JPH1166511A - 磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】磁気ヘッドの磁束流方向に対して単結晶フェラ
イトの結晶方位ないしは金属磁性薄膜を磁気コアとして
用いる磁気ヘッドの成膜方向方位を最適化するような磁
気ヘッドを提供する。 【解決手段】単結晶フェライトあるいは金属磁性薄膜材
料からなるコの字状磁気コア半体１２を他の磁気コア半
体１２と磁気ギャップ１６を挟んで対向してなる磁気ヘ
ッド１１であって、前記コの字状磁気コア半体１２は、
複数の磁気コア部分Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅを接合してな
り、各磁気コア部分の結晶方位は、磁気ヘッド１１の磁
束流１５方向に対して最適化してなる磁気ヘッドあるい
は各磁気コア部分の金属磁性薄膜材料は、磁気ヘッドの
磁束流方向が透磁率が高い方向となるように配された磁
気ヘッドを提供する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はハードディスクドラ
イブやＶＴＲ等の磁気記録再生装置に用いられる磁気ヘ
ッドに関し、特に磁気コア中の磁性材料の結晶方位等を
最適化した磁気ヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、磁気ヘッドは大きく分けてバルク
型磁気ヘッドと薄膜型磁気ヘッドとに分類される。この
うち、バルク型の磁気ヘッドは更にフェライト単体を磁
気コアにする磁気ヘッドとフェライトと磁性薄膜とを複
合させた磁気ヘッドとに分けられる。本発明はこのうち
所謂バルク型磁気ヘッドに関するものであり、単結晶フ
ェライトを用いたもの及び単結晶又は多結晶フェライト
及び磁性薄膜との複合磁気コアを用いる磁気ヘッド等に
関するものであるので、これらについての従来技術につ
いて説明していく。先ず、これらの磁気ヘッドはハード
ディスクドライブやＶＴＲ等の磁気ヘッドとして従来か
ら広く使用されてきているが、これは前述の薄膜磁気ヘ
ッドと比べて工程が簡単であり、材料費が廉く、且つ高
性能のものを実現できるためである。

【０００３】一般的に、バルク材料として用いられるフ
ェライトは単結晶フェライトと多結晶フェライトに分け
られるが、透磁率等の磁気特性の観点から高密度記録に
は単結晶フェライトを用いた磁気ヘッドが賞用されてい
る。この種の磁気ヘッドの構造を示すのが図１０、図１
１である。この種の磁気ヘッド１０１は図１０に示すよ
うに、左右にそれぞれ対称に配される一対の磁気コア半
体１０２があり（この磁気コア半体１０２は巻線窓１０
３を形成する必要上コの字状の形状をしているためコの
字状磁気コア半体と称する）、両磁気コア半体１０２、
１０２は磁気ギャップ１０４ａ、ｂを挟んで対向してい
る。この磁気ギャップ１０４ａ、ｂは非磁性材料の薄膜
から形成されるものであって、ＳｉＯ2 やＡｌ2 Ｏ3 等
をスパッタや蒸着等によって形成している。

【０００４】このうち図中の上方の磁気ギャップを作動
磁気ギャップ１０４ａといい、下方の磁気ギャップを後
部磁気ギャップ１０４ｂと称する。作動磁気ギャップ１
０４ａは両磁気コア半体１０２中を流れる磁束を作動磁
気ギャップ１０４ａから外部に漏れさせて図示しない媒
体を磁化させて信号を磁気記録したり、また、媒体に記
録されている信号から発生する磁束を磁気ヘッド内１０
１に導いて磁束流１０５をつくり、コイル１０６に電圧
を発生させて信号を読み取るようにしている。作動磁気
ギャップ１０４ａは高々１μｍ程度の厚みであり、この
ように作動磁気ギャップ１０４ａを薄くすることによっ
て高密度記録が可能となっている。また、作動磁気ギャ
ップ１０４ａの長さ即ち作動磁気ギャップディプスは、
その使用される装置の種類によっても異なるが、ハード
ディスク装置の場合には１μｍ程度、またＶＴＲ等の場
合には１μｍから数μｍ程度の作動磁気ギャップディプ
スを有している。

【０００５】一方、後部磁気ギャップは必ずしも磁気ヘ
ッドの特性上必要とされる構成要素ではなく、磁気ヘッ
ドの製造工程上必然的に生じるものであって、この部分
は両磁気コアの対向面積を広くすることによってこの磁
気抵抗を小さくしている。ここで、この両磁気コア半体
を流れる磁束流に注目すると、例えば書込の場合にはコ
イルに流れた電流によって磁束流が誘起され、磁束流は
巻線窓の周囲を取り囲むように一連につながって閉じた
ループを構成する。この磁束流は巻線窓の周囲をこのよ
うに取り囲み流れるものであるため、絶えず方向を変え
ながら流れるものであって、磁気コア半体中一定の方向
を向いて流れるような性質のものではない。

