JPH1183952A - 電子回路の試験方法及び試験装置 - Google Patents

電子回路の試験方法及び試験装置

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JPH1183952A
JPH1183952A JP9249110A JP24911097A JPH1183952A JP H1183952 A JPH1183952 A JP H1183952A JP 9249110 A JP9249110 A JP 9249110A JP 24911097 A JP24911097 A JP 24911097A JP H1183952 A JPH1183952 A JP H1183952A
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Yutaka Mori
豊 森
Yutaka Isoda
豊 磯田
Naomi Iwamoto
尚美 岩本
Hisashi Watanabe
久 渡邊
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Fujitsu Ltd
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Fujitsu Ltd
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    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
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Abstract

(57)【要約】 【課題】多数の入出力端子を有する電子回路について、
従来に比べて低コスト且つ短時間で実施可能な電子回路
の試験方法を提供すること。 【解決手段】電子回路チップ10のI/Oピン11d〜
11oの良否のテストを行う場合には、これらのI/O
ピン11d〜11oの全てからLOW信号が出力される
ように各BSマクロ12の各BS-FF35〜37にテ
ストデータをセットする。続いて、この際における電源
電流IDD1を検出する。続いて、前記I/Oピン11
d〜11oのうち、試験の対象ピンとなる何れか一つの
I/Oピン11からHIGH信号が出力され残りのI/
Oピン11からLOW信号が出力されるように各BSマ
クロ12の各BS-FF35〜37にテストデータをセ
ットする。続いて、この際における電源電流IDD2を
検出する。続いて、電源電流IDD2から電源電流ID
D1を減算し、この減算結果が所定の閾値を上回る場合
には、前記対象ピンがGNDとの間でショートしている
と判定する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子回路の試験方
法及び試験装置に関し、特に、例えばエリアバンプ方式
を採用した多数の入出力ピンを有する電子回路等に適し
た試験方法及び試験装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、IC,LSI,或いはULSI等の
入出力回路(入出力端子:I/Oピン)の特性試験は、試
験対象たるI/Oピンをテスタに電気的に接続し、その
電圧−電流特性等を確認することで行われていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、近年における
IC,LSI等の集積化の高密度化に伴い、これらのI
/Oピンの数は増加の傾向にあり、その数は多いもので
数千本に至っている。このような膨大な数のI/Oピン
の特性試験を行う場合,特に、多数のI/Oピンがチッ
プの底面に設けられたエリアバンプ方式の電子回路チッ
プにおけるI/Oピンの特性試験を行う場合には、以下
の問題が発生し、実質的に試験不可能となる場合があっ
た。
【0004】即ち、従来において、電子回路チップのI
/Oピンについて試験を行うには、試験治具(テスタ)を
電子回路チップに設けられた全てのI/Oピンと電気的
に接続する必要があった。このため、テスタの構成が複
雑となり、試験のコストが上昇するという問題があっ
た。
【0005】また、テスタと電子回路チップの全てのI
/Oピンとを同時に接続できない場合が多いので、テス
タと各I/Oピンとの接続/切り離し作業を順次行わな
ければならなかった。この作業は面倒であり、特に、電
子回路チップがエリアバンプ方式を採用したものである
場合には、著しく困難な作業であった。このため、試験
時間が長大となり、試験のコストが上昇するという問題
があった。
【0006】さらに、エリアバンプ方式を採用した電子
回路チップは、回路基盤に設けられた複数のバンプ部
(回路基盤上にI/Oピンに対応づけて形成された半球
状のハンダ)とチップの各I/Oピンとを夫々接続する
ことで回路基盤に実装されるが、各バンプ部はハンダで
形成されているので軟弱であり、プロービングが難し
い。従って、各I/Oピンの夫々を対応するバンプ部に
適正に接続するには時間を要し、試験時間の長大化を招
いていた。また、I/Oピンとバンプ部との接続作業に
よって、バンプ部が回路基盤からはがれることで回路基
盤を傷つけたり、チップのI/Oピンに物理的なダメー
ジを与えたりする可能性があるという問題があった。
【0007】本発明は上記問題に鑑みなされたものであ
り、多数の入出力端子を有する電子回路のテストを、従
来に比べて低コスト且つ短時間で容易に実施できる電子
回路の試験方法及び試験装置を提供することを課題とす
る。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、上述した課題
を解決するために以下の構成を採用する。すなわち、請
求項1の発明は、内部論理回路,この内部論理回路の複
数の端子,及び前記内部論理回路と前記複数の端子との
間に介在するバウンダリスキャン回路を備えた電子回路
の試験方法である。この試験方法は、前記複数の端子の
うち、出力端子となる端子の全てから同一レベルの信号
が出力されるように前記バウンダリスキャン回路にテス
トデータをセットする第1のステップと、前記出力端子
の出力が前記第1のステップで設定された状態にあると
きにおいて、前記電子回路の電源電流を検出する第2の
ステップと、前記出力端子のいずれか一つの端子が、残
りの出力端子と異なるレベルの信号を出力するように前
記バウンダリスキャン回路にテストデータをセットする
第3のステップと、前記出力端子の出力が前記第3のス
テップで設定された状態にあるときにおいて、前記電子
回路の電源電流を検出する第4のステップと、前記第2
のステップで検出された電源電流と前記第4のステップ
で検出された電源電流との差に基づいて、前記一つの異
常の以上の有無を判定する第5のステップとを有するこ
とを特徴とする。
【0009】請求項2の発明は、請求項1の試験方法
が、第1のステップにおいて、前記出力端子となる端子
の全てからローレベルの信号が出力されるように前記バ
ウンダリスキャン回路にテストデータをセットし、前記
第3のステップにおいて、前記出力端子のいずれか一つ
の端子がハイレベルの信号を出力し、残りの出力端子が
ローレベルの信号を出力するように前記バウンダリスキ
ャン回路にテストデータをセットし、前記第5のステッ
プにおいて、前記第2のステップで検出された電源電流
と前記第4のステップで検出された電源電流との差が閾
値を下回る場合に、前記一つの端子が異常と判定するこ
とで、特定したものである。
【0010】請求項3の発明は、請求項1の試験方法
が、第1のステップにおいて、前記出力端子となる端子
の全てからハイレベルの信号が出力されるように前記バ
ウンダリスキャン回路にテストデータをセットし、前記
第3のステップにおいて、前記出力端子のいずれか一つ
の端子がローレベルの信号を出力し、残りの出力端子が
ハイレベルの信号を出力するように前記バウンダリスキ
ャン回路にテストデータをセットし、前記第5のステッ
プにおいて、前記第2のステップで検出された電源電流
と前記第4のステップで検出された電源電流との差が閾
値を上回る場合に、前記一つの端子が異常と判定するこ
とで、特定したものである。
【0011】請求項4の発明は、内部論理回路,該内部
論理回路の複数の端子,及び該内部論理回路と該複数の
端子との間に介在するバウンダリスキャン回路を備えた
電子回路の試験方法である。この試験方法は、前記複数
の端子のうち、被試験端子に対して所定レベルの信号が
出力されるように前記バウンダリスキャン回路にテスト
データを設定する第1のステップと、前記被試験端子に
対する出力をハイインピーダンス状態にする第2のステ
ップと、前記第2のステップにおいてハイインピーダン
ス状態となってから前記被試験端子に対する出力のレベ
ルが前記所定レベルを維持する時間に基づいて、前記被
試験端子の異常の有無を判定する第3のステップとを有
