JP4715252B2 - 圧電振動子 - Google Patents
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Description
〔実施の形態1〕
〔実施の形態2〕
2 水晶振動片(圧電振動片)
3 ベース
4 キャップ
5,57,58 サポート材
51,574,575,584,585 水晶振動片用接合部(圧電振動片用接合部)
521,522,572,573,582,583 ベース用接合部
53,571,581 スプリング部
5A〜5D,57A〜57D,58A〜58D 自由端
6 接合材
Claims (7)
- ベースとキャップとが接合されて筐体が構成され、前記筐体の内部の前記ベース上に圧電振動片が保持されるとともに、前記筐体の内部が気密封止された圧電振動子において、
前記圧電振動片は、脆性材からなるサポート材を介して前記ベース上に保持され、
前記圧電振動片と前記サポート材が接合材もしくはバンプを用いて接合されるとともに、前記ベースと前記サポート材が接合材もしくはバンプを用いて接合され、
前記サポート材は、前記圧電振動片と接合するための圧電振動片用接合部と、前記ベースと接合するためのベース用接合部とが、外的応力を軽減するためのスプリング部を介して連結された構成からなり、
前記圧電振動片用接合部は、前記スプリング部に対して厚みを有することを特徴とする圧電振動子。 - 前記スプリング部には、複数の自由端部が設けられ、
前記圧電振動片用接合部及び前記ベース用接合部が、それぞれ個別の前記自由端部と連結されたことを特徴とする請求項1に記載の圧電振動子。 - 前記サポート材の外形は、前記圧電振動片の外形と略同等もしくは小さくなるように設定されたことを特徴とする請求項1または2に記載の圧電振動子。
- 前記圧電振動片は、水晶片であり、
前記サポート材は、異方性の影響を受けにくい材料であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1つに記載の圧電振動子。 - 前記圧電振動片の前記サポート材との接合位置が、Z‘軸に対して30度傾いた位置であることを特徴とすることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1つに記載の圧電振動子。
- 前記サポート材は、複数個設けられるとともに、これら複数個のサポート材は積層され、
下方に前記サポート材が配された前記サポート材のベース用接合部は、前記下方のサポート材との接合部として用いられ、かつ、上方に前記サポートが配された前記サポート材の圧電振動片用接合部は、前記上方のサポート材との接合部として用いられることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1つに記載の圧電振動子。 - 前記ベースにバンプが形成され、前記バンプ上に前記サポート材が接合されたことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1つに記載の圧電振動子。
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