JPH1158197A - 光学素子の形状測定方法および製造方法 - Google Patents
光学素子の形状測定方法および製造方法Info
- Publication number
- JPH1158197A JPH1158197A JP9228139A JP22813997A JPH1158197A JP H1158197 A JPH1158197 A JP H1158197A JP 9228139 A JP9228139 A JP 9228139A JP 22813997 A JP22813997 A JP 22813997A JP H1158197 A JPH1158197 A JP H1158197A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holder
- optical element
- optical
- shape
- lens
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- Pending
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- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】光学装置搭載時に生じるレンズの面変形を抑え
て光学装置の光学性能を向上させる光学素子の形状測定
方法および製造方法を提供する。 【解決手段】光学装置に搭載されるホルダーと同一の保
持構造を有する測定用ホルダー110に光学素子をセッ
トして、この光学素子の形状測定を行う第一のステップ
と、光学装置に搭載されるホルダーと同一の保持構造を
有する加工用ホルダー120に光学素子をセットして、
この光学素子を加工する第二のステップを有することを
特徴とする光学素子の製造方法。
て光学装置の光学性能を向上させる光学素子の形状測定
方法および製造方法を提供する。 【解決手段】光学装置に搭載されるホルダーと同一の保
持構造を有する測定用ホルダー110に光学素子をセッ
トして、この光学素子の形状測定を行う第一のステップ
と、光学装置に搭載されるホルダーと同一の保持構造を
有する加工用ホルダー120に光学素子をセットして、
この光学素子を加工する第二のステップを有することを
特徴とする光学素子の製造方法。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光学素子の形状測
定方法および製造方法に関する。
定方法および製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】レンズ等の光学素子を光学装置に装着す
る場合、通常、光学装置にホルダーを取り付け、そのホ
ルダーに光学素子をセットする。
る場合、通常、光学装置にホルダーを取り付け、そのホ
ルダーに光学素子をセットする。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来で
は、測定(または加工)用ホルダーに光学素子をセット
して形状測定や加工作業を行なったのち、完成した光学
素子をいざ光学装置のホルダーにセットしようとする
と、その保持条件が異なってしまい、所望の光学性能が
得られないという問題があった。
は、測定(または加工)用ホルダーに光学素子をセット
して形状測定や加工作業を行なったのち、完成した光学
素子をいざ光学装置のホルダーにセットしようとする
と、その保持条件が異なってしまい、所望の光学性能が
得られないという問題があった。
【0004】このような問題点に鑑み、本発明の目的
は、大掛かりな装置を用いることなく、光学装置の光学
性能を向上させることができる光学素子の形状測定方法
および製造方法を提供することにある。
は、大掛かりな装置を用いることなく、光学装置の光学
性能を向上させることができる光学素子の形状測定方法
および製造方法を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の一態様によれば、光学装置に搭載されるホル
ダーと同一の保持構造をもつホルダーに光学素子をセッ
トして、この光学素子の形状測定を行なうことを特徴と
する光学素子の形状測定方法が提供される。
の本発明の一態様によれば、光学装置に搭載されるホル
ダーと同一の保持構造をもつホルダーに光学素子をセッ
トして、この光学素子の形状測定を行なうことを特徴と
する光学素子の形状測定方法が提供される。
【0006】また、上記目的を達成するための本発明の
その他の態様によれば、光学装置に搭載されるホルダー
と同一の保持構造をもつ測定用ホルダーに光学素子をセ
