JPH1190877A - ハンド用アクチュエータおよびハンド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ピストンの往復動に伴う作動流体中に混入し
ているエアによる気泡の発生を防止して、該気泡の圧縮
および膨張による動力伝達への悪影響を阻止すること。 【解決手段】 物体を把持するハンドにおける把持部材
７を往復動させるためのハンド用アクチュエータ１およ
び該ハンド用アクチュエータ１を備えたハンド３におい
て、前記把持部材７を往復動させる一方の軸駆動部シリ
ンダー４内に介挿される一方の軸駆動ピストン１２と、
前記軸駆動部シリンダー４に作動流体を供給する他方の
駆動部シリンダー８内に介挿される他方の駆動ピストン
８１と、前記軸駆動部および駆動部シリンダー４、８に
おける前記軸駆動および駆動のピストン１２、８１によ
って分割される左右の部屋４１、４２、８１、８２の圧
力差を減少させる差圧減少手段１９とから成るハンド用
アクチュエータおよびハンド。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、物体を把持する把
持部材を往復動させるためのハンド用アクチュエータお
よび該ハンド用アクチュエータを備えたハンドにおい
て、前記ハンド用アクチュエータが、前記把持部材を往
復動させる一方のシリンダー内に介挿される一方のピス
トンと、前記一方のシリンダーに作動流体を供給する他
方のシリンダー内に介挿される他方のピストンと、前記
一方および他方のシリンダーにおける前記一方および他
方のピストンによって分割される左右の部屋の圧力差を
減少させる差圧減少手段とから成り、前記ピストンの往
復動に伴う作動流体中に混入しているエアによる気泡の
発生を防止して、該気泡の圧縮および膨張による動力伝
達への悪影響を阻止するハンド用アクチュエータおよび
ハンドに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の自動組付機においては、複雑な組
付作業の自動化を行うことが出来ないため、表１の組付
機のうち、図８に示されるような動作軸数の多い電動の
多関節ロボットＲを使用し、部品Ｐを把持して移動させ
るピックアンドプレース動作（以下Ｐ＆Ｐ）により行っ
ていた。

【表１】

【０００３】またハンドの重量の増加を最小限に抑制す
ることが出来るカム式組付機は、図９に示されるように
カムＣの回転により前後左右に動作するアームＡと、そ
の先端に取り付けられた部品Ｐをピッキングするための
把持機構としてのハンドＨとから構成されている。

【０００４】さらに従来の大型組付機に内蔵されている
ようなサーボモータを用いた動作軸を、組付機本体とハ
ンドの中間に設けるだけでは、重量が増加し、更に組付
機が大型化するので、図１０に示されるようにサーボモ
ータＳＭ等の駆動部Ｄと軸駆動部Ｊを分離し、各々にシ
リンダＣＤとピストンＰＴによる作動機構を設け、この
２つのシリンダ間を液体パイプＣＰで継ないで動力を伝
達するもので、前記軸駆動部Ｊのみをチャックと一体化
することにより、組付機本体が支持すべき重量を低減す
ることで、組付機の小型化をはかる手段がとられてい
る。

【０００５】前記動作軸と前記シリンダの作動方法は、
図１０および図１１に示されるように流体を押し方向の
みに流入させ使用するために、前記シリンダにかかる圧
力は、常に正圧である。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】図８に示される動作軸
数の多い前記電動の多関節ロボットは、結果として組付
機本体が大型化し、価格が上がり、占有スペースが大き
くならざるを得ないという問題があった。

【０００７】図９に示されるカム式組付機は、ハンドの
重量の増加を最小限に抑制することが出来るが、動作軸
数の少ないカム式組付機では複雑な組み付けを行うこと
が出来ないという問題があった。

【０００８】ところが前記従来の分離シリンダーを用い
る組付機においては、図１０ないし図１２に示されるよ
うに物体を把持する把持部材を往復動させるためにシリ
ンダーＣＤ内において、ピストンＰＴを往復動させる使
用態様においては、ピストンＰＴを前方に押す押し動作
とピストンＰＴを手前に引く引き動作の両方があるた
め、正圧と負圧の両方が同時にシリンダＣＤ内に発生す
ることになる。

