JPH1188104A - Atカット水晶振動子 - Google Patents

Atカット水晶振動子

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JPH1188104A
JPH1188104A JP24491197A JP24491197A JPH1188104A JP H1188104 A JPH1188104 A JP H1188104A JP 24491197 A JP24491197 A JP 24491197A JP 24491197 A JP24491197 A JP 24491197A JP H1188104 A JPH1188104 A JP H1188104A
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JP
Japan
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crystal
electrode
cut quartz
cut
conductive
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JP24491197A
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Inventor
Yukihiro Unno
幸浩 海野
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Meidensha Corp
Meidensha Electric Manufacturing Co Ltd
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Meidensha Corp
Meidensha Electric Manufacturing Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 熱応力による周波数への影響がないATカッ
ト水晶振動子を提供する。 【解決手段】 ATカット水晶振動子片20の結晶にお
けるX軸と+60度又は−60度をなす直線における同
一直線上の2ケ所で、ATカット水晶振動子片20がパ
ッケージに固着されるように、導電性接着剤を用いる部
分である導通電極16の端部をX軸と+60°をなす直
線に沿って配置する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はATカット水晶振動
子に関し、ATカット水晶振動子片に熱応力が発生する
ことによって周波数に影響が生じるのを防止したもので
ある。
【0002】
【従来の技術】水晶振動子には、振動周波数の温度特性
が良好なATカット水晶振動子片をパッケージの内部に
搭載したATカット水晶振動子がある。ATカット水晶
振動子片であって矩形の形状のものを搭載するには、A
Tカット水晶振動子片の長さ方向であるX軸方向におけ
る両端をパッケージに固着する方式が採用されている。
以下に、その構成を、従来例として説明する。
【0003】従来例のATカット水晶振動子は、図11
に示す金属ベース11と絶縁板としてのセラミック板1
2とを接着した合体ベースと、ATカット水晶振動子片
2と、図12に示す金属キャップ1とで構成される。
【0004】合体ベースを構成する金属ベース11は、
金属板の2ケ所に貫通孔を形成したものである。一方、
セラミック板12は金属ベース11と対応した形状であ
って貫通孔と対応した位置に四角形の孔が形成されてい
る。金属ベース11とセラミック板12とが突き合わせ
て結合されるとともに、一対の外部端子8がセラミック
板12の孔内に挿通され、セラミック板12の裏側では
左右で一対の外部端子8が、夫々相互に反対方向の上下
へ折り曲げられている。また、セラミック板12の2つ
の孔には夫々外部端子8が挿通された状態で孔の内部に
硬質ガラス13が充填されており、この硬質ガラス13
により金属ベース11とセラミック板12とが接着され
ている。図11(a),(d)に示すように、外部端子
8の上端にはATカット圧電振動子片2を固着するため
のサポータ電極10が結合されている。以上のように構
成された合体ベース上の一対のサポータ電極10にわた
ってATカット圧電振動子片2が載せられ、振動電極3
の部分とサポータ電極10とが固着されて、金属ベース
11の上に金属キャップ1が結合されている。
【0005】従来例に示すように、パッケージにはセラ
ミックが一般に用いられている。水晶振動子片とセラミ
ックとは熱膨張率が異なるため、水晶振動子片が2ケ所
でパッケージに固着されていると温度変化によって水晶
振動子片に熱応力が生じ、周波数特性に影響を及ぼす。
【0006】ATカット水晶振動子片に熱応力により力
が加わった場合の方向と共振周波数への影響を図13に
示す。図のように、横軸における「X軸からの回転角
度」が零の位置、即ちX軸に沿う方向では、グラフでの
値が非常に大きく、応力感度が大きい。このため、熱応
力によって生じる応力を緩和する手段が必要となり、従
来例では可撓性を有するサポータ電極を介在させること
