JPH1195116A - レーザ走査型顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、光偏向器や光学系の各偏向特性の影
響を受けずに、光量損失なく、試料の情報を正確に得
る。 【解決手段】光ビーム２を第１及び第２の光偏向器５、
８により偏向して試料１７上を走査し、この試料１７か
らの反射光を検出器１５で検出して試料１７の画像を得
る場合、光ビーム２の光路上にレーザ調光器４０を配置
し、かつ第１及び第２の光偏向器５、８や光学系による
試料１７上の走査位置に対応したレーザ強度調整情報を
調光データ記憶部４１の調光データメモリ４４に記憶
し、このレーザ強度調整情報に基づいてロータリーＮＤ
フィルタ等のレーザ調光器４０で光ビーム２の透過光量
を調整する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ走査型顕微
鏡に関する。

【０００２】

【従来の技術】図７はレーザ走査型共焦点顕微鏡の構成
図である。等価的に点光源と考えられるレーザ光源１か
ら出力される光ビーム２の光軸３上には、ビームスプリ
ッタ４が配置されている。

【０００３】このビームスプリッタ４の透過光路上（光
軸３上）には、二次元走査のうちＸ方向の第１の光偏向
器５、各瞳伝送レンズ６、７及び二次元走査のうちＹ方
向の第２の光偏向器８が配置され、さらに瞳投影レンズ
９、結像レンズ１０、瞳１１を介して対物レンズ１２が
配置されている。このうち第１及び第２の光偏向器５、
８は、対物レンズ１２の瞳１１の位置と共役な位置に配
置されている。

【０００４】又、ビームスプリッタ４の分岐光路上に
は、集光レンズ１３、ピンホール１４を介して検出器１
５が配置されている。このような構成であれば、レーザ
光源１から出力された光ビーム２は、ビームスプリッタ
４を透過して第１の光偏向器５に入射する。

【０００５】この第１の光偏向器５は、光ビーム２に対
してＸ方向の偏向を行うものであるが、偏向を行わなけ
れば、光ビーム２は、光軸３に沿って進む。又、第１の
光偏向器５がＸ方向の偏向を行い光ビーム２を走査する
場合には、光ビーム２は、軸外主光線１６に一致する方
向に進む。

【０００６】これら光ビーム２は、Ｘ方向の偏向を行う
行わないのいずれにしても、各瞳伝送レンズ６、７を通
って第２の光偏向器８に入射する。この第２の光偏向器
８は、入射する光ビーム２に対してＹ方向の偏向を行
う。

【０００７】従って、第１及び第２の光偏向器５、８に
より二次元的に走査された光ビーム２は、瞳投影レンズ
９及び結像レンズ１０により対物レンズ１２の瞳１１に
入射する。そして、これら光ビーム２は、対物レンズ１
２によって試料１７上に回折によって制限される点状光
を生じる。

【０００８】この点状光は、第１及び第２の光偏向器
５、８による二次元的走査によって試料１７面上を二次
元走査される。この点状光の二次元走査により試料１７
から反射された光ビームは、対物レンズ１２とその瞳１
１を通過し、さらに結像レンズ１０を通って一旦結像す
る。なお、この結像面が、通常の光学顕微鏡で像を観察
する面である。さらに、光ビームは、瞳投影レンズ９を
通って第２の光偏向器８に戻る。

【０００９】このように試料１７で反射した光ビーム
は、試料１７に照射したときと全く同じ光路を逆方向に
通ってビームスプリッタ４に戻り、このビームスプリッ
タ４により検出ビーム１８として取り出される。

【００１０】この検出ビーム１８は、光ビームが第１及
び第２の光偏向器６、７を通過して戻ってきているの
で、軸外主光線１６を走査しても動かない。この検出ビ
ーム１８は、集光レンズ１３によって点状に絞られ、こ
の点状に絞られた位置のピンホール１４を通り、検出器
１５に入射する。

【００１１】このように検出器１５で検出すれば、フレ
アのない、通常の顕微鏡より高解像の画像が得られる。
なお、ピンホール１４は、配置しなくても通常の画像が
得られる。

