JPH1197161A - ホットプレート - Google Patents
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- JPH1197161A JPH1197161A JP26935297A JP26935297A JPH1197161A JP H1197161 A JPH1197161 A JP H1197161A JP 26935297 A JP26935297 A JP 26935297A JP 26935297 A JP26935297 A JP 26935297A JP H1197161 A JPH1197161 A JP H1197161A
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- suction plate
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワークのワーク吸着プレートとの接触面を均
一に加熱する。 【解決手段】 ワーク１０を多孔質材のワーク載置プレ
ート３上に載し、吸引口４ｂに接続された真空ポンプに
より排気し、多孔質材料３の微細な空孔でワーク１０を
吸引して該ワーク１０を吸着面３ａ上に均一に吸着固定
する。ワーク１０を吸着固定した状態で加熱プレート２
をヒータ１により加熱し、ワーク１０を均一に加熱す
る。ワーク吸着面３ａの平面精度を高めることによっ
て、ワーク１０に歪みがつかず、ワーク１０の平面精度
を損うことなく吸着することができる。また、ワーク１
０の性質による吸着状態の変化には、真空ポンプの排気
量を調整したり、多孔質材料の粒径を変更することによ
って対応することができる。
一に加熱する。 【解決手段】 ワーク１０を多孔質材のワーク載置プレ
ート３上に載し、吸引口４ｂに接続された真空ポンプに
より排気し、多孔質材料３の微細な空孔でワーク１０を
吸引して該ワーク１０を吸着面３ａ上に均一に吸着固定
する。ワーク１０を吸着固定した状態で加熱プレート２
をヒータ１により加熱し、ワーク１０を均一に加熱す
る。ワーク吸着面３ａの平面精度を高めることによっ
て、ワーク１０に歪みがつかず、ワーク１０の平面精度
を損うことなく吸着することができる。また、ワーク１
０の性質による吸着状態の変化には、真空ポンプの排気
量を調整したり、多孔質材料の粒径を変更することによ
って対応することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶製造装置など
のワークの加熱に用いられるホットプレートに関し、例
えば、フィルム基板等の薄く軟らかいワークを吸着固定
して加熱焼成するのに適した吸着ホットプレートに関す
る。
のワークの加熱に用いられるホットプレートに関し、例
えば、フィルム基板等の薄く軟らかいワークを吸着固定
して加熱焼成するのに適した吸着ホットプレートに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】図２は、従来のホットプレートの一例を
説明するための要部概略構成図で、図中、１はヒータ、
２は加熱プレート、１０はワークで、従来のホットプレ
ートは、図２に示したように、ヒータ１と加熱プレート
２から構成されており、ヒータ１に設けられた電熱線に
電流を流し、該電熱線から発生する熱によって加熱プレ
ート２を加熱する仕組になっている。そして、この加熱
プレート２の表面温度を均一にするために電熱線をコの
字状に配置したり、渦巻き状に配置するなどの方法をと
っている。このように加熱プレート２の表面の温度分布
を均一にする試みが行われている。
説明するための要部概略構成図で、図中、１はヒータ、
２は加熱プレート、１０はワークで、従来のホットプレ
ートは、図２に示したように、ヒータ１と加熱プレート
２から構成されており、ヒータ１に設けられた電熱線に
電流を流し、該電熱線から発生する熱によって加熱プレ
ート２を加熱する仕組になっている。そして、この加熱
