JPH11107924A - ダイヤフラムポンプ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ダイヤフラムに対する駆動力を有効に利用す
ることができ、スラリー加圧供給動作の完了少し前にお
いてはダイヤフラムに対する駆動力を簡単に停止させる
ことができるダイヤフラムポンプ装置を提供する。 【解決手段】 駆動モータ１０の駆動により油圧シリン
ダー１５のピストン１４が往復移動して、油圧が一方の
ダイヤフラム４の一方の室に作用して仕切り板４４をた
わませ、このたわみにより他方の室内に吸引されていた
スラリーを濾過器１に加圧供給すると同時的に、一方の
ダイヤフラムの仕切り板と連結棒９で連結された他方の
ダイヤフラム４の仕切り板も同様にたわみ、そのたわみ
により加圧される、他方のダイヤフラムの一方の室とは
反対側の室内にスラリータンク８からスラリーを吸引す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、フィルタプレスな
どの濾過器や別のスラリータンクなどのスラリー被供給
装置にスラリーをダイヤフラムの加圧動作により加圧供
給するダイヤフラムポンプ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のダイヤフラムポンプ装置
は種々の構造のものが知られている。例えば、一対のダ
イヤフラムの各仕切り板同士を連結棒で連結し、一方の
ダイヤフラムポンプの仕切り板で仕切られた一方の室内
にコンプレッサーから加圧流体を供給して、仕切り板を
他方の室側にたわませ、他方の室内のスラリーを濾過器
側に加圧供給すると同時的に、上記たわませられた仕切
り板と連結棒で連結された他方のダイヤフラムの仕切り
板も同一方向にたわませ、たわませられた側の室とは反
対側の室内にスラリーを吸引する。一方のダイヤフラム
でのスラリーの加圧供給が完了すると、コンプレッサー
の接続を一方のダイヤフラムから他方のダイヤフラムに
電磁切換弁で切換え、他方のダイヤフラムの上記スラリ
ーが吸引されていない側（加圧流体が供給される側）の
室内にコンプレッサーから加圧流体を供給して仕切り板
を前回とは逆方向にたわませ、反対側の室内のスラリー
を濾過器側に供給する。この他方のダイヤフラムでのス
ラリー加圧供給動作と同時的に、一方のダイヤフラムで
はスラリーの吸引を行い、次のスラリー加圧供給に備え
るようにしている。このような動作を繰り返すことによ
って、スラリーを大略連続的に濾過器側に加圧供給でき
るようにしている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
造のものでは、各ダイヤフラムにおいて、スラリーの加
圧供給が完了するまでコンプレッサーから加圧流体を供
給し続けることになり、スラリー加圧供給動作が終了す
る少し前では、特にコンプレッサーから加圧流体を供給
しなくても、ダイヤフラムの仕切り板への加圧流体の作
用における慣性力により、スラリーの加圧供給をし続け
ることができる。しかしながら、コンプレッサーを急に
停止させることはできず、また、スラリー加圧供給動作
中に一方のダイヤフラムから他方のダイヤフラムへの加
圧流体の供給を切り替えることは、切り替え弁等に過負
荷が作用し、実際には困難であるため、不必要ではある
が、コンプレッサーからの加圧をし続けなければならな
いといった問題があった。従って、本発明の目的は、上
記問題を解決することにあって、ダイヤフラムに対する
駆動力を有効に利用することができ、スラリー加圧供給
動作の完了少し前においてはダイヤフラムに対する駆動
力を簡単に停止させることができるダイヤフラムポンプ
装置を提供することにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段及びその作用効果】上記目
的を達成するために、本発明は以下のように構成する。
本発明の第１態様によれば、駆動モータと、ピストンに
より第１室と第２室とに仕切られ、上記駆動モータの駆
動により上記ピストンが往復移動する油圧シリンダー
と、仕切り板で第１室と第２室とにそれぞれ分割され、
上記仕切り板のたわみにより各室に圧力が作用される一
対のダイヤフラムとを備え、上記一対のダイヤフラムの
うちの一方のダイヤフラムの上記第１室とスラリーを供
給すべきスラリー被供給装置とをスラリー供給用導管で
接続するとともに上記一方のダイヤフラムの上記第１室
と上記スラリーが蓄えられているスラリータンクとをス
ラリー吸引用導管で接続し、上記一方のダイヤフラムの
上記第２室と上記油圧シリンダーの上記第１室とを導管
で接続するとともに、上記一対のダイヤフラムのうちの
他方のダイヤフラムの上記第１室と上記油圧シリンダー
の上記第２室とを導管により接続し、上記他方のダイヤ
フラムの上記第２室と上記スラリー被供給装置とをスラ
リー供給用導管で接続するとともに上記他方のダイヤフ
ラムの上記第２室と上記スラリータンクとをスラリー吸
引用導管で接続し、かつ、上記一対のダイヤフラムの上
記仕切り板同士を連結棒で連結して一体的にたわむよう
にするとともに、上記スラリー供給用導管には、上記ス
ラリーが上記スラリー被供給装置側から上記ダイヤフラ
ム側に逆流するのを防止する逆止弁を設け、上記スラリ
ー吸引用導管には、上記スラリーが上記ダイヤフラム側
から上記スラリータンク側に逆流するのを防止する逆止
弁が設けられるようにして、上記駆動モータの駆動によ
り上記油圧シリンダーの上記ピストンが往復移動して、
上記油圧シリンダーから油圧が上記一方のダイヤフラム
の上記第１室と第２室のうちの一方の室に作用して上記
仕切り板をたわませ、上記仕切り板のたわみにより他方
の室内に吸引されていたスラリーを上記スラリー被供給
装置に加圧供給すると同時的に、上記一方のダイヤフラ
ムの上記仕切り板と上記連結棒で連結された上記他方の
ダイヤフラムの上記仕切り板も同様にたわみ、そのたわ
みにより加圧される、上記他方のダイヤフラムの上記第
１室と上記第２室とのうちの一方の室とは反対側の室内
に上記スラリータンクから上記スラリーを吸引するよう
にしたことを特徴とするダイヤフラムポンプ装置を提供
する。

