JPH1152097A - 電子線照射装置 - Google Patents
電子線照射装置Info
- Publication number
- JPH1152097A JPH1152097A JP22724897A JP22724897A JPH1152097A JP H1152097 A JPH1152097 A JP H1152097A JP 22724897 A JP22724897 A JP 22724897A JP 22724897 A JP22724897 A JP 22724897A JP H1152097 A JPH1152097 A JP H1152097A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- tank
- voltage power
- barrier
- box
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- Pending
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- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 電子線の照射領域で発生したオゾンによっ
て、同じ箱体内に設けられている直流高圧電源のタンク
やケーブル接続タンクが腐食されるのを防止する。 【解決手段】 電子線８を被照射物１０に照射する照射
領域１２と直流高圧電源１４との間を、耐食性の高い材
料から成り空気の流通を阻止する障壁２２で分離した。
て、同じ箱体内に設けられている直流高圧電源のタンク
やケーブル接続タンクが腐食されるのを防止する。 【解決手段】 電子線８を被照射物１０に照射する照射
領域１２と直流高圧電源１４との間を、耐食性の高い材
料から成り空気の流通を阻止する障壁２２で分離した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、Ｘ線を遮蔽する
箱体内において、電子線加速器から引き出した電子線を
被照射物に照射して、当該被照射物に架橋、改質、殺菌
等の処理を施す電子線照射装置に関し、より具体的に
は、電子線の照射領域において発生するオゾンによって
直流高圧電源のタンク等が腐食するのを防止する手段の
改良に関する。
箱体内において、電子線加速器から引き出した電子線を
被照射物に照射して、当該被照射物に架橋、改質、殺菌
等の処理を施す電子線照射装置に関し、より具体的に
は、電子線の照射領域において発生するオゾンによって
直流高圧電源のタンク等が腐食するのを防止する手段の
改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の電子線照射装置の従来例を図４
に示す。この電子線照射装置は、いわゆるキュービクル
タイプと呼ばれるものであり、電子線８を発生し加速し
てそれを被照射物１０に照射する電子線加速器４と、こ
の電子線加速器４に電子線加速用の例えば１５０ｋＶ〜
３００ｋＶ程度の直流高電圧を供給する直流高圧電源１
４とを、Ｘ線を遮蔽する一つの箱体２内に収納した構造
をしている。
に示す。この電子線照射装置は、いわゆるキュービクル
タイプと呼ばれるものであり、電子線８を発生し加速し
てそれを被照射物１０に照射する電子線加速器４と、こ
の電子線加速器４に電子線加速用の例えば１５０ｋＶ〜
３００ｋＶ程度の直流高電圧を供給する直流高圧電源１
４とを、Ｘ線を遮蔽する一つの箱体２内に収納した構造
をしている。
【０００３】電子線加速器４は、金属製で筒状の真空容
器５を有しており、その内部で発生し加速した電子線８
を、照射窓６を通して外部の大気中へと引き出すもので
ある。この電子線８を被照射物１０に照射することによ
って、被照射物１０に例えば架橋、改質、殺菌等の処理
を施すことができる。
器５を有しており、その内部で発生し加速した電子線８
を、照射窓６を通して外部の大気中へと引き出すもので
ある。この電子線８を被照射物１０に照射することによ
って、被照射物１０に例えば架橋、改質、殺菌等の処理
を施すことができる。
【０００４】電子線８が被照射物１０に照射されるとそ
こからＸ線（制動Ｘ線）が発生するので、箱体２にはこ
のＸ線を遮蔽する機能を持たせている。そのために箱体
２は、鉛等のＸ線遮蔽材を備えている。
こからＸ線（制動Ｘ線）が発生するので、箱体２にはこ
のＸ線を遮蔽する機能を持たせている。そのために箱体
２は、鉛等のＸ線遮蔽材を備えている。
【０００５】直流高圧電源１４は、絶縁距離を短縮して
小型化を図るために、例えばＳＦ6ガス等の絶縁ガスが
充填された金属製のタンク１５に収納されている。
小型化を図るために、例えばＳＦ6ガス等の絶縁ガスが
充填された金属製のタンク１５に収納されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】電子線８を被照射物１
０に照射する照射領域１２では、加速された電子線８が
