JPH1177534A - 研磨ベルト洗浄装置 - Google Patents
研磨ベルト洗浄装置Info
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- JPH1177534A JPH1177534A JP24126897A JP24126897A JPH1177534A JP H1177534 A JPH1177534 A JP H1177534A JP 24126897 A JP24126897 A JP 24126897A JP 24126897 A JP24126897 A JP 24126897A JP H1177534 A JPH1177534 A JP H1177534A
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- cleaning
- polishing
- ultrasonic
- polishing belt
- cleaning chamber
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- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】研磨べルトの研磨布面の目詰まりを解消し、研
磨ベルトの交換期間の延長による生産性の向上並びに研
磨仕上がりの向上ができる研磨ベルト洗浄装置を提供す
る。 【解決手段】上下１対のローラーに張架して回転する研
磨ベルトの研磨布面をドレッシングする洗浄装置は、前
記上方のローラー１ａの上面に張架された前記研磨べル
ト面に対面して設置された仕切５ｃにより超音波振動子
１９を内設した超音波洗浄室５ａと予備洗浄室５ｂに区
切られた洗浄槽５と、前記超音波洗浄室に連結され洗浄
水を排水するための排水路８と前記予備洗浄室に連結さ
れ洗浄水を予備洗浄室に供給する給水路７から構成され
る。
磨ベルトの交換期間の延長による生産性の向上並びに研
磨仕上がりの向上ができる研磨ベルト洗浄装置を提供す
る。 【解決手段】上下１対のローラーに張架して回転する研
磨ベルトの研磨布面をドレッシングする洗浄装置は、前
記上方のローラー１ａの上面に張架された前記研磨べル
ト面に対面して設置された仕切５ｃにより超音波振動子
１９を内設した超音波洗浄室５ａと予備洗浄室５ｂに区
切られた洗浄槽５と、前記超音波洗浄室に連結され洗浄
水を排水するための排水路８と前記予備洗浄室に連結さ
れ洗浄水を予備洗浄室に供給する給水路７から構成され
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、研磨べルト洗浄装
置に関し、特に、印刷配線板などの表面研磨に使用され
る研磨べルト洗浄装置に関するものである。
置に関し、特に、印刷配線板などの表面研磨に使用され
る研磨べルト洗浄装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】印刷配線板などの表面研磨には、回転す
る研磨ベルトが使用されるが、研磨により研磨ベルトの
研磨布面に目詰りを起こすために研磨布面のドレッシン
グが必要である。
る研磨ベルトが使用されるが、研磨により研磨ベルトの
研磨布面に目詰りを起こすために研磨布面のドレッシン
グが必要である。
【０００３】従来、回転する研磨ベルトの研磨布面をド
レッシングする方法としては、スプレー洗浄法がある
が、ドレッシング効果が弱いという欠点があった。
レッシングする方法としては、スプレー洗浄法がある
が、ドレッシング効果が弱いという欠点があった。
【０００４】この欠点を解決する方法として、超音波を
使用して研磨布面をドレッシングする技術が、特開平７
