JPH1168545A - 半導体集積回路装置及びその制御方法 - Google Patents

半導体集積回路装置及びその制御方法

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JPH1168545A
JPH1168545A JP9222639A JP22263997A JPH1168545A JP H1168545 A JPH1168545 A JP H1168545A JP 9222639 A JP9222639 A JP 9222639A JP 22263997 A JP22263997 A JP 22263997A JP H1168545 A JPH1168545 A JP H1168545A
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JP
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mos transistor
channel mos
source
drain
back gate
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JP9222639A
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Tetsuya Fujita
田 哲 也 藤
Tadahiro Kuroda
田 忠 広 黒
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Toshiba Corp
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Toshiba Corp
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    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03KPULSE TECHNIQUE
    • H03K19/00Logic circuits, i.e. having at least two inputs acting on one output; Inverting circuits
    • H03K19/003Modifications for increasing the reliability for protection
    • H03K19/00315Modifications for increasing the reliability for protection in field-effect transistor circuits

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  • Logic Circuits (AREA)
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  • Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 CMOS半導体集積回路のラッチアップの原
因であった入出力端子から基板への電流注入を抑制する
ことが可能な構成の半導体集積回路装置及びその制御方
法を提供する。 【解決手段】 本発明に係る半導体集積回路装置及びそ
の制御方法は、CMOS半導体集積回路における入力保
護回路又は出力保護回路を構成するPチャネル型MOS
トランジスタのバックゲートを入力信号又は出力信号の
オーバーシュートのピーク電圧より高い電圧でバイアス
し、あるいは、入力保護回路又は出力保護回路を構成す
るNチャネル型MOSトランジスタのバックゲートをア
ンダーシュートの負のピーク電圧より低い電圧でバイア
スするものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体集積回路装置
及びその制御方法に係り、特に、CMOS半導体集積回
路における入力保護回路及び出力保護回路並びにそれら
の制御方法に関する。
【0002】
【従来の技術】図7は、CMOS半導体集積回路に用い
られる従来の入力保護回路の回路図である。
【0003】図7の入力保護回路は、ゲートとソースと
基板(バックゲート)とに電源電位点VDDが接続され、
ドレインに入力信号INが入力されるPチャネル型MO
SトランジスタMP と、ゲートとソースと基板(バック
ゲート)とに共通電位点GNDが接続され、ドレインに
入力信号INが入力されるNチャネル型MOSトランジ
スタMN とから構成されており、バッファBufを介し
て内部回路に接続される。
【0004】この入力保護回路は、過大な振幅の入力信
号INが入力された場合に、Pチャネル型MOSトラン
ジスタMP 又はNチャネル型MOSトランジスタMN が
オンとなって電源電位点VDD又は共通電位点GNDに電
流を逃がすことにより、内部回路を構成するデバイスを
保護する役割を果たすものである。
【0005】入力信号INの電位が電源電位VDD以下の
ときは、Pチャネル型MOSトランジスタMP はゲート
とソースが共に電源電位VDDに接続されているためにゲ
ート・ソース間電圧VGSがその閾値電圧Vthp を超えな
いので、Pチャネル型MOSトランジスタMP には電流
は流れない。しかし、オーバーシュートによって入力信
号INの電位が電源電位VDDよりも高くなったときは、
Pチャネル型MOSトランジスタMP のソースとドレイ
ンの関係は入れ換りゲート・ソース間電圧VGSが負の値
となり、その閾値電圧Vthp を超えると、Pチャネル型
MOSトランジスタMP がオンとなってソースに接続さ
れた入力端子INからドレインに接続された電源電位点
VDDに電流が流れ込み、オーバーシュートのピーク電圧
を抑制するように働く。
【0006】入力信号INの電位が共通電位GND以上
のときは、Nチャネル型MOSトランジスタMN はゲー
トとソースが共に共通電位GNDに接続されているため
にゲート・ソース間電圧VGSがその閾値電圧Vthn を超
えないので、Nチャネル型MOSトランジスタMN には
電流は流れない。しかし、アンダーシュートによって入
力信号INの電位が共通電位GNDよりも低くなったと
きは、Nチャネル型MOSトランジスタMN のソースと
ドレインの関係は入れ換りゲート・ソース間電圧VGSが
正の値となり、その閾値電圧Vthn を超えると、Nチャ
ネル型MOSトランジスタMN がオンとなってソースに
接続された入力端子INにドレインに接続された共通電
位点GNDから電流が流れ込み、アンダーシュートのピ
ーク電圧を抑制するように働く。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】図7に示したような入
力保護回路においては、入力信号INが入力されてから
Pチャネル型MOSトランジスタMP 又はNチャネル型