【００１２】以上の顕微鏡において、第１及び第２の光
偏向器６、７に音響光学偏向素子（ＡＯＤ）を用いる
と、このＡＯＤの特性として光ビームの回折効率が偏向
角によって変化するため、試料１７に照射されるレーザ
強度が走査位置によって変化するという問題がある。

【００１３】又、第１及び第２の光偏向器６、７にガル
バノミラーを用いる場合、一般に反射による光量の損失
を考慮し、ミラーに高反射ミラーを用いることが多い。
この高反射ミラーにおいても、反射率が偏向角によって
変化するため、上記同様に試料１７に照射されるレーザ
強度が走査位置によって変化するという問題がある。
又、光偏向器以外にもレンズ等の収差によりレーザ強度
が走査位置によって変化することは言うまでもない。

【００１４】このような問題を解決する技術として例え
ば特開平７−１３９９３１号公報に記載されているもの
がある。図８はかかるレーザ走査型顕微鏡の構成図であ
る。

【００１５】レーザ発振器２０から出力された光ビーム
２１は、光量調整器２２に入射し、その後にレーザビー
ム偏光部２３により結像面Ｌで二次走査されるように偏
向される。

【００１６】さらに、光ビーム２１は、ビームスプリッ
タ２４で２方向に分岐され、そのうちビームスプリッタ
２４を透過した光ビームは、対物レンズ２５の瞳２６に
入射し、この対物レンズ２５でスライドグラス２７上に
載置された試料２８に集光走査される。

【００１７】一方、ビームスプリッタ２４で反射した光
ビームは、開口２９を経て光検出器３０に入射し、ここ
で光電変換される。この光検出器３０の出力信号は、制
御部３１に送られる。

【００１８】この制御部３１は、光検出器３０に入射す
る光量が光ビーム２１の偏向走査中に一定になるように
光量調整器２２の光ビームの透過率を調整する。ここ
で、開口２９は、対物レンズ２５の瞳２６と等価な位
置、すなわち対物レンズ２５の瞳２６に入射する光ビー
ム２１の瞳２６の面上の強度分布が、開口２９の面上の
郷土分布と絶対強度を除いて同じ形状になる位置に配置
されているので、試料２８上を照射する光ビームのスポ
ットの強度も走査中一定となる。

【００１９】

【発明が解決しようとする課題】このように上記顕微鏡
では、試料２８に照射される光ビーム２１の強度は一定
に制御されるが、試料２８で反射された光ビームは、レ
ーザビーム偏光部２３に向けて戻り、その後に図示しな
いビームスプリッタにより分離され、検出器により検出
されて画像が得られるものとなる。

【００２０】しかしながら、再びレーザビーム偏光部２
３の偏向特性の影響を受けるため、検出器で検出される
情報としは依然として、試料２８の本来の情報とは異な
ってしまう。

【００２１】又、光ビームをビームスプリッタ２４で分
岐するので、光量を損失してしまう上に、光量を検出す
るための検出器がさらに必要となるために顕微鏡が複雑
かつ高価となる。

【００２２】そこで本発明は、光偏向器や光学系の各偏
向特性の影響を受けずに、光量損失なく、試料の情報を
正確に得られるレーザ走査型顕微鏡を提供することを目
的とする。

【００２３】

【課題を解決するための手段】請求項１によれば、レー
ザ光を光偏向光学系により偏向して試料上を走査し、こ
の試料からの反射光を検出して試料の画像を得るレーザ
走査型顕微鏡において、光偏向光学系による試料上の走
査位置に対応してレーザ強度調整情報を予め記憶する記
憶手段と、この記憶手段に記憶されているレーザ強度調
整情報に基づいてレーザ光の光量を調整するレーザ強度
調整手段とを備えたレーザ走査型顕微鏡である。

【００２４】請求項２によれば、請求項１記載のレーザ
走査型顕微鏡において、レーザ強度調整手段は、レーザ
光をＮＤフィルターに透過させる、又はレーザ光を出力
するレーザ発振器の出力を制御する機能を有する。