することを特徴とする。
【0012】請求項5の発明は、請求項4のバウンダリ
スキャン回路が、前記端子に接続されるバッファと、該
バッファに供給されるテストデータを保持するテストデ
ータ保持手段とを有し、前記第1のステップにおいて、
前記バッファから前記所定レベルの信号が出力されるよ
うに前記テストデータ保持手段にテストデータをセット
し、前記第2のステップにおいて、前記バッファをハイ
インピーダンス状態に設定し、前記第3のステップにお
いて、前記バッファの出力が前記所定レベルを維持する
時間に基づいて、前記被試験端子の異常の有無を判定す
ることで、特定したものである。
【0013】請求項6の発明は、請求項5のバウンダリ
スキャン回路が、前記バッファの出力に応じたレベルの
データが格納されるバッファ出力保持手段を有し、前記
第3のステップにおいて、前記バッファ出力保持手段に
格納されたデータが前記所定レベルに応じたレベルを維
持する時間に基づいて、前記被試験端子の異常の有無を
判定することで、特定したものである。
【0014】請求項7の発明は、請求項6の第3のステ
ップが、前記バッファがハイインピーダンス状態になっ
てから所定時間後の前記バッファ出力保持手段に格納さ
れたデータのレベルを検出し、該レベルに基づいて前記
被試験端子の異常の有無を判定することで、特定したも
のである。
【0015】請求項8の発明は、請求項4乃至7の試験
方法が、第1のステップにおいて、前記所定レベルとし
てローレベルを定義することで、特定したものである。
請求項9の発明は、請求項4乃至7の試験方法が、第1
のステップにおいて、前記所定レベルとしてハイレベル
を定義することで、特定したものである。
【0016】請求項10の発明は、内部論理回路,該内
部論理回路の複数の端子,及び該内部論理回路と該複数
の端子との間に介在するバウンダリスキャン回路を備え
た電子回路の試験装置である。この試験装置は、前記複
数の端子のうち、出力端子となる端子の全てから同一レ
ベルの信号が出力されるように前記バウンダリスキャン
回路にテストデータをセットすることにより第1の状態
を設定するとともに、前記出力端子のいずれか一つを除
く端子が前記レベルの信号を出力し、該一つの端子が該
レベルと異なるレベルの信号を出力するように前記バウ
ンダリスキャン回路にテストデータをセットすることに
より第2の状態を設定する制御手段と、前記第1の状態
にあるときにおける前記電子回路の電源電流と、前記第
2の状態にあるときにおける電源電流を検出する電流検
出手段と、前記検出手段によって検出された前記第1の
状態における電源電流と前記第2の状態における電源電
流との差に基づき、前記一つの端子の異常の有無を判定
する判定手段とを有することを特徴とする。
【0017】請求項11の発明は、請求項10の制御手
段が、前記出力端子となる端子の全てからローレベルの
信号が出力されるように前記バウンダリスキャン回路に
テストデータをセットして前記第1の状態を設定すると
ともに、前記出力端子のいずれか一つの端子からハイレ
ベルの信号が出力され、残りの出力端子からローレベル
の信号が出力されるように前記バウンダリスキャン回路
にテストデータをセットすることにより前記第2の状態
を設定し、前記判定手段が、前記電源電流の差が閾値を
下回る場合に、前記一つの端子が異常と判定すること
で、特定したものである。
【0018】請求項12の発明は、請求項10の制御手
段が、前記出力端子となる端子の全てからハイレベルの
信号が出力されるように前記バウンダリスキャン回路に
テストデータをセットして前記第1の状態を設定すると
ともに、前記出力端子のいずれか一つの端子からローレ
ベルの信号が出力され、残りの出力端子からハイレベル
の信号が出力されるように前記バウンダリスキャン回路
にテストデータをセットすることにより前記第2の状態
を設定し、前記判定手段が、前記電源電流の差が閾値を
上回る場合に、前記一つの端子が異常と判定すること
で、特定したものである。
【0019】請求項13の発明は、内部論理回路,該内
部論理回路の複数の端子,及び該内部論理回路と該複数
の端子との間に介在するバウンダリスキャン回路を備え
た電子回路の試験装置である。この試験装置は、前記複
数の端子のうち、被試験端子に対して所定レベルの信号
が出力されるように前記バウンダリスキャン回路にテス
トデータを設定して第1の状態を設定した後に、前記被
試験端子に対する出力がハイインピーダンス状態になる
よう前記バウンダリスキャン回路にテストデータを設定
して第2の状態を設定する制御手段と、前記制御手段に
よってハイインピーダンス状態が設定されてから、前記
被試験端子に対する出力のレベルが前記所定レベルを維
持する時間に基づいて、前記被試験端子の異常の有無を
判定する判定手段とを有することを特徴とする。
【0020】請求項14の発明は、請求項13のバウン
ダリスキャン回路は、前記端子に接続されるバッファ
と、該バッファに供給されるテストデータを保持するテ
ストデータ保持手段とを有し、前記制御手段は、前記バ
ッファから前記所定レベルの信号が出力されるように前
記テストデータ保持手段にテストデータを格納して前記
第1の状態を設定した後に、前記バッファがハイインピ
ーダンス状態となるよう前記テストデータ保持手段にテ
ストデータを設定して前記第2の状態を設定し、前記判
定手段は、前記バッファの出力が前記所定レベルを維持
する時間に基づいて、前記被試験端子の異常の有無を判
定することで、特定したものである。
【0021】請求項15の発明は、請求項14のバウン
ダリスキャン回路は、更に、前記バッファの出力に応じ
たレベルのデータが格納されるバッファ出力保持手段を
有し、前記判定手段は、前記バッファ出力保持手段に格
納されたデータが前記所定レベルに応じたレベルを維持
する時間に基づいて、前記被試験端子の異常の有無を判
定することで、特定したものである。
【0022】請求項16の発明は、請求項15の判定手
段は、前記バッファがハイインピーダンス状態になって
から所定時間後、前記バッファ出力保持手段に格納され
たデータのレベルを検出し、該レベルに基づいて前記被
試験端子の異常の有無を判定することで、特定したもの
である。
【0023】請求項17の発明は、請求項13乃至16
の制御手段が、被試験端子に対してローレベルの信号が
出力されるように前記バウンダリスキャン回路にテスト
データを設定して前記第1の状態を設定することで、特
定したものである。
【0024】請求項18の発明は、請求項13乃至16
の制御手段が、被試験端子に対してハイレベルの信号が
出力されるように前記バウンダリスキャン回路にテスト
データを設定して前記第1の状態を設定することで、特
定したものである。
【0025】
【発明の実施の形態】以下、本発明による実施の形態を
図面に基づいて説明する。 〔電子回路の構成図〕図1は、本発明の実施形態による
試験方法が実施される電子回路の構成図(電子回路の試
験装置の構成図)である。図1には、LSIチップ(電子
回路チップ:以下、「チップ」という)10と、チップ
10に電気的に接続されたLSIテスタ20とが示され
ている。
【0026】LSIテスタ20は、チップ10のテスト
用の各データをチップ10に供給するパターン発生器2
1と、チップ10の各部に動作電圧を供給する電源ユニ
ット22と、チップ10からの出力パターンと予め用意
したテストパターンとを比較するパターン比較器23と
を備えている。
【0027】チップ10には、JTAG(Joint Test Ac
tion Group)によって骨子が定められIEEE(Institut
e of Electrical and Electronics Engineers)によって
規定された世界的な標準規格であるIEEE Standard
1149.1に準拠したバウンダリスキャン回路が搭載されて
いる。
【0028】即ち、チップ10には、複数のI/Oピン
11が設けられている(但し、図1には、I/Oピン1
1a〜11oを図示)。複数のI/Oピン11a〜11
oのうち、I/Oピン11d〜11nは、バウンダリス
キャン機能付きI/Oマクロ12(以下、「BSマク
ロ」という)を介してLSIをなす内部論理(回路)13
に接続されている(但し、図1には、BSマクロ12a
〜12lを図示)。
【0029】これらのBSマクロ12a〜12lの夫々
は、隣り合うもの同士が接続されており、内部論理13
を取り囲む状態で内部論理13とI/Oピン11d〜1
1oとの境界に配置されている。これらのBSマクロ1
2a〜12lは、チップ10に設けられたJTAG制御
回路15によって制御される。これらのBSマクロ12
a〜12l,及びJTAG制御回路15が上述したバウ
ンダリスキャン回路を構成する。そして、JTAG制御
回路15によるBSマクロ12a〜12lの制御によっ
て、I/Oピン11d〜11o,或いは内部論理13に
対する良否のテストが行われる。