【０００６】また、図１１に示すものはその他の種類の
バルク型の磁気ヘッドを示すものである。この磁気ヘッ
ド１１１は図示するように左側にはコの字状の磁気コア
半体１１２ａを有するが右側はＩ字状の磁気コア半体１
１２ｂとなっていて、右側の部分では左側の部分と比べ
て前述のように磁束の流れの変化が穏やかである。しか
しながら両磁気コア半体をＩ字状コアで作ることはでき
ないので磁束の流れは、いずれにせよ巻線窓１１３を取
り囲む形で絶えず変化し続ける流れとなる。ここでＩ字
状コアのみを用いて磁気ヘッドを構成できないのは言う
までもないがこの種のバルク型磁気ヘッドでは磁気コイ
ル１１６を用いて磁界を発生させ、また記録信号を読み
取るものであるため、必ず磁気コアには巻線窓１１３が
必要となって、巻線窓１１３の占有する部分は磁気コア
が避けて通らなければならないことによるものである。

【０００７】なお、図１１に示す従来の磁気ヘッドの構
造は図１０に示す従来の磁気ヘッドの構造と基本的に同
一であり上方に作動磁気ギャップ１１４ａ及び後方に後
部磁気ギャップ１１４ｂがあり、磁気コイル１１６によ
って磁束を発生させて図示しない媒体に信号磁化を書き
込んだり、または磁気記録媒体に書き込まれている信号
磁界を読み取ってコイル１１６に電圧を発生させて信号
として読み取っている。ところで、このように各磁気コ
ア半体中において磁束流１１５は絶えず方向を変化させ
ているものであるが、特に単結晶フェライトを用いる場
合にはテープ摺動ノイズまたは媒体摺動ノイズやヘッド
に応力が残留した場合の透磁率の変化等がその単結晶フ
ェライトの配置される結晶方位によって異なることにな
る。

【０００８】そこで、このことについて図１２をもって
説明する。従来の磁気ヘッドの製造方法は図１２に
（ａ）示すように一対の磁気コアブロック１２１、１２
１を用意し、（ｂ）に示すように巻線窓となる溝１２２
ａを形成し、（ｃ）に示すように磁気ギャップ材料１２
３を狭持してこの両磁気コア半体１２１ａ、１２１ａを
接合して磁気コイル１２４を巻いて磁気ヘッド１２０を
完成している。従って当初磁気コアブロックに溝を形成
する時点でこの磁気コアブロックに実現する結晶方位は
定められることになり、同図（ｄ）に示すように両コア
半体１２１ａは全ての部分で同一方向の結晶方位を持つ
磁気コア半体となるのである。具体的には図１３に示す
ようなものである。

【０００９】即ち図１３に示すようにＶＴＲのヘッドの
場合には方式によって夫々の結晶方位が採用されている
が、例えば、ＶＨＳ方式とβ方式とに分けて説明すると
同図（ａ）に示すようにＶＨＳの場合には単結晶フェラ
イトの＜１１０＞軸方位が図示するようにギャップ対向
面１２３ａに傾斜して形成されており、またβ方式の磁
気ヘッドの場合には図示するように磁気ギャップ対向面
１２３ｂに平行して＜１１０＞軸方位は定められてい
る。このようにするのは前述のようにテープ摺動ノイズ
の問題や、ヘッドに応力が残留した場合の透磁率の劣化
または磁気コア半体中を流れる磁束の流れの関係等から
総合的に定められるものである。

【００１０】次に、前述のようにバルク型ヘッドの他の
種類として磁性フェライトと金属磁性薄膜とを複合した
磁気ヘッドについて説明する。図１４はこの種の磁気ヘ
ッド１４０を示すものであって、図中金属磁性薄膜１４
７は巻線窓１４３を取り囲むように一つのループを形成
していてこの部分が磁気ヘッド中の主な磁束流１４５を
通す部分となるのである。金属磁性薄膜１４７はコの字
状に形成された単結晶フェライトまたは多結晶フェライ
トや場合によっては非磁性材料に蒸着やスパッタ等によ
って薄膜状に形成されるものである。この種の磁気ヘッ
ドの基本動作は前述のようにバルク型の単結晶フェライ
ト単独または多結晶フェライト単独で作られたものと同
一である。

