させ、撮影後前記送り
板５の戻りの行程で撮影位置１１にある感光板１０ｔ−
撮影済感光板収納箱９内に収める様な送りを行うように
なっている。

しかし、この様な撮影装置の機ｍは縦型の電子１１Ｍ置
においてのみ適用可能な機構であり、横型の電子線装置
にそのまま適用するということは出来なかった。何故表
ら、第１図に示すような縦型の電子線装置においては、
未撮影感光板収納箱８内に装填した感光板１０には重力
の作用により常時上から下へ向かう外力が働いているた
め、感光板１０は、それぞれ送り板５によって横方向へ
往復運動せめられるだけで順次未撮影感光板収納箱８か
ら撮影済感光板収納箱９へと落下搬送されるのに対し、
横型の電子線装置ではこのような操作は行い得ないから
である。

即ち、該横型の電子線装置において上記第１図に示すよ
うな感光板送り機構を用いると、感光板には、当該感光
板の送り方向に重力或はその他の外力が加わらないため
円滑な感光板の順送りが出来ない。この順送りを行わせ
るために例えばバネ等の偏倚部材で感光板を一方向に押
圧することも考えられるが、撮影済の感光板は当該感光
板収納箱内において、第１図中符号９ａで示すような奥
方向位置から順々に重ねて収納する必要があり、この点
において技術的に困難性が伴う。

本発明は、この様な問題点に着目してなされたもので、
その目的は、横型の電子線装置において、感光板送りを
円滑に且つ楽に行い得る様にすると共に、操作性の良い
撮影装置を提供することである。

本発明の要旨は、撮影装置において、未撮影感光板収納
箱と撮影済感光板収納箱とを、横型電子線装置の電子線
経路からずれた位置に配置する一方、・これらの両感光
板収納箱の間に送り機構を轡影位置と感光板収納箱位置
との間に設動経路を形成し圧点にある。この撮影済感光
板収納箱は、感光板を＃よは直立し良状態で入口から内
奥位置へと移動させることが出来る様構成しである。一
方、未撮影感光板収納箱は当該収納箱内に配置した感光
板が＃１は直立した状態で順次送り機構の配置位置へと
移動できる様に構成しである。そして、送り機構によっ
て未撮影感光板収納箱に納められた感光板を撮影位置に
動かし、撮影後には、感光板は撮影済感光板収納箱に収
められる。こうして、上記横型の電子線装置における連
続的な写真撮影操作が出来るようになる。

本発明の実施例を温性の図面を参照して詳細に説明する
。

第２図乃至第７図は本発明の第１の実施例を示す図であ
る。この実施例に係る撮影装置は、電子耐装置１の観察
室２後方に接続されたカメラ室２０内において、観察室
２よりも上方の位置に対にして配置した未撮影感光板収
納箱２１及び撮影済感光板収納箱２２と、これらの二つ
の収納箱２１．２２の間において上下方向に延びる様カ
メラ室２０内に設けられたガイド部材２４と、このガイ
ド部材２４に係合され上下移動可能な送シ板２６とから
成る。未撮影感光板収納箱２１と撮影済感光板収納箱２
２とは、感光板２７が重力の作用によって移動できるよ
う、それぞれ電子線装置１０光軸方向一方から他方へ向
けて傾斜し九構造を有しており、この傾斜方向に並んで
上方が未撮影感光板収納箱２１、下方が撮影済感光板収
納箱２２となる様に配置されている。また、各収納箱２
１゜２２内には、複数の感光板２７を互いに重なった状
態で直立して保持しておき、且つこの直立状態を保った
ままで移動させることが出来る様Ｖ−ル部材２５．２６
が取付けられ、感光板２７を出口方向に向けて常時移動
させる如く作用する規制部材を構成している。一方、各
感光板２７には、その（実際には感光板を収めたカセッ
トの）上方部分にスリット溝６９が形成してあシ、この
スリット溝６９をレール部材２５．２６に係合させるこ
とにより、感光板２７はこれらのレール部材２５．２６
に懸架支持され且つレール部材２５．２６の傾斜方向に
重ね合わせられる。