【0030】複数のI/Oピン11a〜11oのうち、
I/Oピン11e〜11nは、内部論理13の入出力端
子として機能する。これに対し、I/Oピン11a〜1
1d,11oの夫々は、チップ10に対するテスト用の
ポート(TAP:TEST ACCESSPORT)として機能する。
【0031】I/Oピン11a〜11cは、LSIテス
タ20内のパターン発生器21に夫々接続されるととも
に、JTAG制御回路15内のTAPコントローラ16
に夫々接続されている。I/Oピン11aには、TMS
(TEST MODE SELECT:テストモード選択)信号が入力され
る。TMS信号はTAPコントローラ16の状態間遷移
に必要なロジックレベルである。また、I/Oピン11
bにはTCK(TEST CLOCK:テストクロック)信号が入力
される。TCK信号はテストクロックであり、内部論理
13の動作用クロックから独立したクロックである。ま
た、I/Oピン11cには、TRST(TEST RESET)信号
が入力される。TRST信号は、JTAG制御回路15
及びBSマクロ12a〜12lに対するリセット信号で
ある。
【0032】また、I/Oピン11dは、パターン発生
器21に接続されるとともに、BSマクロ12aに接続
されている。このI/Oピン11dには、TDI(TEST
DATAINPUT)信号がシリアル入力される。TDI信号はテ
ストデータ或いは各BSマクロ12に対する命令ビット
である。また、I/Oピン11oは、BSマクロ12l
に接続されるとともに、パターン比較器23に接続され
ている。このI/Oピン11oからは、TDO(TEST DA
TA OUTPUT)信号がシリアル出力される。TDO信号は、
TDIとしてシリアル入力されたテストデータ,或い
は、内部論理13からの出力信号である。
【0033】また、電源ユニット22とチップ10との
間に存するチップ10の電源端子には、チップ10全体
の電源電流を検出する電流検出部41が設けられてい
る。また、電流検出部41によって検出された電流値と
対比させる閾値を保持した閾値保持部42が設けられて
いる。さらに、電流検出部41によって検出された電流
値と閾値とを比較してI/Oピン11d〜11oの良否
を判定する比較器43が設けられている。そして、比較
器43には、表示装置60が接続されている。
【0034】図2は、図1に示したJTAG制御回路1
5及びBSマクロ12(BSマクロ12a〜12l)の内
部構成を示すブロック図である。図2において、BSマ
クロ12は、テストデータレジスタ群24と、テストデ
ータレジスタ群24に接続されたマルチプレクサ(以
下、「MUX」という)25と、MUX25に接続され
た出力バッファ26とを備えている。
【0035】テストデータレジスタ群24は、I/Oピ
ン11dから入力されたTDI信号が夫々入力されるバ
ウンダリスキャン部28,デバイス識別レジスタ29,
ユーザテストデータレジスタ30,及びバイパスレジス
タ31を有している。これらは、MUX27に夫々接続
されており、MUX27は、上述したMUX25に接続
されている。
【0036】ここに、バウンダリスキャン部28には、
TDI信号に含まれるテストデータがセットされる。ま
た、デバイス識別レジスタ29には、TDI信号に含ま
れるテスト対象デバイスを特定するためのデータがセッ
トされる。また、ユーザテストデータレジスタ30に
は、TDI信号に含まれるユーザテストデータがセット
される。また、バイパスレジスタ31には、チップ10
が複数ある場合において、パターン発生器21からのT
DI信号をあるチップ10を経由して他のチップ10に
転送する際に、そのTDI信号を最短の転送経路にて転
送するための1ビットが、セットされる。
【0037】JTAG制御回路15は、上述したTAP
コントローラ16,命令レジスタ17,及び命令デコー
ダ18等からなる。ここに、命令レジスタ17は、I/
Oピン11dに接続されており、TDI信号に含まれる
命令ビットがセットされる。命令デコーダ18には、命
令レジスタ17にセットされた命令ビットが入力され
る。
【0038】命令デコーダ18は、入力された命令ビッ
トをデコードし、その結果に基づく命令をバウンダリス
キャン部28,デバイス識別レジスタ29,ユーザテス
トデータレジスタ30,又はバイパスレジスタ31の何
れかに与える。バウンダリスキャン部28,デバイス識
別レジスタ29,ユーザテストデータレジスタ30,又
はバイパスレジスタ31の夫々は、命令デコーダ18か
らの命令を受け取った場合には、その命令に基づく処理
を行う。
【0039】また、命令デコーダ18は、デコード結果
に基づく選択命令をMUX27に与える。すると、MU
X27は、バウンダリスキャン部28,デバイス識別レ
ジスタ29,ユーザテストデータレジスタ30,バイパ
スレジスタ31の何れかの保持データをMUX25へ転
送する。
【0040】TAPコントローラ16は、命令レジスタ
17,命令デコーダ18,及びBSマクロ12の各部に
対してTCK信号,即ちテストクロックを分配するとと
もに、このテストクロック及びTMS信号に従って制御
信号を与える。但し、図2では、テストクロック及び制
御信号の詳細な伝達経路は省略してある。
【0041】TAPコントローラ16は、例えば、命令
レジスタ17に対し、命令ビットを命令デコーダ18に
転送する旨の命令を与える。また、TAPコントローラ
16は、MUXに対し、命令レジスタ17にセットされ
た命令ビットとMUX25からの出力との一方を選択す
るためのセレクト信号を与える。
【0042】出力バッファ26は、イネーブル時には、
MUX25からの出力を保持する。この出力バッファ2
6の保持内容は、I/Oピン11から出力される。一
方、出力バッファ26は、ディスエーブル時には、その
データ保持機能を喪失し、抵抗素子として機能する。
【0043】図3は、図2に示したBSマクロ12の詳
細説明図である。図1に示したBSマクロ12a〜12
lの夫々は、同一の構成を有している。図3において、
テストデータレジスタ群24のバウンダリスキャン部2
8は、バウンダリスキャンフリップフロップ(以下、
「BS-FF」という)35〜37,セレクタ38,及び
セレクタ39を備えている。
【0044】セレクタ38の入力端は、BS-FF35
の出力端,及び内部論理13の出力端に接続されてお
り、セレクタ38の出力端は、上述したMUX27に接
続されている。同様に、セレクタ39の入力端は、BS
-FF36の出力端,及び内部論理13の出力端に接続
されており、セレクタ38の出力端は、上述したMUX
27に接続されている。出力バッファ26とI/Oピン
11とを接続する信号線には、プルアップ抵抗33,及
び入力バッファ34の入力端が夫々接続されている。そ
して、入力バッファ34の出力端は、セレクタ40を介
してBS-FF37,及び内部論理13の入力端に夫々
接続されている。
【0045】また、BS-FF35はBS-FF36に接
続されており、BS-FF36はBS-FF37に接続さ
れている。BS-FF35は、この隣に存するBSマク
ロ12のBS-FF37に接続されており、BS-FF3
7は、この隣に存するBSマクロ12のBS-FF35
に接続されている。このように、各BSマクロ12a〜
12lにおけるBS-FF35〜37は、数珠つなぎに
接続されている。これによって、いわゆるバウンダリス
キャンチェーンが形成されている。これらの各BS-F
F35〜37には、TCK信号,即ちテストクロックが
入力される。
【0046】BS-FF37には、I/Oピン11dか
ら入力されたTDI信号に含まれるテストデータ
(“0”の信号又は“1”の信号)が、入力バッファ3
4,セレクタ40を介して入力される。BS-FF37
は、“0”又は“1”を保持している状態において、入
力バッファ34から“0”又は“1”が出力されると、
テストクロックに従って自身の保持内容を、自身と接続
されたBS-FF35に入力し、入力バッファ34から
出力された“0”又は“1”を保持する。
【0047】但し、入力バッファ34から“0”又は
“1”を受け取るのはBSマクロ12aのBS-FF3
7のみであり、BSマクロ12b〜12lのBS-FF
37は、入力バッファ34の代わりに自身と接続された
BS-FF36から“0”又は“1”を受け取る。
【0048】一方、BS-FF35は、自身と接続され
たBS-FF37から“0”又は“1”が出力される
と、テストクロックに従って自身の保持内容を自身と接
続されたBS-FF36に入力し、当該BS-FF37か
ら出力された“0”又は“1”を保持する。同様に、B
S-FF36は、自身と接続されたBS-FF35から
“0”又は“1”が出力されると、テストクロックに従
って自身の保持内容を自身と接続されたBS-FF37
に入力し、当該BS-FF35から出力された“0”又
は“1”を保持する。
【0049】このように、BSマクロ12aのセレクタ