【００１１】即ちコイル１４６によって磁束が誘起さ
れ、その磁束が巻線窓１４３を取り囲むように流れ、そ
の磁束が作動磁気ギャップ１４４ａの部分で外部に漏れ
て図示しない媒体に対して記録磁化を書き込むこととな
る。作動磁気ギャップ１４４ａに対して、下方部分には
後部磁気ギャップ１４４ｂが設けられており、この部分
は磁気抵抗を小さくするために比較的大面積が取られて
いる。また、磁気記録媒体に書き込まれた信号を再生す
る場合には磁気記録媒体の磁化から発生する磁束を磁気
ヘッドの磁気コア内に呼び込み巻線窓１４３を取り囲む
ように閉ループの磁束流１４５を形成してその磁束の変
動によりコイル１４６に電圧を発生させて信号として読
み取るのである。

【００１２】ここで前述の場合と同様にこの種の磁気ヘ
ッドの製造方法について簡単に考察してみる。図１５に
示すのはこの種の磁気ヘッドの製造方法の概念図を簡単
に示したものである。先ず、（ａ）に示すように一対の
ブロック１５１、１５１を用意し、（ｂ）に示すよう
に、これに巻線窓となる溝１５３ａを加工し、磁気コア
半体１５１ａを形成し、溝１５３ａが形成された面に向
かって金属磁性材料をスパッタや蒸着等によって薄膜１
５７を形成する。このようにして金属磁性材料が薄膜形
成された面どうしを対向させ、磁気ギャップ材料１５８
を狭持して両磁気コア半体１５１ａ、１５１ａを接合
し、作動磁気ギャップ１５４ａとなる部分を研磨して適
当な作動磁気ギャップ１５４ａを実現し、巻き線となる
コイル１５６を形成して磁気ヘッド１５０が完成する。
ここで特に注目しなければならないのは巻線窓１５３と
なる溝１５３ａが形成されたコの字状コア半体１５１ａ
に金属磁性材料の薄膜１５７をスパッタする部分であ
る。

【００１３】この部分について図１６を示しながら説明
する。即ち図１６（ａ）に示すように基板１６１に対し
てターゲット１６９がほぼ平行になるような状態、即ち
基板１６１に対してターゲット１６９から入射する粒子
の方向がほぼ方線方向になる場合にはその基板１６１に
形成される金属磁性薄膜１６３ａは面内方向に高い透磁
率を持ち、磁気ヘッドのコア材料として最適なものとな
る。しかしながら同図（ｂ）に示すように基板１６１を
傾けてこの面にターゲット１６９から金属磁性薄膜粒子
を入射させる場合には所謂斜め蒸着の形となってこの基
板１６１に形成される金属薄膜１６３ｂの面内方向の透
磁率は図（ａ）に示すものと比べて悪いものとなってし
まう。従って従来ではコの字状に形成された巻線窓とな
る溝の部分にどのような薄膜を形成するかは全体として
最適な値となるように磁性薄膜の磁気特性が落とす部分
を認めつつ、良い部分とのトレードオフによって決めて
いたのである。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】前述のように従来の磁
気ヘッドにおいては、巻線窓を取り囲むように磁束が流
れ、且つ、その巻線窓の両側に対向して形成される磁気
コア半体の磁気特性は例えば単結晶フェライトからなる
場合には全ての部分で同一方向であって、流れる磁束流
に対して、磁気抵抗が小さくなる部分とそうでない部分
とが共存するような状態となっている。例えば前述のよ
うに、図１３に示すＶＨＳ方式やβ方式の場合には＜１
１０＞軸方位がそれぞれ異なるように設計されているが
これは各方式に最も適した＜１１０＞軸方位を磁気特性
の磁気抵抗の悪い部分と良い部分のトレードオフを考慮
して決めたものである。従って、必ずしも磁束流が生じ
る磁気コア内の全ての部分において磁束流に対する磁気
コアの特性が最善のものとなっていないので、最善のも
のとなっている理想の磁気ヘッドと比べればその磁気ヘ
ッドの磁気効率が劣化しているという問題点を生じてい
る。

【００１５】また、図１４等に示すように所謂金属磁性
薄膜を磁気コアとして利用している磁気ヘッドの場合に
おいては図１６に示すように基板に対する金属磁性薄膜
粒子の入射方向が良い部分と悪い部分とが分布している
ので前述と同様に必ずしもこの金属磁性薄膜全体が磁束
流に対して良い方向に成膜されているわけではなく、こ
の種の磁気ヘッドについても結局は磁気特性の良い部分
と悪い部分とのトレードオフによってもっとも良い磁気
特性を実現するような方向で金属磁性薄膜材料がスパッ
タまたは蒸着形成されている。従って理想的な磁気ヘッ
ドである全ての磁束流の方向に対して金属磁性薄膜の磁
気特性を良い方向に整えた架空の磁気ヘッドと比べれば
その磁気効率は悪いものとなっていて、現在、益々高密
度化且つ高速化する磁気記録装置の要求に答えることが
困難となりつつあるのである。