プレート２の表面温度を均一にするために電熱線をコの
字状に配置したり、渦巻き状に配置するなどの方法をと
っている。このように加熱プレート２の表面の温度分布
を均一にする試みが行われている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述のごとき従来のホ
ットプレートにおいては、加熱対象のワーク１０と加熱
プレート２の面全体を一様に接触させなければ、ワーク
１０を均一に加熱することはできない。また、従来使用
されている孔開けプレート（吸着面に多数の吸着孔（直
径数ｍｍ）が設けられている）では、吸着孔部分のワー
ク部分では熱の伝わり方が遅くなりワークを均一に加熱
することができない。また、ワークの材質によっては、
ワークの表面にシワがついたり、ワーク裏面に吸着孔の
跡が残る場合があった。
ットプレートにおいては、加熱対象のワーク１０と加熱
プレート２の面全体を一様に接触させなければ、ワーク
１０を均一に加熱することはできない。また、従来使用
されている孔開けプレート（吸着面に多数の吸着孔（直
径数ｍｍ）が設けられている）では、吸着孔部分のワー
ク部分では熱の伝わり方が遅くなりワークを均一に加熱
することができない。また、ワークの材質によっては、
ワークの表面にシワがついたり、ワーク裏面に吸着孔の
跡が残る場合があった。
【０００４】本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなさ
れたもので、請求項１の発明は、ワークのワーク吸着プ
レートとの接触面を均一に加熱すること、請求項２の発
明は、吸着孔上のワーク部分を他のワーク部分と一様に
加熱すること、請求項３の発明は、ワークをワーク吸着
プレートから剥離する時の静電気の影響を軽減するこ
と、請求項４の発明は、ヒータ部の水による超音波洗浄
を可能にすること、請求項５の発明は、効率の良いワー
ク加熱を可能とすること、請求項６の発明は、フィルム
のような可撓性ワークの反りや歪みを防ぐようにするこ
と、請求項７の発明は、効率の良いワーク加熱を可能に
するとともに、装置の小型化，低兼化を図ること、を目
的としてなされたものである。
れたもので、請求項１の発明は、ワークのワーク吸着プ
レートとの接触面を均一に加熱すること、請求項２の発
明は、吸着孔上のワーク部分を他のワーク部分と一様に
加熱すること、請求項３の発明は、ワークをワーク吸着
プレートから剥離する時の静電気の影響を軽減するこ
と、請求項４の発明は、ヒータ部の水による超音波洗浄
を可能にすること、請求項５の発明は、効率の良いワー
ク加熱を可能とすること、請求項６の発明は、フィルム
のような可撓性ワークの反りや歪みを防ぐようにするこ
と、請求項７の発明は、効率の良いワーク加熱を可能に
するとともに、装置の小型化，低兼化を図ること、を目
的としてなされたものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、多孔
質材で形成されかつ表面の平面精度の良いワーク吸着プ
レートと、該ワーク吸着プレートが載置される凹部と該
凹部に連通する吸気口を有するワーク吸着プレート載置
台と、該ワーク吸着プレート載置台を加熱する加熱プレ
ートとを有し、前記ワーク吸着プレートの凹部の上にワ
ークを載置し、前記凹部内を前記吸気口を通して吸気し
て前記ワークを前記ワーク吸着プレートに吸着固定しな
がら前記加熱プレートを加熱するようにしたことを特徴
とし、もって、ワークを吸着面に固定しながら加熱する
ことにより、ワークの接触面を均一に加熱することがで
きるようにしたものである。
質材で形成されかつ表面の平面精度の良いワーク吸着プ
レートと、該ワーク吸着プレートが載置される凹部と該
凹部に連通する吸気口を有するワーク吸着プレート載置
台と、該ワーク吸着プレート載置台を加熱する加熱プレ
ートとを有し、前記ワーク吸着プレートの凹部の上にワ
ークを載置し、前記凹部内を前記吸気口を通して吸気し
て前記ワークを前記ワーク吸着プレートに吸着固定しな