40からBS-FF37へテストデータたる“0”又は
“1”が出力される毎に、BSマクロ12b〜12mの
夫々におけるBS-FF35〜BS-FF37の保持内容
が、その隣りに存するBS-FF35〜37の何れかへ
押し出されるようにして転送される(シフトする)。これ
によって、テストデータがBSマクロ12a→12b→
12c→・・・→12lの順で順次転送される。
【0050】そして、I/Oピン11dから入力された
“0”又は“1”がBSマクロ12lのBS-FF36
に達した場合において、BSマクロ12lのBS-FF
35から“0”又は“1”が出力された際には、当該B
S-FF36の保持内容がTDOとしてI/Oピン11
oから出力される。
【0051】セレクタ38は、TAPコントローラ16
からの制御信号に従って、BS-FF35の保持内容と
内部論理13の出力との一方をMUX27へ転送する。
同様に、セレクタ39は、TAPコントローラ16から
の制御信号に従って、BS-FF36の保持内容と内部
論理13の出力との一方をMUX27へ転送する。これ
によって、内部論理13からの出力,又はBS-FF3
5,36の保持内容がI/Oピン11から出力される。
また、セレクタ40は、入力バッファ34からの出力を
TAPコントローラ16からの制御信号に従って、BS
-FF37と内部論理13との一方へ転送する。
【0052】ところで、上述したチップ10は、ノーマ
ル動作モードとテスト動作モードとの二つのモード上で
動作する構成となっている。ノーマル動作モードでは、
セレクタ40が入力バッファ34からの出力を内部論理
13のみに転送し、且つセレクタ38が内部論理13か
らの出力をMUX27へ転送し、さらにセレクタ39が
内部論理13からの出力をMUX27へ転送する。従っ
て、チップ10は、ノーマル動作モードでは、内部論理
13がBSマクロ12a〜12lの各BS-FF35〜
37の存在による影響を全く受けない状態で動作する。
【0053】これに対し、テスト動作モードでは、セレ
クタ40が入力バッファ34からの出力をBS-FF3
7に転送し、且つセレクタ38がBS-FF35の保持
内容をMUX27へ転送し、さらにセレクタ39がBS
-FF36の保持内容をMUX27へ転送する。従っ
て、テスト動作モードでは、チップ10の内部論理13
を無視した状態でI/Oピン11d〜11oのテストが
行われる。
【0054】ここで、テスト動作モードでは、出力バッ
ファ26には、BS-FF35及びBS-FF36の夫々
における保持内容が、セレクタ38(セレクタ39),M
UX27,25を介して入力される。この場合には、出
力バッファ26は、BS-FF35及びBS-FF36の
保持内容に応じて以下の3通りの状態となる。
【0055】即ち、出力バッファ26は、BS-FF3
5及び/又はBS-FF36にテストデータが保持され
ていない場合には、プルアップ抵抗33,及びI/Oピ
ン11に内在するコンデンサCによって、“1”(HI
GH信号)を出力する。これに対し、BS-FF35から
“0”(LOW信号)が入力され、且つBS-FF36か
ら“1”が入力された場合には、出力バッファ26は、
HIGH信号を出力する。即ち、I/Oピン11へ電流
が流れる。
【0056】また、BS-FF35及びBS-FF36の
夫々から“0”が入力された場合には、出力バッファ2
6は、LOW信号を出力する。即ち、I/Oピン11へ
電流は流れない。但し、BS-FF35から“1”が入
力された場合には、出力バッファ26は、ディスエーブ
ル状態,即ちハイインピーダンス状態(HZ状態)とな
り、I/Oピン11へ電流は流れない。 〔テスタ及びチップにおける動作〕次に、LSIテスタ
20及びチップ10における動作をテスト動作モードに
ついて説明する。テスト動作モードでは、LSIテスタ
20及びTAPコントローラ16は、以下の動作を行
う。
【0057】即ち、図1に示すLSIテスタ20の電源
ユニット22が、チップ10に対して動作電圧を供給す
る。続いて、パターン発生器21が、JTAG制御回路
15のTAPコントローラ16に対し、I/Oピン11
a,11bを介してTMS信号及びTCK信号を供給す
るとともに、I/Oピン11dを介してTDI信号たる
命令ビットを供給する。I/Oピン11dから入力され
た命令ビット(EXTEST命令)は、JTAG制御回路15の
命令レジスタ17(図2参照)にセットされる。続いて、
パターン発生器21は、TDI信号たるテストデータ
(“0”又は“1”)を、I/Oピン11dを介してBS
マクロ12aに順次入力する。即ち、I/Oピン11d
には、パターン発生器21から出力された複数のテスト
データからなるテストパターンがシリアル入力される。
【0058】すると、TAPコントローラ16が、入力
されたTMS信号及びTCK信号に従って、命令レジス
タ17やBSマクロ12a〜12lに対し、テストクロ
ックや制御信号を供給する。これによって、命令レジス
タ17にセットされた命令ビットが命令デコーダ18に
てデコードされ、デコード結果に基づく命令がバウンダ
リスキャン部28に与えられる。
【0059】バウンダリスキャン部28では、命令デコ
ーダ18から受け取った命令,或いはTAPコントロー
ラ16から分配されたテストクロックに従って、テスト
データたる“0”又は“1”が各BSマクロ12a〜1
2lの各BS-FF35〜37を順次シフトしていく。
そして、最終的には、各テストデータがBSマクロ12
a〜12lの全て,或いはBSマクロ12a〜12lの
何れかにおけるBS-FF35〜37の夫々にセットさ
れる。この後、後述する試験方法によって、I/Oピン
11d〜11oの良否のテストが行われる。〔第1の試
験方法〕以下、第1の試験方法によるチップ10のI/
Oピン11d〜11oの良否のテスト(第1実施例)を、
図6のフローチャートを参照しながら説明する。第1の
試験方法は、I/Oピン11d〜11oの夫々がグラウ
ンド(GND)とショートしているか否かを判定するテス
トである。
【0060】最初に、パターン発生器21とJTAG制
御回路15とが、BSマクロ12a〜12lを用いてI
/Oピン11d〜11oからLOW信号が出力される状
態を設定する。即ち、図3に示すBSマクロ12a〜1
2lの各BS-FF35〜37に“0”が保持され、B
Sマクロ12a〜12lの各出力バッファ26における
イネーブルピンにBS-FF35からの“0”信号が反
転されて入力され(イネーブル状態)、BS-FF36の
夫々から“0”が入力端子に入力される状態とする。こ
れは、パターン発生器21がテストデータとして“0”
を順次出力し、TAPコントローラ16がBSマクロ1
2a〜12lの各BS-FF35〜37に“0”を保持
させることで実現される(S1,S2)。
【0061】次に、電流検出部41が、チップ10全体
の電源端子に流れ込む電流を検出し、I/Oピン11d
〜11oの全てからLOW信号が出力されている際にお
けるチップ10全体の電源電流である電流値IDD1を
求める(S3)。
【0062】次に、I/Oピン11d〜11oのうち、
テスト対象となるピン(対象ピン)からHIGH信号が出
力され、残りのピン(非対象ピン)からLOW信号が出力
される状態とする。例えば、パターン発生器21がテス
トデータとして“1”を出力し(S4)、その後、“0”
を順次出力する。これに応じて、各BS-FF35〜3
7の保持内容(テストデータ)を、テストクロックに従っ
て隣のBS-FF35〜37へ夫々シフトさせる。
【0063】すると、BSマクロ12a〜12lの各B
S-FF35〜37の何れか一つのみが“1”を保持
し、残りのBS-FF35〜37が“0”を保持する状
態となり、ついには、BSマクロ12a〜12lのう
ち、何れか一つのBSマクロ12におけるBS-FF3
5が“0”を保持し、且つBS-FF36が“1”を保
持する状態となる(S5,S6)。この状態のBS-FF3
5及びBS-FF36を有するBSマクロ12と接続さ
れたI/Oピン11が上述した対象ピンとなり、その他
のBSマクロ12と接続されたI/Oピン11が上述し
た非対象ピンとなる。
【0064】次に、電流検出部41が、チップ10全体
の電源端子に流れ込む電源電流を検出する(S7)。即
ち、I/Oピン11d〜11oのうち、対象ピンからH
IGH信号が出力され、且つ非対象ピンからLOW信号
が出力されている際におけるチップ10全体の電源電流
である電流値IDD2を求める(S7)。
【0065】次に、電流検出部41が、以下の(式1)の
演算を行うことによって、対象ピンから出力される電流
値ΔIDD0を求める。 IDD1−IDD2=ΔIDD0 ・・・(式1) ここで、電流値ΔIDD0は、対象ピンに接続された出
力バッファ26からHIGH信号が出力された際に対象
ピンに接続されたプルアップ抵抗33を流れる電流と出
力バッファ26からLOW信号が出力された際に流れる
電流との差である。この電流値ΔIDD0は、対象ピン