―２２３１６２号公報に開示されている。この技術によ
れば、図４に示すように、研磨布１４は、研磨定盤１３
上に載置され、ドレッシング用超音波放射２０は、その
下方に配置した研磨布１４に向かって下向きに進む構成
としている。また、ドレッシング装置１７は、振動子箱
１８と、この振動子収納箱１８に収納された超音波振動
子１９とを備えると共に、研磨布１４上に水膜１６を形
成する為の水が水供給部１５により該振動子箱１８に収
納される構成となっている。また、振動子箱１８は、研
磨布１４よりわずかに離す（隙間２２）ように配置し、
水膜１６の形成と超音波キャビテーションが最大となる
距離（最大キャビテーション）２１に設定されている。
使用して研磨布面をドレッシングする技術が、特開平７
―２２３１６２号公報に開示されている。この技術によ
れば、図４に示すように、研磨布１４は、研磨定盤１３
上に載置され、ドレッシング用超音波放射２０は、その
下方に配置した研磨布１４に向かって下向きに進む構成
としている。また、ドレッシング装置１７は、振動子箱
１８と、この振動子収納箱１８に収納された超音波振動
子１９とを備えると共に、研磨布１４上に水膜１６を形
成する為の水が水供給部１５により該振動子箱１８に収
納される構成となっている。また、振動子箱１８は、研
磨布１４よりわずかに離す（隙間２２）ように配置し、
水膜１６の形成と超音波キャビテーションが最大となる
距離（最大キャビテーション）２１に設定されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の研磨ベルト
洗浄装置では、立体的に張架された研磨べルトが回転す
る場合では、研磨ベルトの弛みが生じ、研磨布面の高さ
が変化するので、振動子箱と研磨べルトの研磨布面との
隙間を一定に保持することが難しく、振動子収納箱に保
有すべき超音波振動の媒体となる洗浄水を安定に保有で
きない。そのために、超音波によるドレッシング効果が
安定に得られない問題点があった。
洗浄装置では、立体的に張架された研磨べルトが回転す
る場合では、研磨ベルトの弛みが生じ、研磨布面の高さ
が変化するので、振動子箱と研磨べルトの研磨布面との
隙間を一定に保持することが難しく、振動子収納箱に保
有すべき超音波振動の媒体となる洗浄水を安定に保有で
きない。そのために、超音波によるドレッシング効果が
安定に得られない問題点があった。
【０００６】本発明は、上述した従来技術の問題点を解
決した研磨ベルトのドレッシング効果を安定に得ること
で、研磨べルトの研磨布面の目詰りの解消と研磨ベルト
の交換期間の延長を可能とし、生産性の向上並びに研磨
仕上がりの向上を図ることのできる研磨ベルト洗浄装置
を提供することを目的とする。
決した研磨ベルトのドレッシング効果を安定に得ること
で、研磨べルトの研磨布面の目詰りの解消と研磨ベルト
の交換期間の延長を可能とし、生産性の向上並びに研磨
仕上がりの向上を図ることのできる研磨ベルト洗浄装置
を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の研磨ベルト洗浄
装置は、上下１対のローラーに張架して回転する研磨ベ
ルトの研磨布面をドレッシングする洗浄装置が、前記上
方のローラーの上面に張架された前記研磨べルト面に対
面して設置された超音波振動子を内設した超音波洗浄室
と予備洗浄室からなる洗浄槽と、前記超音波洗浄室に連
結され洗浄水を排水するための排水路と前記予備洗浄室
に連結され洗浄水を予備洗浄室に供給する給水路から構
成される。
装置は、上下１対のローラーに張架して回転する研磨ベ
ルトの研磨布面をドレッシングする洗浄装置が、前記上
方のローラーの上面に張架された前記研磨べルト面に対
面して設置された超音波振動子を内設した超音波洗浄室
