JPH1190143A - クリーンルームにおけるケミカルフィルタの取付け構造 - Google Patents
クリーンルームにおけるケミカルフィルタの取付け構造Info
- Publication number
- JPH1190143A JPH1190143A JP9262013A JP26201397A JPH1190143A JP H1190143 A JPH1190143 A JP H1190143A JP 9262013 A JP9262013 A JP 9262013A JP 26201397 A JP26201397 A JP 26201397A JP H1190143 A JPH1190143 A JP H1190143A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- chemical filter
- clean room
- casing
- chemical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Ventilation (AREA)
- Filtering Materials (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ケミカルフィルタの薬剤量を十分確保しつ
つ、交換作業時の足場を十分に確保することで、作業性
を向上できるようにすることである。 【解決手段】 本発明の取付け構造は、クリーンルーム
１０内の天井部に配置され、かつ下面にＵＰＬＡフィル
タ６を配置し、内部にファン５を設けたユニットケーシ
ング３と、ユニットケーシング３の天井裏側の空気取入
れ用開口３ａ周囲に配置され、籠を逆さに伏せた形状に
突設された籠状の金網部１８とを備え、金網部１８の外
周部を覆ってケミカルフィルタ３を取付けたものであ
る。
つ、交換作業時の足場を十分に確保することで、作業性
を向上できるようにすることである。 【解決手段】 本発明の取付け構造は、クリーンルーム
１０内の天井部に配置され、かつ下面にＵＰＬＡフィル
タ６を配置し、内部にファン５を設けたユニットケーシ
ング３と、ユニットケーシング３の天井裏側の空気取入
れ用開口３ａ周囲に配置され、籠を逆さに伏せた形状に
突設された籠状の金網部１８とを備え、金網部１８の外
周部を覆ってケミカルフィルタ３を取付けたものであ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ファンフィルタユ
ニットの上部に配置されて更に高清浄度を得られるよう
にしたケミカルフィルタにおいて、特に交換作業を行い
やすくした取付け構造に関する。
ニットの上部に配置されて更に高清浄度を得られるよう
にしたケミカルフィルタにおいて、特に交換作業を行い
やすくした取付け構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体工場や、薬品工場など、
高清浄度を要求される作業環境においては、クリーンル
ームの天井面にファンフィルタユニット（以下ＦＦＵと
いう）を配置し、天井裏プレナムチャンバから供給する
空気をＦＦＵを通じて濾過された清浄空気をクリーンル
ーム内に供給し、グレーチング床を透過させて床下のレ
ターンチャンバに流し、その一部をレタンダクトを介し
てプレナムチャンバに環流させる方式が採用されてい
る。
高清浄度を要求される作業環境においては、クリーンル
ームの天井面にファンフィルタユニット（以下ＦＦＵと
いう）を配置し、天井裏プレナムチャンバから供給する
空気をＦＦＵを通じて濾過された清浄空気をクリーンル
ーム内に供給し、グレーチング床を透過させて床下のレ
ターンチャンバに流し、その一部をレタンダクトを介し
てプレナムチャンバに環流させる方式が採用されてい
る。
【０００３】このＦＦＵには、一般に高性能フィルタ
（ＵＬＰＡ）が備えられているが、このＵＬＰＡでは除
去しきれない、例えば室内内装材から発生する有機系ガ
ス、クリーンルーム内で製品の製造の際に発生する薬液
蒸気や、特殊ガスなどのガス状不純物を除去するため
に、例えば特開平８−８９７４７号公報ではＦＦＵ上に
ケミカルフィルタを付加することが開示されている。
（ＵＬＰＡ）が備えられているが、このＵＬＰＡでは除