がら前記加熱プレートを加熱するようにしたことを特徴
とし、もって、ワークを吸着面に固定しながら加熱する
ことにより、ワークの接触面を均一に加熱することがで
きるようにしたものである。
【０００６】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、前記多孔質材料が金属の焼結体であることを特徴と
し、もって、多孔質材料に微細な空孔を有する金属の焼
結体を用いることにより、吸着孔上のワーク部分を微小
にし、他のワーク部分と一様に加熱することができるよ
うにしたものである。
て、前記多孔質材料が金属の焼結体であることを特徴と
し、もって、多孔質材料に微細な空孔を有する金属の焼
結体を用いることにより、吸着孔上のワーク部分を微小
にし、他のワーク部分と一様に加熱することができるよ
うにしたものである。
【０００７】請求項３の発明は、請求項１の発明におい
て、前記多孔質材料がセラミックであることを特徴と
し、もって、多孔質材料にセラミックプレートを用いる
ことにより、吸着面上のワークを剥離するとき発生する
静電気の影響を軽減するようにしたものである。
て、前記多孔質材料がセラミックであることを特徴と
し、もって、多孔質材料にセラミックプレートを用いる
ことにより、吸着面上のワークを剥離するとき発生する
静電気の影響を軽減するようにしたものである。
【０００８】請求項４の発明は、請求項１乃至３のいず
れかの発明において、前記ワーク吸着プレート載置台と
該ワーク吸着プレート載置台の下面に接触して前記ワー
ク吸着プレート載置台を加熱する前記加熱プレートと
が、分離可能に接触していることを特徴とし、もって、
ワーク吸着部とヒータ部を分離することによって、ワー
ク吸着部が汚れたときにヒータ部の電気系への悪影響を
考慮することなく、水による超音波洗浄を行うことがで
きるようにしたものである。
れかの発明において、前記ワーク吸着プレート載置台と
該ワーク吸着プレート載置台の下面に接触して前記ワー
ク吸着プレート載置台を加熱する前記加熱プレートと
が、分離可能に接触していることを特徴とし、もって、
ワーク吸着部とヒータ部を分離することによって、ワー
ク吸着部が汚れたときにヒータ部の電気系への悪影響を
考慮することなく、水による超音波洗浄を行うことがで
きるようにしたものである。
【０００９】請求項５の発明は、請求項１乃至４のいず
れかの発明において、前記多孔質材料からなるワーク吸
着プレート又はワーク吸着プレート載置台に該ワークを
加熱する発熱源が一体的に組み込まれていることを特徴
とし、もって、ヒータを吸着部内に埋設することによ
り、ヒータで発生する熱が装置の周囲に逃げることを防
ぎ、効率の良いワークの加熱を行うことができるように
したものである。
れかの発明において、前記多孔質材料からなるワーク吸
着プレート又はワーク吸着プレート載置台に該ワークを
加熱する発熱源が一体的に組み込まれていることを特徴
とし、もって、ヒータを吸着部内に埋設することによ
り、ヒータで発生する熱が装置の周囲に逃げることを防
ぎ、効率の良いワークの加熱を行うことができるように
したものである。
【００１０】請求項６の発明は、請求項１乃至５のいず
れかの発明において、前記ワークがフィルムのような可
撓性基板である場合において、ワークの搬送とワークの
吸引とが連動して該ワークが前記ワーク吸着プレートの
吸着面へ供給されることを特徴とし、もって、吸着プレ
ートの吸引機構（真空ポンプ）とワーク搬送部のワーク
を保持する吸着部を連係することによって、フィルムの
ような可撓性基板の熱膨張による反りや歪みを防ぎ、基
板を均一に吸着することができるようにしたものであ
る。
れかの発明において、前記ワークがフィルムのような可
撓性基板である場合において、ワークの搬送とワークの
吸引とが連動して該ワークが前記ワーク吸着プレートの
吸着面へ供給されることを特徴とし、もって、吸着プレ
ートの吸引機構（真空ポンプ）とワーク搬送部のワーク
を保持する吸着部を連係することによって、フィルムの