と予備洗浄室からなる洗浄槽と、前記超音波洗浄室に連
結され洗浄水を排水するための排水路と前記予備洗浄室
に連結され洗浄水を予備洗浄室に供給する給水路から構
成される。
【０００８】前記洗浄槽に洗浄水を供給するポンプと、
このポンプの送液量を可変制御するポンプコントローラ
ーと、前記洗浄槽の前記超音洗浄室内の圧力を検出し前
記ポンプコントローラーに伝える圧力検出手段とを設け
ることにより、前記超音波洗浄室内の洗浄水の水量を一
定に保つようにすることができる。
このポンプの送液量を可変制御するポンプコントローラ
ーと、前記洗浄槽の前記超音洗浄室内の圧力を検出し前
記ポンプコントローラーに伝える圧力検出手段とを設け
ることにより、前記超音波洗浄室内の洗浄水の水量を一
定に保つようにすることができる。
【０００９】また、前記研磨ベルトの入り側の前記予備
洗浄室の槽外縁にこの槽外縁と前記研磨布面の間から前
記予備洗浄室の外部に漏れる前記洗浄水のリーク抑制手
段を設け、前記予備洗浄室内に供給した洗浄水が、超音
波洗浄室により安定して案内される様にすることができ
る。
洗浄室の槽外縁にこの槽外縁と前記研磨布面の間から前
記予備洗浄室の外部に漏れる前記洗浄水のリーク抑制手
段を設け、前記予備洗浄室内に供給した洗浄水が、超音
波洗浄室により安定して案内される様にすることができ
る。
【００１０】上述の如く構成すれば、研磨ベルトの研磨
布面を超音波を利用してドレッシングすることができる
ので、研磨布面から効率良く安定的に研磨クズの目詰ま
りを除去することができる。また、被研磨材を研磨処理
しながら、研磨ベルトの研磨布面のドレッシングを行う
際に前記研磨ベルトと前記洗浄槽の隙間が変化した場合
でも、前記洗浄槽のチャンバー内の圧力を検出して、そ
の制御信号をポンプコントローラーに送り、ポンプの送
液量を可変制御することにより、前記超音波洗浄室内の
水量を一定に保つことで、常に安定した超音波洗浄力を
得ることができる。
布面を超音波を利用してドレッシングすることができる
ので、研磨布面から効率良く安定的に研磨クズの目詰ま
りを除去することができる。また、被研磨材を研磨処理
しながら、研磨ベルトの研磨布面のドレッシングを行う
際に前記研磨ベルトと前記洗浄槽の隙間が変化した場合
でも、前記洗浄槽のチャンバー内の圧力を検出して、そ
の制御信号をポンプコントローラーに送り、ポンプの送
液量を可変制御することにより、前記超音波洗浄室内の
水量を一定に保つことで、常に安定した超音波洗浄力を
得ることができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の研磨ベルト洗浄装置の実
施の形態について図面を参照して説明する。
施の形態について図面を参照して説明する。
【００１２】図１は本発明の第１の実施の形態の研磨ベ
ルト洗浄装置を説明するためのベルト研磨装置全体の模
式的側断面図である。
ルト洗浄装置を説明するためのベルト研磨装置全体の模
式的側断面図である。
【００１３】図１に示すように、回転する研磨ベルト２
は上下１対の研磨ローラー（上ローラー１ａおよび下ロ
ーラー１ｂ）に張架されている。印刷配線板などの被研
磨材３は送りローラー４により搬送され、研磨ローラの
下ローラー１ｂの下部を通過し、洗浄スプレー９から水
を被研磨材３面にスプレーされながら研磨される。
は上下１対の研磨ローラー（上ローラー１ａおよび下ロ
ーラー１ｂ）に張架されている。印刷配線板などの被研
磨材３は送りローラー４により搬送され、研磨ローラの
下ローラー１ｂの下部を通過し、洗浄スプレー９から水
を被研磨材３面にスプレーされながら研磨される。
【００１４】本発明の第１の実施の形態の研磨ベルト洗
浄装置は、研磨ローラーの上ローラー１ａの上面の研磨