MOSトランジスタMNが御するまでの遅延時間に起因
して過渡的にソース・基板(バックゲート)間のPN接
合を通して基板やウェルに電流が流れ込んだり、Pチャ
ネル型MOSトランジスタMP 又はNチャネル型MOS
トランジスタMN がオンしてからもソース・ドレイン間
電流Idsに比例した電流が基板やウェルに流れる。前者
の状態で基板を流れる電流は、ソースからPN接合を順
方向に流れる電流そのものであり、後者の状態で基板を
流れる電流は、インパクトアイオナイゼーションによる
基板電流でその大きさはソース・ドレイン間電流Idsの
1/100から1/10000のオーダーといわれてい
る。以下、これらの電流による上記従来の入力保護回路
における問題点について説明する。
【0008】図8は、図7に示した従来の入力保護回路
の断面構造図である。ここでは、P型基板に上記入力保
護回路を形成した例を示す。
【0009】P型基板1にはN型ウェル2が形成されて
おり、N型ウェル2内部の表面近傍にはN+ 領域3、P
+ 領域4,5が形成されている。また、P型基板1のN
型ウェル2外部の領域にはN+ 領域6,7、P+ 領域8
が形成されている。Pチャネル型MOSトランジスタM
P は、N+ 領域3を基板(バックゲート)BP 、P+
域4をソースSP 、P+ 領域5をドレインDP として構
成され、Nチャネル型MOSトランジスタMN は、N+
領域6をドレインDN 、N+ 領域7をソースSN 、P+
領域8を基板(バックゲート)BN として構成されてい
る。Pチャネル型MOSトランジスタMP のソース・ド
レイン間上には絶縁膜を介してゲートGP 9が形成さ
れ、Nチャネル型MOSトランジスタMN のソース・ド
レイン間上には絶縁膜を介してゲートGN 10が形成さ
れている。
【0010】そして、図7について上述したように、P
チャネル型MOSトランジスタMPのゲートGP 9とソ
ースSP 4と基板(バックゲート)BP 3とには電源電
位点VDDが接続され、ドレインDP 5には入力信号IN
が入力される。また、Nチャネル型MOSトランジスタ
MN のゲートGN 10とソースSN 7と基板(バックゲ
ート)BN 8とには共通電位点GNDが接続され、ドレ
インDN 6には入力信号INが入力される。
【0011】オーバーシュートによって入力信号INの
電位が電源電位VDDよりも高い電位になると、ソースS
P とドレインDP との関係が入れ換りPチャネル型MO
SトランジスタMP のゲート・ソース間電圧VGSが負の
値となる。入力信号INが入力されてからPチャネル型
MOSトランジスタMP がオンするまでに遅延があるた
めに、ソースSP 5・基板(バックゲート)間のPN接
合を通して入力端子INからN型ウェル2に電流が流れ
込む。ゲート・ソース間電圧VGSが閾値電圧Vthp を超
えてPチャネル型MOSトランジスタMP がオンして
も、ソースSP 5に接続された入力端子INからドレイ
ンDP 4に接続された電源電位点VDDに電流が流れ込
み、ソース・ドレイン間電流Idsが例えば100mAと
すると1mA近い電流がN型ウェル2に流れることがあ
り得る。
【0012】寄生PNPバイポーラトランジスタを構成
するPチャネル型MOSトランジスタMP のソースSP
のP+ 領域5がエミッタ、N型ウェル2がベース、P型
基板1がコレクタの役割を果たし、N型ウェル2に流れ
た電流はベース電流となり、コレクタ・エミッタ間即ち
P型基板1とP+ 領域5(Pチャネル型MOSトランジ
スタMP のソースSP )との間に電流が流れる。その結
果、P型基板1の電位は上り、P型基板1とNチャネル
型MOSトランジスタMN のソースSN のN+領域7に
接続された共通電位点GNDとの間にPN接合を通して
電流が流れる。このとき、寄生NPNバイポーラトラン
ジスタを構成する総てのN型ウェル2がコレクタ、P型
基板1がベース、総てのNチャネル型MOSトランジス
タMN のソースSN のN+ 領域7がエミッタの役割を果
たし、P型基板1に流れた電流はベース電流となり、コ
レクタ・エミッタ間即ち総てのN型ウェル2とN+ 領域
7(Nチャネル型MOSトランジスタMN のソースSN
)との間に電流が流れる。このようにして、寄生PN
Pバイポーラトランジスタと寄生NPNバイポーラトラ
ンジスタとが相互に他方をオンさせ、きっかけとなった
オーバーシュートがなくなっても電源電位点VDDと共通
電位点GNDとの間に大電流が流れることにより素子を
破壊するのが、よく知られているラッチアップである。
【0013】また、アンダーシュートによって入力信号
INの電位が共通電位GNDよりも低くなるとソースS
N とドレインDN との関係が入れ換り、Nチャネル型M
OSトランジスタMN のゲート・ソース間電圧VGSが正
の値となる。Nチャネル型MOSトランジスタMN がオ
ンするまでに遅延があるために、ソースSN 6・基板
(バックゲート)間のPN接合を通してP型基板1に流
れ込む。Nチャネル型MOSトランジスタMN のゲート
・ソース間電圧VGSが閾値電圧Vthn を超えてNチャネ
ル型MOSトランジスタMN がオンしても、ソースSN
6に接続された入力端子INにドレインDN 7に接続さ
れたGNDから電流が流れ込み、ソース・ドレイン間電
流Idsが例えば100mAとすると1mA近い電流がP
型基板1に流れることがあり得る。
【0014】寄生NPNバイポーラトランジスタを構成
するNチャネル型MOSトランジスタMN のソースSN
のN+ 領域6がエミッタ、P型基板1がベース、N型ウ
ェル2がコレクタの役割を果たし、P型基板1に流れた
電流はベース電流となり、コレクタ・エミッタ間即ちN
型ウェル2とN+ 領域6(Nチャネル型MOSトランジ
スタMN のソースSN )との間に電流が流れる。その結
果、N型ウェル2の電位は下がり、N型ウェル2とPチ
ャネル型MOSトランジスタMP のソースSPのP+
域4に接続された電源電位点VDDとの間にPN接合を通
して電流が流れる。このとき、寄生PNPバイポーラト
ランジスタを構成するP型基板1がコレクタ、N型ウェ
ル2がベース、Pチャネル型MOSトランジスタMP の
ソースSP のP+ 領域4がエミッタの役割を果たし、N
型ウェル2に流れた電流はベース電流となり、コレクタ
・エミッタ間即ちP型基板1とP+ 領域4との間に電流
が流れる。このようにして、寄生NPNバイポーラトラ
ンジスタと寄生PNPバイポーラトランジスタが相互に
他方をオンさせ、オーバーシュートの場合と同様にアン
ダーシュートの場合でも電源電位点VDDと共通電位点G
NDとの間に大電流を流す。但し、オーバーシュートが
ラッチアップのきっかけになるのとは異なり、アンダー
シュートの場合は、寄生NPNバイポーラトランジスタ
がオンしていられるのはアンダーシュートが入っている
期間に限定されるので、きっかけとなったアンダーシュ
ートがなくなると電源電位点VDDと共通電位点GNDと