去しきれない、例えば室内内装材から発生する有機系ガ
ス、クリーンルーム内で製品の製造の際に発生する薬液
蒸気や、特殊ガスなどのガス状不純物を除去するため
に、例えば特開平８−８９７４７号公報ではＦＦＵ上に
ケミカルフィルタを付加することが開示されている。
【０００４】図４はその具体的な取付け構造を示すもの
で、１はクリーンルームの天井面に配置される固定用フ
レーム２間に支持されたＦＦＵであり、このＦＦＵ１は
ユニットケーシング３と、ケーシング３の下面開口部に
配置されたＵＬＰＡフィルタ４と、ケーシング３内に配
置されたファン５およびこれの駆動用モータＭとからな
っている。ケーシング３の上部には空気取入れ用開口３
ａに面してケミカルフィルタ６を内蔵したフィルタケー
シング７が設置されている。
で、１はクリーンルームの天井面に配置される固定用フ
レーム２間に支持されたＦＦＵであり、このＦＦＵ１は
ユニットケーシング３と、ケーシング３の下面開口部に
配置されたＵＬＰＡフィルタ４と、ケーシング３内に配
置されたファン５およびこれの駆動用モータＭとからな
っている。ケーシング３の上部には空気取入れ用開口３
ａに面してケミカルフィルタ６を内蔵したフィルタケー
シング７が設置されている。
【０００５】このケーシング７は枠状のもので、その内
側上下に配置した一対の金網８の間に前記ケミカルフィ
ルタ６を挟持状態に固定した構造となっている。
側上下に配置した一対の金網８の間に前記ケミカルフィ
ルタ６を挟持状態に固定した構造となっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記ケミカ
ルフィルタ６は、薬剤を含浸または混合した活性炭など
の粒状体もしくは繊維、または、それらを固めて板状に
形成したもの、を不織布からなる布団状の袋に詰めてマ
ット状に形成したものであるため、物理吸着手段である
一般フィルタに比べて、反応に伴う薬剤の消費量に応じ
てその可使時間は短く、頻繁に交換する必要がある。
ルフィルタ６は、薬剤を含浸または混合した活性炭など
の粒状体もしくは繊維、または、それらを固めて板状に
形成したもの、を不織布からなる布団状の袋に詰めてマ
ット状に形成したものであるため、物理吸着手段である
一般フィルタに比べて、反応に伴う薬剤の消費量に応じ
てその可使時間は短く、頻繁に交換する必要がある。
【０００７】そこで、交換作業を容易にするために、従
来では、図示のごとく、フィルタ６をフィルタケーシン
グ７内に保持するとともに、このフィルタケーシング７
をＦＦＵ１のケーシング３上に設置し、フィルタケーシ
ング７ごと交換を行えるようにしている。また、薬剤量
もケーシング３の面積分は確保できることになる。
来では、図示のごとく、フィルタ６をフィルタケーシン
グ７内に保持するとともに、このフィルタケーシング７
をＦＦＵ１のケーシング３上に設置し、フィルタケーシ
ング７ごと交換を行えるようにしている。また、薬剤量
もケーシング３の面積分は確保できることになる。
【０００８】しかしながら、この構造では、ユニットケ
ーシング３の上面全体にわたってフィルタケーシング７
が設置されるため、交換作業時には作業員の足の踏場が
なく、却って作業が極めてやりにくい問題があった。た
だし、その逆に、ユニットケーシング３の開口部３ａの
みケミカルフィルタで覆う構造とした場合には、薬剤量
が少なくなり、更に交換時期が短いものとなる。
ーシング３の上面全体にわたってフィルタケーシング７
が設置されるため、交換作業時には作業員の足の踏場が
なく、却って作業が極めてやりにくい問題があった。た
だし、その逆に、ユニットケーシング３の開口部３ａの
みケミカルフィルタで覆う構造とした場合には、薬剤量
が少なくなり、更に交換時期が短いものとなる。
【０００９】本発明は、以上の問題を解決するものであ
って、その目的は、薬剤量を十分確保しつつ、交換作業
時の足場を十分に確保することで、作業性を向上できる
ようにしたクリーンルームにおけるケミカルフィルタの
取付け構造を提供するものである。
って、その目的は、薬剤量を十分確保しつつ、交換作業
時の足場を十分に確保することで、作業性を向上できる
ようにしたクリーンルームにおけるケミカルフィルタの
取付け構造を提供するものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】以上の目的を達成するた