がグラウンド(GND)との間でショートしている場合
(図3に示す抵抗SH1参照)には、対象ピンが正常であ
る場合よりも小さくなる。電流検出部41は、求めた電
流値ΔIDD0を比較器43に与える。
【0066】次に、比較器43は、電流検出部41から
電流値ΔIDD0を受け取ると、閾値保持部42から所
定の閾値を受け取って両者を対比する(S8)。このと
き、比較器43は、電流値ΔIDD0が閾値以上である
場合には、対象ピンが正常であると判定する(S9)。こ
れに対し、電流値ΔIDD0が閾値未満である場合に
は、対象ピンがショートしていると判定する(S10)。
そして、比較器43は、判定結果を表示装置60へ与え
る。
【0067】表示装置60は、比較器43から判定結果
を受け取ると、その判定結果を表示する。これによっ
て、テストの作業者が表示装置60を見れば、対象ピン
の良否,即ち、対象ピンがショートしているか否かを把
握できる。
【0068】その後、BSマクロ12a〜12lの各B
S-FF35〜37に保持されたテストデータを夫々シ
フトさせることによって、HIGH信号を出力するI/
Oピン11,即ち対象ピンを変更する(S11,S1
2)。本実施形態では、各BS-FF35〜37に保持さ
れたテストデータを3回シフトさせることで対象ピンの
変更がなされる。従って、各テストデータを3回シフト
させる毎に、上述した対象ピンのテストが行われる。
【0069】また、パターン発生器21からのテストデ
ータの出力順から“1”を保持するBS-FFを特定す
ることができるので、現在テストが行われている対象ピ
ンを特定することができる。 〈第1の試験方法によるテスト例〉上述した第1の試験
方法を具体的数値を用いて説明する。例えば、対象ピン
が正常(良品)である場合には、出力バッファ26からH
IGH信号が出力される際における対象ピンの貫通電流
ΔIDSは、GNDへのリーク電流のみとなる。このリ
ーク電流はnAオーダであり、無視できる程小さい。こ
のため、正常な対象ピンの貫通電流ΔIDSは、以下の
ように考えられる。即ち、 ΔIDS=0mA 但し、貫通電流ΔIDSと電流値ΔIDD0とは以下の
関係を有する。
【0070】 ΔIDD0=ΔIDS+IDS2 ・・・(式2) なお、(式2)において、IDS2は内部論理13のリー
ク電流であり、その値は1〜10mAである。
【0071】これに対し、対象ピンがGNDとショート
している(不良品である)場合には、電源電圧が3.3V
であり、ショート抵抗(抵抗SH1)の値が0.1〜1k
Ω程度であり、さらに、出力バッファ26を構成するP
チャネル型トランジスタがONとなったときの抵抗(出
力Pch-Tr ON抵抗)が0.025〜0.1kΩであるものと
すると、対象ピンの貫通電流ΔIDSは、以下の演算に
よって求められる。即ち、 ΔIDS=電源電圧/(出力Pch-Tr ON抵抗+ショート抵抗) =3.3V/(0.025〜0.1kΩ+0.1〜1kΩ) =3.0〜26.4mA 従って、例えば閾値保持部42に保持される閾値を例え
ば3.0mAと設定しておけば、対象ピンの良否が判定
できる。
【0072】なお、正常な非対象ピン(出力バッファ2
6からLOW信号が出力される際におけるI/Oピン1
1)の1ピンあたりの貫通電流ΔIDSは、以下の(式
3)で求められる。
【0073】 ΔIDS=電源電圧/プルアップ抵抗33の抵抗値 ・・・(式3) ここで、電源電圧が3.3Vであり、プルアップ抵抗3
3の抵抗値が5〜20kΩであるものとすると、 ΔIDS=3.3V/5〜20kΩ =0.615〜0.66mA となる。なお、第1の試験方法は、プルアップ抵抗33
を有しないチップについても実施できる。 〔第2の試験方法〕以下、第2の試験方法によるチップ
10のI/Oピン11d〜11oの良否のテスト(第2
実施例)を、図7のフローチャートを参照しながら説明
する。第2の試験方法は、I/Oピン11d〜11oの
夫々が電圧源(VDD)とがショートしているか否かを判
定するテストである。第2の試験方法は、第1の試験方
法とほぼ同様であるので、主に相違点について説明す
る。
【0074】最初に、第1の試験方法にて説明した手法
を用いて、パターン発生器21とJTAG制御回路15
とが、I/Oピン11d〜11oからHIGH信号が出
力される状態とする。即ち、BSマクロ12a〜12l
の各出力バッファ26に、BS-FF35から“0”が
入力され、BS-FF36から“1”が入力される状態
とする。このとき、パターン発生器21から出力される
テストデータのパターンは、例えば、“0”,“1”,
“0”の繰り返しとなる(S21,S22)。
【0075】次に、電流検出部41が、チップ10全体
の電源端子から電源電流を検出する。即ち、I/Oピン
11d〜11oの全てからHIGH信号が出力されてい
る際におけるチップ10全体の電源電流である電流値I
DD1を求める(S23)。
【0076】次に、I/Oピン11d〜11oのうち、
テスト対象となるピン(対象ピン)からLOW信号が出力
され、残りのピン(非対象ピン)からHIGH信号が出力
される状態とする。即ち、BSマクロ12a〜12lの
うち、何れか一つのBSマクロ12のBS-FF35及
びBS-FF36が夫々“0”を保持する状態とする。
この状態のBS-FF35,36を有するBSマクロ12
と接続されたI/Oピン11が対象ピンとなり、その他
のBSマクロ12と接続されたI/Oピン11が非対象
ピンとなる。これは、例えば上述した“0”,“1”,
“0”の繰り返しパターンに“0”,“0”,“0”のパ
ターンを1回のみ混入することで実現できる(S24,S
25,S26)。
【0077】次に、電流検出部41が、チップ10全体
の電源端子から電源電流を検出する。即ち、I/Oピン
11d〜11oのうち、対象ピンからLOW信号が出力
され、且つ非対象ピンからHIGH信号が出力されてい
る際におけるチップ10全体の電源電流である電流値I
DD2を求める(S27)。
【0078】次に、電流検出部41が、上述した(式1)
の演算を行うことによって、対象ピンから出力される電
流値ΔIDD0を求める。但し、電流値ΔIDD0は、
対象ピンに接続された出力バッファ26に流れ込む電流
である。この電流値ΔIDD0は、対象ピンが電圧源V
DDとの間でショートしている場合(図3の抵抗SH2
参照)には、対象ピンが正常である場合よりも大きくな
る。電流検出部41は、求めた電流値ΔIDD0を比較
器43に与える。
【0079】次に、比較器43は、電流検出部41から
電流値ΔIDD0を受け取ると、閾値保持部42から所
定の閾値を受け取って両者を対比する(S28)。このと
き、比較器43は、電流値ΔIDD0が閾値未満である
場合には、対象ピンが正常であると判定する(S29)。
これに対し、電流値ΔIDD0が閾値以上である場合に
は、対象ピンがショートしていると判定する(S30)。
そして、比較器43は、判定結果を表示装置60へ与え
る。そして、表示装置60は、比較器43から判定結果
を受け取ると、その判定結果を表示する。
【0080】その後、BSマクロ12a〜12lの各B
S-FF35〜37に保持されたテストデータを夫々シ
フトさせることによって、LOW信号を出力するI/O
ピン11,即ち対象ピンを変更する(S31,S32)。
本実施形態では、各BS-FF35〜37に保持された
テストデータを3回シフトさせることで対象ピンの変更
がなされる。従って、各テストデータを3回シフトさせ
る毎に、上述した対象ピンのテストが行われる。
【0081】また、パターン発生器21からのテストデ
ータの出力順から“0”,“0”,“0”のパターンがB
Sマクロ12a〜12lのどの位置に存するかを特定で
きるので、現在テストが行われている対象ピンを特定す
ることができる。 〈第2の試験方法によるテスト例〉上述した第1の試験
方法を具体的数値を用いて説明する。例えば、対象ピン
が正常(良品)である場合には、出力バッファ26からL
OW信号が出力される際における対象ピンの貫通電流Δ
IDSは、上述した(式3)で求められる。ここで、第1
の試験方法と同様に電源電圧が3.3Vであり、プルア
ップ抵抗33の抵抗値が5〜20kΩであるものとする
と、 ΔIDS=3.3V/5〜20kΩ =0.615〜0.66mA これに対し、対象ピンが電圧源VDDとショートしてい
る(不良品である)場合には、電源電圧が3.3Vであ
り、ショート抵抗(抵抗SH2)の値が0.1〜1kΩ程
度であり、さらに、出力バッファ26を構成するNチャ
ネル型トランジスタがONとなったときの抵抗(出力Nch
-Tr ON抵抗)が0.025〜0.1kΩであるものとする
と、対象ピンの貫通電流ΔIDSは、以下の演算によっ
て求められる。即ち、 ΔIDS=電源電圧/(出力Nch-Tr ON抵抗+ショート抵抗) =3.3V/(0.025〜0.1kΩ+0.1〜1kΩ) =3.0〜26.4mA 従って、例えば閾値保持部42に保持される閾値を3.