の間の電流もなくなる。
【0015】上述の問題点の対策として、従来は、N型
ウェル2を電源電位点VDDに接続するための基板コンタ
クトと、P型基板1を共通電位点GNDに接続するため
の基板コンタクトとをそれぞれ構造的に短いピッチで形
成することにより、基板やウェルに流れ込んだ電流を基
板コンタクトを通して共通電位点GNDや電源電位点V
DDに速やかに回収して基板やウェルの電位の変動を抑制
してラッチアップを防止していた。
【0016】しかしながら、従来の対策では、基板やウ
ェルの電位が電源電位点VDDや共通電位点GND等の電
源のような低い出力インピーダンスで供給されている場
合には有効であるが、チャージポンプ回路を用いて基板
をバイアスするような場合にはチャージポンプ回路の出
力インピーダンスによる制約があるのでチャージポンプ
回路の面積を大きくする必要がある点が問題であった。
尚、以上では入力保護回路について説明したが、出力保
護回路についても同様の問題があった。
【0017】本発明は上記問題点に鑑みてなされたもの
で、その目的は、CMOS半導体集積回路における入力
保護回路及び出力保護回路のラッチアップの原因であっ
た入出力端子から基板への電流注入を抑制することが可
能な構成の半導体集積回路装置及びその制御方法を提供
することである。
【0018】
【課題を解決するための手段】本発明に係る半導体集積
回路装置(入力保護回路)の第1の構成によれば、ゲー
トとソースとに電源電位が与えられ、バックゲートが、
予想される入力信号のオーバーシュートのピーク電圧よ
りも高い電圧でバイアスされ、ドレインに入力信号が入
力されるPチャネル型MOSトランジスタと、ゲートと
ソースとバックゲートとに共通電位が与えられ、ドレイ
ンに入力信号が入力されるNチャネル型MOSトランジ
スタとを備えたことを特徴とし、本発明に係る半導体集
積回路装置(入力保護回路)の第2の構成によれば、ゲ
ートとソースとバックゲートとに電源電位が与えられ、
ドレインに入力信号が入力されるPチャネル型MOSト
ランジスタと、ゲートとソースとに共通電位が与えら
れ、バックゲートが、予想される入力信号のアンダーシ
ュートの負のピーク電圧よりも低い電圧でバイアスさ
れ、ドレインに入力信号が入力されるNチャネル型MO
Sトランジスタとを備えたことを特徴とし、以上の各構
成により、基板電流を抑制することができ、その結果、
従来総てのCMOS回路で問題となっていたラッチアッ
プの危険性を大幅に低下させることが可能になる。
【0019】本発明に係る半導体集積回路装置(入力保
護回路)の第3の構成によれば、ゲートとソースとに電
源電位が与えられ、バックゲートが、予想される入力信
号のオーバーシュートのピーク電圧よりも高い電圧でバ
イアスされ、ドレインに入力信号が入力されるPチャネ
ル型MOSトランジスタと、ゲートとソースとに共通電
位が与えられ、バックゲートが、予想される入力信号の
アンダーシュートの負のピーク電圧よりも低い電圧でバ
イアスされ、ドレインに入力信号が入力されるNチャネ
ル型MOSトランジスタとを備えたことを特徴とし、こ
の構成により、入力信号のオーバーシュートとアンダー
シュートとのいずれの場合にも基板電流を抑制すること
ができるので、基板やウェルの電位の安定には最も効果
があり、従来総てのCMOS回路で問題となっていたラ
ッチアップの危険性を大幅に低下させることが可能にな
る。
【0020】本発明に係る半導体集積回路装置(出力保
護回路)の第1の構成によれば、ソースに電源電位が与
えられ、ドレインに出力端子が接続され、バックゲート
が、予想される出力端子からのオーバーシュートのピー
ク電圧よりも高い電圧でバイアスされたPチャネル型M
OSトランジスタと、ソースとバックゲートとに共通電
位が与えられ、ドレインに出力端子が接続されたNチャ
ネル型MOSトランジスタとを備えたことを特徴とし、
本発明に係る半導体集積回路装置(出力保護回路)の第
2の構成によれば、ソースとバックゲートとに電源電位
が与えられ、ドレインに出力端子が接続されたPチャネ
ル型MOSトランジスタと、ソースに共通電位が与えら
れ、ドレインに出力端子が接続され、バックゲートが、
予想される出力端子からのアンダーシュートの負のピー
ク電圧よりも低い電圧でバイアスされたNチャネル型M
OSトランジスタとを備えたことを特徴とし、以上の各
構成により、基板電流を抑制することができ、その結
果、従来総てのCMOS回路で問題となっていたラッチ
アップの危険性を大幅に低下させることが可能になる。
【0021】本発明に係る半導体集積回路装置(出力保
護回路)の第3の構成によれば、ソースに電源電位が与
えられ、ドレインに出力端子が接続され、バックゲート
が、予想される出力端子からのオーバーシュートのピー
ク電圧よりも高い電圧でバイアスされたPチャネル型M
OSトランジスタと、ソースに共通電位が与えられ、ド
レインに出力端子が接続され、バックゲートが、予想さ
れる出力端子からのアンダーシュートの負のピーク電圧
よりも低い電圧でバイアスされたNチャネル型MOSト
ランジスタとを備えたことを特徴とし、この構成によ
り、出力端子からのオーバーシュートとアンダーシュー
トとのいずれの場合にも基板電流を抑制することができ
るので、基板やウェルの電位の安定には最も効果があ
り、従来総てのCMOS回路で問題となっていたラッチ
アップの危険性を大幅に低下させることが可能になる。
【0022】本発明に係る半導体集積回路装置(入力保
護回路)の制御方法の第1の構成によれば、ゲートとソ
ースとに電源電位が与えられ、ドレインに入力信号が入
力されるPチャネル型MOSトランジスタと、ゲートと
ソースとバックゲートとに共通電位が与えられ、ドレイ
ンに入力信号が入力されるNチャネル型MOSトランジ
スタとから構成される半導体集積回路装置のPチャネル
型MOSトランジスタのバックゲートを、予想される入
力信号のオーバーシュートのピーク電圧よりも高い電圧
でバイアスすることを特徴とし、本発明に係る半導体集
積回路装置(入力保護回路)の制御方法の第2の構成に
よれば、ゲートとソースとバックゲートとに電源電位が
与えられ、ドレインに入力信号が入力されるPチャネル
型MOSトランジスタと、ゲートとソースとに共通電位
が与えられ、ドレインに入力信号が入力されるNチャネ
ル型MOSトランジスタとから構成される半導体集積回
路装置のNチャネル型MOSトランジスタのバックゲー
トを、予想される入力信号のアンダーシュートの負のピ
ーク電圧よりも低い電圧でバイアスすることを特徴と
し、以上の各構成により、基板電流を抑制することがで
き、その結果、従来総てのCMOS回路で問題となって
いたラッチアップの危険性を大幅に低下させることが可
能になる。
【0023】本発明に係る半導体集積回路装置(入力保
護回路)の制御方法の第3の構成によれば、ゲートとソ
ースとに電源電位が与えられ、ドレインに入力信号が入
力されるPチャネル型MOSトランジスタと、ゲートと