ガイド部材２４は、はぼ上半分が縦壁４０より成り下半
分には開口４１が形成される一方、左右両側には軌道４
２が形成されている。このガイド部材２４の未撮影感光
板収納箱２１側（以下後側という）上端部分には、上下
方向に延びる筒状の腔３５が形成される一方、この腔Ｓ
５内にはバネ６６とこのバネ６６に係合するストッパ３
４とが配置され、ストッパ３４はバネ６６０作用によっ
て腔３５の下熾開口部から突出し、未撮影感光板収納箱
２１内の感光板２７がレール部材２５から清シ落ちない
様係止保持している。またガイド部材２４の撮影済感光
板収納箱２２１１（以下画側という）下半部分には、開
口４１に張出した支持部材６７が設けられている一方、
当該開口４１部分にはガイド部材２４の後側から前側へ
と付勢するバネ２８が装填されている。さらにガイド部
材２４の縦１１４０紡側面には、当該前側面から撮影済
感光板収納室２２内へ付勢するバネ２９が取付けられて
いる。

送シ板２Ｍはガイド部材２４の軌道４２に摺動可能に係
合せしめられ、且つカメラ室２０本体−に取付けられた
駆動装置４に作動連結されている。駆動装置４４は、モ
ータ４６と、このモータ４６のシャフト６８に固定され
たビニオン３３とから成る一方、送り板２３にはラック
（図示してない）が形成され、両部材はラック・アンド
・ビニオンによって連結される。この送り板２３は、上
［７ｖ−ム３１と下側フレーム６２と左右側フレームと
で１まれ且つ感光板２７″１収容出来る寸法に設定され
た感光板受入部６０を有する枠体から成り、上側フレー
ム６１及び感光板受入部６０はガイド部材２６の縦壁４
０後側を上下移動する。一方、下側フレーム３２は上側
フレーム３１′及び感光板受入部３０の厚味と縦壁４０
の厚味とを加え合わせた厚味よりも大きな約後方向厚味
寸法を有しており、ガイド部材２４に取付けた支持部材
３７に接している。したがって、送り板２３を上下運動
させると、感光板２７は送り板２３の一サイクル運動毎
に一枚づつ、未撮影感光板収納箱２１から送り板２６に
送られ、その後撮影位置４５に送られ、次いで撮影済感
光板収納箱２２の入口部に運ばれ、ここでレール部材２
６にスリット溝３９が係合して感光板２７は当該レール
部材２６に沿って滑り降下し撮影済感光板収納箱２２の
奥方位置から順々に重ね収納される。

このときの撮影装置における作動状況をモデル化して第
４図乃至第６図に示しである。

第４図は、送り板２るをその移動ストローク上端位置ま
で移動させ、未撮影感光板収納箱２１内の感光板２７を
感光板受入部３０に収容する時の状態を示す。送り板２
６が上端に達すると、その上縁がストッパ３４に突き当
り、押し上げる。これによってストッパ３４は感光板２
７から外れ、感光板２７全体が下方へすり下る。そして
最下部にある感光板２７＆がレール部材２５から抜は外
れて送り板２６の感光板受入部６０に納まる。

次いで、第５図に示すように送夛板２５ｔ−ガイド部材
２４に沿って下方へ押し下げると、ストッパ６４は再び
残りの感光板２７に係止して停止させ、送り板２６及び
感光板２７＆は共にガイド部材２４の下端即ち撮影位置
４５位置へ移動する。この移動中に、バネ２８の作用が
感光板２７ａ　Ｋ加わり、感光板２７ａは送り板２３上
で感光板受入部６０から押し出されて前側方向へ移動し
、ガイド部材２４に固定された支持部材６７に当接し、
撮影位置にセットされる。この状態で電子線装置のシャ
ッタが開かれて感光板２７が露光される。