ットして、この光学素子の形状測定を行う第一のステッ
プと、光学装置に搭載されるホルダーと同一の保持構造
をもつ加工用ホルダーに前記光学素子をセットして、こ
の光学素子を加工する第二のステップを有することを特
徴とする光学素子の製造方法が提供される。
その他の態様によれば、光学装置に搭載されるホルダー
と同一の保持構造をもつ測定用ホルダーに光学素子をセ
ットして、この光学素子の形状測定を行う第一のステッ
プと、光学装置に搭載されるホルダーと同一の保持構造
をもつ加工用ホルダーに前記光学素子をセットして、こ
の光学素子を加工する第二のステップを有することを特
徴とする光学素子の製造方法が提供される。
【0007】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態につい
て、図面を参照しながら説明する。
て、図面を参照しながら説明する。
【0008】図1は、本実施形態のホルダーにセットさ
れる光学素子(光学レンズ)の上面図である。この光学
レンズは、位置決め用に、その一端がフラットに形成さ
れている。図2は、本実施形態のホルダーの上面図、図
3は、光学レンズを保持した状態にあるホルダーの断面
図である。
れる光学素子(光学レンズ)の上面図である。この光学
レンズは、位置決め用に、その一端がフラットに形成さ
れている。図2は、本実施形態のホルダーの上面図、図
3は、光学レンズを保持した状態にあるホルダーの断面
図である。
【0009】図3に示すように、この円筒状のホルダー
100には、内側に2段の内径加工が施されており、内
向きのフランジ101が形成されている。フランジ10
1の上面には、図2に示すように、3つの支持球102
が等角度(120°間隔)で配置されており、光学レン
ズ10を3点支持できるようになっている。ホルダー1
00の上面には、位置決めユニット103がねじ止めさ
れている。光学レンズ10をホルダーにセットする場合
は、ねじ104を緩めて、あらかじめ位置決めユニット
103を外側に寄せておく。
100には、内側に2段の内径加工が施されており、内
向きのフランジ101が形成されている。フランジ10
1の上面には、図2に示すように、3つの支持球102
が等角度(120°間隔)で配置されており、光学レン
ズ10を3点支持できるようになっている。ホルダー1
00の上面には、位置決めユニット103がねじ止めさ
れている。光学レンズ10をホルダーにセットする場合
は、ねじ104を緩めて、あらかじめ位置決めユニット
103を外側に寄せておく。
【0010】ここで、比較のため、光学装置に搭載され
るホルダーの従来例を図8に示す。図8には、内側に2
段の内径加工が施された円筒状のホルダー1が示されて
いる。
るホルダーの従来例を図8に示す。図8には、内側に2
段の内径加工が施された円筒状のホルダー1が示されて
いる。
【0011】同図において、寸法aは、光学素子2の外
形寸法であり、寸法bは、寸法aよりも小さい値をと
る。
形寸法であり、寸法bは、寸法aよりも小さい値をと
る。
【0012】このホルダー1は、2段の内径加工が施さ
れている点で本実施形態のホルダーと一致するが、その
一方で、レンズがホルダー自体にべた当たりしてしまう
という問題がある。
れている点で本実施形態のホルダーと一致するが、その
一方で、レンズがホルダー自体にべた当たりしてしまう
という問題がある。
【0013】べた当たりとは、マクロ的視点で見ればレ
ンズがホルダーに輪帯状に支持されているものの、ミク
ロ的視点で見ればレンズがホルダーに数点で支持されて
いるような保持状態を意味する。
ンズがホルダーに輪帯状に支持されているものの、ミク
ロ的視点で見ればレンズがホルダーに数点で支持されて
いるような保持状態を意味する。
【0014】そして、このようなべた当たりによる保持
構造においては、毎回同じようにレンズをホルダーにセ
ットしたつもりでも、実際には、支持点が毎回異なるこ
とになる。
構造においては、毎回同じようにレンズをホルダーにセ
ットしたつもりでも、実際には、支持点が毎回異なるこ
とになる。
【0015】支持点が毎回異なれば、当然、支持点にお
ける自重変形量もその都度異なることになり、これで
は、測定装置や加工装置側の精度をいくら向上させても
無意味となる。
ける自重変形量もその都度異なることになり、これで
は、測定装置や加工装置側の精度をいくら向上させても
無意味となる。
【0016】そこで、本実施形態では、ホルダーに対す
るレンズの向きが常に一定になるよう、位置決めユニッ
ト103を設けると共に、レンズがべた当たりすること
の無いよう、3点支持構造を採用した。
るレンズの向きが常に一定になるよう、位置決めユニッ