ソースとに共通電位が与えられ、ドレインに入力信号が
入力されるNチャネル型MOSトランジスタとから構成
される半導体集積回路装置のPチャネル型MOSトラン
ジスタのバックゲートを、予想される入力信号のオーバ
ーシュートのピーク電圧よりも高い電圧でバイアスし、
かつ、Nチャネル型MOSトランジスタのバックゲート
を、予想される入力信号のアンダーシュートの負のピー
ク電圧よりも低い電圧でバイアスすることを特徴とし、
この構成により、入力信号のオーバーシュートとアンダ
ーシュートとのいずれの場合にも基板電流を抑制するこ
とができるので、基板やウェルの電位の安定には最も効
果があり、従来総てのCMOS回路で問題となっていた
ラッチアップの危険性を大幅に低下させることが可能に
なる。
【0024】本発明に係る半導体集積回路装置(出力保
護回路)の制御方法の第1の構成によれば、ソースに電
源電位が与えられ、ドレインに出力端子が接続されたP
チャネル型MOSトランジスタと、ソースとバックゲー
トとに共通電位が与えられ、ドレインに出力端子が接続
されたNチャネル型MOSトランジスタとから構成され
る半導体集積回路装置のPチャネル型MOSトランジス
タのバックゲートを、予想される出力端子からのオーバ
ーシュートのピーク電圧よりも高い電圧でバイアスする
ことを特徴とし、本発明に係る半導体集積回路装置(出
力保護回路)の制御方法の第2の構成によれば、ソース
とバックゲートとに電源電位が与えられ、ドレインに出
力端子が接続されたPチャネル型MOSトランジスタ
と、ソースに共通電位が与えられ、ドレインに出力端子
が接続されたNチャネル型MOSトランジスタとから構
成される半導体集積回路装置のNチャネル型MOSトラ
ンジスタのバックゲートを、予想される出力端子からの
アンダーシュートの負のピーク電圧よりも低い電圧でバ
イアスすることを特徴とし、以上の各構成により、基板
電流を抑制することができ、その結果、従来総てのCM
OS回路で問題となっていたラッチアップの危険性を大
幅に低下させることが可能になる。
【0025】本発明に係る半導体集積回路装置(出力保
護回路)の制御方法の第3の構成によれば、ソースに電
源電位が与えられ、ドレインに出力端子が接続されたP
チャネル型MOSトランジスタと、ソースに共通電位が
与えられ、ドレインに出力端子が接続されたNチャネル
型MOSトランジスタとから構成される半導体集積回路
装置のPチャネル型MOSトランジスタのバックゲート
を、予想される出力端子からのオーバーシュートのピー
ク電圧よりも高い電圧でバイアスし、かつ、Nチャネル
型MOSトランジスタのバックゲートを、予想される出
力端子からのアンダーシュートの負のピーク電圧よりも
低い電圧でバイアスすることを特徴とし、この構成によ
り、出力端子からのオーバーシュートとアンダーシュー
トとのいずれの場合にも基板電流を抑制することができ
るので、基板やウェルの電位の安定には最も効果があ
り、従来総てのCMOS回路で問題となっていたラッチ
アップの危険性を大幅に低下させることが可能になる。
【0026】
【発明の実施の形態】本発明に係る半導体集積回路装置
及びその制御方法の特徴は、CMOS半導体集積回路装
置のI/Oセルにおいて、入力保護回路又は出力保護回
路を構成するPチャネル型MOSトランジスタのバック
ゲート(N型基板又はN型ウェル)に入力信号又は出力
信号のオーバーシュートのピーク電圧より高い電圧を印
加することにより、あるいは、入力保護回路又は出力保
護回路を構成するNチャネル型MOSトランジスタのバ
ックゲート(P型基板又はP型ウェル)にアンダーシュ
ートの負のピーク電圧より低い電圧を印加することによ
り、従来ラッチアップの原因であった入出力信号から基
板への電流注入を抑制する点にある。
【0027】以下、半導体集積回路装置及びその制御方
法の実施の形態について、図面を参照しながら説明す
る。
【0028】図1は、本発明の第1の実施の形態に係る
半導体集積回路装置、具体的には、入力保護回路の回路
図である。
【0029】本発明の第1の実施の形態に係る入力保護
回路は、ゲートとソースとに電源電位点VDDが接続さ
れ、基板(バックゲート)であるN型ウェル又はN型基
板が、予想される入力信号INのオーバーシュートのピ
ーク電圧よりも高い電圧VSUB+(VSUB+>VINPeak+ ≧
VDD)で予めバイアスされ、ドレインに入力信号INが
入力されるPチャネル型MOSトランジスタMP と、ゲ
ートとソースと基板(バックゲート)とに共通電位点G
NDが接続され、ドレインに入力信号INが入力される
Nチャネル型MOSトランジスタMN とから構成されて
おり、バッファBufを介して内部回路に接続される。
【0030】基板をバイアスする電源は、外部から供給
される電源、又は半導体集積回路装置内にチャージポン
プ回路を搭載して自給する電源のいずれでもよい。
【0031】本発明の第1の実施の形態に係る入力保護
回路においては、オーバーシュートによって入力信号I
Nの電位が電源電位VDDよりも高くなりソースとドレイ
ンの関係が入れ換っても、Pチャネル型MOSトランジ
スタMP の基板(バックゲート)には予め予想されるオ
ーバーシュートのピーク電圧よりも高い電圧VSUB+が印
加されているので、Pチャネル型MOSトランジスタM
P のソースまたドレイン・基板(バックゲート)間のP
N接合は決して順方向にバイアスされることがない。従
来の構成では、PN接合を通して基板やウェルに電流が
流れ込む可能性があったが、本発明の第1の実施の形態
に係る入力保護回路では、上記構成によりその可能性が
排除されている。
【0032】Pチャネル型MOSトランジスタMP のゲ
ート・ソース間電圧VGSが負の値となり閾値電圧Vthp
を超えてPチャネル型MOSトランジスタMP がオンと
なった場合に、ソースに接続された入力端子INからド
レインに接続された電源電位点VDDに電流が流れ込む
が、本発明の第1の実施の形態に係る入力保護回路で
は、そのときのソース・ドレイン間電流Idsが例えば1
00mAとすると、1mA近い電流だけを基板電流とし
て考慮すればよい。
【0033】1mA程度の基板電流であれば、基板をバ
イアスするための電源は、外部から供給される電源であ
っても、半導体集積回路装置内にチャージポンプ回路を
搭載して自給する電源であっても、容易に確保すること
ができる。
【0034】本発明の第1の実施の形態に係る入力保護
回路では、基板電流を抑制することにより、従来総ての
CMOS回路で問題となっていたラッチアップの危険性
を大幅に低下させることが可能になる。
【0035】図2は、本発明の第2の実施の形態に係る
半導体集積回路装置、具体的には、入力保護回路の回路
図である。
【0036】本発明の第2の実施の形態に係る入力保護
回路は、ゲートとソースと基板(バックゲート)とに電
源電位点VDDが接続され、ドレインに入力信号INが入
力されるPチャネル型MOSトランジスタMP と、ゲー