0mAと設定しておけば、対象ピンの良否が判定でき
る。
【0082】なお、非対象ピンの一ピンあたりの貫通電
流ΔIDSは、第1の試験方法における正常な対象ピン
の貫通電流ΔIDSと同様であるので、0mAと考える
ことができる。 〔第3の試験方法〕以下、第3の試験方法によるチップ
10のI/Oピン11d〜11oの良否のテスト(第3
実施例)を、図8のフローチャートを参照しながら説明
する。第3の試験方法は、I/Oピン11d〜11oの
夫々がグラウンド(GND)とショートしているか否かを
判定するテストである。
【0083】最初に、パターン発生器21とJTAG制
御回路15とが、BSマクロ12a〜12lから一つの
BSマクロ12を特定し、特定したBSマクロ12に接
続されたI/Oピン11を対象ピンとし、この対象ピン
からHIGH信号が出力される状態とする。即ち、パタ
ーン発生器21が、例えば“1”,“0”,“1”のテス
トパターンをI/Oピン11dからシリアル入力し(S
41)、特定したBSマクロ12のBS-FF36に
“1”が保持され、BS-FF35に“0”が保持され
る状態とする。これによって、対象ピンに接続された出
力バッファ26からはHIGH信号が出力される(S4
2,S43)。
【0084】次に、各BS-FF35〜37に保持され
たテストデータをテストクロックに従ってシフトさせる
(S44)。これによって、特定されたBSマクロ12の
BS-FF37が“1”を保持し、BS-FF36が
“0”を保持し、BS-FF35が“1”を保持する状
態となる。すると、出力バッファ26がディスエーブル
状態,即ち、HZH状態(ハイインピーダンスのHIG
Hレベル状態)となる。
【0085】このとき、対象ピンが正常である場合に
は、図4に示すように、プルアップ抵抗33によって対
象ピンに内在するコンデンサCに電荷が蓄積されるの
で、HZH状態がかなり長い時間ホールドされる。これ
に対し、対象ピンがGNDとの間でショートしている場
合(異常の場合)には、ショート抵抗SH1と対象ピンに
内在するコンデンサCの容量とによって定まる時定数
で、HZH状態がHZL状態(ハイインピーダンスのL
OWレベル状態)へ移行する。
【0086】例えば、ショート抵抗SH1の抵抗値が
0.1〜1kΩであり、コンデンサCの容量が2〜5p
Fである場合には、時定数は0.2〜5nsとなる。な
お、HZH状態からHZL状態への移行は、ショート抵
抗SH1の抵抗値が小さい程早い。
【0087】ところで、HZH状態がHZL状態へ移行
することによって、入力バッファ34からBS-FF3
7へ印加される電圧が低下する。このとき、BS-FF
37は、入力バッファ34からの電圧が自身が保持する
閾値未満となった場合には、テストクロックの入力タイ
ミングでその保持内容を“1”から“0”へ変更する。
このBS-FF37へ入力される電圧レベルが“1”か
ら“0”へ変更される時間は、HZH状態がHZL状態
へ移行する時間に比例する。
【0088】このため、BS-FF37へ入力される電
圧が“1”から“0”へ変更される時間は、対象ピンが
正常な場合よりも対象ピンが異常な場合の方が短い。そ
こで、入力バッファ34から出力される電圧レベルが
“1”から“0”となるまでの時間を測定することで、
対象ピンが正常か異常かを判定する。
【0089】本実施形態では、BS-FF35に自身の
保持内容を“0”から“1”に変更する(シフトさせる)
テストクロック(TCK1)が入力されてから次のテスト
クロック(TCK2)がBS-FF37に入力された際に
おけるBS-FF37の保持内容を取得し(S45,S4
6)、この保持内容が“0”か“1”の何れであるかを
もって、対象ピンが正常か異常かが判定される。
【0090】即ち、TCK2がBS-FF37に入力さ
れた際におけるBS-FF37の保持内容は、I/Oピ
ン11oから取り出され、パターン比較器23へ転送さ
れる。パターン比較器23は、TCK2入力時における
BS-FF37の保持内容が“1”から“0”へ変更さ
れているか否かを判定する(S47,S48)。具体的に
は、パターン比較器23は、入力されたテストパターン
とパターン発生器21から出力されたテストパターンで
ある“1”,“0”,“1”とを対比し、両者が一致する
か否かを判定する。
【0091】このとき、対象ピンが異常である場合に
は、パターン比較器23に入力されるテストパターンは
“0”,“0”,“1”に変更されているので、この場合
には、パターン比較器23は、対象ピンがGNDとの間
でショートしていると判定する(S49)。これに対し、
両者が一致する場合には、パターン比較器23は、対象
ピンが正常であると判定する(S50)。その後、上述し
た第3の試験方法が残りのI/Oピン11の夫々につい
て行われる。これによって、I/Oピン11d〜11o
の良否が夫々判定される。
【0092】なお、TCK2の代わりに、内部論理13
の動作用のクロックが用いられても良い。また、TCK
2は、通常のテストクロックのタイミングを変更して生
成されたものであっても良い。また、出力バッファ26
がHZH状態となってからBS-FF37の保持内容が
“1”から“0”へ変わるまでの時間を測定するように
構成されていても良い。また、第3の試験方法は、プル
アップ抵抗33を有しないチップについても実施でき
る。 〔第4の試験方法〕以下、第4の試験方法によるチップ
10のI/Oピン11d〜11oの良否のテスト(第4
実施例)を、図9のフローチャートを参照しながら説明
する。第4の試験方法は、I/Oピン11d〜11oの
夫々が電圧源VDDとショートしているか否かを判定す
るテストである。
【0093】最初に、パターン発生器21とJTAG制
御回路15とが、BSマクロ12a〜12lから一つの
BSマクロ12を特定し、特定したBSマクロ12に接
続されたI/Oピン11を対象ピンとし、この対象ピン
からLOW信号が出力される状態とする。即ち、パター
ン発生器21が、例えば“0”,“0”,“1”のパター
ンをI/Oピン11dからシリアル入力し(S51)、特
定したBSマクロ12のBS-FF36に“0”が保持
され、BS-FF35に“0”が保持される状態とす
る。これによって、対象ピンに接続された出力バッファ
26からはLOW信号が出力される(S52,S53)。
【0094】次に、各BS-FF35〜37に保持され
たテストデータをテストクロックに従ってシフトさせる
(S54)。これによって、特定されたBSマクロ12の
BS-FF37が“0”を保持し、BS-FF36が
“0”を保持し、BS-FF35が“1”を保持する状
態となる。すると、出力バッファ26がディスエーブル
状態,即ち、HZL状態となる。
【0095】このとき、対象ピンが正常である場合に
は、図5に示すように、プルアップ抵抗33と、対象ピ
ンに内在するコンデンサCとによる時定数でHZL状態
がHLH状態へ移行する。例えば、プルアップ抵抗33
の抵抗値が0.1〜1kΩであり、コンデンサCの容量
が2〜5pFである場合には、10〜100nsの時定
数でHZL状態がHZH状態へ移行する。
【0096】これに対し、対象ピンが電圧源VDDとの
間でショートしている場合には、プルアップ抵抗33及
びショート抵抗SH1の並列抵抗と対象ピンに内在する
コンデンサCの容量とによって定まる時定数で、HZL
状態がHZH状態へ移行する。例えば、ショート抵抗S
H1の抵抗値が0.1〜1kΩであり、コンデンサCの
容量が2〜5pFである場合には、0.2〜5nsの時
定数でHZL状態がHZH状態へ移行する。このよう
に、対象ピンが電圧源VDDとショートしている場合に
は、対象ピンが正常な場合よりも短い時間でHZH状態
となる。
【0097】ところで、HZL状態がHZH状態へ移行
することによって、入力バッファ34からBS-FF3
7へ入力される電圧が上昇する。このとき、BS-FF
37は、入力バッファ34からの電圧レベルが自身が保
持する閾値以上となった場合には、テストクロックの入
力タイミングでその保持内容を“0”から“1”へ変更
する。このBS-FF37へ入力される電圧が“0”か
ら“1”へ変更される時間は、上述したHZH状態がH
ZL状態へ移行する時間に比例する。