【０００９】そのため、作動流体の漏れが発生し易く，
流体内部での圧力降下によるキャビテーションが発生
し、すなわち作動流体が膨張することにより、作動流体
に溶け込んでいたエアによって作動流体内に気泡が発生
し、正圧が作用する圧縮状態および負圧が作用する膨張
状態において、作動流体内の気泡が圧縮され、また作動
流体内の気泡が膨張するため、作動力が気泡の圧縮およ
び膨張に変換され、動力伝達に悪影響があり、場合によ
っては動力伝達が行えなくなるという問題があった。

【００１０】そこで本発明者らは、物体を把持する把持
部材を往復動させるためのハンド用アクチュエータおよ
び該ハンド用アクチュエータを備えたハンドにおいて、
一方および他方のシリンダーにおける一方および他方の
ピストンによって分割される左右の部屋の圧力差を減少
させるという本発明の技術的思想に着眼し、さらに研究
開発を重ねた結果、前記ピストンの往復動に伴う作動流
体中に混入しているエアによる気泡の発生を防止して、
該気泡の圧縮および膨張による動力伝達への悪影響を阻
止するという目的を達成する本発明に到達した。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明（請求項１に記載
の第１発明）のハンド用アクチュエータは、物体を把持
するハンドにおける把持部材を往復動させるためのハン
ド用アクチュエータにおいて、前記把持部材を往復動さ
せる一方のシリンダー内に介挿される一方のピストン
と、前記一方のシリンダーに作動流体を供給する他方の
シリンダー内に介挿される他方のピストンと、前記一方
および他方のシリンダーにおける前記一方および他方の
ピストンによって分割される左右の部屋の圧力差を減少
させる差圧減少手段とから成るものである。

【００１２】本発明（請求項２に記載の第２発明）のハ
ンド用アクチュエータは、前記第１発明において、前記
差圧減少手段が、前記他方のシリンダーの一方の部屋か
ら作動流体が供給される前記一方のシリンダーの一方の
部屋に対向する他方の部屋と前記他方のシリンダーの他
方の部屋を連通させる連通手段によって構成されている
ものである。

【００１３】本発明（請求項３に記載の第３発明）のハ
ンド用アクチュエータは、前記第２発明において、前記
一方のシリンダーの前記他方の部屋と前記他方のシリン
ダーの前記他方の部屋と前記連通手段内に作動流体が充
填されているものである。

【００１４】本発明（請求項４に記載の第４発明）のハ
ンド用アクチュエータは、前記第３発明において、前記
他方のシリンダー内に介挿される前記他方のピストン
が、サーボモータによって往復動されるように構成され
ているものである。

【００１５】本発明（請求項５に記載の第５発明）のハ
ンド、物体を把持する把持部材を往復動させるためのハ
ンド用アクチュエータを備えたハンドにおいて、前記ハ
ンド用アクチュエータが、前記把持部材を往復動させる
一方のシリンダー内に介挿される一方のピストンと、前
記一方のシリンダーに作動流体を供給する他方のシリン
ダー内に介挿される他方のピストンと、前記一方および
他方のシリンダーにおける前記一方および他方のピスト
ンによって分割される左右の部屋の圧力差を減少させる
差圧減少手段とから成るものである。

【００１６】本発明（請求項６に記載の第６発明）のハ
ンドは、前記第５発明において、前記ハンドが、物体を
把持する把持部材を往復動させるための複数のハンド用
アクチュエータを備えているものである。

【００１７】

【発明の作用および効果】上記構成より成る第１発明の
ハンド用アクチュエータは、物体を把持するハンドにお
ける把持部材を往復動させるためのハンド用アクチュエ
ータにおいて、前記差圧減少手段が、前記一方および他
方のシリンダーにおける前記一方および他方のピストン
によって分割される左右の部屋の圧力差を減少させるの
で、前記一方および他方のピストンの往復動に伴う作動
流体中に混入しているエアによる気泡の発生を防止し
て、該気泡の圧縮および膨張による動力伝達に悪影響を
阻止するという効果を奏する。

【００１８】上記構成より成る第２発明のハンド用アク
チュエータは、前記第１発明において、前記差圧減少手
段を構成する前記連通手段が、前記他方のシリンダーの
一方の部屋から作動流体が供給される前記一方のシリン
ダーの一方の部屋に対向する他方の部屋と前記他方のシ
リンダーの他方の部屋を連通させているので、前記一方
および他方のピストンの往復動に応じて前記一方および
他方のシリンダーの前記両他方の部屋の圧力を等しくす
るため、前記左右の部屋の圧力差を減少させるので、前
記作動流体中に混入しているエアによる気泡の発生を防
止して、該気泡の圧縮および膨張による動力伝達に悪影
響を阻止するという効果を奏する。