ような可撓性基板の熱膨張による反りや歪みを防ぎ、基
板を均一に吸着することができるようにしたものであ
る。
【００１１】請求項７の発明は、多孔質材で形成されか
つ表面の平面精度の良いワーク吸着プレートと、該ワー
ク吸着プレートが載置される凹部と該凹部に連通する吸
気口を有するワーク吸着プレート載置台と、前記ワーク
吸着プレート又はワーク吸着プレート載置台に設けられ
たヒータとを有し、前記ワーク吸着プレートの凹部の上
にワークを載置し、前記凹部内を前記吸気口を通して吸
気して前記ワークを前記ワーク吸着プレートに吸着固定
しながら前記ヒータを加熱するようにしたことを特徴と
し、もって、効率の良いワーク加熱を可能にするととも
に、装置の小型化，低兼化を図ったものである。
つ表面の平面精度の良いワーク吸着プレートと、該ワー
ク吸着プレートが載置される凹部と該凹部に連通する吸
気口を有するワーク吸着プレート載置台と、前記ワーク
吸着プレート又はワーク吸着プレート載置台に設けられ
たヒータとを有し、前記ワーク吸着プレートの凹部の上
にワークを載置し、前記凹部内を前記吸気口を通して吸
気して前記ワークを前記ワーク吸着プレートに吸着固定
しながら前記ヒータを加熱するようにしたことを特徴と
し、もって、効率の良いワーク加熱を可能にするととも
に、装置の小型化，低兼化を図ったものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】図１は、本発明によるホットプレ
ートの一実施例を説明するための要部概略構成図で、図
中、１はヒータ、２は加熱プレート、３は多孔質材で形
成されかつ表面３ａの平面精度の良いワーク吸着プレー
ト、４は凹部４ａと該凹部４ａに連通する吸気口４ｂを
有するワーク吸着プレート載置台で、本発明によるワー
ク吸着ホットプレートは、図１に示すように、多孔質材
料によって形成されたワーク吸着プレート３の吸着面３
ａと該吸着面３ａから吸入した空気の排気経路となる凹
部４ａと吸気口４ｂからなるワーク吸着部５、吸気口４
ｂに接続される吸引機構（以下、真空ポンプ，図示せ
ず）、及び、前記吸着部５を加熱するヒータ部６から構
成されている。
ートの一実施例を説明するための要部概略構成図で、図
中、１はヒータ、２は加熱プレート、３は多孔質材で形
成されかつ表面３ａの平面精度の良いワーク吸着プレー
ト、４は凹部４ａと該凹部４ａに連通する吸気口４ｂを
有するワーク吸着プレート載置台で、本発明によるワー
ク吸着ホットプレートは、図１に示すように、多孔質材
料によって形成されたワーク吸着プレート３の吸着面３
ａと該吸着面３ａから吸入した空気の排気経路となる凹
部４ａと吸気口４ｂからなるワーク吸着部５、吸気口４
ｂに接続される吸引機構（以下、真空ポンプ，図示せ
ず）、及び、前記吸着部５を加熱するヒータ部６から構
成されている。
【００１３】図１において、今、吸気口４ｂに接続され
た真空ポンプにより吸気することにより、多孔質材料３
の微細な空孔を通してワーク１０に対して吸引力が作用
し、ワーク１０は吸着面３ａ上に均一に接触して吸着固
定される。このように、本発明によると、ワーク１０を
吸着固定した状態で加熱を行うことができるので、ワー
クを均一に加熱することができる。また、ワーク吸着面
３ａの平面精度を高めることによって、ワーク１０に歪
みがつかず、ワーク１０の平面精度を損うことなく吸着
することができる。また、ワーク１０の性質（平面精度
や面の粗さや剛性や熱膨張）による吸着状態の変化に
は、真空ポンプの排気量を調整したり、多孔質材料３の
粒径を変更することによって対応することができる。ま
た、フィルム基板を多孔質材料の吸着プレートに吸着保
持することによって、フィルム基板全面に等しく吸引力
が伝わり、熱膨張による反りや歪みを防ぐことができ、
フィルム基板を均一に加熱することが可能となる。
た真空ポンプにより吸気することにより、多孔質材料３
の微細な空孔を通してワーク１０に対して吸引力が作用
し、ワーク１０は吸着面３ａ上に均一に接触して吸着固
