JPH1173688A - ディスク回転支持装置 - Google Patents

ディスク回転支持装置

Info

Publication number
JPH1173688A
JPH1173688A JP9234724A JP23472497A JPH1173688A JP H1173688 A JPH1173688 A JP H1173688A JP 9234724 A JP9234724 A JP 9234724A JP 23472497 A JP23472497 A JP 23472497A JP H1173688 A JPH1173688 A JP H1173688A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cylinder
disk
piston member
piston
auxiliary
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9234724A
Other languages
English (en)
Inventor
Takashi Haraguchi
隆 原口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NTN Corp
Original Assignee
NTN Corp
NTN Toyo Bearing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NTN Corp, NTN Toyo Bearing Co Ltd filed Critical NTN Corp
Priority to JP9234724A priority Critical patent/JPH1173688A/ja
Publication of JPH1173688A publication Critical patent/JPH1173688A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Holding Or Fastening Of Disk On Rotational Shaft (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 加工又は検査の対象となるディスクを上下方
向に移動する機能をディスク回転支持装置に設けること
により、ロボットによる上下方向の移動を不要にするこ
とである。 【解決手段】 スピンドル装置1によって回転自在に保
持されたディスククランプ装置2にシリンダ18を設
け、そのシリンダ18に挿入したピストン部材13の上
端にクランプ面27を設け、加圧空気の供給によりピス
トン部材13を上昇せしめ、その上昇位置でクランプ面
27にクランプしたディスク15を加工又は検査を行な
い、その後加圧空気の停止によりコイルばね23のばね
力で下降させるようにした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は磁気ディスク、光
ディスク等のディスクの加工又は検査等に際し、ディス
クを回転自在に支持する装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】ディスクの加工又は検査等において従来
から用いられているディスク回転支持装置は、スピンド
ル装置の主軸に真空吸引によるクランプ面を備えたディ
スククランプ装置を取付けた構造である。
【0003】上記のごときディスク回転支持装置を用
い、ディスクの加工や検査を自動的に行なう場合、ディ
スクをクランプ面から取外す作業はロボットにより行わ
れていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、ロボットによ
りディスクをクランプ面から外し、これを上下方向に移
動させて所定位置に移送するようにすると、ロボットの
機構が複雑となる問題がある。
【0005】そこで、この発明はロボットによることな
く、ディスク回転支持装置自体の作用により、ディスク
をクランプ面から取外せるようにすることを目的とす
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、この発明はスピンドル装置の主軸にディスククラ
ンプ装置を取付けてなるディスク回転支持装置におい
て、上記ディスククランプ装置をシリンダ部材と、該シ
リンダ部材のシリンダ内部に昇降自在に挿入されたピス
トン部材とにより構成し、上記シリンダ部材に上記ピス
トン部材の昇降手段を設けると共に、上記ピストン部材
にディスクのクランプ手段を設けた構成とした。
【0007】なお、上記の昇降手段は、上記シリンダに
上記ピストン部材を上向きに加圧する加圧空気口を連通
すると共に、上記シリンダ内部に上記ピストン部材を下
向きに加圧する弾性体を収納してなり、上記のクランプ
手段は、上記シリンダの底面に補助シリンダを設け、上
記ピストン部材の下端に設けた補助ピストンを上記補助
シリンダに挿入し、上記補助シリンダに真空吸引口を連
通し、上記ピストン部材にそのディスククランプ面から
上記補助ピストンの底面に至る通気孔を設けてなる構成
を採用することができる。
【0008】
【実施の形態】以下、添付図面に基づいてこの発明の実
施形態を説明する。図1に示すように、実施形態のディ
スク回転支持装置は、スピンドル装置1とディスククラ
ンプ装置2とから成る。
【0009】スピンドル装置1は、本体3の内部に回転
自在に支持された上下方向の主軸4及びその駆動装置5
が内蔵され、その主軸4の上端面に回転板6がボルト1
0により固定される。上記の本体3に設けられた加圧空
気の供給口7に連通した空気通路8が上記の本体3と主
軸4及び回転板6に設けられる。また本体3に真空吸引
口9が設けられ、これに連通した吸引通路11が上記の
本体3と主軸4に設けられる。
【0010】ディスククランプ装置2は、シリンダ部材
12とピストン部材13とから成る。シリンダ部材12
を上記の回転板6上に載せ、その下端面中央部に設けた
ボス部14を回転板6の中央の位置決め穴6’を通して
主軸4の中央部分の凹所16に挿入する。上記のシリン
ダ部材12は、ボルト17により回転板6に固定され
る。
【0011】シリンダ部材12のシリンダ18の内部
に、ピストン部材13のつば部19が上下動自在に収納
される。シリンダ18には蓋21が被せられ、その蓋2
1の中央部分の孔22を通してピストン部材13の上端
部分が外部に突き出している。
【0012】上記のシリンダ18の内部のつば部19と
蓋21との間にコイルばね23が収納され、これにより
ピストン部材13に下向きの加圧力を付与する。
【0013】また、シリンダ18の底面中央部分にこれ
より小径で同軸状の補助シリンダ24が前記のボス部1
4にわたり設けられる。またピストン部材13の下面に
これより小径で同軸状の補助ピストン25が突設され、
パッキン26により気密を保持して上記の補助シリンダ
24に挿入される。
【0014】スピンドル装置1に設けられた前記の空気
通路8と連通した空気通路8’がシリンダ部材12に設
けられ、その空気通路8’がシリンダ18の底面に連通
している。
【0015】また前記のスピンドル装置1の吸引通路1
1と連通する吸引通路11’がボス部14の底面を貫通
して設けられ、補助シリンダ24の底面に連通してい
る。
【0016】ピストン部材13の上端面にはディスク1
5のクランプ面27が設けられ、そのクランプ面27と
補助ピストン25の下端の間に通気孔28が設けられ
る。
【0017】実施形態のディスク回転支持装置は以上の
ように構成され、ピストン部材13の上方に、治具29
によりディスク15が搬送されて所定位置に停止する
と、供給口7から加圧空気を空気通路8、8’を経てシ
リンダ18に供給し、ピストン部材13によりコイルば
ね23を圧縮しながら上昇させると共に、真空吸引口9
から真空吸引して上昇の途中でディスク15をクランプ
面27にクランプする。
【0018】シリンダ部材13が治具29より高い上昇
限に達すると(図2参照)、スピンドル装置1を駆動し
て、主軸4と共にクランプ装置2及びこれにクランプさ
れたディスク15を回転させ、所要の加工又は検査を行
なう。
【0019】加工又は検査が終了するとスピンドル装置
1を停止させ、加圧空気の供給及びクランプ面27の真
空引きをそれぞれ停止する。加圧空気の停止によりピス
トン部材13がコイルばね23の押圧力により下降する
と共に、真空引きの停止によりディスク15のクランプ
が解除される。ディスク15はクランプ部材13の下降
の途中で治具29により受止められる。受止められたデ
ィスク15は治具29により次の行程に移送される。
【0020】
【発明の効果】以上のように、この発明はディスク回転
支持装置に昇降機能を付与したことにより、ロボット等
の自動機を用いることなく、加工又は検査に際してディ
スクを上下方向に簡易に移動することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態の断面図
【図2】同上の作動状態の断面図
【符号の説明】
1 スピンドル装置 2 ディスククランプ装置 3 本体 4 主軸 5 駆動装置 6 回転板 6’ 位置決め穴 7 供給口 8、8’ 空気通路 9 真空吸引口 10 ボルト 11、11’ 吸引通路 12 シリンダ部材 13 ピストン部材 14 ボス部 15 ディスク 16 凹所 17 ボルト 18 シリンダ 19 つば部 21 蓋 22 穴 23 コイルばね 24 補助シリンダ 25 補助ピストン 26 パッキン 27 クランプ面 28 通気孔 29 治具