でX軸方向の2ケ所で固着することの影響を小さくして
いる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来例の構成
に係るATカット水晶振動子でも、応力による周波数特
性への影響を完全に消滅させることはできない。
【0008】そこで本発明は、斯かる課題を解決したA
Tカット水晶振動子を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】斯かる目的を達成するた
めの請求項1に係るATカット水晶振動子の構成は、A
Tカット水晶振動子片の両面に振動電極を形成して夫々
の振動電極からATカット水晶振動子片の端面まで導通
電極を形成し、一対の固着部によりATカット水晶振動
子片を機械的にパッケージに固着する一方、導通電極の
端部をパッケージの電極に接続したATカット水晶振動
子において、前記ATカット水晶振動子片における結晶
のXZ′面上でX軸と+60度をなす第一直線又は−6
0度をなす第二直線のいずれかの直線であって同一直線
上に前記2ケ所の固着部を配置したことを特徴とし、請
求項2に係るATカット水晶振動子の構成は、いずれか
の前記直線における同一直線に沿って、夫々の振動電極
から相互に反対方向へ向かって前記導通電極を配置し、
ATカット水晶振動子片における導通電極の端部をパッ
ケージの電極に導電性接着剤を介して固着したことを特
徴とし、請求項3に係るATカット水晶振動子の構成
は、前記ATカット水晶振動子片における一方の面には
振動電極から結晶のXZ′面上でX軸と±60度をなす
2方向へ向かって一対の導通電極を配置し、他方の面に
はX軸と±120度をなす2方向へ向かって一対の導通
電極を配置し、パッケージにはATカット水晶振動子片
の一方の面の一対の導通電極の端部のいずれかと対向す
る電極と、他方の面の一対の導通電極の端部のいずれか
と対向する電極とを、いずれかの前記直線であって同一
直線上に配置し、導通電極の端部とパッケージの電極と
を導電性接着剤を介して固着したことを特徴とし、請求
項4に係るATカット水晶振動子の構成は、夫々の振動
電極の相互に離れた位置から同一方向へ向かって前記導
通電極を配置し、夫々の導通電極の端部が第一直線又は
第二直線のいずれかの同一直線上に位置するように設定
し、夫々の導通電極の端部とパッケージの電極とを導電
性接着剤を介して固着したことを特徴とする。
【0010】
【発明の実施の形態】ATカット水晶振動子片では、図
13に示す応力感度の観点から一対の固着部の配置方向
を決めればよいことになる。図13のグラフにおいて応
力による共振周波数への影響が零になる横軸の位置をみ
ると、ひとつはX軸からの回転角度が+60のところで
あり、もうひとつは+120度である。360°回転さ
せれば元の位置へ戻ることから、+120度は−60度
のところでも共振周波数への影響が零になることを意味
する。以上のことから、共振周波数への影響が零になる
方向としての、X軸からの回転角度が+60°,−60
°の方向にATカット水晶振動子片の一対の固着部を配
置すれば、応力による共振周波数への影響のないATカ
ット水晶振動子を提供することができることになる。
【0011】以下、本発明の実施例を詳細に説明する。
【0012】まず、実施例1〜4について説明する。こ
れらは、ATカット水晶振動子片の厚さが一定であっ
て、結晶のX軸の方向を矩形の短辺にとり、Z′軸の方
向を長辺にとったものである。また、図1〜図3の
(a)については、X軸を±60度回転させた第一,第
二直線の上に表裏の一対の導通電極16の端部が位置す
るだけでなく、一対の導通電極16の端部どうしを結ぶ
線分が矩形のATカット水晶振動子片20の対角線とな
るように設定したものである。一方、図1〜図3の
(b)については、X軸を±60度回転させた第一,第
二直線が一対の導通電極16の端部になる点は(a)と
同じであるが、短辺は(a)の短辺の長さと同じにして
長辺は(a)の長辺の長さよりも大きくして振動電極1
9も長辺の方向へ長くしたものである。図1〜図4にお
いて、導電性接着剤を用いて一対の導通電極16の端部
とパッケージの電極とを固着する固着部どうしを結んだ
線分は、(短辺の長さ)対(長辺の長さ)の比が(1)
対(√3)の矩形の対角線となっている。以下、各実施
例ごとに説明する。
【0013】(a)実施例1 実施例1は、図1に示すように一対の導通電極16が、
ATカット水晶振動子片20上のX軸を+60度回転さ
せた第一直線上に位置するように構成したものである。
【0014】(b)実施例2 実施例2は、図2に示すように一対の導通電極16が、
ATカット水晶振動子片20上のX軸を−60度回転さ
せた第二直線上に位置するように構成したものである。
【0015】(c)実施例3 実施例3は、ATカット水晶振動子片20の一方の面に
はX軸に対して±60度をなす2位置である上部の左右
に導通電極16の端部を配置し、他方の面にはX軸に対
して±120度をなす2位置である下部の左右に導通電
極16の端部を配置したものである。
【0016】パッケージの電極をX軸に対して±60度