トとソースとに共通電位点GNDが接続され、基板(バ
ックゲート)であるP型ウェル又はP型基板が、予想さ
れる入力信号INのアンダーシュートの負のピーク電圧
よりも低い電圧VSUB-(VSUB-<VINPeak- ≦GND)
で予めバイアスされ、ドレインに入力信号INが入力さ
れるNチャネル型MOSトランジスタMN とから構成さ
れており、バッファBufを介して内部回路に接続され
る。
【0037】基板をバイアスする電源は、外部から供給
される電源、又は半導体集積回路装置内にチャージポン
プ回路を搭載して自給する電源のいずれでもよい。
【0038】本発明の第2の実施の形態に係る入力保護
回路においては、アンダーシュートによって入力信号I
Nの電位が共通電位GNDよりも低くなりソースとドレ
インの関係が入れ換っても、Nチャネル型MOSトラン
ジスタMN の基板(バックゲート)には予め予想される
アンダーシュートのピーク電圧よりも低い電圧VSUB-が
印加されているので、Nチャネル型MOSトランジスタ
MN のソースまたはドレイン・基板(バックゲート)間
のPN接合は決して順方向にバイアスされることがな
い。従来の構成では、PN接合を通して基板やウェルに
電流が流れ込む可能性があったが、本発明の第2の実施
の形態に係る入力保護回路では、上記構成によりその可
能性が排除されている。
【0039】Nチャネル型MOSトランジスタMN のゲ
ート・ソース間電圧VGSが閾値電圧Vthn を超えてNチ
ャネル型MOSトランジスタMN がオンとなった場合
に、ソースに接続された入力端子INにドレインに接続
された共通電位点GNDから電流が流れ込むが、本発明
の第2の実施の形態に係る入力保護回路では、そのとき
のソース・ドレイン間電流Idsが例えば100mAとす
ると、1mA近い電流だけを基板電流として考慮すれば
よい。
【0040】1mA程度の基板電流であれば、基板をバ
イアスするための電源は、外部から供給される電源であ
っても、半導体集積回路装置内にチャージポンプ回路を
搭載して自給する電源であっても、容易に確保すること
ができる。
【0041】本発明の第2の実施の形態に係る入力保護
回路でも、基板電流を抑制することにより、従来総ての
CMOS回路で問題となっていたラッチアップの危険性
を大幅に低下させることが可能になる。
【0042】図3は、本発明の第3の実施の形態に係る
半導体集積回路装置、具体的には、入力保護回路の回路
図である。
【0043】本発明の第3の実施の形態に係る入力保護
回路は、ゲートとソースとに電源電位点VDDが接続さ
れ、基板(バックゲート)であるN型ウェル又はN型基
板が、予想される入力信号INのオーバーシュートのピ
ーク電圧よりも高い電圧VSUB+(VSUB+>VINPeak+ ≧
VDD)で予めバイアスされ、ドレインに入力信号INが
入力されるPチャネル型MOSトランジスタMP と、ゲ
ートとソースとに共通電位点GNDが接続され、基板
(バックゲート)であるP型ウェル又はP型基板が、予
想される入力信号INのアンダーシュートの負のピーク
電圧よりも低い電圧VSUB-(VSUB-<VINPeak- ≦GN
D)で予めバイアスされ、ドレインに入力信号INが入
力されるNチャネル型MOSトランジスタMN とから構
成されており、バッファBufを介して内部回路に接続
される。
【0044】基板をバイアスする電源は、外部から供給
される電源、又は半導体集積回路装置内にチャージポン
プ回路を搭載して自給する電源のいずれでもよい。
【0045】本発明の第3の実施の形態に係る入力保護
回路においては、オーバーシュートによって入力信号I
Nの電位が電源電位VDDよりも高くなりソースとドレイ
ンの関係が入れ換っても、Pチャネル型MOSトランジ
スタMP の基板(バックゲート)には予め予想されるオ
ーバーシュートのピーク電圧よりも高い電圧VSUB+が印
加されているので、Pチャネル型MOSトランジスタM
P のソースまたはドレイン・基板(バックゲート)間の
PN接合は決して順方向にバイアスされることがない。
従来の構成では、PN接合を通して基板やウェルに電流
が流れ込む可能性があったが、本発明の第3の実施の形
態に係る入力保護回路では、上記構成によりその可能性
が排除されている。
【0046】Pチャネル型MOSトランジスタMP のゲ
ート・ソース間電圧VGSが負の値となり閾値電圧Vthp
を超えてPチャネル型MOSトランジスタMP がオンと
なった場合に、ソースに接続された入力端子INからド
レインに接続された電源電位点VDDに電流が流れ込む
が、本発明の第3の実施の形態に係る入力保護回路で
は、そのときのソース・ドレイン間電流Idsが例えば1
00mAとすると、1mA近い電流だけを基板電流とし
て考慮すればよい。
【0047】一方、アンダーシュートによって入力信号
INの電位が共通電位GNDよりも低くなっても、Nチ
ャネル型MOSトランジスタMN の基板(バックゲー
ト)には予め予想されるアンダーシュートのピーク電圧
よりも低い電圧VSUB-が印加されているので、Nチャネ
ル型MOSトランジスタMN のソースまたはドレイン・
基板(バックゲート)間のPN接合は決して順方向にバ
イアスされることがない。従来の構成では、PN接合を
通して基板やウェルに電流が流れ込む可能性があった
が、本発明の第3の実施の形態に係る入力保護回路で
は、上記構成によりその可能性が排除されている。
【0048】Nチャネル型MOSトランジスタMN のゲ
ート・ソース間電圧VGSが閾値電圧Vthn を超えてNチ
ャネル型MOSトランジスタMN がオンとなった場合
に、ソースに接続された入力端子INにドレインに接続
された共通電位点GNDから電流が流れ込むが、本発明
の第3の実施の形態に係る入力保護回路では、そのとき
のソース・ドレイン間電流Idsが例えば100mAとす
ると、1mA近い電流だけを基板電流として考慮すれば
よい。
【0049】1mA程度の基板電流であれば、基板をバ
イアスするための電源は、外部から供給される電源であ
っても、半導体集積回路装置内にチャージポンプ回路を
搭載して自給する電源であっても、容易に確保すること
ができる。
【0050】本発明の第3の実施の形態に係る入力保護
回路では、入力信号INのオーバーシュートとアンダー
シュートとのいずれの場合にも基板電流を抑制すること
ができるので、基板やウェルの電位の安定には最も効果
があり、従来総てのCMOS回路で問題となっていたラ
ッチアップの危険性を大幅に低下させることが可能にな
る。
【0051】図4は、本発明の第4の実施の形態に係る
半導体集積回路装置、具体的には、出力保護回路の回路
図である。
【0052】本発明の第4の実施の形態に係る出力保護
回路は、本発明の第1の実施の形態に係る入力保護回路
の構成を出力保護回路に適用したものである。本発明の
第4の実施の形態に係る出力保護回路は、ソースに電源
電位点VDDが接続され、ドレインに出力端子OUTが接