ト103を設けると共に、レンズがべた当たりすること
の無いよう、3点支持構造を採用した。
【0017】このように構成すれば、ホルダーに対する
レンズの着脱を繰り返し行っても、毎回同一の支持状態
を再現することができるようになる。
レンズの着脱を繰り返し行っても、毎回同一の支持状態
を再現することができるようになる。
【0018】つぎに、本実施形態のホルダーの使用例を
図5を参照しながら説明する。使用する加工システム
は、図4に示す通りである。図4において、200は、
光学レンズの形状測定を実行する形状測定器、300
は、形状測定器200から送られた測定データに基づい
て研磨工具の移動経路(研磨パス)を決定する研磨パス
生成用コンピュータ、400は、研磨パス生成用コンピ
ュータ300から送られたNCデータに基づいて研磨を
実際に行なうNC研磨機であり、これらの機器は通信可
能に接続している。そして、本実施形態のホルダーは、
形状測定器200およびNC研磨機400のそれぞれに
搭載されている。ここで、形状測定器200に搭載され
ているホルダーはホルダー110とし、NC研磨機40
0に搭載されているホルダーはホルダー120とする。
また、図4に示したシステムにおいて、ホルダー11
0、120は、それぞれ、図示省略した光学装置のホル
ダーと同一の保持構造を有しているものとする。
図5を参照しながら説明する。使用する加工システム
は、図4に示す通りである。図4において、200は、
光学レンズの形状測定を実行する形状測定器、300
は、形状測定器200から送られた測定データに基づい
て研磨工具の移動経路(研磨パス)を決定する研磨パス
生成用コンピュータ、400は、研磨パス生成用コンピ
ュータ300から送られたNCデータに基づいて研磨を
実際に行なうNC研磨機であり、これらの機器は通信可
能に接続している。そして、本実施形態のホルダーは、
形状測定器200およびNC研磨機400のそれぞれに
搭載されている。ここで、形状測定器200に搭載され
ているホルダーはホルダー110とし、NC研磨機40
0に搭載されているホルダーはホルダー120とする。
また、図4に示したシステムにおいて、ホルダー11
0、120は、それぞれ、図示省略した光学装置のホル
ダーと同一の保持構造を有しているものとする。
【0019】図5のステップ501(S501)では、
目的の光学レンズを形状測定器200のホルダー110
に載せる。具体的には、光学レンズを3つの支持球10
2上に配置したのち、位置決めユニット103をレンズ
の平面部11(図1参照)に押し付け、その後、ねじ1
04を締め付けて、光学レンズをホルダー110に固定
する。
目的の光学レンズを形状測定器200のホルダー110
に載せる。具体的には、光学レンズを3つの支持球10
2上に配置したのち、位置決めユニット103をレンズ
の平面部11(図1参照)に押し付け、その後、ねじ1
04を締め付けて、光学レンズをホルダー110に固定
する。
【0020】S502では、形状測定器200を用い
て、ホルダー110上の光学レンズの形状測定を行な
う。ホルダー110は、前述したように、光学装置のホ
ルダーと同一の保持構造を有するものである。
て、ホルダー110上の光学レンズの形状測定を行な
う。ホルダー110は、前述したように、光学装置のホ
ルダーと同一の保持構造を有するものである。
【0021】S503では、形状測定器200の測定デ
ータが研磨パス生成用コンピュータ300に送られ、該
コンピュータ300にて、研磨パス情報が生成される。
この研磨パス情報は、NCデータとしてNC研磨機40
0に送られる。
ータが研磨パス生成用コンピュータ300に送られ、該
コンピュータ300にて、研磨パス情報が生成される。
この研磨パス情報は、NCデータとしてNC研磨機40
0に送られる。
【0022】S504では、形状測定器200のホルダ
ー110から光学レンズを取り外し、それをNC研磨機
400のホルダー120にセットする。ホルダー120
は、前述したように、光学装置のホルダーと同一の保持
構造を有するものである。その後、NC研磨機400で
は、送られたNCデータをもとに光学レンズの部分修正
研磨が実行される。
ー110から光学レンズを取り外し、それをNC研磨機
400のホルダー120にセットする。ホルダー120
は、前述したように、光学装置のホルダーと同一の保持
構造を有するものである。その後、NC研磨機400で
は、送られたNCデータをもとに光学レンズの部分修正
研磨が実行される。
【0023】S505では、NC研磨機400のホルダ
ー120から光学レンズを取り外して、それを形状測定
器200のホルダー110に戻し、形状測定を行なう。