【００１９】上記構成より成る第３発明のハンド用アク
チュエータは、前記第２発明において、前記一方のシリ
ンダーの前記他方の部屋と前記他方のシリンダーの前記
他方の部屋と前記連通手段内に前記作動流体が充填され
ているので、前記一方および他方のピストンの往復動に
応じて前記一方および他方のシリンダーの前記両他方の
部屋に前記作動流体を吸排するため、前記左右の部屋の
圧力差を減少させるので、前記作動流体中に混入してい
るエアによる気泡の発生を防止して、該気泡の圧縮およ
び膨張による動力伝達に悪影響を阻止するという効果を
奏する。

【００２０】上記構成より成る第４発明のハンド用アク
チュエータは、前記第３発明において、前記他方のシリ
ンダー内に介挿される前記他方のピストンが、前記サー
ボモータによって往復動されるので、前記サーボモータ
の回転方向および回転量によって前記他方のピストンの
移動方向および移動量が確実に制御されるという効果を
奏する。

【００２１】上記構成より成る第５発明のハンド、物体
を把持する把持部材を往復動させるためのハンド用アク
チュエータを備えたハンドにおいて、前記ハンド用アク
チュエータを構成する前記差圧減少手段が、前記一方お
よび他方のシリンダーにおける前記一方および他方のピ
ストンによって分割される左右の部屋の圧力差を減少さ
せるので、前記一方および他方のピストンの往復動に伴
う作動流体中に混入しているエアによる気泡の発生を防
止して、該気泡の圧縮および膨張による動力伝達に悪影
響を阻止するという効果を奏する。

【００２２】上記構成より成る第６発明のハンドは、前
記第５発明において、前記ハンドが、物体を把持する把
持部材を往復動させるための複数のハンド用アクチュエ
ータを備えているので、動作軸数を多くして自由度の高
い複雑な把持を可能にするという効果を奏する。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態につき、
図面を用いて説明する。

【００２４】（第１実施形態）本第１実施形態のハンド
用アクチュエータおよびハンドは、図１ないし図５に示
されるように物体を把持するハンドにおける把持部材７
を往復動させるためのハンド用アクチュエータ１および
該ハンド用アクチュエータ１を備えたハンド３におい
て、前記把持部材７を往復動させる一方の軸駆動部シリ
ンダー４内に介挿される一方の軸駆動ピストン１２と、
前記軸駆動部シリンダー４に作動流体を供給する他方の
駆動部シリンダー８内に介挿される他方の駆動ピストン
８３と、前記軸駆動部および駆動部シリンダー４、８に
おける前記軸駆動および駆動のピストン１２、８３によ
って分割される左右の部屋４１、４２、８１、８２の圧
力差を減少させる差圧減少手段１９とから成るものであ
る。

【００２５】自動組付機１のフランジ部２に取り付けら
れているハンド３は、図２ないし図４に示されるように
前記フランジ部２の下部に配設された前記軸駆動部シリ
ンダー４と、該軸駆動部シリンダー４内に往復動自在に
介挿された軸駆動ピストン１２と、該軸駆動ピストン１
２に連結部材としてのジョイント１３を介して連結され
たラック５と、該ラック５に噛合する歯車６と、該歯車
６の軸心回りに両方向に揺動するチャック７とが配設さ
れている。

【００２６】前記軸駆動部シリンダー４内に往復動自在
に介挿された前記軸駆動ピストン１２によって分割され
た部屋４１、４２は、図１および図５に示されるように
連通手段９０としての２本の流体パイプの配管９によっ
て前記駆動部シリンダー８内に往復動自在に介挿された
前記駆動ピストン８３によって分割された部屋８１、８
２にそれぞれ連通している。

【００２７】前記駆動部シリンダー８内に往復動自在に
介挿された前記駆動ピストン８３は、図４に示されるよ
うにラック８４が一体的に連結され、該ラック８４に噛
合するする歯車（ピニオン）８５と該歯車８５を回転駆
動するサーボモータ１０が一体的に形成されている。