続され、基板(バックゲート)であるN型ウェル又はN
型基板が、予想される出力端子OUTからのオーバーシ
ュートのピーク電圧よりも高い電圧VSUB+(VSUB+>V
INPeak+ ≧VDD)で予めバイアスされたPチャネル型M
OSトランジスタMP と、ソースと基板(バックゲー
ト)とに共通電位点GNDが接続され、ドレインに出力
端子OUTが接続されたNチャネル型MOSトランジス
タMN とから構成されており、内部回路からの信号がP
チャネル型MOSトランジスタMP およびNチャネル型
MOSトランジスタMN のゲートに入力される。
【0053】基板をバイアスする電源は、外部から供給
される電源、又は半導体集積回路装置内にチャージポン
プ回路を搭載して自給する電源のいずれでもよい。
【0054】本発明の第4の実施の形態に係る入力保護
回路においては、オーバーシュートによって出力端子O
UTの電位が電源電位VDDよりも高くなりソースとドレ
インの関係が入れ換っても、Pチャネル型MOSトラン
ジスタMP の基板(バックゲート)には予め予想される
オーバーシュートのピーク電圧よりも高い電圧VSUB+が
印加されているので、Pチャネル型MOSトランジスタ
MP のソースまたはドレイン・基板(バックゲート)間
のPN接合は決して順方向にバイアスされることがな
い。従来の構成では、PN接合を通して基板やウェルに
電流が流れ込む可能性があったが、本発明の第4の実施
の形態に係る入力保護回路では、上記構成によりその可
能性が排除されている。
【0055】Pチャネル型MOSトランジスタMP のゲ
ート・ソース間電圧VGSが負の値となり閾値電圧Vthp
を超えてPチャネル型MOSトランジスタMP がオンと
なった場合に、ソースに接続された出力端子OUTから
ドレインに接続された電源電位点VDDに電流が流れ込む
が、本発明の第4の実施の形態に係る入力保護回路で
は、そのときのソース・ドレイン間電流Idsが例えば1
00mAとすると、1mA近い電流だけを基板電流とし
て考慮すればよい。
【0056】1mA程度の基板電流であれば、基板をバ
イアスするための電源は、外部から供給される電源であ
っても、半導体集積回路装置内にチャージポンプ回路を
搭載して自給する電源であっても、容易に確保すること
ができる。
【0057】本発明の第4の実施の形態に係る出力保護
回路では、基板電流を抑制することにより、従来総ての
CMOS回路で問題となっていたラッチアップの危険性
を大幅に低下させることが可能になる。
【0058】図5は、本発明の第5の実施の形態に係る
半導体集積回路装置、具体的には、出力保護回路の回路
図である。
【0059】本発明の第5の実施の形態に係る出力保護
回路は、本発明の第2の実施の形態に係る入力保護回路
の構成を出力保護回路に適用したものである。本発明の
第5の実施の形態に係る出力保護回路は、ソースと基板
(バックゲート)とに電源電位点VDDが接続され、ドレ
インに出力端子OUTが接続されたPチャネル型MOS
トランジスタMP と、ソースに共通電位点GNDが接続
され、ドレインに出力端子OUTが接続され、基板(バ
ックゲート)であるP型ウェル又はP型基板が、予想さ
れる出力端子OUTからのアンダーシュートの負のピー
ク電圧よりも低い電圧VSUB-(VSUB-<VINPeak- ≦G
ND)で予めバイアスされたNチャネル型MOSトラン
ジスタMN とから構成されており、内部回路からの信号
がPチャネル型MOSトランジスタMP およびNチャネ
ル型MOSトランジスタMN のゲートに入力される。
【0060】基板をバイアスする電源は、外部から供給
される電源、又は半導体集積回路装置内にチャージポン
プ回路を搭載して自給する電源のいずれでもよい。
【0061】本発明の第5の実施の形態に係る出力保護
回路においては、アンダーシュートによって出力信号O
UTの電位が共通電位GNDよりも低くなりソースとド
レインの関係が入れ換っても、Nチャネル型MOSトラ
ンジスタMN の基板(バックゲート)には予め予想され
るアンダーシュートのピーク電圧よりも低い電圧VSUB-
が印加されているので、Nチャネル型MOSトランジス
タMN のソースまたはドレイン・基板(バックゲート)
間のPN接合は決して順方向にバイアスされることがな
い。従来の構成では、PN接合を通して基板やウェルに
電流が流れ込む可能性があったが、本発明の第5の実施
の形態に係る出力保護回路では、上記構成によりその可
能性が排除されている。
【0062】Nチャネル型MOSトランジスタMN のゲ
ート・ソース間電圧VGSが閾値電圧Vthn を超えてNチ
ャネル型MOSトランジスタMN がオンとなった場合
に、ソースに接続された出力端子OUTにドレインに接
続された共通電位点GNDから電流が流れ込むが、本発
明の第5の実施の形態に係る出力保護回路では、そのと
きのソース・ドレイン間電流Idsが例えば100mAと
すると、1mA近い電流だけを基板電流として考慮すれ
ばよい。
【0063】1mA程度の基板電流であれば、基板をバ
イアスするための電源は、外部から供給される電源であ
っても、半導体集積回路装置内にチャージポンプ回路を
搭載して自給する電源であっても、容易に確保すること
ができる。
【0064】本発明の第5の実施の形態に係る出力保護
回路では、基板電流を抑制することにより、従来総ての
CMOS回路で問題となっていたラッチアップの危険性
を大幅に低下させることが可能になる。
【0065】図6は、本発明の第6の実施の形態に係る
半導体集積回路装置、具体的には、出力保護回路の回路
図である。
【0066】本発明の第6の実施の形態に係る出力保護
回路は、本発明の第3の実施の形態に係る入力保護回路
の構成を出力保護回路に適用したものである。本発明の
第6の実施の形態に係る出力保護回路は、ソースに電源
電位点VDDが接続され、ドレインに出力端子OUTが接
続され、基板(バックゲート)であるN型ウェル又はN
型基板が、予想される出力端子OUTからのオーバーシ
ュートのピーク電圧よりも高い電圧VSUB+(VSUB+>V
INPeak+ ≧VDD)で予めバイアスされたPチャネル型M
OSトランジスタMP と、ソースに共通電位点GNDが
接続され、ドレインに出力端子OUTが接続され、基板
(バックゲート)であるP型ウェル又はP型基板が、予
想される出力端子OUTからのアンダーシュートの負の
ピーク電圧よりも低い電圧VSUB-(VSUB-<VINPeak-
≦GND)で予めバイアスされたNチャネル型MOSト
ランジスタMN とから構成されており、内部回路からの
信号がPチャネル型MOSトランジスタMP およびNチ
ャネル型MOSトランジスタMN のゲートに入力され
る。
【0067】基板をバイアスする電源は、外部から供給
される電源、又は半導体集積回路装置内にチャージポン
プ回路を搭載して自給する電源のいずれでもよい。
【0068】本発明の第6の実施の形態に係る出力保護
回路においては、オーバーシュートによって出力端子O