ベルト面に対面して設置された洗浄槽５と洗浄槽５に連
結された給水路７および排水路８と洗浄槽５に給水する
ためのポンプ６から構成されている。
浄装置は、研磨ローラーの上ローラー１ａの上面の研磨
ベルト面に対面して設置された洗浄槽５と洗浄槽５に連
結された給水路７および排水路８と洗浄槽５に給水する
ためのポンプ６から構成されている。
【００１５】前記洗浄槽５は、仕切５ｃで超音波振動子
２１を内設した超音波洗浄室５ａと予備洗浄室５ｂに区
切られている。超音波洗浄室５ａには洗浄水を排水する
ための排水路８が連結され、また、超音波洗浄室５ａ内
には圧力計１０が接続されている。前記予備洗浄室５ｂ
には洗浄水を供給する給水路７が連結されている。
２１を内設した超音波洗浄室５ａと予備洗浄室５ｂに区
切られている。超音波洗浄室５ａには洗浄水を排水する
ための排水路８が連結され、また、超音波洗浄室５ａ内
には圧力計１０が接続されている。前記予備洗浄室５ｂ
には洗浄水を供給する給水路７が連結されている。
【００１６】前記超音波洗浄室内５ａの水量を一定に保
ち、安定した超音波洗浄力を得るために、前記洗浄槽５
に洗浄水を供給するポンプ６と、ポンプの送液量を可変
制御するポンプコントローラー１１と、前記洗浄槽５の
前記超音洗浄室５ａ内の圧力計の圧力を検出し前記ポン
プコントローラー１１に伝える圧力検出手段（図示して
ない）を設けることができる。
ち、安定した超音波洗浄力を得るために、前記洗浄槽５
に洗浄水を供給するポンプ６と、ポンプの送液量を可変
制御するポンプコントローラー１１と、前記洗浄槽５の
前記超音洗浄室５ａ内の圧力計の圧力を検出し前記ポン
プコントローラー１１に伝える圧力検出手段（図示して
ない）を設けることができる。
【００１７】印刷配線板などの被研磨材３が研磨ベルト
２で研磨されると、研磨ベルトの研磨布面には研磨クズ
が付着する。この研磨布面に付着した研磨クズは、研磨
ベルト２の回転により研磨ローラーの上ローラー１ａの
上部に設置した洗浄槽５内の超音波振動子から放射され
た超音波によりドレッシングされる。研磨ベルト２の研
磨布面から脱着した研磨クズは超音波洗浄室５ａに連結
された排水路８から洗浄槽５外に排出される。
２で研磨されると、研磨ベルトの研磨布面には研磨クズ
が付着する。この研磨布面に付着した研磨クズは、研磨
ベルト２の回転により研磨ローラーの上ローラー１ａの
上部に設置した洗浄槽５内の超音波振動子から放射され
た超音波によりドレッシングされる。研磨ベルト２の研
磨布面から脱着した研磨クズは超音波洗浄室５ａに連結
された排水路８から洗浄槽５外に排出される。
【００１８】研磨ベルトのドレッシングに使用する超音
波の波長は、単一波長のものより、キャビテーシヨンの
適用範囲が容易に得られる複合波長のものがより適して
いる。
波の波長は、単一波長のものより、キャビテーシヨンの
適用範囲が容易に得られる複合波長のものがより適して
いる。
【００１９】さらに図２を参照して本発明の第１の実施
の形態の研磨ベルト洗浄装置の構成と作用について詳し
く説明する。
の形態の研磨ベルト洗浄装置の構成と作用について詳し
く説明する。
【００２０】図２は、図１における研磨ベルト洗浄装置
の拡大断面図である。図中、符号２０は超音波放射、２
２ａは洗浄槽５の外縁と研磨ベルト２までの隙間、２２
ｂは洗浄槽５の仕切り５ｃと研磨ベルト２までの隙間、
２１は超音波振動子１９と研磨ベルト２までの距離を示
している。
の拡大断面図である。図中、符号２０は超音波放射、２
２ａは洗浄槽５の外縁と研磨ベルト２までの隙間、２２
ｂは洗浄槽５の仕切り５ｃと研磨ベルト２までの隙間、
２１は超音波振動子１９と研磨ベルト２までの距離を示
している。
【００２１】送りローラーで順次搬送される被研磨材を