雰囲気中（即ち空気中）の酸素を活性化するので、オゾ
ンが発生する。このオゾンは、強い酸化作用を有するガ
スであり、金属すなわち電子線加速器４の真空容器５や
直流高圧電源１４のタンク１５を腐食させる。
０に照射する照射領域１２では、加速された電子線８が
雰囲気中（即ち空気中）の酸素を活性化するので、オゾ
ンが発生する。このオゾンは、強い酸化作用を有するガ
スであり、金属すなわち電子線加速器４の真空容器５や
直流高圧電源１４のタンク１５を腐食させる。
【０００７】この腐食を防ぐために、従来は、照射領域
１２に曝される機器に、即ちこの例では電子線加速器４
の真空容器５や直流高圧電源１４のタンク１５に、ステ
ンレス鋼等の耐食性の高い金属を使用していた。しかし
このような金属は、通常の鉄材に比べると高価であり、
しかも特に直流高圧電源１４のタンク１５は大型で使用
量が多いため、この直流高圧電源１４のタンク１５に耐
食性の高い金属を使用すると、タンク１５が高価にな
り、ひいては電子線加速装置全体が高価になるという課
題がある。
１２に曝される機器に、即ちこの例では電子線加速器４
の真空容器５や直流高圧電源１４のタンク１５に、ステ
ンレス鋼等の耐食性の高い金属を使用していた。しかし
このような金属は、通常の鉄材に比べると高価であり、
しかも特に直流高圧電源１４のタンク１５は大型で使用
量が多いため、この直流高圧電源１４のタンク１５に耐
食性の高い金属を使用すると、タンク１５が高価にな
り、ひいては電子線加速装置全体が高価になるという課
題がある。
【０００８】また、図５に示す従来例のように、直流高
圧電源１４を箱体２外に設け、この直流高圧電源１４と
電子線加速器４との間を直流高圧ケーブル１６で接続す
る場合もあるが、その場合、直流高圧ケーブル１６と電
子線加速器４との接続部の絶縁距離を短縮して小型化を
図るために、当該接続部を、例えばＳＦ6 ガス等の絶縁
ガスが充填された金属製のケーブル接続タンク１８で覆
っている。このケーブル接続タンク１８は、必要に応じ
て架台２０等によって支持される。
圧電源１４を箱体２外に設け、この直流高圧電源１４と
電子線加速器４との間を直流高圧ケーブル１６で接続す
る場合もあるが、その場合、直流高圧ケーブル１６と電
子線加速器４との接続部の絶縁距離を短縮して小型化を
図るために、当該接続部を、例えばＳＦ6 ガス等の絶縁
ガスが充填された金属製のケーブル接続タンク１８で覆
っている。このケーブル接続タンク１８は、必要に応じ
て架台２０等によって支持される。
【０００９】この例の場合も、照射領域１２で発生する
オゾンによる腐食を防ぐために、ケーブル接続タンク１
８にステンレス鋼等の耐食性の高い金属を使用する必要
があるので、図４の例と同様、ケーブル接続タンク１８
が高価になり、ひいては電子線照射装置全体が高価にな
るという課題がある。
オゾンによる腐食を防ぐために、ケーブル接続タンク１
８にステンレス鋼等の耐食性の高い金属を使用する必要
があるので、図４の例と同様、ケーブル接続タンク１８
が高価になり、ひいては電子線照射装置全体が高価にな
るという課題がある。
【００１０】そこでこの発明は、電子線の照射領域で発
生したオゾンによって、同じ箱体内に設けられている直
流高圧電源のタンクやケーブル接続タンクが腐食するの
を防止することを主たる目的とする。
生したオゾンによって、同じ箱体内に設けられている直
流高圧電源のタンクやケーブル接続タンクが腐食するの
を防止することを主たる目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この発明の電子線照射装
置は、電子線を被照射物に照射する照射領域と直流高圧
電源（請求項１）またはケーブル接続タンク（請求項
２）との間を、耐食性の高い材料から成り空気の流通を
阻止する障壁で分離したことを特徴としている。
置は、電子線を被照射物に照射する照射領域と直流高圧
電源（請求項１）またはケーブル接続タンク（請求項
２）との間を、耐食性の高い材料から成り空気の流通を
阻止する障壁で分離したことを特徴としている。
【００１２】上記構成によれば、電子線の照射領域で発
生したオゾンが、障壁によって阻止されて、直流高圧電
源やケーブル接続タンクに達しなくなるので、当該オゾ
ンによって直流高圧電源のタンクやケーブル接続タンク
が腐食するのを防止することができる。その結果、この
直流高圧電源のタンクやケーブル接続タンクに通常の鉄
材を使用することが可能になるので、それらの、ひいて
は電子線照射装置全体のコスト低減を図ることが可能に
なる。
生したオゾンが、障壁によって阻止されて、直流高圧電
源やケーブル接続タンクに達しなくなるので、当該オゾ
ンによって直流高圧電源のタンクやケーブル接続タンク
が腐食するのを防止することができる。その結果、この
直流高圧電源のタンクやケーブル接続タンクに通常の鉄
材を使用することが可能になるので、それらの、ひいて
は電子線照射装置全体のコスト低減を図ることが可能に