【００２８】前記差圧減少手段１９は、前記駆動部シリ
ンダー８の一方の部屋から作動流体が供給される前記軸
駆動部シリンダー４の一方の部屋に対向する他方の部屋
と前記駆動部シリンダー８の他方の部屋を連通させる前
記連通手段９０を構成する前記２本の流体パイプの配管
９によって構成されている。

【００２９】前記軸駆動部シリンダー４の前記他方の部
屋と前記駆動部シリンダー８の前記他方の部屋と前記連
通手段９０内に作動流体としての作動油１１が充満さ
れ、前記軸駆動部および駆動部シリンダー４および８の
内径は同一である。

【００３０】前記駆動部シリンダー８内に介挿された前
記駆動ピストン８３が、前記サーボモータ１０の回転に
よって、前記歯車８５の回転による前記ラック８４の直
線的往復動によって往復動されるように構成されている
ものである。

【００３１】前記ハンド３が、図４に示されるように物
体を把持する把持部材を往復動させるための上述したハ
ンド用アクチュエータを複数（図中２個を例示）備えて
いるものである。

【００３２】上記構成より成る本第１実施形態のハンド
用アクチュエータおよびハンドにおいては、前記サーボ
モータ１０が一体的に形成されている前記歯車８５を回
転駆動すると、該歯車８５に噛合する前記ラック８４に
一体的に連結された前記駆動ピストン８３を前記駆動部
シリンダー８内において移動させる。

【００３３】前記駆動ピストン８３が、前記駆動部シリ
ンダー８内を押し動作で移動すると、前記駆動部シリン
ダー８の一方の部屋８１から前記流体パイプの配管９を
介して前記軸駆動部シリンダー４の前記一方の部屋４１
に前記作動流体が供給される。

【００３４】前記軸駆動部シリンダー４の前記一方の部
屋４１に前記作動流体が供給されると、前記軸駆動部シ
リンダー４内に往復動自在に介挿された前記軸駆動ピス
トン１２が移動するので、前記連結部材としてのジョイ
ント１３を介して連結されたラック５が移動して、該ラ
ック５に噛合する前記歯車６が回転駆動され、該歯車６
の軸心回りに前記チャック７が両方向に揺動される。

【００３５】その時、前記軸駆動部シリンダー４の前記
一方の部屋４１に前記作動流体が供給され、前記軸駆動
部シリンダー４内に往復動自在に介挿された前記軸駆動
ピストン１２が移動すると、前記軸駆動部シリンダー４
の圧縮側の前記他方の部屋４２内の前記作動流体が前記
連通手段９０としての前記流体パイプの配管９を介して
前記駆動部シリンダー８の膨張側の前記他方の部屋８２
に供給される。

【００３６】逆に前記駆動ピストン８３が、前記駆動部
シリンダー８内を引き動作で移動する場合は、前記作動
流体が前記軸駆動部シリンダー４の前記一方の部屋４１
から前記駆動部シリンダー８の一方の部屋８１に前記流
体パイプの配管９を介して供給されるので、前記駆動部
シリンダー８の圧縮側の前記他方の部屋８２内の前記作
動流体が前記連通手段９０としての前記流体パイプの配
管９を介して前記軸駆動部シリンダー４の膨張側の部屋
８２に供給される。

【００３７】上述したように前記作動流体が、前記駆動
部シリンダー８および前記軸駆動部シリンダー４の膨張
側の部屋に供給されるので、前記他方の部屋内が負圧に
なるのが防止されるとともに、前記駆動部シリンダー８
および前記軸駆動部シリンダー４の圧縮側の部屋から前
記作動流体が排出されるので、前記圧縮側の部屋内が高
圧になるのが防止される。

【００３８】上記作用を奏する第１実施形態のハンド用
アクチュエータおよびハンドは、物体を把持するハンド
３におけるチャック７を往復揺動させるためのハンド用
アクチュエータおよびハンドにおいて、前記差圧減少手
段１９が、前記軸駆動部および駆動部シリンダー４、８
における前記軸駆動および駆動ピストン１２、８３によ
って分割される左右の部屋４１、４２、８１、８２の圧
力差を減少させるので、前記軸駆動および駆動ピストン
１２、８３の往復揺動に伴う作動流体中に混入している
エアによる気泡の発生を防止して、該気泡の圧縮および
膨張による動力伝達に悪影響を阻止するという効果を奏
する。