【０００５】本発明の第２態様によれば、上記駆動モー
タによる上記シリンダーの上記ピストンの往復移動速度
を調整して、上記ダイヤフラムから上記スラリー被供給
装置に供給される上記スラリーの量を調整するようにし
た第１態様に記載のダイヤフラムポンプ装置を提供す
る。本発明の第３態様によれば、上記駆動モータによる
上記シリンダーの上記ピストンの往復移動範囲を調整し
て、上記ダイヤフラムから上記スラリー被供給装置に供
給される上記スラリーの量を調整するようにした第１態
様に記載のダイヤフラムポンプ装置を提供する。本発明
の第４態様によれば、上記ダイヤフラムの上記仕切り板
がたわむことにより上記ダイヤフラム内に吸引されてい
たスラリーを加圧して、加圧されたスラリーを上記スラ
リー被供給装置に加圧供給するとき、上記各ダイヤフラ
ムでの上記スラリーの加圧供給が終了する少し前におい
て上記油圧シリンダーの上記ピストンの移動方向を変更
させて、上記油圧シリンダーからの油圧の作用を停止さ
せるようにした第１態様に記載のダイヤフラムポンプ装
置を提供する。本発明の第５態様によれば、上記ダイヤ
フラムの上記仕切り板がたわむことにより上記ダイヤフ
ラム内に吸引されていたスラリーを加圧して、加圧され
たスラリーを上記スラリー被供給装置に加圧供給すると
き、上記各ダイヤフラムでの上記スラリーの加圧供給が
終了する少し前において上記油圧シリンダーの上記ピス
トンの移動方向を変更させて、上記油圧シリンダーから
の油圧の作用を停止させるようにした第２態様に記載の
ダイヤフラムポンプ装置を提供する。本発明の第６態様
によれば、上記ダイヤフラムの上記仕切り板がたわむこ
とにより上記ダイヤフラム内に吸引されていたスラリー
を加圧して、加圧されたスラリーを上記スラリー被供給
装置に加圧供給するとき、上記各ダイヤフラムでの上記
スラリーの加圧供給が終了する少し前において上記油圧
シリンダーの上記ピストンの移動方向を変更させて、上
記油圧シリンダーからの油圧の作用を停止させるように
した第３態様に記載のダイヤフラムポンプ装置を提供す
る。