【００１６】この種の金属磁性薄膜を用いた磁気ヘッド
の金属磁性薄膜の良い部分と悪い部分について、さらに
詳しく示したのが図１７である。図１７（ａ）の場合に
は磁気ギャップ対向面１７１に対してほぼ方線方向から
金属磁性薄膜粒子を入射させている場合を示すものであ
るが、〇で示す良い膜の部分はそれに対して一部金属磁
性薄膜の磁気ギャップ対向面１７１ないしは巻線窓とな
る溝１７２ａの磁気ギャップ対向方向のみに限られてお
り、所謂エーペックスの部分１７３や巻線窓の下の部分
１７４は×で示すように磁束流に対しては金属磁性薄膜
は悪い部分となっている。

【００１７】一方、同図（ｂ）に示すようにエーペック
スの部分１７３を最も重視してこの部分で金属磁性薄膜
材料の特性の良いものを得ようとすれば、コの字状磁気
コア半体を傾斜させてターゲット１７９から金属薄膜粒
子を入射させるのがよいが、この場合には所謂磁気ギャ
ップ対向面１７１やその他の部分の金属磁性薄膜の磁気
特性が磁束流方向に対しては悪いこととなって結局金属
磁性薄膜の全域でその特性を良好にすることは困難であ
る。さらに付け加えると図１８に示すように金属磁性薄
膜１８３の膜厚に一定のバラツキを生じる。即ち金属磁
性薄膜１８３をコの字状コア半体１８２に対して一括し
て着けるようにすれば図に示すようにターゲット１８９
となす角度で膜厚の厚い部分１８３ａと薄い部分１８３
ｂとが生じて厚い部分１８３ａでは磁気抵抗が比較的小
さくて済むものの、薄い部分１８３ｂでは磁気抵抗が高
くなって妥当でない。

【００１８】このようにこの種の金属磁性薄膜を磁気コ
アの材料として用いる磁気ヘッドであっても全ての面に
おいて全ての磁束流が流れる金属磁性薄膜材料部分にお
いてその磁気特性を良好にすることはできないので、近
年の高密度化高速化する磁気記録再生装置への要求に答
えることが困難となってきているのである。そこで本発
明はこれらの問題を解決すべく、磁気ヘッドの磁束流方
向に対して単結晶フェライトの結晶方位ないしは金属磁
性薄膜を磁気コアとして用いる磁気ヘッドの成膜方向方
位を最適化するような磁気ヘッドを提供するものであ
る。

【００１９】

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために、単結晶フェライトからなるコの字状磁気コ
ア半体を他の磁気コア半体と磁気ギャップを挟んで対向
してなる磁気ヘッドであって、前記コの字状磁気コア半
体は、複数の磁気コア部分を接合してなり、各磁気コア
部分の結晶方位は、磁気ヘッドの磁束流方向に対して最
適化してなる磁気ヘッドを提供する。また、前記磁気コ
ア部分は、作動磁気ギャップを挟持する上部磁気コア部
分と、後部磁気ギャップを挟持する下部磁気コア部分
と、前記上部磁気コア部分と下部磁気コア部分とをつな
ぐ中間磁気コア部分である磁気ヘッドを提供する。ま
た、前記各磁気コアの結晶方位は、前記上部磁気コア部
分と前記下部磁気コア部分とが、作動磁気ギャップ面の
略法線方向に＜１１０＞軸を配し、前記中間磁気コア部
分が前記上部磁気コア部分から前記下部磁気コア部分へ
向かう方向に＜１１０＞軸を配した方位である磁気ヘッ
ドを提供する。