【００２５】請求項３によれば、レーザ光を光偏向光学
系により偏向して試料上を走査し、この試料からの反射
光を検出器により検出して試料の画像を得るレーザ走査
型顕微鏡において、光偏向光学系による試料上の走査位
置に対応する検出器の検出信号調整情報を予め記憶する
記憶手段と、この記憶手段に記憶されている検出信号調
整情報に基づいて検出器から出力される画像信号を可変
増幅する可変増幅器とを備えたレーザ走査型顕微鏡であ
る。

【００２６】

【発明の実施の形態】

(1) 以下、本発明の第１の実施の形態について図面を参
照して説明する。なお、図７と同一部分には同一符号を
付してその詳しい説明は省略する。図１はレーザ走査型
顕微鏡の構成図である。

【００２７】レーザ光源１から出力される光ビーム２の
光軸３上におけるビームスプリッタ４の手前側には、レ
ーザ調光器４０が配置されている。このレーザ調光器４
０は、例えば図２(a) に示すようにロータリーＮＤフィ
ルタが用いられる。このロータリーＮＤフィルタは、回
転自在な円形に形成され、回転角度θに対応して光ビー
ムの透過率が変化するように形成されている。

【００２８】又、このレーザ調光器４０は、例えば図２
(b) に示すようにリニア型ＮＤフィルタが用いられる。
このリニア型ＮＤフィルタは、長方形状に形成され、リ
ニアの移動距離Ｄに対応してレーザ光の透過率が変化す
るように形成されている。

【００２９】一方、調光データ記憶部４１には、第１及
び第２の光偏向器５、８による試料１７への走査位置に
対応したレーザ強度調整情報が記憶されている。具体的
には、ＣＰＵから成る主制御部４２に対して画像メモリ
４３及び調光データメモリ４４が接続された構成となっ
ている。

【００３０】このうち画像メモリ４３には、検出器１５
から出力された画像信号が画像データとして記憶される
ものとなっている。又、調光データメモリ４４には、レ
ーザ強度調整情報が記憶される。このレーザ強度調整情
報は、第１及び第２の光偏向器５、８により光ビーム２
を偏向し、試料１７上を走査し、検出器１５まで戻って
くる光路で受ける影響を、試料１７の走査位置に対応し
て取り除くためのデータである。

【００３１】このレーザ強度調整情報は、設計時に算出
される理論値、又はミラー等の反射率の一様な試料を観
察し、そのときの画像信号から実験的に算出した値が採
用されている。

【００３２】例えば、このレーザ強度調整情報を、ミラ
ー等の一様な反射率の試料を観察したときの画像信号か
ら算出する方法は次の通りである。試料１７としてミラ
ー等の一様な反射率を持つものを用いる。

【００３３】光ビーム２を第１及び第２の光偏向器５、
８によって図３(a) に示すように試料１７上にＸＹ方向
に走査し、このとき検出器１５から出力される画像信号
を画像データとして画像メモリ４３に記憶する。

【００３４】この画像データにおいて、試料１７上の一
走査の画像データは、上記の如く第１及び第２の光偏向
器５、８により偏向され、反射率の一様な試料１７上を
走査し、検出器１５まで戻ってくる光路で影響を受ける
ことにより、図３(b) に示すように輝度レベルが一定に
ならない値となってしまう。

【００３５】そこで、主制御部４２は、図３(b) に示す
輝度レベルの画像データを、本来の図３(c) に示す輝度
レベル一定の画像データに補正するために、図３(d) に
示す補正係数から成るレーザ強度調整情報を作成するも
のとなる。

【００３６】なお、このレーザ強度調整情報が予め分か
っていれば、外部から調光データメモリ４４に記憶して
もよい。走査制御部４５は、Ｘ方向用の第１の光偏向器
５を駆動するとともにＹ方向用の第２の光偏向器８を駆
動制御し、かつ図４に示す調光制御フローチャートに従
い、第１及び第２の光偏向器５、８を駆動制御する走査
制御信号に同期して光ビーム２の試料１７上の走査位置
と同一位置に対応するレーザ強度調整情報を調光データ
メモリ４４から読み出し、このレーザ強度調整情報に従
ってレーザ調光器４０の光ビーム２に対する透過光量を
調整するレーザ強度調整手段としての機能を有してい
る。