【００３９】すなわち前記連通手段を構成する前記配管
９が、前記駆動部シリンダー８の一方の部屋８１から作
動流体が供給される前記軸駆動部シリンダー４の一方の
部屋４１に対向する他方の部屋４２と前記駆動部シリン
ダー８の他方の部屋８２を連通させているので、前記軸
駆動および駆動ピストン１２、８３の往復動に応じて前
記軸駆動部および駆動部シリンダー４、８の前記両他方
の部屋４２、８２の圧力を等しくするため、前記左右の
部屋の圧力差を減少させ、前記作動流体中に混入してい
るエアによる気泡の発生を防止して、該気泡の圧縮およ
び膨張による動力伝達に悪影響を阻止するという効果を
奏する。

【００４０】また前記軸駆動部シリンダー４の前記他方
の部屋と前記駆動部シリンダー８の前記他方の部屋８２
と前記連通手段９０内に前記作動流体が充填されている
ので、前記軸駆動および駆動ピストン１２、８３の往復
動に応じて前記軸駆動部および駆動部のシリンダー４、
８の前記両他方の部屋４２、８２に前記作動流体を吸排
するため、前記左右の部屋の圧力差を減少させるので、
前記作動流体中に混入しているエアによる気泡の発生を
防止して、該気泡の圧縮および膨張による動力伝達に悪
影響を阻止するという効果を奏する。

【００４１】さらに第１実施形態のハンド用アクチュエ
ータおよびハンドは、前記駆動部シリンダー８内に介挿
される前記駆動ピストン８３が、前記サーボモータ１０
の回転駆動によって往復動されるので、前記サーボモー
タ１０の回転方向、回転速度および回転量によって前記
軸駆動ピストン１２すなわちハンド内の軸の移動方向、
移動速度および移動量（ハンド内の軸の停止位置）が確
実に制御されるという効果を奏する。

【００４２】また第１実施形態のハンドは、前記ハンド
が、物体を把持する把持部材を往復動させるための複数
のハンド用アクチュエータを備えているので、動作軸数
を多くして、自由度の高い複雑な把持および動作を可能
するという効果を奏する。

【００４３】さらにハンド内に複数のハンド用アクチュ
エータを備えているため、従来の自動組付機において
は、複雑な組付作業の自動化を行うことが出来ないた
め、表１の組付機のうち、動作軸数の多い電動の多関節
ロボットを使用せざるを得ないため、結果として組付機
本体が大型化し、価格が上がり、占有スペースが大きく
ならざるを得なかったが、ハンドの重量の増加を最小限
に抑制することが出来、動作軸数の少ないカム式組付機
でも容易に複雑な組み付けが出来るようになった。

【００４４】以下の表２に、従来の自動組付機と今回開
発した自動組付機の機能比較を示した。すなわち、従来
の自動組付機に対して、最大可搬重量は３倍の３．０Ｋ
ｇであり、最大移動速度は２５％アップの８００ｍｍ／
ｓであり、電動ロボットに対して、小型化して占有スペ
ースを小さくして価格を３分の１以下にするものであ
る。

【表２】

【００４５】（第２実施形態）本第２実施形態のハンド
用アクチュエータおよびハンドは、図６および図７に示
されるように軸駆動部シリンダー４の断面積Ｓ３および
Ｓ４を駆動部シリンダー８の断面積Ｓ１およびＳ２の２
倍に設定した点が、前記第１実施形態との相違点であ
る。

【００４６】上記構成より成る第２実施形態のハンド用
アクチュエータおよびハンドは、前記軸駆動部シリンダ
ー４の断面積Ｓ３およびＳ４を前記駆動部シリンダー８
の断面積Ｓ１およびＳ２の２倍に設定したので、前記サ
ーボモータ１０の駆動力の２倍の力を得ることが出来る
という効果を奏する。

【００４７】すなわち、シリンダー間の作動油１１の圧
力は同じであるから、断面積が２倍となればピストンの
荷重も２倍になるからである。

【００４８】また、シリンダー間を移動した油量は一定
であるから、ピストンの移動量は、前記駆動部シリンダ
ー８においては、前記軸駆動部シリンダー４の移動量の
２分の１になる。つまり、前記サーボモータ１０が前記
軸駆動部シリンダー４を動かした誤差も２分の１とする
ことが出来るのである。