【0098】このため、BS-FF37へ入力される電
圧が“0”から“1”へ変更される時間は、対象ピンが
正常な場合よりも対象ピンが異常な場合の方が短い。そ
こで、BS-FF35に保持内容を“1”から“0”に
変更する(シフトさせる)テストクロック(TCK1)が入
力されてから次のテストクロック(TCK2)がBS-F
F37に入力された際におけるBS-FF37の保持内
容を取得し(S55,S56)、この保持内容が“0”か
“1”の何れであるかをもって、対象ピンが正常か異常
かを判定する。
【0099】即ち、TCK2がBS-FF37に入力さ
れた際におけるBS-FF37の保持内容が、I/Oピ
ン11oから取り出され、パターン比較器23へ転送さ
れる。パターン比較器23は、TCK2入力時における
BS-FF37の保持内容が“0”から“1”へ変更さ
れているか否かを判定する(S57,S58)。具体的に
は、パターン比較器23は、入力されたテストパターン
とパターン発生器21から出力されたテストパターンで
ある“0”,“0”,“1”とを対比し、両者が一致する
か否かを判定する。
【0100】このとき、対象ピンが異常である場合に
は、パターン比較器23に入力されるテストパターンは
“1”,“0”,“1”に変更されているので、この場合
には、パターン比較器23は、対象ピンが電圧源VDD
との間でショートしていると判定する(S59)。これに
対し、両者が一致する場合には、対象ピンが正常である
と判定する(S60)。その後、上述した第4の試験方法
が残りのI/Oピン11の夫々について行われる。これ
によって、I/Oピン11d〜11oの夫々の良否が判
定される。 〔実施形態の効果〕本実施形態による第1〜第4の試験
方法によると、LSIテスタ20をI/Oピン11d〜
11oの全てに接続しなくても、I/Oピン11d〜1
1oがGND又は電圧源VDDとの間でショートしてい
るか否かを判定できる。
【0101】また、I/Oピン11d〜11oに対する
テストデータの設定は、BSマクロ12a〜12l,及
びJTAG制御回路15を用いて行うので、テスト用の
I/Oピンは、I/Oピン11a〜11d,11oの5
つで済む。
【0102】また、第1及び第2の試験方法は、IEE
E Standard 1149.1に準拠したチップ10に元々存する
電源ピンに流れ込むチップ10全体の電源電流を検出す
ることによってテストを行い、第3及び第4の試験方法
は、BSマクロ12a〜12l,及びJTAG制御回路
15のみを用いてテストを行う。従って、本発明を実施
するに当たり、チップ10に特別な構成を付加する必要
がない。
【0103】以上から、電子回路(IC,LSI,ULS
I)に設けられた膨大な数のI/Oピンの夫々について
のテストを、従来に比べて低コスト且つ短時間,即ち安
定且つ効率的に行うことができる。また、I/Oピン1
1d〜11oの全てにLSIテスタ20を接続すること
を要しないので、I/Oピン11に物理的なダメージを
与えたり、回路基盤を傷つけたりする可能性を低減する
ことができる。本発明による試験方法は、特にエリアバ
ンプ方式を採用したチップ10に有効である。
【0104】
【発明の効果】本発明による電子回路の試験方法及び試
験装置によれば、多数の入出力端子を有する電子回路に
ついての試験を従来に比べて低コスト且つ短時間で行う
ことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態による電子回路の構成図
【図2】図1に示したBSマクロ及びJTAG制御回路
の構成図
【図3】図2に示したBSマクロの詳細説明図
【図4】試験方法の説明図
【図5】試験方法の説明図
【図6】第1実施例のフローチャート
【図7】第2実施例のフローチャート
【図8】第3実施例のフローチャート
【図9】第4実施例のフローチャート
【符号の説明】
10 電子回路チップ 11 I/Oピン(複数の端子) 12 バウンダリスキャン機能付きマクロ(バウンダ
リスキャン回路) 13 内部論理回路 15 JTAG制御回路(バウンダリスキャン回路) 16 TAPコントローラ 17 命令レジスタ 18 命令デコーダ 26 出力バッファ 28 バウンダリスキャン部 33 プルアップ抵抗 34 入力バッファ 35 バウンダリスキャンフリップフロップ(テスト
データ保持手段) 36 バウンダリスキャンフリップフロップ(テスト
データ保持手段) 37 バウンダリスキャンフリップフロップ(テスト
データ保持手段)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岩本 尚美 神奈川県川崎市中原区上小田中4丁目1番 1号 富士通株式会社内 (72)発明者 渡邊 久 神奈川県川崎市中原区上小田中4丁目1番 1号 富士通株式会社内

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】内部論理回路,この内部論理回路の複数の
    端子,及び該内部論理回路と該複数の端子との間に介在
    するバウンダリスキャン回路を備えた電子回路の試験方
    法であって、 前記複数の端子のうち、出力端子となる端子の全てから
    同一レベルの信号が出力されるように前記バウンダリス
    キャン回路にテストデータをセットする第1のステップ
    と、 前記出力端子の出力が前記第1のステップで設定された
    状態にあるときにおいて、前記電子回路の電源電流を検
    出する第2のステップと、 前記出力端子のいずれか一つの端子が、残りの出力端子
    と異なるレベルの信号を出力するように前記バウンダリ
    スキャン回路にテストデータをセットする第3のステッ
    プと、 前記出力端子の出力が前記第3のステップで設定された
    状態にあるときにおいて、前記電子回路の電源電流を検
    出する第4のステップと、 前記第2のステップで検出された電源電流と前記第4の
    ステップで検出された電源電流との差に基づいて、前記
    一つの異常の以上の有無を判定する第5のステップとを
    有することを特徴とする電子回路の試験方法。
  2. 【請求項2】前記第1のステップにおいて、前記出力端
    子となる端子の全てからローレベルの信号が出力される
    ように前記バウンダリスキャン回路にテストデータをセ
    ットし、 前記第3のステップにおいて、前記出力端子のいずれか
    一つの端子がハイレベルの信号を出力し、残りの出力端
    子がローレベルの信号を出力するように前記バウンダリ
    スキャン回路にテストデータをセットし、 前記第5のステップにおいて、前記第2のステップで検
    出された電源電流と前記第4のステップで検出された電
    源電流との差が閾値を下回る場合に、前記一つの端子が
    異常と判定することを特徴とする請求項1記載の電子回
    路の試験方法。
  3. 【請求項3】前記第1のステップにおいて、前記出力端
    子となる端子の全てからハイレベルの信号が出力される
    ように前記バウンダリスキャン回路にテストデータをセ
    ットし、 前記第3のステップにおいて、前記出力端子のいずれか
    一つの端子がローレベルの信号を出力し、残りの出力端
    子がハイレベルの信号を出力するように前記バウンダリ
    スキャン回路にテストデータをセットし、 前記第5のステップにおいて、前記第2のステップで検
    出された電源電流と前記第4のステップで検出された電
    源電流との差が閾値を上回る場合に、前記一つの端子が
    異常と判定することを特徴とする請求項1記載の電子回
    路の試験方法。
  4. 【請求項4】内部論理回路,該内部論理回路の複数の端
    子,及び該内部論理回路と該複数の端子との間に介在す
    るバウンダリスキャン回路を備えた電子回路の試験方法
    であって、 前記複数の端子のうち、被試験端子に対して所定レベル
    の信号が出力されるように前記バウンダリスキャン回路
    にテストデータを設定する第1のステップと、 前記被試験端子に対する出力をハイインピーダンス状態