UTの電位が電源電位VDDよりも高くなりソースとドレ
インの関係が入れ換っても、Pチャネル型MOSトラン
ジスタMP の基板(バックゲート)には予め予想される
オーバーシュートのピーク電圧よりも高い電圧VSUB+が
印加されているので、Pチャネル型MOSトランジスタ
MP のソースまたはドレイン・基板(バックゲート)間
のPN接合は決して順方向にバイアスされることがな
い。従来の構成では、PN接合を通して基板やウェルに
電流が流れ込む可能性があったが、本発明の第6の実施
の形態に係る入力保護回路では、上記構成によりその可
能性が排除されている。
【0069】Pチャネル型MOSトランジスタMP のゲ
ート・ソース間電圧VGSが負の値となり閾値電圧Vthp
を超えてPチャネル型MOSトランジスタMP がオンと
なった場合に、ソースに接続された出力端子OUTから
ドレインに接続された電源電位点VDDに電流が流れ込む
が、本発明の第6の実施の形態に係る出力保護回路で
は、そのときのソース・ドレイン間電流Idsが例えば1
00mAとすると、1mA近い電流だけを基板電流とし
て考慮すればよい。
【0070】一方、アンダーシュートによって出力端子
OUTの電位が共通電位GNDよりも低くなっても、N
チャネル型MOSトランジスタMN の基板(バックゲー
ト)には予め予想されるアンダーシュートのピーク電圧
よりも低い電圧VSUB-が印加されているので、Nチャネ
ル型MOSトランジスタMN のソースまたはドレイン・
基板(バックゲート)間のPN接合は決して順方向にバ
イアスされることがない。従来の構成では、PN接合を
通して基板やウェルに電流が流れ込む可能性があった
が、本発明の第6の実施の形態に係る出力保護回路で
は、上記構成によりその可能性が排除されている。
【0071】Nチャネル型MOSトランジスタMN のゲ
ート・ソース間電圧VGSが閾値電圧Vthn を超えてNチ
ャネル型MOSトランジスタMN がオンとなった場合
に、ソースに接続された出力端子OUTにドレインに接
続された共通電位点GNDから電流が流れ込むが、本発
明の第6の実施の形態に係る出力保護回路では、そのと
きのソース・ドレイン間電流Idsが例えば100mAと
すると、1mA近い電流だけを基板電流として考慮すれ
ばよい。
【0072】1mA程度の基板電流であれば、基板をバ
イアスするための電源は、外部から供給される電源であ
っても、半導体集積回路装置内にチャージポンプ回路を
搭載して自給する電源であっても、容易に確保すること
ができる。
【0073】本発明の第6の実施の形態に係る出力保護
回路では、出力端子OUTからのオーバーシュートとア
ンダーシュートとのいずれの場合にも基板電流を抑制す
ることができるので、基板やウェルの電位の安定には最
も効果があり、従来総てのCMOS回路で問題となって
いたラッチアップの危険性を大幅に低下させることが可
能になる。
【0074】本発明に係る半導体集積回路装置の制御方
法は、本発明に係る半導体集積回路装置の各実施の形態
について上述したように、CMOSを用いた入力保護回
路を構成するPチャネル型MOSトランジスタMP のバ
ックゲートを、予想される入力信号のオーバーシュート
のピーク電圧よりも高い電圧でバイアスし、若しくは、
Nチャネル型MOSトランジスタMN のバックゲート
を、予想される入力信号のアンダーシュートの負のピー
ク電圧よりも低い電圧でバイアスし、又は、CMOSを
用いた出力保護回路を構成するPチャネル型MOSトラ
ンジスタのバックゲートを、予想される出力端子からの
オーバーシュートのピーク電圧よりも高い電圧でバイア
スし、若しくは、Nチャネル型MOSトランジスタのバ
ックゲートを、予想される出力端子からのアンダーシュ
ートの負のピーク電圧よりも低い電圧でバイアスするも
のである。
【0075】本発明に係る半導体集積回路装置の制御方
法により、本発明に係る半導体集積回路装置の各実施の
形態について上述したのと同様の効果を得ることができ
る。
【0076】
【発明の効果】本発明に係る半導体集積回路装置及びそ
の制御方法によれば、CMOSを用いた入力保護回路又
は出力保護回路を構成するPチャネル型MOSトランジ
スタのバックゲート(N型基板又はN型ウェル)を入力
信号又は出力信号のオーバーシュートのピーク電圧より
高い電圧でバイアスし、あるいは、入力保護回路又は出
力保護回路を構成するNチャネル型MOSトランジスタ
のバックゲート(P型基板又はP型ウェル)をアンダー
シュートの負のピーク電圧より低い電圧でバイアスする
こととしたので、基板電流が抑制され、その結果、従来
総てのCMOS回路で問題となっていたラッチアップの
危険性を大幅に低下させることが可能になる。
【0077】CMOSを用いた入力保護回路又は出力保
護回路を構成するPチャネル型MOSトランジスタのバ
ックゲート(N型基板又はN型ウェル)を入力信号又は
出力信号のオーバーシュートのピーク電圧より高い電圧
でバイアスし、かつ、入力保護回路又は出力保護回路を
構成するNチャネル型MOSトランジスタのバックゲー
ト(P型基板又はP型ウェル)をアンダーシュートの負
のピーク電圧より低い電圧でバイアスすることとした場
合には、入力信号又は出力信号のオーバーシュートとア
ンダーシュートとのいずれの場合にも基板電流を抑制す
ることができるので、基板やウェルの電位の安定には最
も効果があり、従来総てのCMOS回路で問題となって
いたラッチアップの危険性を大幅に低下させることが可
能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係る半導体集積回
路装置(入力保護回路)。
【図2】本発明の第2の実施の形態に係る半導体集積回
路装置(入力保護回路)。
【図3】本発明の第3の実施の形態に係る半導体集積回
路装置(入力保護回路)。
【図4】本発明の第4の実施の形態に係る半導体集積回
路装置(出力保護回路)。
【図5】本発明の第5の実施の形態に係る半導体集積回
路装置(出力保護回路)。
【図6】本発明の第6の実施の形態に係る半導体集積回
路装置(出力保護回路)。
【図7】従来の入力保護回路の回路図。
【図8】従来の入力保護回路の断面構造図。
【符号の説明】
1 P型基板 2 N型ウェル 3,6,7 N+領域 4,5,8 P+領域 9,10 ゲート電極 MP Pチャネル型MOSトランジスタ MN Nチャネル型MOSトランジスタ

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ゲートとソースとに電源電位が与えられ、
    バックゲートが、予想される入力信号のオーバーシュー
    トのピーク電圧よりも高い電圧でバイアスされ、ドレイ
    ンに前記入力信号が入力されるPチャネル型MOSトラ
    ンジスタと、 ゲートとソースとバックゲートとに共通電位が与えら
    れ、ドレインに前記入力信号が入力されるNチャネル型
    MOSトランジスタと、を備えたことを特徴とする半導