なる。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１は、この発明に係る電子線照
射装置の一例を示す断面図である。図４の従来例と同一
または相当する部分には同一符号を付し、以下において
は当該従来例との相違点を主に説明する。
射装置の一例を示す断面図である。図４の従来例と同一
または相当する部分には同一符号を付し、以下において
は当該従来例との相違点を主に説明する。
【００１４】この例では、前記箱体２内であって、電子
線８を被照射物１０に照射する照射領域１２と前記直流
高圧電源１４との間に、両者間での空気の流通を阻止す
る障壁２２を設け、この障壁２２によって、照射領域１
２と直流高圧電源１４との間を分離している。この障壁
２２は、例えばステンレス鋼等の耐食性の高い材料から
成る板である。電子線加速器４は、この例ではこの障壁
２２を貫通させている。
線８を被照射物１０に照射する照射領域１２と前記直流
高圧電源１４との間に、両者間での空気の流通を阻止す
る障壁２２を設け、この障壁２２によって、照射領域１
２と直流高圧電源１４との間を分離している。この障壁
２２は、例えばステンレス鋼等の耐食性の高い材料から
成る板である。電子線加速器４は、この例ではこの障壁
２２を貫通させている。
【００１５】この障壁２２と箱体２との接続部、即ち図
１中のＡ部の構造の例を図３に示す。箱体２の内周面に
フランジ部２６を設け、このフランジ部２６にシール
（密封）用のパッキン２８を介して障壁２２を取り付け
ている。障壁２２と電子線加速器４との接続部、即ち図
１中のＢ部についてもこれとほぼ同様の構造をしてお
り、パッキンを用いてシールしている。図２の例におい
ても同様である。
１中のＡ部の構造の例を図３に示す。箱体２の内周面に
フランジ部２６を設け、このフランジ部２６にシール
（密封）用のパッキン２８を介して障壁２２を取り付け
ている。障壁２２と電子線加速器４との接続部、即ち図
１中のＢ部についてもこれとほぼ同様の構造をしてお
り、パッキンを用いてシールしている。図２の例におい
ても同様である。
【００１６】上記構成によれば、照射領域１２で発生し
たオゾンが、障壁２２によって阻止されて、直流高圧電
源１４に達しなくなるので、当該オゾンによって直流高
圧電源１４のタンク１５が腐食するのを防止することが
できる。その結果、この直流高圧電源１４のタンク１５
に通常の鉄材を使用することが可能になるので、このタ
ンク１５の、ひいては電子線照射装置全体のコスト低減
を図ることが可能になる。
たオゾンが、障壁２２によって阻止されて、直流高圧電
源１４に達しなくなるので、当該オゾンによって直流高
圧電源１４のタンク１５が腐食するのを防止することが
できる。その結果、この直流高圧電源１４のタンク１５
に通常の鉄材を使用することが可能になるので、このタ
ンク１５の、ひいては電子線照射装置全体のコスト低減
を図ることが可能になる。
【００１７】ちなみに、障壁２２はステンレス鋼等の耐
食性の高い材料から成るけれども、それは薄くてしかも
単純な板材で良く、従ってこの障壁２２を設けても、大
型でしかも内部のガス圧に耐える強度を有するタンク１
５全体をステンレス鋼等の耐食性の高い材料で構成する
場合に比べて、十分に低コストになる。
食性の高い材料から成るけれども、それは薄くてしかも
単純な板材で良く、従ってこの障壁２２を設けても、大
型でしかも内部のガス圧に耐える強度を有するタンク１
５全体をステンレス鋼等の耐食性の高い材料で構成する
場合に比べて、十分に低コストになる。
【００１８】図２の例は、図５の従来例に対応するもの
であり、上記のような障壁２２によって、照射領域１２
とケーブル接続タンク１８との間を分離している。
であり、上記のような障壁２２によって、照射領域１２
とケーブル接続タンク１８との間を分離している。
【００１９】この例においても、照射領域１２で発生し
たオゾンが、障壁２２によって阻止されて、ケーブル接
続タンク１８に達しなくなるので、当該オゾンによって
ケーブル接続タンク１８が腐食するのを防止することが
できる。架台２０を設けている場合はその腐食をも防止
することができる。その結果、このケーブル接続タンク
１８や架台２０に通常の鉄材を使用することが可能にな
るので、それらの、ひいては電子線照射装置全体のコス
ト低減を図ることができる。
たオゾンが、障壁２２によって阻止されて、ケーブル接
続タンク１８に達しなくなるので、当該オゾンによって
ケーブル接続タンク１８が腐食するのを防止することが
できる。架台２０を設けている場合はその腐食をも防止
することができる。その結果、このケーブル接続タンク
１８や架台２０に通常の鉄材を使用することが可能にな
るので、それらの、ひいては電子線照射装置全体のコス
ト低減を図ることができる。
【００２０】なお、図１および図２いずれの例の場合
も、図示例のように、ブロワ２４等によって、障壁２２
で分離した照射領域１２側の局所排気を行うようにして
も良く、そのようにすれば、照射領域１２で発生したオ