【００４９】上述の実施形態は、説明のために例示した
もので、本発明としてはそれらに限定されるものでは無
く、特許請求の範囲、発明の詳細な説明および図面の記
載から当業者が認識することができる本発明の技術的思
想に反しない限り、変更および付加が可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態のハンド用アクチュエー
タおよびハンドにおける押し動作および引き動作をそれ
ぞれ示す線図である。

【図２】本第１実施形態の自動組付機に適用された状態
を示す正面図である。

【図３】本第１実施形態のハンド側の軸駆動部シリンダ
ーおよびチャックを示す部分断面図である。

【図４】本第１実施形態における複数のハンド用アクチ
ュエータを備えたハンドをロボットに装着した状態を示
す全体斜視図である。

【図５】本第１実施形態の軸駆動部および駆動部シリン
ダーにおける各ピストンの移動量と断面積の関係を説明
する断面図である。

【図６】本発明の第２実施形態の軸駆動部および駆動部
シリンダーにおける各ピストンの断面積と作動力と出力
との関係を説明する断面図である。

【図７】本第２実施形態の軸駆動部および駆動部シリン
ダーにおける各ピストンの移動量と断面積の関係を説明
する断面図である。

【図８】従来の電動の多関節ロボットＲを使用した自動
組付機を示す斜視図である。

【図９】従来のカムを使用したカム式組付機を示す斜視
図である。

【図１０】従来のアクチュエータを駆動部と軸駆動部に
分離する組付機における押し動作および引き動作を示す
断面図である。

【図１１】従来の押し動作および引き動作におけるエア
シリンダーの作動方法を示す断面図である。

【図１２】従来のシリンダー内の気泡の圧縮および膨張
を説明する部分断面図である。

【符号の説明】

１ ハンド用アクチュエータ ３ ハンド ４ 軸駆動部シリンダー ７ 把持部材 ８ 駆動部シリンダー １２ 軸駆動ピストン １９ 差圧減少手段

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 物体を把持するハンドにおける把持部材
   を往復動させるためのハンド用アクチュエータにおい
   て、 前記把持部材を往復動させる一方のシリンダー内に介挿
   される一方のピストンと、 前記一方のシリンダーに作動流体を供給する他方のシリ
   ンダー内に介挿される他方のピストンと、 前記一方および他方のシリンダーにおける前記一方およ
   び他方のピストンによって分割される左右の部屋の圧力
   差を減少させる差圧減少手段とから成ることを特徴とす
   るハンド用アクチュエータ。
2. 【請求項２】 請求項１において、 前記差圧減少手段が、前記他方のシリンダーの一方の部
   屋から作動流体が供給される前記一方のシリンダーの一
   方の部屋に対向する他方の部屋と前記他方のシリンダー
   の他方の部屋を連通させる連通手段によって構成されて
   いることを特徴とするハンド用アクチュエータ。
3. 【請求項３】 請求項２において、 前記一方のシリンダーの前記他方の部屋と前記他方のシ
   リンダーの前記他方の部屋と前記連通手段内に作動流体
   が充填されていることを特徴とするハンド用アクチュエ
   ータ。
4. 【請求項４】 請求項３において、 前記他方のシリンダー内に介挿される前記他方のピスト
   ンが、サーボモータによって往復動されるように構成さ
   れていることを特徴とするハンド用アクチュエータ。
5. 【請求項５】 物体を把持する把持部材を往復動させる
   ためのハンド用アクチュエータを備えたハンドにおい
   て、 前記ハンド用アクチュエータが、 前記把持部材を往復動させる一方のシリンダー内に介挿
   される一方のピストンと、 前記一方のシリンダーに作動流体を供給する他方のシリ
   ンダー内に介挿される他方のピストンと、 前記一方および他方のシリンダーにおける前記一方およ
   び他方のピストンによって分割される左右の部屋の圧力
   差を減少させる差圧減少手段とから成ることを特徴とす
   るハンド。
6. 【請求項６】 請求項５において、 前記ハンドが、物体を把持する把持部材を往復動させる
   ための複数のハンド用アクチュエータを備えていること
   を特徴とするハンド。