【００２０】また、金属磁性薄膜材料を用いたコの字状
磁気コア半体を他の磁気コア半体と磁気ギャップを挟ん
で対向してなる磁気ヘッドであって、前記コの字状磁気
コア半体は、複数の磁気コア部分を接合してなり、各磁
気コア部分の金属磁性薄膜材料は、磁気ヘッドの磁束流
方向が透磁率が高い方向となるように配された磁気ヘッ
ドを提供する。また、前記磁気コア部分は、作動磁気ギ
ャップを挟持する上部磁気コア部分と、後部磁気ギャッ
プを挟持する下部磁気コア部分と、前記上部磁気コア部
分と下部磁気コア部分とをつなぐ中間磁気コア部分であ
る磁気ヘッドを提供する。また、前記各磁気コア部分の
金属磁性薄膜成膜時の粒子入射方向は、前記上部磁気コ
ア部分、前記下部磁気コア部分及び前記中間磁気コア部
分のいずれもが、磁気ヘッドの磁束流方向の略法線方向
である磁気ヘッドを提供する。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を図
面を参照しながら請求項毎に説明する。請求項１記載の
発明は前述のように、単結晶フェライトからなるコの字
状磁気コア半体を他の磁気コア半体と磁気ギャップを挟
んで対向してなる磁気ヘッドであって、前記コの字状磁
気コア半体は、複数の磁気コア部分を接合してなり、各
磁気コア部分の結晶方位は、磁気ヘッドの磁束流方向に
対して最適化してなる磁気ヘッドを提供するものであ
る。

【００２２】請求項１記載の発明を具体的に図をもって
示したのが図１である。図１に示すように磁気コア半体
１２はＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅの各磁気コア部分を結合して
なるものであって、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅのそれぞれに磁
束流１５に対して最適の結晶方位を設定することが可能
となる。このようにすれば巻線窓１３を取り囲むように
生じる磁束流１５に対して各磁気コア部分で最適の結晶
方位を実現できるで理想に近い磁気ヘッド１１を実現で
き、磁気コアの磁気抵抗を極めて小さくできるので高記
録密度や高速化する磁気記録装置の要求にたいしても十
分答えることが可能となるのである。

【００２３】次に請求項２記載の発明について説明す
る。請求項２記載の発明は前述のように前記磁気コア部
分は、作動磁気ギャップ１６ａを挟持する上部磁気コア
部分Ａ、Ｂと、後部磁気ギャップ１６ｂを挟持する下部
磁気コア部分Ｄ、Ｅと、前記上部磁気コア部分Ａ、Ｂと
下部磁気コア部分Ｄ、Ｅとをつなぐ中間磁気コア部分Ｃ
である請求項１記載の磁気ヘッド１１を提供するもので
ある。請求項２記載の発明は、言わば請求項１記載の発
明を最も単純化した形でその性能を引き出すことができ
る磁気ヘッドを提供するものであって、請求項１記載の
発明においては図１に示すようにＡからＥの磁気コア部
分をもって磁気コア半体を形成していたのであるが、こ
れを最も単純化し、図２に示すように上部磁気コア部分
２２ａ下部磁気コア部分２２ｂ及び中間磁気コア部分２
２ｃに分けて磁気コア半体２２を形成したものである。

【００２４】このようにするのは巻線窓２３を取り囲む
ように生じる磁束流２５の方向が大きく分けて上部コア
部分２２ａ下部コア部分２２ｂ及び中間磁気コア部分２
２ｃで３つに分けることができるので磁気コア半体２２
もこのように大きく３つの部分に分けて構成するのが最
も容易で且つ確実だからである。このように上部磁気コ
ア部分２２ａ下部磁気コア部分２２ｂ及び両者をつなぐ
中間磁気コア部分２２ｃの構成例としては図２（ａ）に
示すようなものの他図２（ｂ）に示すような形であって
もよいのは言うまでもない。また、ここでこれらの上部
磁気コア部分２２ａ、下部磁気コア部分２２ｂ及び中間
磁気コア部分２２ｃで実現すべき結晶方位はその磁気ヘ
ッドの特性や生じる残留応力又はテープ媒体なのかハー
ドディスクのような浮上型の磁気記録装置であるかによ
って異なるが、図３に示すような形で最適化することが
できる。

【００２５】図３に示したのは図１のＡからＥまでの各
種の結晶方位を上部磁気コア部分３２ａ下部磁気コア部
分３２ｂ中間磁気コア部分３２ｃに実現できるようにし
たものであって、特に上部磁気コア部分３２ａと下部磁
気コア部分３２ｂとを同一の方向とすることによってそ
の製造を非常に簡潔にすることが可能である。これを示
すのが図４である。図４は請求項２に記載されるような
上部磁気コア部分４２ａ下部磁気コア部分４２ｂ及び中
間磁気コア部分４２ｃを有する磁気ヘッドの製造方法で
あって、上部磁気コア部分４２ａと下部磁気コア部分４
２ｂとの結晶方位が特に同一方向に設定されている場合
の製造方法を示すものである。