をなす同一直線上に配置したときに、ATカット水晶振
動子片20のどの面を下にすべきかを考慮することな
く、パッケージ上にATカット水晶振動子片20を導電
性接着剤を介して固着することができる。
【0017】(d)実施例4 実施例4は、ATカット水晶振動子片20の一方の面に
はX軸に対して+60度,+120度をなす2位置であ
る左部の上下に導通電極16の端部を配置し、他方の面
にはX軸に対して−60度,−120度をなす2位置で
ある右部の上下に導通電極16の端部を配置したもので
ある。
【0018】ATカット水晶振動子片20をパッケージ
に装着する際には、実施例3と同様に、取付面を考慮す
る必要がない。
【0019】次に、実施例5〜10について説明する。
実施例5〜10は、矩形のATカット水晶振動子片20
の中央部と周辺部との板厚を変えて段部を形成したもの
である。また、実施例1〜4とは異なり、ATカット水
晶振動子片20の長辺は結晶のX軸に沿って形成される
一方、短辺はX軸と直角なZ′軸に沿って形成されてい
る。
【0020】(e)実施例5 実施例5に係るATカット水晶振動子に用いるATカッ
ト水晶振動子片を図5に示す。図のようにATカット水
晶振動子片20であって矩形の形状のものをエッチング
技術等により中央部を薄板化し、振動部14と周辺部1
5とが形成されている。凹部である両面の振動部14に
は夫々振動電極19が形成されており、振動電極19か
ら周辺部15の端部まで導通電極16が形成されてい
る。
【0021】導通電極16はX軸から反時計方向へ60
度回転させた方向の直線に沿い、表面と裏面とで相互に
反対方向へ向かって形成されている。
【0022】(f)実施例6 実施例6に係るATカット水晶振動子に用いるATカッ
ト水晶振動子片を図6に示す。この実施例は、X軸から
時計方向へ60度回転させた方向の直線に沿い、表側と
裏側とで相互に反対方向へ向かって導通電極16を形成
したものである。
【0023】その他の構成は実施例5と同じなので、説
明を省略する。
【0024】(g)実施例7 実施例7に係るATカット水晶振動子に用いるATカッ
ト水晶振動子片を図7(a),(b)に示す。図7
(a)の実施例は、図5のATカット水晶振動子片20
における振動部14と振動電極19と導通電極16とを
ATカット水晶振動子片20に対して時計方向へ60度
回転させて形成することにより、導通電極16がATカ
ット水晶振動子片20の縦の中心線上に位置するように
したものである。一方、図7(b)の実施例は、一対の
導通電極16を共に振動電極19から下方へ向かって形
成し、一対の導通電極16の端部どうしを結ぶ直線が結
晶のX軸を時計方向へ60度回転させて得られるように
したものである。
【0025】(h)実施例8 実施例8に係るATカット水晶振動子に用いるATカッ
ト水晶振動子片を図8(a),(b)に示す。図8
(a)の実施例は、図6のATカット水晶振動子片20
における振動部14と振動電極19と導通電極16とを
ATカット水晶振動子片20に対して反時計方向へ60
度回転させて形成することにより、導通電極16がAT
カット水晶振動子片20の縦の中心線上に位置するよう
にしたものである。一方、図8(b)の実施例は、図7
(b)が振動電極19等を右方へ30度傾けたのに対
し、左方へ30度傾けることにより、一対の導通電極1
6の端部どうしを結ぶ直線が結晶のX軸を反時計方向へ
60度回転させて得られるようにしたものである。
【0026】(i)実施例9 実施例9に係るATカット水晶振動子に用いるATカッ
ト水晶振動子片を図9に示す。この実施例は、図5にお
ける導通電極16,16と、図6における導通電極1
6,16との位置が、ATカット水晶振動子片20の縦
の中心線に対して線対称であるため、ATカット水晶振
動子片の表側の導通電極16,16はX軸に対して時計
方向及び反時計方向へ共に60度回転させた位置に一対
形成する一方、ATカット水晶振動子片の裏側の導通電
極16,16はX軸に対して時計方向及び反時計方向へ
共に120度回転させた位置に一対形成されている。
【0027】(j)実施例10 実施例10に係るATカット水晶振動子に用いるATカ
ット水晶振動子片を図10(a),(b)に示す。この
実施例は、実施例5のATカット水晶振動子片における
振動部14を厚く形成する一方、周辺部15を薄く形成
したものである。その他の構成は図5と同じなので説明
を省略する。
【0028】実施例5〜10についてATカット水晶振
動子片の構成のみを説明したが、パッケージについて
は、図5,図6,図9,図10のATカット水晶振動子
片は両側面の導通電極16の端部と対応する電極を有す
るパッケージに搭載し、導通電極16の端部とパッケー
ジの電極とを導電性接着剤を介して固着する。図9に示
すATカット水晶振動子片のように両面共に左右に一対
の導通電極16を有するものを保持するためのパッケー
ジについては、図9のATカット水晶振動子片20にお
ける導通電極16の端部であって左上と右下との組み合
わせ又は左下と右上の組み合わせの位置でパッケージの
電極と固着する構成のものを用いる。これにより、AT
カット水晶振動子片20のどちらの面を下にしてもAT