【０００６】上記構成によれば、ピストンが移動範囲の
各端まで移動したのち移動方向を変更した直後では、油
圧シリンダーからの油圧により一方のダイヤフラムのス
ラリー供給側の室が慣性力で加圧されたままの状態が続
いており、当該室から引き続きスラリーがスラリー被供
給装置側に供給されたままとすることができる。この結
果、ダイヤフラムにおいてスラリー供給側の室内のスラ
リーをスラリー被供給装置側に加圧供給するとき、スラ
リー供給動作が完了するまでピストンからの油圧をダイ
ヤフラム側に作用させ続けるのではなく、完了の少し前
まで油圧を作用させるだけで最後の動作は慣性力の作用
でスラリー供給を行うことができる。よって、従来、コ
ンプレッサーでダイヤフラムを加圧してダイヤフラム内
のスラリーをスラリー被供給装置側に加圧供給する場合
には、スラリーの加圧供給を完了するまでコンプレッサ
ーによりダイヤフラムを加圧させる必要があった。しか
しながら、本は発明のダイヤフラムポンプ装置では、ス
ラリー加圧供給工程の完了の少し前まで各ダイヤフラム
をそれぞれ加圧させればよく、スラリー加圧供給に必要
な最低限の力を作用させるだけでよく、加圧力を有効に
使用することができる。また、上記慣性力を利用するこ
とにより、油圧シリンダーにおいてピストンの移動範囲
の各端部での移動方向の切換動作時にスラリーの加圧供
給が停止することなく、円滑に連続的にスラリーの加圧
供給を行うことができる。また、油圧シリンダーのピス
トンの作動を調節することにより、ダイヤフラムポンプ
によるスラリーの供給量を簡単に変えることができる。
例えば、駆動モータの回転速度を変化させてピストンの
左右の往復移動の速度を変え、各ダイヤフラムに作用す
る油圧を変化させて、スラリー供給量を変えることがで
きる。また、ピストンと駆動モータとを連結するクラン
ク機構等の連結ロッドなどを長さの異なるものと交換し
て、ピストンの往復移動範囲を変えることにより、各ダ
イヤフラムに作用する油圧を変化させて、スラリー供給
量を変えることができる。

【０００７】

【発明の実施の形態及び実施例】以下に、本発明にかか
る実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。本発明
の第１の実施形態にかかるダイヤフラムポンプ装置は、
図１に示すように、駆動モータ１０と、駆動モータ１０
により図１において左右にピストン１４が往復移動する
油圧シリンダー１５と、油圧シリンダー１５からの油圧
により駆動される一対のダイヤフラム４，４とより大略
構成し、ダイヤフラム４，４を駆動して、一方のダイヤ
フラム４でスラリータンク８からスラリーを吸引すると
同時的に他方のダイヤフラム４でスラリーをフィルタプ
レスなどの濾過器１内に加圧供給することを交互に繰り
返して、連続的にスラリーを濾過器１に供給するように
している。なお、この実施形態では、スラリーが供給さ
れるべきスラリー被供給装置の一例として濾過器１を挙
げたが、本発明はこの濾過器１に限られるものではな
く、２つのスラリータンク間でスラリーを移送する場合
など別のスラリータンクにスラリーを供給するときな
ど、スラリーを供給すべき装置ならどのような装置にも
適用することができるものである。駆動モータ１０は、
その回転軸に該回転軸の軸方向と直交する方向に延びた
駆動アーム１１を固定し、この駆動アーム１１の先端と
油圧シリンダー１５のピストン１４のピストンロッド１
３の先端とを連結ロッド１２で連結している。よって、
駆動モータ１０が駆動されて回転軸とともに駆動アーム
１１が例えば時計方向に回転すると、連結ロッド１２及
びピストンロッド１３を介して油圧シリンダー１５のピ
ストン１４が図１の左右に所定範囲内で往復移動する。
油圧シリンダー１５内は、ピストン１４で２つの駆動
室、前室１５ａと後室１５ｂとに仕切られいる。油圧シ
リンダー１５の前室１５ａは、前側のダイヤフラム４
（図１の右側のダイヤフラム４）の後室４０ｂに導管１
６により連結されており、後室１５ｂは後側のダイヤフ
ラム４（図１の左側のダイヤフラム４）の前室４１ａに
導管１７を介して連結されている。