ゾンを速やかに排出して当該オゾンが直流高圧電源１４
側やケーブル接続タンク１８側へ達するのをより完全に
防止することができるので、これらの腐食をより完全に
防止することができるようになる。
も、図示例のように、ブロワ２４等によって、障壁２２
で分離した照射領域１２側の局所排気を行うようにして
も良く、そのようにすれば、照射領域１２で発生したオ
ゾンを速やかに排出して当該オゾンが直流高圧電源１４
側やケーブル接続タンク１８側へ達するのをより完全に
防止することができるので、これらの腐食をより完全に
防止することができるようになる。
【００２１】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、電子線
の照射領域で発生したオゾンが、障壁によって阻止され
て、直流高圧電源やケーブル接続タンクに達しなくなる
ので、当該オゾンによって直流高圧電源のタンクやケー
ブル接続タンクが腐食するのを防止することができる。
その結果、この直流高圧電源のタンクやケーブル接続タ
ンクに通常の鉄材を使用することが可能になるので、そ
れらの、ひいては電子線照射装置全体のコスト低減を図
ることが可能になる。
の照射領域で発生したオゾンが、障壁によって阻止され
て、直流高圧電源やケーブル接続タンクに達しなくなる
ので、当該オゾンによって直流高圧電源のタンクやケー
ブル接続タンクが腐食するのを防止することができる。
その結果、この直流高圧電源のタンクやケーブル接続タ
ンクに通常の鉄材を使用することが可能になるので、そ
れらの、ひいては電子線照射装置全体のコスト低減を図
ることが可能になる。
【図１】この発明に係る電子線照射装置の一例を示す断
面図である。
面図である。
【図２】この発明に係る電子線照射装置の他の例を示す
断面図である。
断面図である。
【図３】図１および図２中のＡ部の構造の例を示す拡大
断面図である。
断面図である。
【図４】従来の電子線照射装置の一例を示す断面図であ
る。
る。
【図５】従来の電子線照射装置の他の例を示す断面図で
ある。
ある。
２ 箱体 ４ 電子線加速器 ８ 電子線 １０ 被照射物 １２ 照射領域 １４ 直流高圧電源 １６ 直流高圧ケーブル １８ ケーブル接続タンク ２２ 障壁
Claims (2)
- 【請求項１】 Ｘ線を遮蔽する箱体と、この箱体内に設
けられていて被照射物に電子線を照射する電子線加速器
と、前記箱体内に設けられていて電子線加速器に電子線
加速用の直流高電圧を供給するものであって金属製のタ
ンクに収納された直流高圧電源とを備える電子線照射装
置において、前記電子線を被照射物に照射する照射領域
と前記直流高圧電源との間を、耐食性の高い材料から成
り空気の流通を阻止する障壁で分離したことを特徴とす
る電子線照射装置。 - 【請求項２】 Ｘ線を遮蔽する箱体と、この箱体内に設
けられていて被照射物に電子線を照射する電子線加速器
と、前記箱体外に設けられていて電子線加速器に電子線
加速用の直流高電圧を供給する直流高圧電源と、この直
流高圧電源と前記電子線加速器との間を接続する直流高
圧ケーブルと、前記箱体内に設けられていて直流高圧ケ
ーブルと電子線加速器との接続部を覆うものであって内
部に絶縁ガスが充填された金属製のケーブル接続タンク
とを備える電子線照射装置において、前記電子線を被照
射物に照射する照射領域と前記ケーブル接続タンクとの
間を、耐食性の高い材料から成り空気の流通を阻止する
障壁で分離したことを特徴とする電子線照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22724897A JPH1152097A (ja) | 1997-08-08 | 1997-08-08 | 電子線照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22724897A JPH1152097A (ja) | 1997-08-08 | 1997-08-08 | 電子線照射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1152097A true JPH1152097A (ja) | 1999-02-26 |
Family
ID=16857848
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22724897A Pending JPH1152097A (ja) | 1997-08-08 | 1997-08-08 | 電子線照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1152097A (ja) |
-
1997
- 1997-08-08 JP JP22724897A patent/JPH1152097A/ja active Pending
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