電子線装置１における写真撮影が終了すると、第６図に
示すように再び送り板２６は移動ストローク上端位置ま
で移動せしめられる。Ｃの上昇移動に際して、感光板２
７１には、）（ネ２８の作用により送り板２６の前側位
置にあるから、ガイド°部材２４の縦４１４０の前側へ
と上って来る。そして、感光板２７ａが縦壁４０の前側
面位置にはぼ完全に上り切ったところで）（ネ２９が感
光板２７１に作用し、感光板２７ａは撮影済感光板収納
箱２２内へと押し出される。この時撮影済感光板収納箱
２２の入口部分において、感光板２７ｍのスリット溝３
９がレール部材２６に係合し、感光板２７＆はレール部
材２６に沿って滑シ落下する。こうして、感光板２７ｍ
の取出し、撮影、収納の一操作サイクル収容され、撮影
待機の状態となる。

以上の操作が繰り返されることにより、感光板２７は順
次未撮影感光板収納箱２１から取り出され、撮影され、
更に撮影済感光板収納箱２２内へと収納される。このよ
うに横型の電子線装置において比較的簡単な構造で操作
の容易な撮影装置を実理することが出来る。籍に撮影済
感光板収納箱２２内において感光″Ｉｊ２７を直立の状
態に保った１１移動させ実方向位置から順次重ねて収容
することが出来るという、これまでになかった利点が得
られる。

なお未撮影感光板収納箱２１内において、感光板２７を
順次重る手段については種々の変更例を考えることがで
きる。第７図は上記未撮影感光板収納箱について変更を
加えた本発明の第２の実施例を示す図である。この実施
例において、未撮影感光板収納箱５０は、略水平な頂部
及び底部を持つボックス体から成シ、内部にはほぼ水平
なガイドレール５６が配置されている。このガイドレー
ル５６には押板５２が懸架される一方、との押板５２と
未撮影感光板収納箱５０の後壁５０ａとの間にはバネ５
１が介装され、押板５２を前方へ向けて押圧し、全体と
して上記第１の実施例におけるレール部材２５と同様の
規制部材を構成している。感光板２７は押板５２の前側
においてガイドレール５３に懸架支持され、バネ５１及
び押板５２の作用によって前方へ常時押圧される。なお
他の部分の構成は上記第１の実施例と同様である。

したがって、この撮影装置においても、送り板２６を繰
返し上下運動させることにより、感光板２７は直立状態
を保ったままで未撮影感光板収納箱５０から順次取シ出
され、撮影位置で撮影され、そして撮影済感光板収納箱
２２内へと送られ且つ格納される。このため、従来から
感光板の連続送シが難しいとされていた横型の電子線装
置においても迅速で円滑な感光板送りが出来るようにな
った。ま・た、上記二つの実施例においては、感光板２
７は撮影前の４のも撮影後のものも、横向き゛構造に設
定された電子線装置１の観察室２に対して上側又は下側
（更には側方位置についても同様に可能である）にまと
めて収納されているから、感光板２７のセット及び取出
し作業が簡単に行・い得、さらに、撮影作業中における
感光板の置型状況の監視も楽に行うことが出来るという
付加的な効果も奏する。

なお、第１の実施例及び第２の実施例における未撮影感
光板収納箱２１．５０（以下符号２１のみに示す通シと
なる。この図中Ｘ軸は電子線装置１の電子線経路を示し
、Ｙ軸は撮影位置４５、またＺ軸は未撮影感光板収納箱
２１から撮影位置４５へ感光板２７を移動させる送り板
２６の運動経路、さらに０は撮影位置４５の中心を表わ
す。

しかし、未撮影感光板収納箱２１と撮影済感光板収納箱
２２との配置関係は他の様式のものを採用しても一向に
差支えない。例えば第９図に示すように、電子線経路Ｘ
軸に対して未撮影感光板収納箱２１と撮影済感光板収納
箱２２とを互いに反対位置に配置しこの間で感光板２７
送りを行わせるようにしてもよい。

また、第１０図に示すように、撮影済感光板収納箱２２
をＹ軸に対して反転させた構成を採ってもよい。

さらに、第９図及び第１０図の例においては未撮影感光
板収納箱２１と撮影済感光ｉ収納箱２２とは交点０に対
してどのような位置関係を採ってもよく、また交点Ｏに
対して対称になっている必要もない。さらに、電子線経
路（Ｙ軸）方向への上記二つの収納箱２１．２２の配向
状態即ち前後配置関係も又自由に変更することができる
。