【０００８】一対のダイヤフラム４，４は、それぞれ、
その中央部は仕切り板４４により２つに分割されてい
る。一対のうちの前側のダイヤフラム４（右側のダイヤ
フラム４）の前室４０ａは、逆止弁６を介して導管７に
よりスラリータンク８に連結されているとともに、逆止
弁５を介して導管３により濾過器１のスラリー供給管２
に連結されている。一対のうちの後側のダイヤフラム４
（左側のダイヤフラム４）の後室４１ｂは、逆止弁６を
介して導管７によりスラリータンク８に連結されている
とともに、逆止弁５を介して導管３により濾過器１のス
ラリー供給管２に連結されている。また、前後一対のダ
イヤフラム４，４の仕切り板４４，４４はそれらの中央
部同士を連結棒９で連結している。よって、両方の仕切
り板４４，４４は同期して左右に移動することになる。
上記構成においては、駆動モータ１０が駆動されて油圧
シリンダー１５のピストン１４が前後往復動を開始す
る。このとき、例えば、ピストン１４が右方向に移動す
るとき、油圧シリンダー１５の前室１５ａからの油圧が
前側（右側）ダイヤフラム４の後室４０ｂに作用して仕
切り板４４を右方向にたわませる。この結果、前側ダイ
ヤフラム４の前室４０ａが仕切り板４４により圧迫され
て前室４０ａ内のスラリーが加圧された状態で逆止弁５
を介して導管３からスラリー供給管２に供給される。こ
のとき、前室４０ａ内のスラリーは導管７側へも流れよ
うとするが、逆止弁６があるため、導管７からスラリー
タンク側には戻ることはできない。

【０００９】また、前側ダイヤフラム４の仕切り板４４
が右方向にたわませられとき、連結棒９で一体的に連結
された後側ダイヤフラム４の仕切り板４４も右方向にた
わませられる。よって、後側ダイヤフラム４において
は、前室４１ａ内の油が油圧シリンダー１５の後室１５
ｂ内に導管１７を介して戻される。また、後側ダイヤフ
ラム４の後室４１ｂは仕切り板４４の右方向へのたわみ
により、スラリータンク８からスラリーを導管７を介し
て吸引する。このとき、導管３には逆止弁５があるた
め、導管３を介してスラリー供給管側のスラリーを後室
４１ｂ内に吸引することはできない。その後、油圧シリ
ンダー１５のピストン１４が右端まで移動したのち、左
方向に移動方向を変えて、左方向に移動すると、各ダイ
ヤフラム４では逆の動作が開始される。すなわち、油圧
シリンダー１５の後室１５ｂからの油圧が後側（左側）
ダイヤフラム４の前室４１ａに作用して仕切り板４４を
左方向にたわませる。この結果、後側ダイヤフラム４の
後室４１ｂが仕切り板４４により圧迫されて後室４１ｂ
内のスラリーが加圧された状態で逆止弁５を介して導管
３からスラリー供給管２に供給される。このとき、後室
４１ｂ内のスラリーは導管７側へも流れようとするが、
逆止弁６があるため、導管７からスラリータンク側には
戻ることはできない。

【００１０】また、後側ダイヤフラム４の仕切り板４４
が左方向にたわませられとき、連結棒９で一体的に連結
された前側ダイヤフラム４の仕切り板４４も左方向にた
わませられる。よって、前側ダイヤフラム４において
は、後室４０ｂ内の油が油圧シリンダー１５の前室１５
ａ内に導管１６を介して戻される。また、前側ダイヤフ
ラム４の前室４０ａは仕切り板４４の左方向へのたわみ
により、スラリータンク８からスラリーを導管７を介し
て吸引する。このとき、導管３には逆止弁５があるた
め、導管３を介してスラリー供給管側のスラリーを前室
４０ａ内に吸引することはできない。その後、油圧シリ
ンダー１５のピストン１４が左端まで移動したのち、右
方向に移動方向を変えて、右方向に移動すると、各ダイ
ヤフラム４では先に述べた動作が行われる。このよう
に、駆動モータ１０の駆動により油圧シリンダー１５の
ピストン１４が左右に往復移動することにより、一方の
ダイヤフラム４で該ダイヤフラム内のスラリーを濾過器
１に加圧供給すると同時的に他方のダイヤフラム４でス
ラリータンク８からスラリーをダイヤフラム内に吸引
し、次いで、他方のダイヤフラム４で該ダイヤフラム内
のスラリーを濾過器１に加圧供給すると同時的に一方の
ダイヤフラム４でスラリータンク８からスラリーをダイ
ヤフラム内に吸引するといった動作を連続的に行うこと
ができる。