定される。このように、本発明によると、ワーク１０を
吸着固定した状態で加熱を行うことができるので、ワー
クを均一に加熱することができる。また、ワーク吸着面
３ａの平面精度を高めることによって、ワーク１０に歪
みがつかず、ワーク１０の平面精度を損うことなく吸着
することができる。また、ワーク１０の性質（平面精度
や面の粗さや剛性や熱膨張）による吸着状態の変化に
は、真空ポンプの排気量を調整したり、多孔質材料３の
粒径を変更することによって対応することができる。ま
た、フィルム基板を多孔質材料の吸着プレートに吸着保
持することによって、フィルム基板全面に等しく吸引力
が伝わり、熱膨張による反りや歪みを防ぐことができ、
フィルム基板を均一に加熱することが可能となる。
【００１４】熱による影響が大きいワークを吸着面へ供
給し、或いは、吸着面から排出する時に、ワーク搬送部
と真空吸着部を連動して動作させることによって、ワー
クを吸着面に固定するときには、吸着面にワークを載置
した後、ワークの外周部（少なくともワークの四隅）を
押さえた状態で真空ポンプを起動（あるいは電磁弁等を
開放する）し、真空リーク感知器によってワーク１０が
吸着されたことを確認した後、ワーク搬送部の吸着パッ
ド等のワークとの接着を解除し、ワーク上からフィルム
搬送部を引き上げる。逆に、ワークを吸着面から排出す
るときは、ワークが吸着面に吸着している状態で、搬送
部の吸着パッドをワークに接着させ、吸着部の真空破壊
を真空リーク感知器によって確認した後、ワークを吸着
プレートから引き上げることによって、ワークの吸着ホ
ットプレートへの確実な搬送を行うことができる。
給し、或いは、吸着面から排出する時に、ワーク搬送部
と真空吸着部を連動して動作させることによって、ワー
クを吸着面に固定するときには、吸着面にワークを載置
した後、ワークの外周部（少なくともワークの四隅）を
押さえた状態で真空ポンプを起動（あるいは電磁弁等を
開放する）し、真空リーク感知器によってワーク１０が
吸着されたことを確認した後、ワーク搬送部の吸着パッ
ド等のワークとの接着を解除し、ワーク上からフィルム
搬送部を引き上げる。逆に、ワークを吸着面から排出す
るときは、ワークが吸着面に吸着している状態で、搬送
部の吸着パッドをワークに接着させ、吸着部の真空破壊
を真空リーク感知器によって確認した後、ワークを吸着
プレートから引き上げることによって、ワークの吸着ホ
ットプレートへの確実な搬送を行うことができる。
【００１５】なお、以上には、ヒータ部６の上にワーク
吸着部５を載置し、該ヒータ部６によりワーク吸着部５
のワーク吸着プレート３を加熱して、ワーク１０を加熱
する例について説明したが、前記ワーク吸着プレート３
又はワーク吸着プレート載置台４に加熱源（ヒータ）を
一体的に組み込んでおくことも可能であり、このように
すると、該ヒータで発生する熱が装置の周囲に逃げるの
を防止し、効率の良いワーク加熱を行うことができる。
この際、図１に示したヒータ部６を省略してもよいし、
該ヒータ部６と併用してもよい。
吸着部５を載置し、該ヒータ部６によりワーク吸着部５
のワーク吸着プレート３を加熱して、ワーク１０を加熱
する例について説明したが、前記ワーク吸着プレート３
又はワーク吸着プレート載置台４に加熱源（ヒータ）を
一体的に組み込んでおくことも可能であり、このように
すると、該ヒータで発生する熱が装置の周囲に逃げるの
を防止し、効率の良いワーク加熱を行うことができる。
この際、図１に示したヒータ部６を省略してもよいし、
該ヒータ部６と併用してもよい。
【００１６】
【発明の効果】請求項１の発明は、多孔質材で形成され
かつ表面の平面精度の良いワーク吸着プレートと、該ワ
ーク吸着プレートが載置される凹部と該凹部に連通する
吸気口を有するワーク吸着プレート載置台と、該ワーク
吸着プレート載置台を加熱する加熱プレートとを有し、
前記ワーク吸着プレートの凹部の上にワークを載置し、
前記凹部内を前記吸気口を通して吸気して前記ワークを
前記ワーク吸着プレートに吸着固定しながら前記加熱プ