研磨する研磨ベルト２の研磨布面は、研磨クズで目詰ま
りを起こす為、これを除去する必要がある。その方法と
して、上下１対の研磨ローラーに張架され、回転する研
磨ベルト２の上ローラー１ａの上面研磨ベルトの研磨面
に対面して配置した洗浄槽５から、研磨ベルト２の研磨
布面に向かって超音波２０を放射する構成としている。
研磨する研磨ベルト２の研磨布面は、研磨クズで目詰ま
りを起こす為、これを除去する必要がある。その方法と
して、上下１対の研磨ローラーに張架され、回転する研
磨ベルト２の上ローラー１ａの上面研磨ベルトの研磨面
に対面して配置した洗浄槽５から、研磨ベルト２の研磨
布面に向かって超音波２０を放射する構成としている。
【００２２】洗浄槽５に内設された超音波振動子２１
は、１０〜１，０００ＫＨＺまでの周波数を複合した出
力６００Ｗのものを横に２台以上配置した構成からな
り、上ローラー１ａの上面研磨ベルトの研磨面と最適キ
ャビテーションを得る距離２３を保つようにその位置が
設定される。なお、ここで用いる超音波出カの周波数複
合タイプは、従来の単一周波数のものと比べて、洗浄効
果が最大となる定在波が多いために最適キヤビテーショ
ンを得るための位置設定が容易である。また、回転研磨
する研磨ベルト２のベルト幅に対し、洗浄槽５の超音波
振動を照射する幅は同じとなるように設定している。
は、１０〜１，０００ＫＨＺまでの周波数を複合した出
力６００Ｗのものを横に２台以上配置した構成からな
り、上ローラー１ａの上面研磨ベルトの研磨面と最適キ
ャビテーションを得る距離２３を保つようにその位置が
設定される。なお、ここで用いる超音波出カの周波数複
合タイプは、従来の単一周波数のものと比べて、洗浄効
果が最大となる定在波が多いために最適キヤビテーショ
ンを得るための位置設定が容易である。また、回転研磨
する研磨ベルト２のベルト幅に対し、洗浄槽５の超音波
振動を照射する幅は同じとなるように設定している。
【００２３】洗浄槽５は、超音波洗浄室５ａと予備洗浄
室５ｂより構成されており、予備洗浄室５ｂにポンプ６
より供給される洗浄水は、予備洗浄室５ｂ内を満水にす
ると共に、予め設けられた超音波洗浄室５ａと予備洗浄
室５ｂ間の仕切り５ｃと研磨ベルト２の隙間２２ｂと洗
浄槽５の外縁と研磨ベルト２の隙間２２ａの２２ａ＞２
２ｂの寸法関係から洗浄水が流れる抵抗差を生じ、超音
波洗浄室５ａに洗浄水の流れの方向を有することにな
る。なお、超音波洗浄室５ａには、そのチャンバー内の
圧力を検出する圧力計１０と圧力を変換し制御信号とし
てポンプコントローラー１１に伝える制御回路（表示し
てない）が設けられている。そのためにポンプ６の送液
量が制御され、超音波洗浄室５ａのチャンバー内に常
に、洗浄水を充満させることができ、超音波振動を安定
して研磨ベルト２に照射できる様になり、研磨ベルト２
のドレッシング効果を安定に得ることができる。
室５ｂより構成されており、予備洗浄室５ｂにポンプ６
より供給される洗浄水は、予備洗浄室５ｂ内を満水にす
ると共に、予め設けられた超音波洗浄室５ａと予備洗浄
室５ｂ間の仕切り５ｃと研磨ベルト２の隙間２２ｂと洗
浄槽５の外縁と研磨ベルト２の隙間２２ａの２２ａ＞２
２ｂの寸法関係から洗浄水が流れる抵抗差を生じ、超音
波洗浄室５ａに洗浄水の流れの方向を有することにな
る。なお、超音波洗浄室５ａには、そのチャンバー内の
圧力を検出する圧力計１０と圧力を変換し制御信号とし
てポンプコントローラー１１に伝える制御回路（表示し
てない）が設けられている。そのためにポンプ６の送液
量が制御され、超音波洗浄室５ａのチャンバー内に常
に、洗浄水を充満させることができ、超音波振動を安定
して研磨ベルト２に照射できる様になり、研磨ベルト２