【００３７】なお、この走査制御部４５は、レーザ調光
器４０がロータリーＮＤフィルタであれば、光ビーム２
の試料１７上の走査位置に対応したロータリーＮＤフィ
ルタの回転角度を予め記憶し、この回転角度の指令をロ
ータリーＮＤフィルタに発するものとなる。

【００３８】又、主制御部４２は、レーザ調光器４０が
リニア型ＮＤフィルタであれば、光ビーム２の試料１７
上の走査位置に対応したリニア型ＮＤフィルタの移動位
置を予め記憶し、この移動位置の指令をリニア型ＮＤフ
ィルタに発するものとなる。

【００３９】次に上記の如く構成された顕微鏡の作用に
ついて説明する。レーザ光源１から出力された光ビーム
２は、レーザ調光器４０、ビームスプリッタ４を透過し
て第１の光偏向器５に入射する。

【００４０】この第１の光偏向器５は、走査制御部４５
からの駆動信号を受けてＸ方向に偏向を行わなければ、
光ビーム２を光軸３に沿って進ませ、かつ走査制御部４
５からの駆動信号を受けてＸ方向に偏向を行えば、光ビ
ーム２を軸外主光線１６に一致する方向に進ませる。

【００４１】これら光ビーム２は、偏向を行う行わない
のいずれにしても、各瞳伝送レンズ６、７を通って第２
の光偏向器８に入射する。この第２の光偏向器８は、走
査制御部４５からの駆動信号を受けて入射する光ビーム
２に対してＹ方向の偏向を行う。

【００４２】従って、第１及び第２の光偏向器５、８に
より二次元的に走査された光ビーム２は、瞳投影レンズ
９及び結像レンズ１０により対物レンズ１２の瞳１１に
入射し、対物レンズ１２によって試料１７上に回折によ
って制限される点状光を生じる。

【００４３】この点状光は、第１及び第２の光偏向器
５、８によって試料１７面上を二次元走査される。この
点状光の二次元走査により試料１７から反射された光ビ
ームは、対物レンズ１２とその瞳１１を通過し、さらに
結像レンズ１０を通って一旦結像し、さらに瞳投影レン
ズ９を通って第２の光偏向器８に戻る。

【００４４】このように試料１７で反射した光ビーム
は、試料１７に照射したときと全く同じ光路を逆方向に
通ってビームスプリッタ４に戻り、このビームスプリッ
タ４により検出ビーム１８として取り出される。

【００４５】この検出ビーム１８は、光ビームが第１及
び第２の光偏向器６、７を通過して戻ってきているの
で、軸外主光線１６を走査しても動かない。この検出ビ
ーム１８は、集光レンズ１３によって点状に絞られ、こ
の点状に絞られた位置のピンホール１４を通り、検出器
１５に入射する。

【００４６】このように検出器１５で検出すれば、フレ
アのない、通常の顕微鏡より高解像の画像が得られる。
なお、ピンホール１４は、配置しなくても通常の画像が
得られる。

【００４７】このように試料１７の画像を得る場合、走
査制御部４５は、図４に示す調光制御フローチャートに
従い、ステップ＃１において調光データメモリ４４に記
憶されているレーザ強度調整情報を読み出す。

【００４８】次に走査制御部４５は、ステップ＃２にお
いてＸ方向用の第１の光偏向器５を駆動するとともにＹ
方向用の第２の光偏向器８の駆動制御を開始する。次に
走査制御部４５は、ステップ＃３において第１及び第２
の光偏向器５、８を駆動制御する走査制御信号に同期し
て光ビーム２の試料１７上の走査位置と同一位置に対応
するレーザ強度調整情報を検索し、その検索したレーザ
強度調整情報に従ってレーザ調光器４０の光ビーム２に
対する透過光量を調整する。

【００４９】例えば、レーザ調光器４０がロータリーＮ
Ｄフィルタであれば、走査制御部４５は、光ビーム２の
試料１７上の走査位置に対応したロータリーＮＤフィル
タの回転角度の回転指令をロータリーＮＤフィルタに発
する。