【００２６】同図（ａ）に示すように中間磁気コア部分
となる磁気コアブロック４２にガラス溝４３を形成し、
また、上部磁気コア部分及び下部磁気コア部分となる磁
気コアブロック４４をその側に配して同図（ｂ）に示す
ように両者を溝に配置したガラス４５を用いて接合一体
化し、上部磁気コア部分及び下部磁気コア部分をつなぐ
単結晶フェライト部分を一点鎖線の部分から削除して必
要に応じてエーペックス斜面を形成し、各磁気コア半体
毎に切断して磁気コア半体４０を得ることができる。こ
のように上部磁気コア部分４２ａと下部磁気コア部分４
２ｂとの結晶方位が同一方向に揃っている場合には極め
て簡単な方法でこの種の磁気ヘッドを実現することがで
きるので磁気記録装置全体の要求特性からみて許容され
る場合にはこのように磁気コア半体の単結晶フェライト
の結晶方位を揃えるのがよいであろう。

【００２７】次に請求項３記載の発明について説明す
る。請求項３記載の発明は前述のように、前記各磁気コ
アの結晶方位は、前記上部磁気コア部分と前記下部磁気
コア部分とが、作動磁気ギャップ面の略法線方向に＜１
１０＞軸を配し、前記中間磁気コア部分が前記上部磁気
コア部分から前記下部磁気コア部分へ向かう方向に＜１
１０＞軸を配した方位である請求項２記載の磁気ヘッド
を提供するものである。前述のように請求項２記載の発
明において、この種の磁気ヘッドを最も容易且つ確実に
簡単に製造するためには上部磁気コア部分と下部磁気コ
ア部分とを結晶方位を揃えることを推奨した。

【００２８】請求項３記載の発明はこの種の磁気ヘッド
の一つの具体例であって、図５に示すように上部磁気コ
ア部分５２ａと下部磁気コア部分５２ｂとはその結晶方
位のうち、＜１１０＞軸方向を同一方位とし、中間磁気
コア部分５２ｃはこれに対して略直角方向となる向き即
ち、＜１１０＞軸が上部磁気コア部分５２ａから下部磁
気コア部分５２ｂに向かう方向に設定されている磁気ヘ
ッドである。＜１１０＞軸をこの方向に設定することに
よって巻線窓５３を取り囲むように閉じたループを作る
磁束流５５に対してその磁気抵抗を最も小さく設定する
ことができ、且つ製造方法も前述のように極めて容易且
つ簡単、確実であるので、確実簡単な工程によって高性
能な磁気ヘッドを実現することができるというメリット
がある。なお、この磁気方位は必ずしもこの方向だけで
はなく装置等によって最適な軸方位を設定すればよいの
は前述したとおりである。

【００２９】次に請求項４記載の発明について説明す
る。請求項４記載の発明は前述のように、金属磁性薄膜
材料を用いたコの字状磁気コア半体を他の磁気コア半体
と磁気ギャップを挟んで対向してなる磁気ヘッドであっ
て、前記コの字状磁気コア半体は、複数の磁気コア部分
を接合してなり、各磁気コア部分の金属磁性薄膜材料
は、磁気ヘッドの磁束流方向が透磁率が高い方向となる
ように配された磁気ヘッドを提供するものである。この
種の磁気ヘッドを具体的に図をもって示したのが図６で
ある。図６に示すようにコの字状の磁気コア半体を一対
対向接合することによって巻線窓６３を取り囲むように
金属磁性薄膜Ａｆ〜Ｅｆによる閉じたループが形成さ
れ、前述のように磁束流はこの閉じた金属磁性薄膜内を
主に通る形で閉ループを作る流れを実現する。

【００３０】この金属磁性薄膜を形成する磁気コア部分
をＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅと分け、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ毎に
この金属磁性薄膜の成膜を最適化することにより、理想
に近い磁気ヘッドを実現することができるのである。こ
こで最適というのは、従来技術でも説明したように図１
６（ａ）に示すような方向で金属磁性薄膜を形成するこ
とを意味する。基板に対して垂直方向に金属磁性薄膜粒
子を入射させることによって基板上に形成される金属磁
性薄膜の面内方向を磁束が流れる場合に最も磁気抵抗が
小さい金属磁性薄膜を実現することができるのである。
したがって図６に示すＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅの各金属磁性
薄膜Ａｆ、Ｂｆ、Ｃｆ、Ｄｆ、Ｅｆはこのような成膜方
法によってそれぞれ成膜されるのがよい。

【００３１】次に請求項４記載の磁気ヘッドをどのよう
に製造するかについて具体的に概念図でもって示したの
が図７である。図７に示すようにＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、各コ
ア部分は金属磁性薄膜ターゲット７９の入射粒子がほぼ
金属磁性薄膜形成面に対して垂直方向即ち方線方向に入
射するように形成するのがよい。