のドレッシング効果を安定に得ることができる。
【００２４】本実施の形態によれば、研磨ベルトの研磨
布面の目詰まりを除去し、次の様な具体的な効果が得ら
れる。 （１）研磨ベルトの交換期間が延長でき、研磨作業の生
産性が向上する。 （２）研磨仕上がりが安定する。 （３）研磨べルトと洗浄槽の隙間が変動しても超音波洗
浄力を安定に得ることができるために、設備ヘの適応範
囲が広く、応用性に富む。
布面の目詰まりを除去し、次の様な具体的な効果が得ら
れる。 （１）研磨ベルトの交換期間が延長でき、研磨作業の生
産性が向上する。 （２）研磨仕上がりが安定する。 （３）研磨べルトと洗浄槽の隙間が変動しても超音波洗
浄力を安定に得ることができるために、設備ヘの適応範
囲が広く、応用性に富む。
【００２５】次に本発明の第２の実施の形態の研磨ベル
ト洗浄装置について図３を参照して説明する。
ト洗浄装置について図３を参照して説明する。
【００２６】図３は本発明の第２の実施の形態の研磨ベ
ルト洗浄装置の部分拡大断面図である。本実施の形態の
研磨ベルト洗浄装置は、上記第１の実施の形態の研磨ベ
ルト洗浄装置の予備洗浄室の槽の外縁に洗浄水のリーク
抑制手段として、シールシート１２を取り付けた構成か
らなる。この場合、研磨べルトの回転方向より、洗浄槽
５に研磨べルト２が入る側で、予備洗浄室の槽外縁の内
側にシールシート１２を取り付ける。なお、シールシー
ト１２は、研磨べルト２に１０〜２０ｍｍの接触代とな
る長さで取り付ける。なお、シールシート１２の材料
は、金属、プラスチックを問わず柔軟性があるものであ
れば使用できる。このシールシート１２は、予備洗浄室
５ｂに供給される洗浄水の圧カで研磨べルト２に押し付
けられるために、更に間隙２２ａを小さくすることが可
能となり、ポンプによる送液量が少なくて済み、設備の
コンパクト化が図れる効果が得られる。なお、上記洗浄
水のリーク抑制手段のその他としては、ブラシ、エアー
カーテン、またはローラを使用しても上記シールシート
と同様な効果が得られる。
ルト洗浄装置の部分拡大断面図である。本実施の形態の
研磨ベルト洗浄装置は、上記第１の実施の形態の研磨ベ
ルト洗浄装置の予備洗浄室の槽の外縁に洗浄水のリーク
抑制手段として、シールシート１２を取り付けた構成か
らなる。この場合、研磨べルトの回転方向より、洗浄槽
５に研磨べルト２が入る側で、予備洗浄室の槽外縁の内
側にシールシート１２を取り付ける。なお、シールシー
ト１２は、研磨べルト２に１０〜２０ｍｍの接触代とな
る長さで取り付ける。なお、シールシート１２の材料
は、金属、プラスチックを問わず柔軟性があるものであ
れば使用できる。このシールシート１２は、予備洗浄室
５ｂに供給される洗浄水の圧カで研磨べルト２に押し付
けられるために、更に間隙２２ａを小さくすることが可
能となり、ポンプによる送液量が少なくて済み、設備の
コンパクト化が図れる効果が得られる。なお、上記洗浄
水のリーク抑制手段のその他としては、ブラシ、エアー
カーテン、またはローラを使用しても上記シールシート
と同様な効果が得られる。
【００２７】
【発明の効果】本発明の第１の効果は、被研磨材の研磨
と並行して研磨ベルトの研磨布面のドレッシングがで
き、研磨作業の生産性の向上ができることである。
と並行して研磨ベルトの研磨布面のドレッシングがで
き、研磨作業の生産性の向上ができることである。
【００２８】本発明の第２の効果は、研磨べルトと洗浄
槽の隙間が変動しても洗浄水を安定して供給でき、安定
した超音波洗浄効果をうることができるために研磨仕上
がりの向上とともに研磨ベルトの長寿命化ができること
である。
槽の隙間が変動しても洗浄水を安定して供給でき、安定
した超音波洗浄効果をうることができるために研磨仕上
がりの向上とともに研磨ベルトの長寿命化ができること