    にする第2のステップと、 前記第2のステップにおいてハイインピーダンス状態と
    なってから前記被試験端子に対する出力のレベルが前記
    所定レベルを維持する時間に基づいて、前記被試験端子
    の異常の有無を判定する第3のステップとを有すること
    を特徴とする電子回路の試験方法。
  5. 【請求項5】前記バウンダリスキャン回路は、前記端子
    に接続されるバッファと、該バッファに供給されるテス
    トデータを保持するテストデータ保持手段とを有し、 前記第1のステップにおいて、前記バッファから前記所
    定レベルの信号が出力されるように前記テストデータ保
    持手段にテストデータをセットし、 前記第2のステップにおいて、前記バッファをハイイン
    ピーダンス状態に設定し、 前記第3のステップにおいて、前記バッファの出力が前
    記所定レベルを維持する時間に基づいて、前記被試験端
    子の異常の有無を判定することを特徴とする請求項4記
    載の電子回路の試験方法。
  6. 【請求項6】前記バウンダリスキャン回路は、前記バッ
    ファの出力に応じたレベルのデータが格納されるバッフ
    ァ出力保持手段を有し、 前記第3のステップにおいて、前記バッファ出力保持手
    段に格納されたデータが前記所定レベルに応じたレベル
    を維持する時間に基づいて、前記被試験端子の異常の有
    無を判定することを特徴とする請求項5記載の電子回路
    の試験方法。
  7. 【請求項7】前記第3のステップは、前記バッファがハ
    イインピーダンス状態になってから所定時間後の前記バ
    ッファ出力保持手段に格納されたデータのレベルを検出
    し、該レベルに基づいて前記被試験端子の異常の有無を
    判定することを特徴とする請求項6記載の電子回路の試
    験方法。
  8. 【請求項8】前記第1のステップにおいて、前記所定レ
    ベルとしてローレベルを定義することを特徴とする請求
    項4乃至7の何れかに記載の電子回路の試験方法。
  9. 【請求項9】前記第1のステップにおいて、前記所定レ
    ベルとしてハイレベルを定義することを特徴とする請求
    項4乃至7の何れかに記載の電子回路の試験方法。
  10. 【請求項10】内部論理回路,該内部論理回路の複数の
    端子,及び該内部論理回路と該複数の端子との間に介在
    するバウンダリスキャン回路を備えた電子回路の試験装
    置であって、 前記複数の端子のうち、出力端子となる端子の全てから
    同一レベルの信号が出力されるように前記バウンダリス
    キャン回路にテストデータをセットすることにより第1
    の状態を設定するとともに、前記出力端子のいずれか一
    つを除く端子が前記レベルの信号を出力し、該一つの端
    子が該レベルと異なるレベルの信号を出力するように前
    記バウンダリスキャン回路にテストデータをセットする
    ことにより第2の状態を設定する制御手段と、 前記第1の状態にあるときにおける前記電子回路の電源
    電流と、前記第2の状態にあるときにおける電源電流を
    検出する電流検出手段と、 前記検出手段によって検出された前記第1の状態におけ
    る電源電流と前記第2の状態における電源電流との差に
    基づき、前記一つの端子の異常の有無を判定する判定手
    段とを有することを特徴とする電子回路の試験装置。
  11. 【請求項11】前記制御手段は、前記出力端子となる端
    子の全てからローレベルの信号が出力されるように前記
    バウンダリスキャン回路にテストデータをセットして前
    記第1の状態を設定するとともに、前記出力端子のいず
    れか一つの端子からハイレベルの信号が出力され、残り
    の出力端子からローレベルの信号が出力されるように前
    記バウンダリスキャン回路にテストデータをセットする
    ことにより前記第2の状態を設定し、 前記判定手段は、前記電源電流の差が閾値を下回る場合
    に、前記一つの端子が異常と判定することを特徴とする
    請求項10記載の電子回路の試験装置。
  12. 【請求項12】前記制御手段は、前記出力端子となる端
    子の全てからハイレベルの信号が出力されるように前記
    バウンダリスキャン回路にテストデータをセットして前
    記第1の状態を設定するとともに、前記出力端子のいず
    れか一つの端子からローレベルの信号が出力され、残り
    の出力端子からハイレベルの信号が出力されるように前
    記バウンダリスキャン回路にテストデータをセットする
    ことにより前記第2の状態を設定し、 前記判定手段は、前記電源電流の差が閾値を上回る場合
    に、前記一つの端子が異常と判定することを特徴とする
    請求項10記載の電子回路の試験装置。
  13. 【請求項13】内部論理回路,該内部論理回路の複数の
    端子,及び該内部論理回路と該複数の端子との間に介在
    するバウンダリスキャン回路を備えた電子回路の試験装
    置であって、 前記複数の端子のうち、被試験端子に対して所定レベル
    の信号が出力されるように前記バウンダリスキャン回路
    にテストデータを設定して第1の状態を設定した後に、
    前記被試験端子に対する出力がハイインピーダンス状態
    になるよう前記バウンダリスキャン回路にテストデータ
    を設定して第2の状態を設定する制御手段と、 前記制御手段によってハイインピーダンス状態が設定さ
    れてから、前記被試験端子に対する出力のレベルが前記
    所定レベルを維持する時間に基づいて、前記被試験端子
    の異常の有無を判定する判定手段とを有することを特徴
    とする電子回路の試験装置。
  14. 【請求項14】前記バウンダリスキャン回路は、前記端
    子に接続されるバッファと、該バッファに供給されるテ
    ストデータを保持するテストデータ保持手段とを有し、 前記制御手段は、前記バッファから前記所定レベルの信
    号が出力されるように前記テストデータ保持手段にテス
    トデータを格納して前記第1の状態を設定した後に、前
    記バッファがハイインピーダンス状態となるよう前記テ
    ストデータ保持手段にテストデータを設定して前記第2
    の状態を設定し、 前記判定手段は、前記バッファの出力が前記所定レベル
    を維持する時間に基づいて、前記被試験端子の異常の有
    無を判定することを特徴する請求項13記載の電子回路
    の試験装置。
  15. 【請求項15】前記バウンダリスキャン回路は、更に、
    前記バッファの出力に応じたレベルのデータが格納され
    るバッファ出力保持手段を有し、 前記判定手段は、前記バッファ出力保持手段に格納され
    たデータが前記所定レベルに応じたレベルを維持する時
    間に基づいて、前記被試験端子の異常の有無を判定する
    ことを特徴とする請求項14記載の電子回路の試験装
    置。
  16. 【請求項16】前記判定手段は、前記バッファがハイイ
    ンピーダンス状態になってから所定時間後、前記バッフ
    ァ出力保持手段に格納されたデータのレベルを検出し、
    該レベルに基づいて前記被試験端子の異常の有無を判定
    することを特徴とする請求項15記載の電子回路の試験
    装置。
  17. 【請求項17】前記制御手段は、被試験端子に対してロ
    ーレベルの信号が出力されるように前記バウンダリスキ
    ャン回路にテストデータを設定して前記第1の状態を設
    定することを特徴とする請求項13乃至16の何れかに
    記載の電子回路の試験装置。
  18. 【請求項18】前記制御手段は、被試験端子に対してハ
    イレベルの信号が出力されるように前記バウンダリスキ
    ャン回路にテストデータを設定して前記第1の状態を設
    定することを特徴とする請求項13乃至16の何れかに
    記載の電子回路の試験装置。
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