【００１１】上記実施形態によれば、ピストン１４が右
端又は左端まで移動したのち移動方向を変更した直後で
は、前側ダイヤフラム４の前室４０ａ又は後側ダイヤフ
ラム４の後室４１ｂが慣性力で加圧されたままの状態が
続いており、前室４０ａ又は後室４１ｂから引き続きス
ラリーが濾過器１側に供給されたままとなる。この結
果、前後ダイヤフラム４，４において、前室４０ａ又は
後室４１ｂ内のスラリーを濾過器１側に加圧供給すると
き、スラリー供給動作が完了するまでピストン１４から
の油圧をダイヤフラム側に作用させ続けるのではなく、
完了の少し前まで油圧を作用させるだけで最後の動作は
慣性力の作用でスラリー供給を行うことができる。よっ
て、従来、コンプレッサーでダイヤフラムを加圧してダ
イヤフラム内のスラリーを濾過器側に加圧供給する場合
には、スラリーの加圧供給を完了するまでコンプレッサ
ーによりダイヤフラムを加圧させる必要があった。しか
しながら、本実施形態のダイヤフラムポンプ装置では、
スラリー加圧供給工程の完了の少し前まで各ダイヤフラ
ム４をそれぞれ加圧させればよく、スラリー加圧供給に
必要な最低限の力を作用させるだけでよく、加圧力を有
効に使用することができる。

【００１２】また、上記慣性力を利用することにより、
油圧シリンダー１５においてピストン１４の右方向の移
動から左方向の移動への切換動作及び左方向から右方向
への切換動作時にスラリーの加圧供給が停止することな
く、円滑に連続的にスラリーの加圧供給を行うことがで
きる。また、油圧シリンダー１５のピストン１４の作動
を調節することにより、ダイヤフラムポンプによるスラ
リーの供給量を簡単に変えることができる。例えば、駆
動モータ１０の回転速度を変化させてピストン１４の左
右の往復移動の速度を変え、各ダイヤフラム４に作用す
る油圧を変化させて、スラリー供給量を変えることがで
きる。また、ピストン１４と駆動モータ１０の駆動アー
ム１１とを連結する連結ロッド１２を長さの異なるもの
と交換して、ピストン１４の往復移動範囲を変えること
により、各ダイヤフラム４に作用する油圧を変化させ
て、スラリー供給量を変えることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施形態にかかるダイヤフラムポ
ンプ装置の概略構成を示す説明図である。