レートを加熱するようにしたので、ワークを吸着面に固
定しながら加熱でき、ワークの接触面を均一に加熱する
ことができる。
かつ表面の平面精度の良いワーク吸着プレートと、該ワ
ーク吸着プレートが載置される凹部と該凹部に連通する
吸気口を有するワーク吸着プレート載置台と、該ワーク
吸着プレート載置台を加熱する加熱プレートとを有し、
前記ワーク吸着プレートの凹部の上にワークを載置し、
前記凹部内を前記吸気口を通して吸気して前記ワークを
前記ワーク吸着プレートに吸着固定しながら前記加熱プ
レートを加熱するようにしたので、ワークを吸着面に固
定しながら加熱でき、ワークの接触面を均一に加熱する
ことができる。
【００１７】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、前記多孔質材料が金属の焼結体であるので、多孔質
材料に微細な空孔を有する金属の焼結体を用いているた
め、吸着孔上のワーク部分が微小になり、他のワーク部
分と一様に加熱することができる。
て、前記多孔質材料が金属の焼結体であるので、多孔質
材料に微細な空孔を有する金属の焼結体を用いているた
め、吸着孔上のワーク部分が微小になり、他のワーク部
分と一様に加熱することができる。
【００１８】請求項３の発明は、請求項１の発明におい
て、前記多孔質材料がセラミックであるので、吸着面上
のワークを剥離するときに発生する静電気の影響を軽減
することができる。
て、前記多孔質材料がセラミックであるので、吸着面上
のワークを剥離するときに発生する静電気の影響を軽減
することができる。
【００１９】請求項４の発明は、請求項１乃至３のいず
れかの発明において、前記ワークを吸着するワーク吸着
部と該ワーク吸着部を加熱するために下面全面に接触し
ているヒータ部とが分離されているので、吸着部が汚れ
たときに、該吸着部をヒータ部から分離することによっ
て、ヒータ部の電気系への悪影響を考慮することなく水
による超音波洗浄を行うことができる。
れかの発明において、前記ワークを吸着するワーク吸着
部と該ワーク吸着部を加熱するために下面全面に接触し
ているヒータ部とが分離されているので、吸着部が汚れ
たときに、該吸着部をヒータ部から分離することによっ
て、ヒータ部の電気系への悪影響を考慮することなく水
による超音波洗浄を行うことができる。
【００２０】請求項５の発明は、請求項１乃至４のいず
れかの発明において、前記ワーク吸着部に該ワーク吸着
部を加熱する発熱源が一体的に組み込まれているので、
ヒータが吸着部内に埋設されることによって、ヒータで
発生する熱が装置の周囲に逃げることを防ぎ、効率の良
いワークの加熱を行うことができる。
れかの発明において、前記ワーク吸着部に該ワーク吸着
部を加熱する発熱源が一体的に組み込まれているので、
ヒータが吸着部内に埋設されることによって、ヒータで
発生する熱が装置の周囲に逃げることを防ぎ、効率の良
いワークの加熱を行うことができる。
【００２１】請求項６の発明は、請求項１乃至５のいず
れかの発明において、前記ワークがフィルムのような可
撓性基板である場合において、ワークの搬送とワークの
吸引とが連動して該ワークが吸着面へ供給されるので、
吸着プレートの吸引機構（真空ポンプ）とワーク搬送部
のワークを保持する吸着パッド部を連係することによっ
て、フィルムのような可撓性基板の熱膨張による反りや
歪みを防ぐことができ、基板を均一に吸着することがで
きる。
れかの発明において、前記ワークがフィルムのような可
撓性基板である場合において、ワークの搬送とワークの
吸引とが連動して該ワークが吸着面へ供給されるので、
吸着プレートの吸引機構（真空ポンプ）とワーク搬送部
のワークを保持する吸着パッド部を連係することによっ
て、フィルムのような可撓性基板の熱膨張による反りや
歪みを防ぐことができ、基板を均一に吸着することがで
きる。
【００２２】請求項７の発明は、多孔質材で形成されか
つ表面の平面精度の良いワーク吸着プレートと、該ワー
ク吸着プレートが載置される凹部と該凹部に連通する吸