    体集積回路装置。
  2. 【請求項2】ゲートとソースとバックゲートとに電源電
    位が与えられ、ドレインに入力信号が入力されるPチャ
    ネル型MOSトランジスタと、 ゲートとソースとに共通電位が与えられ、バックゲート
    が、予想される前記入力信号のアンダーシュートの負の
    ピーク電圧よりも低い電圧でバイアスされ、ドレインに
    前記入力信号が入力されるNチャネル型MOSトランジ
    スタと、を備えたことを特徴とする半導体集積回路装
    置。
  3. 【請求項3】ゲートとソースとに電源電位が与えられ、
    バックゲートが、予想される入力信号のオーバーシュー
    トのピーク電圧よりも高い電圧でバイアスされ、ドレイ
    ンに前記入力信号が入力されるPチャネル型MOSトラ
    ンジスタと、 ゲートとソースとに共通電位が与えられ、バックゲート
    が、予想される前記入力信号のアンダーシュートの負の
    ピーク電圧よりも低い電圧でバイアスされ、ドレインに
    前記入力信号が入力されるNチャネル型MOSトランジ
    スタと、を備えたことを特徴とする半導体集積回路装
    置。
  4. 【請求項4】ソースに電源電位が与えられ、ドレインに
    出力端子が接続され、バックゲートが、予想される前記
    出力端子からのオーバーシュートのピーク電圧よりも高
    い電圧でバイアスされたPチャネル型MOSトランジス
    タと、 ソースとバックゲートとに共通電位が与えられ、ドレイ
    ンに出力端子が接続されたNチャネル型MOSトランジ
    スタと、を備えたことを特徴とする半導体集積回路装
    置。
  5. 【請求項5】ソースとバックゲートとに電源電位が与え
    られ、ドレインに出力端子が接続されたPチャネル型M
    OSトランジスタと、 ソースに共通電位が与えられ、ドレインに前記出力端子
    が接続され、バックゲートが、予想される前記出力端子
    からのアンダーシュートの負のピーク電圧よりも低い電
    圧でバイアスされたNチャネル型MOSトランジスタ
    と、を備えたことを特徴とする半導体集積回路装置。
  6. 【請求項6】ソースに電源電位が与えられ、ドレインに
    出力端子が接続され、バックゲートが、予想される前記
    出力端子からのオーバーシュートのピーク電圧よりも高
    い電圧でバイアスされたPチャネル型MOSトランジス
    タと、 ソースに共通電位が与えられ、ドレインに前記出力端子
    が接続され、バックゲートが、予想される前記出力端子
    からのアンダーシュートの負のピーク電圧よりも低い電
    圧でバイアスされたNチャネル型MOSトランジスタ
    と、を備えたことを特徴とする半導体集積回路装置。
  7. 【請求項7】ゲートとソースとに電源電位が与えられ、
    ドレインに入力信号が入力されるPチャネル型MOSト
    ランジスタと、ゲートとソースとバックゲートとに共通
    電位が与えられ、ドレインに前記入力信号が入力される
    Nチャネル型MOSトランジスタとから構成される半導
    体集積回路装置の前記Pチャネル型MOSトランジスタ
    のバックゲートを、予想される前記入力信号のオーバー
    シュートのピーク電圧よりも高い電圧でバイアスするこ
    とを特徴とする半導体集積回路装置の制御方法。
  8. 【請求項8】ゲートとソースとバックゲートとに電源電
    位が与えられ、ドレインに入力信号が入力されるPチャ
    ネル型MOSトランジスタと、ゲートとソースとに共通
    電位が与えられ、ドレインに前記入力信号が入力される
    Nチャネル型MOSトランジスタとから構成される半導
    体集積回路装置の前記Nチャネル型MOSトランジスタ
    のバックゲートを、予想される前記入力信号のアンダー
    シュートの負のピーク電圧よりも低い電圧でバイアスす
    ることを特徴とする半導体集積回路装置の制御方法。
  9. 【請求項9】ゲートとソースとに電源電位が与えられ、
    ドレインに入力信号が入力されるPチャネル型MOSト
    ランジスタと、ゲートとソースとに共通電位が与えら
    れ、ドレインに前記入力信号が入力されるNチャネル型
    MOSトランジスタとから構成される半導体集積回路装
    置の前記Pチャネル型MOSトランジスタのバックゲー
    トを、予想される前記入力信号のオーバーシュートのピ
    ーク電圧よりも高い電圧でバイアスし、かつ、前記Nチ
    ャネル型MOSトランジスタのバックゲートを、予想さ
    れる前記入力信号のアンダーシュートの負のピーク電圧
    よりも低い電圧でバイアスすることを特徴とする半導体
    集積回路装置の制御方法。
  10. 【請求項10】ソースに電源電位が与えられ、ドレイン
    に出力端子が接続されたPチャネル型MOSトランジス
    タと、ソースとバックゲートとに共通電位が与えられ、
    ドレインに前記出力端子が接続されたNチャネル型MO
    Sトランジスタとから構成される半導体集積回路装置の
    前記Pチャネル型MOSトランジスタのバックゲート
    を、予想される前記出力端子からのオーバーシュートの
    ピーク電圧よりも高い電圧でバイアスすることを特徴と
    する半導体集積回路装置の制御方法。
  11. 【請求項11】ソースとバックゲートとに電源電位が与
    えられ、ドレインに出力端子が接続されたPチャネル型
    MOSトランジスタと、ソースに共通電位が与えられ、
    ドレインに前記出力端子が接続されたNチャネル型MO
    Sトランジスタとから構成される半導体集積回路装置の
    前記Nチャネル型MOSトランジスタのバックゲート
    を、予想される前記出力端子からのアンダーシュートの
    負のピーク電圧よりも低い電圧でバイアスすることを特
    徴とする半導体集積回路装置の制御方法。
  12. 【請求項12】ソースに電源電位が与えられ、ドレイン
    に出力端子が接続されたPチャネル型MOSトランジス
    タと、ソースに共通電位が与えられ、ドレインに前記出
    力端子が接続されたNチャネル型MOSトランジスタと
    から構成される半導体集積回路装置の前記Pチャネル型
    MOSトランジスタのバックゲートを、予想される前記
    出力端子からのオーバーシュートのピーク電圧よりも高
    い電圧でバイアスし、かつ、前記Nチャネル型MOSト
    ランジスタのバックゲートを、予想される前記出力端子
    からのアンダーシュートの負のピーク電圧よりも低い電
    圧でバイアスすることを特徴とする半導体集積回路装置
    の制御方法。
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