め、本発明は、クリーンルーム内の天井部に配置され、
かつ下面にフィルタを配置し、内部にファンを設けたユ
ニットケーシングと、該ユニットケーシングの天井裏側
の空気取入れ用開口の周囲に配置され、籠を逆さに伏せ
た形状に突設された籠状の金網部とを備え、金網部外周
部を覆ってケミカルフィルタを取付けたことを特徴とす
るものである。
め、本発明は、クリーンルーム内の天井部に配置され、
かつ下面にフィルタを配置し、内部にファンを設けたユ
ニットケーシングと、該ユニットケーシングの天井裏側
の空気取入れ用開口の周囲に配置され、籠を逆さに伏せ
た形状に突設された籠状の金網部とを備え、金網部外周
部を覆ってケミカルフィルタを取付けたことを特徴とす
るものである。
【００１１】したがって、この発明によれば、金網部の
全面積分がフィルタで覆われることによって、平面面積
が少なくとも、ケミカルフィルタの薬剤量透過面積とも
十分に得られるとともに、ユニットケーシング上面の残
りの部分を作業員足場として確保できる。
全面積分がフィルタで覆われることによって、平面面積
が少なくとも、ケミカルフィルタの薬剤量透過面積とも
十分に得られるとともに、ユニットケーシング上面の残
りの部分を作業員足場として確保できる。
【００１２】また、本発明では、前記ケミカルフィルタ
が、前記金網の外周部に嵌合される籠状枠内に内張りさ
れていることで、交換作業を容易にできる。
が、前記金網の外周部に嵌合される籠状枠内に内張りさ
れていることで、交換作業を容易にできる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態につき、添付図面を参照して詳細に説明する。なお、
図において、従来と同一箇所には同一符号を付し、異な
る箇所あるいは新たに説明を付加する箇所にのみ異なる
符号を用いて説明する。
態につき、添付図面を参照して詳細に説明する。なお、
図において、従来と同一箇所には同一符号を付し、異な
る箇所あるいは新たに説明を付加する箇所にのみ異なる
符号を用いて説明する。
【００１４】図１は本発明の取付け構造を適用したクリ
ーンルームの全体的構成を示すものである。図における
クリーンルームは、その本体としてのクリーンルーム１
０下面のグレーチング床１１を介して連通する床下空間
１２をレターンチャンバとし、天井裏空間１４をプレナ
ムチャンバとし、二重隔壁の内側１６をレタンダクトと
して図矢印に示すように、天井裏空間１４であるプレナ
ムチャンバ側に環流させている。
ーンルームの全体的構成を示すものである。図における
クリーンルームは、その本体としてのクリーンルーム１
０下面のグレーチング床１１を介して連通する床下空間
１２をレターンチャンバとし、天井裏空間１４をプレナ
ムチャンバとし、二重隔壁の内側１６をレタンダクトと
して図矢印に示すように、天井裏空間１４であるプレナ
ムチャンバ側に環流させている。
【００１５】そして、クリーンルーム１０の天井面には
天井面固定用フレーム２間に支持されて多数のＦＦＵ１
が配列されている。
天井面固定用フレーム２間に支持されて多数のＦＦＵ１
が配列されている。
【００１６】各ＦＦＵ１を図２，３に示す。このＦＦＵ
１は、従来と同様に、天井面固定用フレーム２に両側支
持される扁平矩形状のユニットケーシング３と、ケーシ
ング３の下面に配置されてこれの開口面を覆ったＵＰＬ
Ａフィルタ４およびケーシング３の内部に配置されたフ
ァン５およびこれの駆動用モータＭを備えている。
１は、従来と同様に、天井面固定用フレーム２に両側支
持される扁平矩形状のユニットケーシング３と、ケーシ
ング３の下面に配置されてこれの開口面を覆ったＵＰＬ
Ａフィルタ４およびケーシング３の内部に配置されたフ
ァン５およびこれの駆動用モータＭを備えている。
【００１７】以上に加え、ケーシング３の上部に形成さ
れた空気取入れ用開口３ａの上面周囲には、矩形状をな
し、かつ籠を逆さにして伏せた形状のケミカルフィルタ
取付用の金網部１８が突出状態に固定配置されている。
れた空気取入れ用開口３ａの上面周囲には、矩形状をな
し、かつ籠を逆さにして伏せた形状のケミカルフィルタ
取付用の金網部１８が突出状態に固定配置されている。
【００１８】これに対し、ケミカルフィルタは６は、こ