【００３２】次に請求項５記載の発明について説明す
る。請求項５記載の発明は前述のように、前記磁気コア
部分は、作動磁気ギャップを挟持する上部磁気コア部分
と、後部磁気ギャップを挟持する下部磁気コア部分と、
前記上部磁気コア部分と下部磁気コア部分とをつなぐ中
間磁気コア部分である請求項４記載の磁気ヘッドであ
る。請求項１から３に記載の磁気ヘッドについての発明
についての説明した場合と同様に、この種の磁気ヘッド
を最も簡易且つ確実に製造するには上部磁気コア部分と
下部磁気コア部分及び中間磁気コア部分の３つの部分に
分けてそれぞれ最適化した金属磁性薄膜を成膜するのが
よい。

【００３３】これは前述のように上部磁気コア部分下部
磁気コア部分及び中間磁気コア部分で磁束流の流れる方
向が大きく３つの方向に分けて考えることができるから
である。これを図をもって示したのが図８（ａ）に示す
ものであって、上部磁気コア部分８２ａ下部磁気コア部
分８２ｂ及び中間磁気コア部分８２ｃの３つに対し、同
図（ｂ）に示すように、ほぼ金属磁性薄膜形成面の方線
方向から金属磁性薄膜粒子を入射して金属磁性薄膜８２
ａｆ、８２ｂｆ、８２ｃｆを形成している。このような
金属磁性薄膜の形成と磁束流との方向の関係について示
すのが図９である。請求項６記載の発明と合わせて説明
する。請求項６記載の発明は、前記各磁気コア部分の金
属磁性薄膜成膜時の粒子入射方向は、前記上部磁気コア
部分、前記下部磁気コア部分及び前記中間磁気コア部分
のいずれもが、磁気ヘッドの磁束流方向の略法線方向で
ある請求項５記載の磁気ヘッドを提供するものである。

【００３４】前述のようにターゲットから基板に対して
金属磁性薄膜粒子を入射させる方法は金属磁性薄膜形成
面に対して方線方向であるのが好ましいことを述べたが
この方向が好ましいのはその基板上に形成される磁性薄
膜の面内方向が磁束流に対して最も低抵抗の特性を示す
からである。従ってこの金属磁性薄膜粒子の入射方向が
磁気コア半体に形成される磁束方位と関連づけて設定さ
れなければならない。ここでその磁束流の方向を図をも
って示したのが図９である。図９で点線で示すようにこ
の磁気コア半体９２に流れる磁束流９５は巻線窓９３を
取り囲むようにその金属磁性薄膜９２ａｆ、９２ｂｆ、
９２ｃｆに沿って閉ループを作って流れる。そして、こ
の閉ループの方向は実は前述のように金属磁性薄膜が形
成される面に沿って流れるのである。

【００３５】このような構成を実現できるのは前述のよ
うに、この磁気コア半体の形成を上部磁気コア部分下部
磁気コア部分及び中間磁気コア部分に分けてそれぞれの
巻線窓形成面側に金属磁性薄膜粒子を入射させて形成し
たものであるからである。ここで粒子入射方向と磁束流
の方向とを関連づけて合わせて考えると磁束流の形成さ
れる方向に対して粒子入射方向はほぼ直角の方向で形成
される結果となる。即ち、このように磁束流が形成され
るであろう方向に対して金属磁性粒子を直角方向に入射
させることによってそれぞれの磁気コア部分で最適の最
低の磁気抵抗等を実現できるから理想の磁気ヘッドに近
付けることができるのである。

【００３６】

【発明の効果】以上のように本発明においては、磁気コ
ア半体を複数の磁気コア部分に分けてそれぞれの部分で
磁束流に対して最適な磁気コアとなるように設定したの
で全体としてみた場合のみならず各部分部分が実現し得
る最低の磁気抵抗となっているのでトレードオフの問題
を考えることなく、磁気抵抗最小の磁気ヘッドを実現す
ることができ、従来のものに比べて極めて高い磁気効率
を実現する磁気ヘッドを提供したのである。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の磁気ヘッドの磁気コアを磁束流に沿
って区分した正面図