ー120から光学レンズを取り外して、それを形状測定
器200のホルダー110に戻し、形状測定を行なう。
【0024】S506では、測定結果が研磨パス生成用
コンピュータ300に送られ、該コンピュータ300で
作成されたNCデータは、NC研磨機400に送られ
る。
コンピュータ300に送られ、該コンピュータ300で
作成されたNCデータは、NC研磨機400に送られ
る。
【0025】S504〜S506は、所望の光学素子形
状が得られるまで繰り返し実行される。なお、形状測定
器200のホルダー110に光学レンズが保持されてい
る際、光学レンズの自重により3つに支持点には集中荷
重が生じ、この部分は他の部位よりも比較的大きく変形
するが、その形状測定データをもとに部分修正研磨が実
行され、かつ、この部分修正研磨はホルダー110と同
一の保持構造をもつホルダー120上で実行されるた
め、光学レンズはホルダー上に存在するかぎり常に理想
形状を保つことができる。
状が得られるまで繰り返し実行される。なお、形状測定
器200のホルダー110に光学レンズが保持されてい
る際、光学レンズの自重により3つに支持点には集中荷
重が生じ、この部分は他の部位よりも比較的大きく変形
するが、その形状測定データをもとに部分修正研磨が実
行され、かつ、この部分修正研磨はホルダー110と同
一の保持構造をもつホルダー120上で実行されるた
め、光学レンズはホルダー上に存在するかぎり常に理想
形状を保つことができる。
【0026】S507では、図示省略した光学装置用の
ホルダーに光学レンズをセットし、S508にて、これ
らを光学装置に搭載する。
ホルダーに光学レンズをセットし、S508にて、これ
らを光学装置に搭載する。
【0027】以上が本実施形態のホルダーの使用例であ
るが、光学レンズをこのような方法で製造すれば、光学
装置に搭載される状態と同一の状態で形状測定や加工作
業を実施できるため、光学装置搭載時に生じるレンズの
面変形が無くなり、光学装置自体の光学性能が著しく向
上する。
るが、光学レンズをこのような方法で製造すれば、光学
装置に搭載される状態と同一の状態で形状測定や加工作
業を実施できるため、光学装置搭載時に生じるレンズの
面変形が無くなり、光学装置自体の光学性能が著しく向
上する。
【0028】つぎに、図6、図7を用いて、本発明のそ
の他の実施形態を説明する。
の他の実施形態を説明する。
【0029】図6は、本実施形態のホルダーの上面図、
図7は、光学レンズを保持した状態にあるホルダーの断
面図である。
図7は、光学レンズを保持した状態にあるホルダーの断
面図である。
【0030】本実施形態では、円環状の本体部分130
の上に3つの支持球102を120°間隔で置き、その
外側に3本の案内ピン131を設けている。位置決めユ
ニット103の構造については、前述した通りであり、
位置決めユニット103と、その正面に位置する案内ピ
ン102に挟まれてレンズが位置決めされる。
の上に3つの支持球102を120°間隔で置き、その
外側に3本の案内ピン131を設けている。位置決めユ
ニット103の構造については、前述した通りであり、
位置決めユニット103と、その正面に位置する案内ピ
ン102に挟まれてレンズが位置決めされる。
【0031】このように構成しても、ホルダーに対する
光学レンズの向きが常に一定になり、また、光学レンズ
がホルダーにべた当たりするようなことも無い。 な
お、支持球102の個数については、3個が最適である
が、必要があれば、4個以上設けても構わない。
光学レンズの向きが常に一定になり、また、光学レンズ
がホルダーにべた当たりするようなことも無い。 な
お、支持球102の個数については、3個が最適である
が、必要があれば、4個以上設けても構わない。
【0032】
【発明の効果】本発明によれば、光学装置に搭載される
ホルダーと同一の保持構造をもつホルダーに光学素子を
セットして、光学素子の形状測定や加工を行なうため、
光学装置搭載時に生じるレンズの面変形が無くなり、光
学装置自体の光学性能が著しく向上する。
ホルダーと同一の保持構造をもつホルダーに光学素子を
セットして、光学素子の形状測定や加工を行なうため、
光学装置搭載時に生じるレンズの面変形が無くなり、光
学装置自体の光学性能が著しく向上する。
【図1】本発明に係るホルダーの一実施形態にセットさ
れる光学レンズの上面図。
れる光学レンズの上面図。
【図2】本発明に係るホルダーの一実施形態の上面図。
【図3】本発明に係るホルダーの一実施形態の断面図。
【図4】本発明に係る加工システムの一実施形態の構成
図。
図。
【図5】本発明に係るホルダーの一実施形態を用いた光