の金網部１８より一回り大きな籠状をなした金網によっ
て構成される矩形状のフィルタケーシング２０の内側、
すなわち上部内側および四周内側に張り合せなどによっ
て固定されるか、二重金網内に挟持固定されており、金
網部１８の外周にフィルタケーシング２０を被せ、その
下縁をユニットケーシング３の上面に設置固定すること
で、前記金網部１８との間にケミカルフィルタ５を挟持
固定するようになっている。
の金網部１８より一回り大きな籠状をなした金網によっ
て構成される矩形状のフィルタケーシング２０の内側、
すなわち上部内側および四周内側に張り合せなどによっ
て固定されるか、二重金網内に挟持固定されており、金
網部１８の外周にフィルタケーシング２０を被せ、その
下縁をユニットケーシング３の上面に設置固定すること
で、前記金網部１８との間にケミカルフィルタ５を挟持
固定するようになっている。
【００１９】なお、フィルタケーシング２０の下縁開口
には、ガスケット２２が配置され、ユニットケーシング
１の上部に設置した状態でその接合面を気密にシールで
きるようになっている。またこのフィルタケーシング２
０の固定手段としては図示省略するが、複数のバックル
の脱着などによって行うことが望ましい。
には、ガスケット２２が配置され、ユニットケーシング
１の上部に設置した状態でその接合面を気密にシールで
きるようになっている。またこのフィルタケーシング２
０の固定手段としては図示省略するが、複数のバックル
の脱着などによって行うことが望ましい。
【００２０】以上の取付け構造とすることにより、ケミ
カルフィルタ６の透過面積は、四周側面および上面の合
計５面となり、平面面積が少なくても薬剤量および透過
面積とも十分に確保することができる。
カルフィルタ６の透過面積は、四周側面および上面の合
計５面となり、平面面積が少なくても薬剤量および透過
面積とも十分に確保することができる。
【００２１】また、これによってユニットケーシング３
の上面が大幅にあくため、ケミカルフィルタ６の交換時
においては、図１に示すように、各作業員Ａはユニット
ケーシング３の上部を足場として、この間を歩行しつ
つ、ケミカルフィルタ６の取付け交換作業ができるた
め、作業性も改善されることになる。
の上面が大幅にあくため、ケミカルフィルタ６の交換時
においては、図１に示すように、各作業員Ａはユニット
ケーシング３の上部を足場として、この間を歩行しつ
つ、ケミカルフィルタ６の取付け交換作業ができるた
め、作業性も改善されることになる。
【００２２】なお、以上の実施の形態では、ケミカルフ
ィルタ６を金網籠状のフィルタケーシング２０内に予め
配置し、ケーシング２０を金網部１８に被せれば取付け
完了できるので、交換作業が簡単となる。しかしなが
ら、単に前記金網１８の外周に各ケミカルフィルタ６を
貼り合わせ固定することもできる。
ィルタ６を金網籠状のフィルタケーシング２０内に予め
配置し、ケーシング２０を金網部１８に被せれば取付け
完了できるので、交換作業が簡単となる。しかしなが
ら、単に前記金網１８の外周に各ケミカルフィルタ６を
貼り合わせ固定することもできる。
【００２３】
【発明の効果】以上の説明により明らかなように、本発
明によるクリーンルームにおけるケミカルフィルタの取
付け構造によれば、金網部の全面積分フィルタで覆われ
ることによって、平面面積が少なくとも、ケミカルフィ
ルタの薬剤量透過面積とも十分に得られるとともに、ユ
ニットケーシング上面の残りの部分を作業員足場として
確保でき、ケミカルフィルタの交換作業性を向上でき
る。
明によるクリーンルームにおけるケミカルフィルタの取
付け構造によれば、金網部の全面積分フィルタで覆われ
ることによって、平面面積が少なくとも、ケミカルフィ
ルタの薬剤量透過面積とも十分に得られるとともに、ユ
ニットケーシング上面の残りの部分を作業員足場として
確保でき、ケミカルフィルタの交換作業性を向上でき
る。
【図１】本発明の取付け構造を備えたクリーンルームの
全体を示す縦断面図である。
全体を示す縦断面図である。
【図２】同ファンフィルタユニットに対するケミカルフ
ィルタの取付け構造を示す縦断面図である。
ィルタの取付け構造を示す縦断面図である。
【図３】同分解斜視図である。
【図４】従来のファンフィルタユニットに対するケミカ
ルフィルタの取付け構造を示す縦断面図である。