である。
【図１】本発明の第１の実施の形態の研磨ベルト洗浄装
置を説明するためのベルト研磨装置全体の模式的側断面
図である。
置を説明するためのベルト研磨装置全体の模式的側断面
図である。
【図２】図１における研磨ベルト洗浄装置の拡大断面図
である。
である。
【図３】本発明の第２の実施の形態の研磨ベルト洗浄装
置の部分拡大断面図である。
置の部分拡大断面図である。
【図４】従来の研磨布ドレッシング装置要部の断面図で
ある。
ある。
１ａ 上ローラー １ｂ 下ローラー ２ 研磨ベルト ３ 被研磨材 ４ 送りローラー ５ 洗浄槽 ５ａ 超音波洗浄室 ５ｂ 予備洗浄室 ５ｃ 仕切り ６ ポンプ ７ 給水路 ８ 排水路 ９ 洗浄スプレー １０ 圧力計 １１ ポンプコントローラー １２ シールシート １３ 研磨定盤 １４ 研磨布 １５ 水供給部 １６ 水膜 １７ ドレッシング装置 １８ 振動子箱 １９ 超音波振動子 ２０ 超音波放射 ２１ 距離（最大キャビテーション） ２２，２２ａ，２２ｂ 隙間
Claims (5)
- 【請求項１】 上下１対のローラーに張架して回転する
研磨ベルトの研磨布面をドレッシングする洗浄装置が、
前記上方のローラーの上面に張架された前記研磨べルト
面に対面して設置された超音波振動子を内設した超音波
洗浄室と予備洗浄室からなる洗浄槽と、前記超音波洗浄
室に連結され洗浄水を排水するための排水路と前記予備
洗浄室に連結され洗浄水を予備洗浄室に供給する給水路
から構成されたことを特徴とする研磨ベルト洗浄装置。 - 【請求項２】 前記洗浄槽に洗浄水を供給するポンプ
と、このポンプの送液量を可変制御するポンプコントロ
ーラーと、前記洗浄槽の前記超音洗浄室内の圧力を検出
し前記ポンプコントローラーに伝える圧力検出手段とを
設けることにより、前記超音波洗浄室内の洗浄水の水量
を一定に保つようにした請求項１記載の研磨ベルト洗浄
装置。 - 【請求項３】 前記研磨ベルトの入り側の前記予備洗浄
室の槽外縁にこの槽外縁と前記研磨布面の間から前記予
備洗浄室の外部に漏れる前記洗浄水のリーク抑制手段を
設け、前記予備洗浄室内に供給した洗浄水が、超音波洗
浄室により安定して案内される様にした請求項１または
２記載の研磨ベルト洗浄装置。 - 【請求項４】 前記洗浄水の前記リーク抑制手段とし
て、シールシート、ブラシ、エアーカーテンまたはロー
ラを使用した請求項１乃至３記載の研磨ベルト洗浄装
置。 - 【請求項５】 前記超音波振動子として、１０〜１，０
００ＫＨＺまでの複合周波数を出力する超音波振動子を
使用した請求項１乃至４記載の研磨ベルト洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09241268A JP3080909B2 (ja) | 1997-09-05 | 1997-09-05 | 研磨ベルト洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09241268A JP3080909B2 (ja) | 1997-09-05 | 1997-09-05 | 研磨ベルト洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1177534A true JPH1177534A (ja) | 1999-03-23 |
| JP3080909B2 JP3080909B2 (ja) | 2000-08-28 |
Family
ID=17071736
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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