カット水晶振動子片20における導通電極16とパッケ
ージの電極との導通がとれることになる。そして、図7
(a),図8(a)のように導通電極16がATカット
水晶振動子片の縦の中心線上に位置する場合は、図1
1,12の両端保持のパッケージに搭載できる。
【0029】なお、ATカット水晶振動子片として矩形
形状のものを示したが、円形や楕円形等の任意の形状に
することができる。また、ATカット水晶振動子片をパ
ッケージに機械的に固着するための固着部をX軸に対し
て±60°傾けた直線上に配置し、導通電極と電極との
導通はワイヤーボンディングにて別個に行ってもよい。
【0030】
【発明の効果】以上の説明からわかるように、請求項1
に係るATカット水晶振動子によればATカット水晶振
動子片における結晶のX軸と+60度をなす直線又は−
60度をなす直線に沿って同一直線上にATカット水晶
振動子片とパッケージとの固着部を配置したので、AT
カット水晶振動子片の応力感度が零となり、ATカット
水晶振動子片とパッケージとの熱膨張率の違いによって
生じる応力によって発振周波数の影響を受けないATカ
ット水晶振動子を提供することができる。
【0031】請求項2に係るATカット水晶振動子によ
れば、ATカット水晶振動子片における振動電極から相
互に反対方向へ向かって一対の導通電極を形成し、一対
の導通電極を第一直線又は第二直線上に配置したので、
両端保持構造のATカット水晶振動子にすることができ
る。
【0032】請求項3に係るATカット水晶振動子によ
れば、ATカット水晶振動子片の夫々の面ごとにATカ
ット水晶振動子片の中心線に対して線対称な位置に一対
の導通電極を配置したので、ATカット水晶振動子片の
表裏を考慮することなくパッケージに搭載することがで
きる。
【0033】請求項4に係るATカット水晶振動子によ
れば、ATカット水晶振動子片における振動電極から同
一方向へ向かって一対の導通電極を形成し、一対の導通
電極の端部を第一直線又は第二直線上に配置したので、
片側保持構造のATカット水晶振動子にすることができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるATカット水晶振動子の実施例1
に用いるATカット水晶振動子片の平面図。
【図2】本発明によるATカット水晶振動子の実施例2
に用いるATカット水晶振動子片の平面図。
【図3】本発明によるATカット水晶振動子の実施例3
に用いるATカット水晶振動子片の平面図。
【図4】本発明によるATカット水晶振動子の実施例4
に用いるATカット水晶振動子片の平面図。
【図5】本発明によるATカット水晶振動子の実施例5
に用いるATカット水晶振動子片に係り、(a)は平面
図、(b)は正面図。
【図6】本発明によるATカット水晶振動子の実施例6
に用いるATカット水晶振動子片に係り、(a)は平面
図、(b)は正面図。
【図7】本発明によるATカット水晶振動子の実施例7
に用いるATカット水晶振動子片に係り、(a)は両端
保持の場合の平面図、(b)は片側保持の場合の平面
図。
【図8】本発明によるATカット水晶振動子の実施例8
に用いるATカット水晶振動子片に係り、(a)は両端
保持の場合の平面図、(b)は片側保持の場合の平面
図。
【図9】本発明によるATカット水晶振動子の実施例9
に用いるATカット水晶振動子片の平面図。
【図10】本発明によるATカット水晶振動子の実施例
10に用いるATカット水晶振動子片に係り、(a)は
平面図、(b)は正面図。
【図11】従来例によるATカット水晶振動子のパッケ
ージにおけるベースに係り、(a)は平面図、(b)は
(a)のB−B矢視図、(c)は底面図、(d)は
(a)のC−C矢視図。
【図12】従来例によるATカット水晶振動子の金属キ
ャップに係り、(a)は平面図、(b)は正面図。
【図13】ATカット水晶振動子片に応力が加わった場
合におけるX軸からの回転角度と共振周波数との関係を
示すグラフ。
【符号の説明】
16…導通電極 19…振動電極 20…ATカット水晶振動子片

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ATカット水晶振動子片の両面に振動電
    極を形成して夫々の振動電極からATカット水晶振動子
    片の端面まで導通電極を形成し、一対の固着部によりA
    Tカット水晶振動子片を機械的にパッケージに固着する
    一方、導通電極の端部をパッケージの電極に接続したA
    Tカット水晶振動子において、 前記ATカット水晶振動子片における結晶のXZ′面上
    でX軸と+60度をなす第一直線又は−60度をなす第
    二直線のいずれかの直線であって同一直線上に前記2ケ
    所の固着部を配置したことを特徴とするATカット水晶
    振動子。
  2. 【請求項2】 いずれかの前記直線における同一直線に
    沿って、夫々の振動電極から相互に反対方向へ向かって
    前記導通電極を配置し、ATカット水晶振動子片におけ
    る導通電極の端部をパッケージの電極に導電性接着剤を
    介して固着した請求項1に記載のATカット水晶振動