ルフィルタの取付け構造を示す縦断面図である。
１ ファンフィルタユニット ２ 固定用フレーム ３ ユニットケーシング ３ａ 空気取入れ用開口 ４ ＵＬＰＡフィルタ ５ ファン ６ ケミカルフィルタ １０ クリーンルーム １８ 金網部 ２０ フィルタケーシング
Claims (2)
- 【請求項１】 クリーンルーム内の天井部に配置され、
かつ下面にフィルタを配置し、内部にファンを設けたユ
ニットケーシングと、該ユニットケーシングの天井裏側
の空気取入れ用開口の周囲に配置され、籠を逆さに伏せ
た形状に突設された籠状の金網部とを備え、金網部の外
周部を覆ってケミカルフィルタを取付けたことを特徴と
するクリーンルームにおけるケミカルフィルタの取付け
構造。 - 【請求項２】 前記ケミカルフィルタが、前記金網部の
外周部に嵌合される籠状枠内に内張りされていることを
特徴とする請求項１に記載のクリーンルームにおけるケ
ミカルフィルタの取付け構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9262013A JPH1190143A (ja) | 1997-09-26 | 1997-09-26 | クリーンルームにおけるケミカルフィルタの取付け構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9262013A JPH1190143A (ja) | 1997-09-26 | 1997-09-26 | クリーンルームにおけるケミカルフィルタの取付け構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1190143A true JPH1190143A (ja) | 1999-04-06 |
Family
ID=17369816
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9262013A Pending JPH1190143A (ja) | 1997-09-26 | 1997-09-26 | クリーンルームにおけるケミカルフィルタの取付け構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1190143A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7320721B2 (en) | 2005-03-17 | 2008-01-22 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Chemical filter and fan filter unit having the same |
| JP2014236081A (ja) * | 2013-05-31 | 2014-12-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理装置 |
| JP2016168519A (ja) * | 2015-03-11 | 2016-09-23 | 株式会社ダン・タクマ | フィルタおよびフィルタの組立方法 |
-
1997
- 1997-09-26 JP JP9262013A patent/JPH1190143A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7320721B2 (en) | 2005-03-17 | 2008-01-22 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Chemical filter and fan filter unit having the same |
| JP2014236081A (ja) * | 2013-05-31 | 2014-12-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理装置 |
| JP2016168519A (ja) * | 2015-03-11 | 2016-09-23 | 株式会社ダン・タクマ | フィルタおよびフィルタの組立方法 |
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