更にまた、第１１図に示すように、未撮影感光板収納箱
２１と撮影済感光板収納箱２２との中心、及び撮影位置
４５の中心Ｏとが同一円周Ｓ上に来る様に配置し、円周
Ｓの中心に駆動部材のシャフト６０を配置する一方、こ
のシャフト６０に感光板搬送用のアーム６１を固定して
送り機構を構成し、このアーム６１を例えば第１１図中
矢印人の方向へ回転させる間に感光板２７を未撮影感光
板収納箱２１から撮影位置４５へ、さらに撮影済感光板
収納箱２２へと搬送するようにしてもよい。

以上説明したように、本発明によれば、横型電子線装置
の周囲に未撮影感光板収納箱と撮影済感光板収納箱とを
所定の関係をもって配置し、且つこれらの収納箱の間に
送り板又は送りアーム等の送り機構を運動可能に取付け
ると共に、上記撮影済感光板収納箱を入口から内果にか
けて下降する傾斜構造とし、且つ感光板を、直立状態に
保ったまま降下させるガイド部材を取付けたため、簡単
な構造でしかも極めて楽な操作で感光板の連続通シを為
し得る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、従来の電子線装置の撮影装置を示す断面図で
ある。 第２図は、本発明の第１の実施例ＶＣ％る撮影装置を示
す斜視図である。 第３図は、本発明の第１の実施例に係る撮影装置の構造
を示す断面図である。 第４図は、本発明の第１の実施例において、送り板の作
動開始状態をモデル化して示す図である。 第５図は、本発明の第１の実施例において、撮影操作時
の送シ板の状態をモデル化して示す図である。 第６図は、本発明の第１の実施例において、撮影済感光
板の格納操作をモデル化して示す図である。 第７図は、本発明の第２の実施例に係る撮影装置の構造
を示す断面図である。 第８図は、本発明の第１１第２の実施例における双方の
感光板収納箱の配置関係をモデル化して示す図である。 第９図は、本発明の各実施例における、双方の感光板収
納箱の他の配置関係をモデル化して示す図である。 ｌｌｌＯ図は、本発明の各実施例における、双方の感光
板収納箱の更に他の配置関係をモデル化して示す図であ
る。 第１１図は、回転アーム駆動に呵る撮影装置と、この機
構に合致させた双方の感光板収納箱の配置関係をモデル
化して示す図である。 １・・・電子線装置　　　２・・・観察室四・・・カメ
ラ室 ２１．５０・・・未撮影感光板収納箱 ２２・・・撮影済感光板収納箱　２′６・・・送シ板２
４・・・ガイド部材　　　２５，２６．５６・・・レー
ル部材２７・・・感光板　　　　　５１・・・バネ社・
・・押え板　　　　　４５・・・撮影位置特許出願人　
　株式会社　国　際　精工２２ 第４図 −２２９− 第５図 第６図 第７図 第８図 第１０図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 横型電子線装置の観察室後方におψて、未撮影感光板収
   納箱及び撮影済感光板収納箱を電子線通路からずれた位
   置に装填し、且つ未撮影感光板収納箱及び撮影済感光板
   収納箱と撮影位置との間に送り機構を配置し、未撮影感
   光板収納箱内には感光板を出口方向に向けて常時移動さ
   せる如く作用する規制部材を設ける一方、撮影済感光板
   収納箱は、人口から内奥にかけて下降した傾斜構造和す
   ると共にレール部材を傾斜して装填し、送り機構によっ
   て未撮影感光板収納箱内の感光板を取シ出し且つ撮影位
   置に移動させ、撮影後撮影位置にある感光板を撮影済感
   光板収納箱に向けて送シ、当該撮影済感光板収納箱の入
   口部で感光板をレール部材に懸架して内奥に向けて滑シ
   落下させるようにしたことを特徴とする電子線装置の撮
   影装置。