【００５０】これにより、検出器１５は、第１及び第２
の光偏向器５、８により光ビーム２を偏向し、試料１７
上を走査し、検出器１５まで戻ってくる光路で受ける影
響を往復とも取り除いたデータを得ることになる。

【００５１】このように上記第１の実施の形態において
は、第１及び第２の光偏向器５、８や光学系による試料
１７上の走査位置に対応してレーザ強度調整情報を調光
データメモリ４４に予め記憶し、このレーザ強度調整情
報に基づいてロータリーＮＤフィルタ等のレーザ調光器
４０で光ビーム２の透過光量を調整するようにしたの
で、第１及び第２の光偏向器５、８により偏向して試料
１７上を走査し、検出器１５まで戻ってくる往復での光
路で受ける影響を取り除くことができ、試料１７の正確
な情報を得ることができる。さらに、図８に示すように
対物レンズに入射する光ビーム２を分割することがない
ので光ビーム２を損失することなく、光路上に新たにレ
ーザ調光器４０を配置するだけの簡単な構成でかつ安価
にできる。 (2) 次に、本発明の第２の実施の形態について図面を参
照して説明する。なお、図１と同一部分には同一符号を
付してその詳しい説明は省略する。

【００５２】図５はレーザ走査型顕微鏡の構成図であ
る。レーザ光源５０としては、光ビーム２の出力を制御
自在であるもの、例えば電流制御により出力制御可能な
半導体レーザが用いられている。このレーザ光源５０に
は、電流制御部５１が備えられ、この電流制御部５１に
よりレーザ出力が制御されるものとなっている。

【００５３】一方、走査制御部５２は、第１及び第２の
光偏向器５、８を駆動制御し、かつレーザ強度調整情報
を調光データメモリ４４から読み出し、第１及び第２の
光偏向器５、８を駆動制御する走査制御信号に同期して
光ビーム２の試料１７上の走査位置と同一位置に対応す
るレーザ強度調整情報を検索し、この検索したレーザ強
度調整情報に従ってレーザ光源５０の光ビーム２の出力
を制御する出力制御信号を電流制御部５１に送出する機
能を有している。

【００５４】次に上記の如く構成された顕微鏡の作用に
ついて説明する。レーザ光源５０から出力された光ビー
ム２は、上記同様に、ビームスプリッタ４を透過して第
１の光偏向器５に入射し、ここでＸ方向の偏向を受け、
各瞳伝送レンズ６、７を通って第２の光偏向器８に入射
してＹ方向の偏向を受ける。

【００５５】このように二次元的に走査された光ビーム
２は、瞳投影レンズ９及び結像レンズ１０により対物レ
ンズ１２の瞳１１に入射し、対物レンズ１２によって試
料１７上に回折によって制限される点状光を生じ、試料
１７面上を二次元走査される。

【００５６】この試料１７から反射された光ビームは、
試料１７に照射したときと全く同じ光路を逆方向に通っ
てビームスプリッタ４に戻り、このビームスプリッタ４
により検出ビーム１８として取り出される。この検出ビ
ーム１８は、集光レンズ１３からピンホール１４を通
り、検出器１５に入射する。

【００５７】このように検出器１５で検出すれば、フレ
アのない、通常の顕微鏡より高解像の画像が得られる。
このように試料１７の画像を得る場合、走査制御部５２
は、第１及び第２の光偏向器５、８を駆動制御するとと
もに、かつレーザ強度調整情報を調光データメモリ４４
から読み出す。

【００５８】そして、走査制御部５２は、第１及び第２
の光偏向器５、８を駆動制御する走査制御信号に同期し
て光ビーム２の試料１７上の走査位置と同一位置に対応
するレーザ強度調整情報を検索し、この検索したレーザ
強度調整情報に従ってレーザ光源５０の光ビーム２の出
力を制御する出力制御信号を電流制御部５１に送出す
る。

【００５９】このレーザ光源５０は、電流制御部５１の
電流制御により光ビーム２の出力すなわち光量が制御さ
れる。従って、検出器１５は、上記同様に、第１及び第
２の光偏向器５、８により光ビーム２を偏向し、試料１
７上を走査し、検出器１５まで戻ってくる光路で受ける
影響を往復とも取り除いたデータを得ることになる。