【符号の説明】

１…濾過器、２…スラリー供給管、３，７，１６，１７
…導管、４…ダイヤフラム、４０ａ，４１ａ…前室、４
０ｂ，４１ｂ…後室、５，６…逆止弁、８…スラリータ
ンク、９…連結棒、１０…駆動モータ、１１…駆動アー
ム、１２…連結ロッド、１３…ピストンロッド、１４…
ピストン、１５…油圧シリンダー、１５ａ…前室、１５
ｂ…後室、４４…仕切り板。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 駆動モータ（１０）と、 ピストン（１４）により第１室（１５ａ）と第２室（１
   ５ｂ）とに仕切られ、上記駆動モータの駆動により上記
   ピストン（１４）が往復移動する油圧シリンダー（１
   ５）と、 仕切り板（４４）で第１室（４０ａ，４１ａ）と第２室
   （４０ｂ，４１ｂ）とにそれぞれ分割され、上記仕切り
   板（４４）のたわみにより各室に圧力が作用される一対
   のダイヤフラム（４）とを備え、 上記一対のダイヤフラム（４）のうちの一方のダイヤフ
   ラムの上記第１室（４０ａ）とスラリーを供給すべきス
   ラリー被供給装置（１）とをスラリー供給用導管（３）
   で接続するとともに上記一方のダイヤフラムの上記第１
   室（４０ａ）と上記スラリーが蓄えられているスラリー
   タンク（８）とをスラリー吸引用導管（７）で接続し、
   上記一方のダイヤフラムの上記第２室（４０ｂ）と上記
   油圧シリンダー（１５）の上記第１室（１５ａ）とを導
   管（１６）で接続するとともに、 上記一対のダイヤフラム（４）のうちの他方のダイヤフ
   ラムの上記第１室（４１ａ）と上記油圧シリンダー（１
   ５）の上記第２室（１５ｂ）とを導管（１７）により接
   続し、上記他方のダイヤフラムの上記第２室（４１ｂ）
   と上記スラリー被供給装置（１）とをスラリー供給用導
   管（３）で接続するとともに上記他方のダイヤフラムの
   上記第２室（４１ｂ）と上記スラリータンク（８）とを
   スラリー吸引用導管（７）で接続し、かつ、上記一対の
   ダイヤフラムの上記仕切り板同士を連結棒（９）で連結
   して一体的にたわむようにするとともに、 上記スラリー供給用導管（３）には、上記スラリーが上
   記スラリー被供給装置側から上記ダイヤフラム側に逆流
   するのを防止する逆止弁（５）を設け、 上記スラリー吸引用導管（７）には、上記スラリーが上
   記ダイヤフラム側から上記スラリータンク側に逆流する
   のを防止する逆止弁（６）が設けられるようにして、 上記駆動モータの駆動により上記油圧シリンダーの上記
   ピストンが往復移動して、上記油圧シリンダーから油圧
   が上記一方のダイヤフラムの上記第１室と第２室のうち
   の一方の室に作用して上記仕切り板をたわませ、上記仕
   切り板のたわみにより他方の室内に吸引されていたスラ
   リーを上記スラリー被供給装置に加圧供給すると同時的
   に、上記一方のダイヤフラムの上記仕切り板と上記連結
   棒で連結された上記他方のダイヤフラムの上記仕切り板
   も同様にたわみ、そのたわみにより加圧される、上記他
   方のダイヤフラムの上記第１室と上記第２室とのうちの
   一方の室とは反対側の室内に上記スラリータンクから上
   記スラリーを吸引するようにしたことを特徴とするダイ
   ヤフラムポンプ装置。
2. 【請求項２】 上記駆動モータによる上記シリンダーの
   上記ピストンの往復移動速度を調整して、上記ダイヤフ
   ラムから上記スラリー被供給装置に供給される上記スラ
   リーの量を調整するようにした請求項１に記載のダイヤ
   フラムポンプ装置。
3. 【請求項３】 上記駆動モータによる上記シリンダーの
   上記ピストンの往復移動範囲を調整して、上記ダイヤフ
   ラムから上記スラリー被供給装置に供給される上記スラ
   リーの量を調整するようにした請求項１に記載のダイヤ
   フラムポンプ装置。
4. 【請求項４】 上記ダイヤフラムの上記仕切り板がたわ
   むことにより上記ダイヤフラム内に吸引されていたスラ
   リーを加圧して、加圧されたスラリーを上記スラリー被
   供給装置に加圧供給するとき、上記各ダイヤフラムでの
   上記スラリーの加圧供給が終了する少し前において上記
   油圧シリンダーの上記ピストンの移動方向を変更させ
   て、上記油圧シリンダーからの油圧の作用を停止させる
   ようにした請求項１に記載のダイヤフラムポンプ装置。
5. 【請求項５】 上記ダイヤフラムの上記仕切り板がたわ
   むことにより上記ダイヤフラム内に吸引されていたスラ
   リーを加圧して、加圧されたスラリーを上記スラリー被
   供給装置に加圧供給するとき、上記各ダイヤフラムでの
   上記スラリーの加圧供給が終了する少し前において上記
   油圧シリンダーの上記ピストンの移動方向を変更させ
   て、上記油圧シリンダーからの油圧の作用を停止させる
   ようにした請求項２に記載のダイヤフラムポンプ装置。
6. 【請求項６】 上記ダイヤフラムの上記仕切り板がたわ
   むことにより上記ダイヤフラム内に吸引されていたスラ
   リーを加圧して、加圧されたスラリーを上記スラリー被
   供給装置に加圧供給するとき、上記各ダイヤフラムでの
   上記スラリーの加圧供給が終了する少し前において上記
   油圧シリンダーの上記ピストンの移動方向を変更させ
   て、上記油圧シリンダーからの油圧の作用を停止させる
   ようにした請求項３に記載のダイヤフラムポンプ装置。