学レンズの製造方法の一例を示したフローチャート。
学レンズの製造方法の一例を示したフローチャート。
【図6】本発明に係るホルダーのその他の実施形態の上
面図。
面図。
【図7】本発明に係るホルダーのその他の実施形態の断
面図。
面図。
【図8】従来のホルダーの断面図。
2、10:光学レンズ、11:平面部、1、100、1
10、120:ホルダー、101:フランジ、102:
支持球、103:位置決めユニット、104:ねじ、1
31:案内ピン、200:形状測定器、300:研磨パ
ス生成用コンピュータ、400:NC研磨機
10、120:ホルダー、101:フランジ、102:
支持球、103:位置決めユニット、104:ねじ、1
31:案内ピン、200:形状測定器、300:研磨パ
ス生成用コンピュータ、400:NC研磨機
Claims (5)
- 【請求項1】光学装置に搭載されるホルダーと同一の保
持構造を有するホルダーに光学素子をセットして、この
光学素子の形状測定を行なうことを特徴とする光学素子
の形状測定方法。 - 【請求項2】請求項1において、 前記保持構造は、前記光学素子を3点支持するための構
造と、前記ホルダーに対する光学素子の向きを定める構
造を有して構成されることを特徴とする形状測定方法。 - 【請求項3】光学装置に搭載されるホルダーと同一の保
持構造を有する測定用ホルダーに光学素子をセットし
て、この光学素子の形状測定を行う第一のステップと、 光学装置に搭載されるホルダーと同一の保持構造を有す
る加工用ホルダーに前記光学素子をセットして、この光
学素子を加工する第二のステップを有することを特徴と
する光学素子の製造方法。 - 【請求項4】請求項3において、 前記保持構造は、前記光学素子を3点支持するための構
造と、前記ホルダーに対する光学素子の向きを定める構
造を有して構成されることを特徴とする光学素子の製造
方法。 - 【請求項5】請求項3または4において、 前記第一のステップの形状測定によって得た測定結果に
基づいて、前記第二のステップの光学素子の加工を実行
することを特徴とする光学素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9228139A JPH1158197A (ja) | 1997-08-25 | 1997-08-25 | 光学素子の形状測定方法および製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9228139A JPH1158197A (ja) | 1997-08-25 | 1997-08-25 | 光学素子の形状測定方法および製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1158197A true JPH1158197A (ja) | 1999-03-02 |
Family
ID=16871837
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9228139A Pending JPH1158197A (ja) | 1997-08-25 | 1997-08-25 | 光学素子の形状測定方法および製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH1158197A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005014191A (ja) * | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Nikon Corp | 光学素子の研磨装置及び研磨方法、並びに光学素子 |
JP2017181807A (ja) * | 2016-03-30 | 2017-10-05 | 富士フイルム株式会社 | レンズ及びレンズの形状測定方法 |
-
1997
- 1997-08-25 JP JP9228139A patent/JPH1158197A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005014191A (ja) * | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Nikon Corp | 光学素子の研磨装置及び研磨方法、並びに光学素子 |
JP2017181807A (ja) * | 2016-03-30 | 2017-10-05 | 富士フイルム株式会社 | レンズ及びレンズの形状測定方法 |
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