    子。
  3. 【請求項3】 前記ATカット水晶振動子片における一
    方の面には振動電極から結晶のXZ′面上でX軸と±6
    0度をなす2方向へ向かって一対の導通電極を配置し、
    他方の面にはX軸と±120度をなす2方向へ向かって
    一対の導通電極を配置し、パッケージにはATカット水
    晶振動子片の一方の面の一対の導通電極の端部のいずれ
    かと対向する電極と、他方の面の一対の導通電極の端部
    のいずれかと対向する電極とを、いずれかの前記直線で
    あって同一直線上に配置し、導通電極の端部とパッケー
    ジの電極とを導電性接着剤を介して固着した請求項1に
    記載のATカット水晶振動子。
  4. 【請求項4】 夫々の振動電極の相互に離れた位置から
    同一方向へ向かって前記導通電極を配置し、夫々の導通
    電極の端部が第一直線又は第二直線のいずれかの同一直
    線上に位置するように設定し、夫々の導通電極の端部と
    パッケージの電極とを導電性接着剤を介して固着した請
    求項1に記載のATカット水晶振動子。
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006262100A (ja) * 2005-03-17 2006-09-28 Daishinku Corp 圧電振動子
JP2010093847A (ja) * 2009-12-16 2010-04-22 Epson Toyocom Corp 水晶振動片の製造方法
JP2010268498A (ja) * 2010-07-08 2010-11-25 Epson Toyocom Corp Atカット水晶振動片、およびatカット水晶デバイス
JP4701536B2 (ja) * 2000-12-12 2011-06-15 エプソントヨコム株式会社 表面実装型圧電デバイス
JP2011229167A (ja) * 2000-12-12 2011-11-10 Seiko Epson Corp 表面実装型圧電デバイス
JP2013017103A (ja) * 2011-07-06 2013-01-24 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 水晶デバイス
JP2019114998A (ja) * 2017-12-26 2019-07-11 セイコーエプソン株式会社 振動デバイス、電子機器および移動体
CN111510103A (zh) * 2019-01-31 2020-08-07 精工爱普生株式会社 振动器件、振动模块、电子设备以及移动体

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4701536B2 (ja) * 2000-12-12 2011-06-15 エプソントヨコム株式会社 表面実装型圧電デバイス
JP2011229167A (ja) * 2000-12-12 2011-11-10 Seiko Epson Corp 表面実装型圧電デバイス
JP2006262100A (ja) * 2005-03-17 2006-09-28 Daishinku Corp 圧電振動子
JP4715252B2 (ja) * 2005-03-17 2011-07-06 株式会社大真空 圧電振動子
JP2010093847A (ja) * 2009-12-16 2010-04-22 Epson Toyocom Corp 水晶振動片の製造方法
JP2010268498A (ja) * 2010-07-08 2010-11-25 Epson Toyocom Corp Atカット水晶振動片、およびatカット水晶デバイス
JP2013017103A (ja) * 2011-07-06 2013-01-24 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 水晶デバイス
JP2019114998A (ja) * 2017-12-26 2019-07-11 セイコーエプソン株式会社 振動デバイス、電子機器および移動体
US11277111B2 (en) 2017-12-26 2022-03-15 Seiko Epson Corporation Vibrator device, electronic apparatus, and vehicle
CN111510103A (zh) * 2019-01-31 2020-08-07 精工爱普生株式会社 振动器件、振动模块、电子设备以及移动体
JP2020123881A (ja) * 2019-01-31 2020-08-13 セイコーエプソン株式会社 振動デバイス、振動モジュール、電子機器および移動体
US11569795B2 (en) 2019-01-31 2023-01-31 Seiko Epson Corporation Resonator device, resonator module, electronic apparatus, and vehicle

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