【００６０】このように上記第２の実施の形態において
は、第１及び第２の光偏向器５、８や光学系による試料
１７上の走査位置に対応してレーザ強度調整情報を調光
データメモリ４４に予め記憶し、このレーザ強度調整情
報に基づいてレーザ光源５０の出力を制御するようにし
たので、上記第１の実施の形態の効果と同様な効果を奏
することは言うまでもなく、さらに上記第１の実施の形
態のようにレーザ調光器４０を配置することなく、構成
を簡易化できかつ安価にできる。 (3) 次に、本発明の第３の実施の形態について図面を参
照して説明する。なお、図１と同一部分には同一符号を
付してその詳しい説明は省略する。

【００６１】図６はレーザ走査型顕微鏡の構成図であ
る。検出器１５から出力される画像信号は、調光データ
記憶部４１の画像メモリ４３に送られるとともに、図示
しない切替器を介して可変増幅器６０から画像処理部６
１に送られている。

【００６２】一方、走査制御部６２は、第１及び第２の
光偏向器５、８を駆動制御し、かつ検出器の検出信号調
整情報を調光データメモリ４４から読み出し、第１及び
第２の光偏向器５、８を駆動制御する走査制御信号に同
期して光ビーム２の試料１７上の走査位置と同一位置に
対応する検出信号調整情報を検索し、この検出信号調整
情報に従って可変増幅器６０に増幅率可変信号を送出す
る機能を有している。

【００６３】画像処理部６１は、可変増幅器６０で可変
増幅された検出器１５からの画像信号を入力し、この画
像信号を画像処理してモニタテレビジョン６３に映し出
す機能を有している。

【００６４】次に上記の如く構成された顕微鏡の作用に
ついて説明する。レーザ光源１から出力された光ビーム
２は、上記同様に、ビームスプリッタ４を透過して第１
の光偏向器５に入射し、ここでＸ方向の偏向を受け、各
瞳伝送レンズ６、７を通って第２の光偏向器８に入射し
てＹ方向の偏向を受ける。

【００６５】このように二次元的に走査された光ビーム
２は、瞳投影レンズ９及び結像レンズ１０により対物レ
ンズ１２の瞳１１に入射し、対物レンズ１２によって試
料１７上に回折によって制限される点状光を生じ、試料
１７面上を二次元走査される。

【００６６】この試料１７から反射された光ビームは、
試料１７に照射したときと全く同じ光路を逆方向に通っ
てビームスプリッタ４に戻り、このビームスプリッタ４
により検出ビーム１８として取り出される。この検出ビ
ーム１８は、集光レンズ１３からピンホール１４を通
り、検出器１５に入射する。

【００６７】この検出器１５は、入射した像を光電変換
し、その画像信号を出力する。この画像信号は、可変増
幅器６１に送られる。一方、走査制御部６２は、第１及
び第２の光偏向器５、８を駆動制御したときの検出信号
調整情報を調光データメモリ４４から読み出す。

【００６８】すなわち、走査制御部６２は、第１及び第
２の光偏向器５、８を駆動制御する走査制御信号に同期
して光ビーム２の試料１７上の走査位置と同一位置に対
応する検出信号調整情報を検索し、この検索して検出信
号調整情報に従って可変増幅器６０に増幅率可変信号を
送出する。

【００６９】従って、可変増幅器６０は、検出器１５か
ら出力された画像信号を可変増幅して画像処理部６１に
送る。この画像処理部６１は、可変増幅器６０で可変増
幅された検出器１５からの画像信号を入力し、この画像
信号を画像処理してモニタテレビジョン６３に映し出
す。

【００７０】このように上記第３の実施の形態において
は、第１及び第２の光偏向器５、８や光学系による試料
１７上の走査位置に対応して検出信号調整情報を調光デ
ータメモリ４４に予め記憶し、この検出信号調整情報に
基づいて可変増幅器６１の増幅率を可変し、検出器１５
から出力される画像信号を可変増幅するようにしたの
で、上記第１の実施の形態の効果と同様な効果を奏する
ことは言うまでもなく、さらに光ビーム２の光路上に新
たに何も配置する必要がなく、構成を簡易化できかつ安
価にできる。