【図２】 図１のコア半体の区分を大きく３つに分けた
場合の正面図

【図３】 図２のコア半体の区分を夫々結晶方位で表し
た場合の正面図

【図４】 図３の磁気コア半体を製造する工程を示す側
面図

【図５】 図４の工程によって製造された磁気ヘッドの
結晶方位を表す正面図

【図６】 基板に被着した金属磁性薄膜の透磁率が磁気
ヘッドの磁束流方向に対して高い方向となるように配さ
れた磁気ヘッドの正面図

【図７】 磁気コア半体を構成する各部分に被着する金
属磁性薄膜の形成方向を示す概念図

【図８】 基板を３つに分けて金属磁性薄膜を被着する
様子を示す概念図

【図９】 図８で被着された金属磁性薄膜と磁束流の関
係を示すコア半体の正面図

【図１０】 コの字状コアを２個用いた従来のバルク型
磁気ヘッドの正面図

【図１１】 コの字状コアとＩ字状コアを用いたバルク
型磁気ヘッドの正面図

【図１２】 バルク型磁気ヘッドのコアの加工工程と結
晶方位を示す図

【図１３】 ＶＣＲの各方式に採用されている結晶方位
を示す磁気ヘッドの正面図

【図１４】 磁性フェライトと金属磁性薄膜を複合した
磁気ヘッドの正面図

【図１５】 複合ヘッドの製造工程の概念図を示す図

【図１６】 基板と金属磁性薄膜のターゲットとの角度
による透磁率の関係を示す概念図

【図１７】 基板とターゲットの角度による、被着され
た金属磁性薄膜の特性の善し悪しの関係を示す図

【図１８】 基板形状による被着される金属磁性薄膜の
膜厚の関係を示す図

【符号の説明】

１１ 磁気ヘッド １２、２２、４０ コの字状磁気コア半体 Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ 磁気コア １６ 磁気ギャップ １６ａ、２６ａ、３６ａ、５６ａ、６６ａ 作動磁気ギ
ャップ １６ｂ、２６ｂ、３６ｂ、５６ｂ、６６ｂ 後部磁気ギ
ャップ Ａ、Ｂ、２２ａ、３２ａ、４２ａ、５２ａ、８２ａ、９
２ａ 上部磁気コア部分 Ｄ、Ｅ、２２ｂ、３２ｂ、４２ｂ、５２ｂ、８２ｂ、９
２ｂ 下部磁気コア部分 Ｃ、２２ｃ、３２ｃ、４２ｃ、５２ｃ、８２ｃ、９２ｃ
中間磁気コア部分 １５、２５、５５、９５ 磁束流 Ａｆ、Ｂｆ、Ｃｆ、Ｄｆ、Ｅｆ ８２ａｆ、８２ｂｆ、
８２ｃｆ、９２ａｆ、９２ｂｆ、９２ｃｆ 金属磁性薄
膜

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】単結晶フェライトからなるコの字状磁気コ
   ア半体を他の磁気コア半体と磁気ギャップを挟んで対向
   してなる磁気ヘッドであって、前記コの字状磁気コア半
   体は、複数の磁気コア部分を接合してなり、各磁気コア
   部分の結晶方位は、磁気ヘッドの磁束流方向に対して最
   適化してなる磁気ヘッド。
2. 【請求項２】前記磁気コア部分は、作動磁気ギャップを
   挟持する上部磁気コア部分と、後部磁気ギャップを挟持
   する下部磁気コア部分と、前記上部磁気コア部分と下部
   磁気コア部分とをつなぐ中間磁気コア部分である請求項
   １記載の磁気ヘッド。
3. 【請求項３】前記各磁気コアの結晶方位は、前記上部磁
   気コア部分と前記下部磁気コア部分とが、作動磁気ギャ
   ップ面の略法線方向に＜１１０＞軸を配し、前記中間磁
   気コア部分が前記上部磁気コア部分から前記下部磁気コ
   ア部分へ向かう方向に＜１１０＞軸を配した方位である
   請求項２記載の磁気ヘッド。
4. 【請求項４】金属磁性薄膜材料を用いたコの字状磁気コ
   ア半体を他の磁気コア半体と磁気ギャップを挟んで対向
   してなる磁気ヘッドであって、前記コの字状磁気コア半
   体は、複数の磁気コア部分を接合してなり、各磁気コア
   部分の金属磁性薄膜材料は、磁気ヘッドの磁束流方向が
   透磁率が高い方向となるように配された磁気ヘッド。
5. 【請求項５】前記磁気コア部分は、作動磁気ギャップを
   挟持する上部磁気コア部分と、後部磁気ギャップを挟持
   する下部磁気コア部分と、前記上部磁気コア部分と下部
   磁気コア部分とをつなぐ中間磁気コア部分である請求項
   ４記載の磁気ヘッド。
6. 【請求項６】前記各磁気コア部分の金属磁性薄膜成膜時
   の粒子入射方向は、前記上部磁気コア部分、前記下部磁
   気コア部分及び前記中間磁気コア部分のいずれもが、磁
   気ヘッドの磁束流方向の略法線方向である請求項５記載
   の磁気ヘッド。