気口を有するワーク吸着プレート載置台と、前記ワーク
吸着プレート又はワーク吸着プレート載置台に設けられ
たヒータとを有し、前記ワーク吸着プレートの凹部の上
にワークを載置し、前記凹部内を前記吸気口を通して吸
気して前記ワークを前記ワーク吸着プレートに吸着固定
しながら前記ヒータを加熱するようにしたので、効率の
良いワーク加熱を可能にするとともに、装置の小型化，
低兼化を図ることができる。
つ表面の平面精度の良いワーク吸着プレートと、該ワー
ク吸着プレートが載置される凹部と該凹部に連通する吸
気口を有するワーク吸着プレート載置台と、前記ワーク
吸着プレート又はワーク吸着プレート載置台に設けられ
たヒータとを有し、前記ワーク吸着プレートの凹部の上
にワークを載置し、前記凹部内を前記吸気口を通して吸
気して前記ワークを前記ワーク吸着プレートに吸着固定
しながら前記ヒータを加熱するようにしたので、効率の
良いワーク加熱を可能にするとともに、装置の小型化，
低兼化を図ることができる。
【図１】 本発明による吸着ホットプレートの一実施例
を説明するための要部概略構成図である。
を説明するための要部概略構成図である。
【図２】 従来のホットプレートの一例を説明するため
の要部概略構成図である。
の要部概略構成図である。
１…ヒータ、２…加熱プレート、３…ワーク吸着プレー
ト、４…ワーク吸着プレート載置台、４ａ…凹部、４ｂ
…吸気口、５…ワーク吸着部、６…ヒータ部、１０…ワ
ーク。
ト、４…ワーク吸着プレート載置台、４ａ…凹部、４ｂ
…吸気口、５…ワーク吸着部、６…ヒータ部、１０…ワ
ーク。
Claims (7)
- 【請求項１】 多孔質材で形成されかつ表面の平面精度
の良いワーク吸着プレートと、該ワーク吸着プレートが
載置される凹部と該凹部に連通する吸気口を有するワー
ク吸着プレート載置台と、該ワーク吸着プレート載置台
を加熱する加熱プレートとを有し、前記ワーク吸着プレ
ートの凹部の上にワークを載置し、前記凹部内を前記吸
気口を通して吸気して前記ワークを前記ワーク吸着プレ
ートに吸着固定しながら前記加熱プレートを加熱するよ
うにしたことを特徴とするホットプレート。 - 【請求項２】 前記多孔質材料が金属の焼結体であるこ
とを特徴とする請求項１に記載のホットプレート。 - 【請求項３】 前記多孔質材料がセラミックであること
を特徴とする請求項１に記載のホットプレート。 - 【請求項４】 前記ワーク吸着プレート載置台と該ワー
ク吸着プレート載置台の下面に接触して前記ワーク吸着
プレート載置台を加熱する前記加熱プレートとが、分離
可能に接触していることを特徴とする請求項１乃至３の
いずれかに記載のホットプレート。 - 【請求項５】 前記ワーク吸着プレート又はワーク吸着
プレート載置台に該ワークを加熱する発熱源が一体的に
組み込まれていることを特徴とする請求項１乃至４のい
ずれかに記載のホットプレート。 - 【請求項６】 前記ワークがフィルムのような可撓性基
板である場合において、ワークの搬送とワークの吸引と
が連動して該ワークが前記ワーク吸着プレートの吸着面
へ供給されることを特徴とする請求項１乃至５のいずれ
かに記載のホットプレート。 - 【請求項７】 多孔質材で形成されかつ表面の平面精度
の良いワーク吸着プレートと、該ワーク吸着プレートが
載置される凹部と該凹部に連通する吸気口を有するワー
ク吸着プレート載置台と、前記ワーク吸着プレート又は
ワーク吸着プレート載置台に設けられたヒータとを有
し、前記ワーク吸着プレートの凹部の上にワークを載置
し、前記凹部内を前記吸気口を通して吸気して前記ワー
クを前記ワーク吸着プレートに吸着固定しながら前記ヒ
ータを加熱するようにしたことを特徴とするホットプレ