【００７１】なお、本発明は、上記第１〜第３の実施の
形態に限定されるものでなく次の通り変形してもよい。
例えば、上記第１の実施の形態におけるレーザ調光器４
０の配置位置は、レーザ光源１のレーザ出射口の直前に
限らず、光ビーム２が出力されて第１及び第２の光偏向
器５、８などを通って試料１７に照射され、この試料１
７から反射して再び同一光路上を逆方向に伝送して光検
出器１５に到達する光路上であればどこでもよく、特に
実際に配置するのであれば、レーザ光源１から第１の光
偏向器５までの光路上、及びビームスプリッタ４から検
出器１５までの光路上であれば、どこでもよい。

【００７２】又、レーザ調光器４０として例えばロータ
リーＮＤフィルタを用いたり、又はレーザ光源５０の出
力を制御して光ビーム２の光量を制御するのに限らず、
例えば偏光板をレーザ光源１からの光ビーム２の光路上
に配置し、その偏光作用により光ビーム２の光量を制御
するようにしてもよい。

【００７３】

【発明の効果】以上詳記したように本発明の請求項１〜
３によれば、光偏向器や光学系の各偏向特性の影響を受
けずに、光量損失なく、試料の情報を正確に得られるレ
ーザ走査型顕微鏡を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わるレーザ走査型顕微鏡の第１の実
施の形態を示す構成図。

【図２】同顕微鏡に用いられるレーザ調光器の構成図。

【図３】レーザ強度調整情報の作成方法を示す図。

【図４】調光制御フローチャート。

【図５】本発明に係わるレーザ走査型顕微鏡の第２の実
施の形態を示す構成図。

【図６】本発明に係わるレーザ走査型顕微鏡の第３の実
施の形態を示す構成図。

【図７】従来のレーザ走査型共焦点顕微鏡の構成図。

【図８】従来のレーザ走査型顕微鏡の構成図。

【符号の説明】

１，５０…レーザ光源、 ４…ビームスプリッタ、 ５…第１の光偏向器、 ６，７…瞳伝送レンズ、 ８…第２の光偏向器、 ９…瞳投影レンズ、 １０…結像レンズ、 １２…対物レンズ、 １３…集光レンズ、 １４…ピンホール、 １５…検出器、 ４０…レーザ調光器、 ４１…調光データ記憶部、 ４２３…主制御部、 ４３…画像メモリ、 ４４…調光データメモリ、 ４５，５２，６２…走査制御部、 ５１…電流制御部、 ６０…可変増幅器、 ６１…画像処理部、 ６３…モニタテレビジョン。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レーザ光を光偏向光学系により偏向して
   試料上を走査し、この試料からの反射光を検出して前記
   試料の画像を得るレーザ走査型顕微鏡において、 前記光偏向光学系による前記試料上の走査位置に対応し
   てレーザ強度調整情報を予め記憶する記憶手段と、 この記憶手段に記憶されている前記レーザ強度調整情報
   に基づいて前記レーザ光の光量を調整するレーザ強度調
   整手段と、を具備したことを特徴とするレーザ走査型顕
   微鏡。
2. 【請求項２】 前記レーザ強度調整手段は、前記レーザ
   光をＮＤフィルターに透過させる、又は前記レーザ光を
   出力するレーザ発振器の出力を制御する機能を有するこ
   とを特徴とする請求項１記載のレーザ走査型顕微鏡。
3. 【請求項３】 レーザ光を光偏向光学系により偏向して
   試料上を走査し、この試料からの反射光を検出器により
   検出して前記試料の画像を得るレーザ走査型顕微鏡にお
   いて、 前記光偏向光学系による前記試料上の走査位置に対応す
   る検出器の検出信号調整情報を予め記憶する記憶手段
   と、 この記憶手段に記憶されている前記検出信号調整情報に
   基づいて前記検出器から出力される画像信号を可変増幅
   する可変増幅器と、を具備したことを特徴とするレーザ
   走査型顕微鏡。