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 スピンドル装置の主軸にディスククラン
    プ装置を取付けてなるディスク回転支持装置において、
    上記ディスククランプ装置をシリンダ部材と、該シリン
    ダ部材のシリンダ内部に昇降自在に挿入されたピストン
    部材とにより構成し、上記シリンダ部材に上記ピストン
    部材の昇降手段を設けると共に、上記ピストン部材にデ
    ィスクのクランプ手段を設けたことを特徴とするディス
    ク回転支持装置。
  2. 【請求項2】 上記の昇降手段は、上記シリンダに上記
    ピストン部材を上向きに加圧する加圧空気口を連通する
    と共に、上記シリンダ内部に上記ピストン部材を下向き
    に加圧する弾性体を収納してなり、 上記のクランプ手段は、上記シリンダの底面に補助シリ
    ンダを設け、上記ピストン部材の下端に設けた補助ピス
    トンを上記補助シリンダに挿入し、上記補助シリンダに
    真空吸引口を連通し、上記ピストン部材にそのディスク
    クランプ面から上記補助ピストンの底面に至る通気孔を
    設けてなることを特徴とする請求項1に記載のディスク
    回転支持装置。
JP9234724A 1997-08-29 1997-08-29 ディスク回転支持装置 Pending JPH1173688A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9234724A JPH1173688A (ja) 1997-08-29 1997-08-29 ディスク回転支持装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9234724A JPH1173688A (ja) 1997-08-29 1997-08-29 ディスク回転支持装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH1173688A true JPH1173688A (ja) 1999-03-16

Family

ID=16975386

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9234724A Pending JPH1173688A (ja) 1997-08-29 1997-08-29 ディスク回転支持装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH1173688A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014008582A (ja) * 2012-06-29 2014-01-20 Nsk Ltd スピンドル装置、並びにそれを備えた工作機械及び半導体製造装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014008582A (ja) * 2012-06-29 2014-01-20 Nsk Ltd スピンドル装置、並びにそれを備えた工作機械及び半導体製造装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106773605B (zh) 手表后壳定位组装装置及其加工工艺
US20070128015A1 (en) Work transfer device and method of transferring work
JPH0966446A (ja) 研削加工機のワ−ククランプ機構
CN217788363U (zh) 用于晶圆硅片的定位装置
CN210743929U (zh) 承载装置
CN112198772B (zh) 一种晶圆片自动定位显影装置及方法
JPH1173688A (ja) ディスク回転支持装置
KR20030030587A (ko) Led 다이 본더
CN215918060U (zh) 自动涂胶下料设备
KR102194996B1 (ko) 반도체 소자 제조용 포커싱링의 쿨링시트 부착장치
KR20070010667A (ko) 리프트 장치를 채택한 반도체 제조설비
CN208575486U (zh) 一种骨架线圈接线座压铆机
JP3805509B2 (ja) ダイアフラムの漏れ検査装置
JP2634115B2 (ja) チャック装置
JP2017157646A (ja) 研磨方法及び研磨装置
JPH10166264A (ja) 研磨装置
CN217983296U (zh) 晶圆对准键合设备
CN111941182B (zh) 加工装置
JPH08298755A (ja) ステータ保持搬送装置
CN210625943U (zh) 一种自动加减料平衡测试机
EP0931624A2 (en) Surface polishing apparatus with upper surface plate elevating mechanism
KR102214048B1 (ko) 반도체 소자 제조장치용 포커싱링에 대한 쿨링시트 부착장치
CN220341197U (zh) 晶圆吸附装置及晶圆加工设备
CN111941213B (zh) 磨削装置
JP2917299B2 (ja) 被加工物保持ハンドリング装置