ート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26935297A JPH1197161A (ja) | 1997-09-16 | 1997-09-16 | ホットプレート |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26935297A JPH1197161A (ja) | 1997-09-16 | 1997-09-16 | ホットプレート |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1197161A true JPH1197161A (ja) | 1999-04-09 |
Family
ID=17471191
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26935297A Pending JPH1197161A (ja) | 1997-09-16 | 1997-09-16 | ホットプレート |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1197161A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007306014A (ja) * | 2007-06-18 | 2007-11-22 | Seiko Epson Corp | 圧電体素子およびインクジェット式記録ヘッドの製造方法 |
| JP2007306015A (ja) * | 2007-06-18 | 2007-11-22 | Seiko Epson Corp | 圧電体素子およびインクジェット式記録ヘッドの製造方法 |
| JP2011007413A (ja) * | 2009-06-25 | 2011-01-13 | Noriko Utano | 太陽電池印刷用乾燥装置 |
| JP2018025776A (ja) * | 2016-08-09 | 2018-02-15 | 陽程科技股▲ふん▼有限公司 | フレキシブル表示器及びキャリア基板の分離方法 |
| JP2018056237A (ja) * | 2016-09-27 | 2018-04-05 | 日本特殊陶業株式会社 | 対象物載置用部材 |
| CN110405159A (zh) * | 2019-08-29 | 2019-11-05 | 郑州为新科技有限公司 | 一种v法造型加热装置 |
-
1997
- 1997-09-16 JP JP26935297A patent/JPH1197161A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007306014A (ja) * | 2007-06-18 | 2007-11-22 | Seiko Epson Corp | 圧電体素子およびインクジェット式記録ヘッドの製造方法 |
| JP2007306015A (ja) * | 2007-06-18 | 2007-11-22 | Seiko Epson Corp | 圧電体素子およびインクジェット式記録ヘッドの製造方法 |
| JP2011007413A (ja) * | 2009-06-25 | 2011-01-13 | Noriko Utano | 太陽電池印刷用乾燥装置 |
| JP2018025776A (ja) * | 2016-08-09 | 2018-02-15 | 陽程科技股▲ふん▼有限公司 | フレキシブル表示器及びキャリア基板の分離方法 |
| JP2018056237A (ja) * | 2016-09-27 | 2018-04-05 | 日本特殊陶業株式会社 | 対象物載置用部材 |
| CN110405159A (zh) * | 2019-08-29 | 2019-11-05 | 郑州为新科技有限公司 | 一种v法造型加热装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20050916 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20060228 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |