JPH0587994A - 電子線照射装置 - Google Patents
電子線照射装置Info
- Publication number
- JPH0587994A JPH0587994A JP27626591A JP27626591A JPH0587994A JP H0587994 A JPH0587994 A JP H0587994A JP 27626591 A JP27626591 A JP 27626591A JP 27626591 A JP27626591 A JP 27626591A JP H0587994 A JPH0587994 A JP H0587994A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 連結部及び電源部からＸ線が外部に漏出する
のを少量の鉛で防ぐことができる電子線照射装置を提供
する。 【構成】 Ｘ線遮蔽板４６は略帽子状に形成され、その
上端は開口されている。Ｘ線遮蔽板４６は、その突起部
が絶縁ブッシング４３の内壁に沿うようにして、直流高
電圧電源３２側のベースプレート４４にビス止めされて
いる。ベースプレート４４の中央部に形成された開口部
を通るセンターコンダクタ４２の周囲は円筒形状の絶縁
材４８で覆う。Ｘ線遮蔽板の突起部上端の開口された部
分に入射したＸ線は、突起部の高さを好適なものとする
ことにより、突起部の側面の鉛により吸収することがで
きる。
のを少量の鉛で防ぐことができる電子線照射装置を提供
する。 【構成】 Ｘ線遮蔽板４６は略帽子状に形成され、その
上端は開口されている。Ｘ線遮蔽板４６は、その突起部
が絶縁ブッシング４３の内壁に沿うようにして、直流高
電圧電源３２側のベースプレート４４にビス止めされて
いる。ベースプレート４４の中央部に形成された開口部
を通るセンターコンダクタ４２の周囲は円筒形状の絶縁
材４８で覆う。Ｘ線遮蔽板の突起部上端の開口された部
分に入射したＸ線は、突起部の高さを好適なものとする
ことにより、突起部の側面の鉛により吸収することがで
きる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被処理物にカーテン状
の電子線を照射する電子線照射装置に関するものであ
る。
の電子線を照射する電子線照射装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】図２は従来の電子線照射装置の概略断面
図である。電子線照射装置は、電子線発生部７０と、電
源部８０と、両者を連結するための連結部９０とを備え
るものである。
図である。電子線照射装置は、電子線発生部７０と、電
源部８０と、両者を連結するための連結部９０とを備え
るものである。
【０００３】電子線発生部７０は、電子線を発生するタ
ーミナル７２と、電子線を加速空間で加速する電子線加
速管７４とを有する。電源部８０は、直流高電圧を発生
する直流高電圧電源８２と、直流高電圧電源８２を格納
するトランスタンク８４とを有する。連結部９０は、直
流高電圧電源８２で発生した直流高電圧をターミナル７
２に供給するセンターコンダクタ９２と、ターミナル７
２を加速空間内に支持するブッシング（bushing ）９４
と、ブッシング９４を支持するベースプレート９６とを
有し、電子線発生部７０と電源部８０とを一体的に連結
する。
ーミナル７２と、電子線を加速空間で加速する電子線加
速管７４とを有する。電源部８０は、直流高電圧を発生
する直流高電圧電源８２と、直流高電圧電源８２を格納
するトランスタンク８４とを有する。連結部９０は、直
流高電圧電源８２で発生した直流高電圧をターミナル７
２に供給するセンターコンダクタ９２と、ターミナル７
２を加速空間内に支持するブッシング（bushing ）９４
と、ブッシング９４を支持するベースプレート９６とを
有し、電子線発生部７０と電源部８０とを一体的に連結
する。
【０００４】実験・研究用の電子線照射装置では、装置
の小型化を図るため、電源部８０と電子線発生部７０と
は上記のように一体的に連結されている。トランスタン
ク８４内は絶縁ガス（ＳＦ6 ）によって加圧され、逆に
電子加速管７４内は高真空状態になっている。両者の連
結部９０は鋼材又はセラミック製のブッシング９４によ
って両者間の圧力維持を行っている。また、電子線１１
０が気体分子や電子加速管７４の内壁との衝突により発
生するＸ線１００を遮蔽するため、電子加速管７４の外
壁は鉛１０２で覆われている。
の小型化を図るため、電源部８０と電子線発生部７０と
は上記のように一体的に連結されている。トランスタン
ク８４内は絶縁ガス（ＳＦ6 ）によって加圧され、逆に
電子加速管７４内は高真空状態になっている。両者の連
結部９０は鋼材又はセラミック製のブッシング９４によ
って両者間の圧力維持を行っている。また、電子線１１
０が気体分子や電子加速管７４の内壁との衝突により発
生するＸ線１００を遮蔽するため、電子加速管７４の外
壁は鉛１０２で覆われている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、電子加速管
７４内で発生するＸ線１００のうち、電子加速管７４を
通過するものは、この鉛１０２によって遮蔽することが
できるが、連結部９０のベースプレート９６からトラン
スタンク８４を通過するＸ線１００は遮蔽することがで
きない。このため、従来は、トランスタンク８４に入っ
たＸ線を遮蔽するために、トランスタンク８４の外壁に
鉛１０４を貼っていた。しかしながら、トランスタンク
８４の表面積は大きいため、その全体を鉛で覆うと、大
量の鉛を必要とするので、装置全体の重量が重くなり、
またコストも嵩むという問題があった。
７４内で発生するＸ線１００のうち、電子加速管７４を
通過するものは、この鉛１０２によって遮蔽することが
できるが、連結部９０のベースプレート９６からトラン
スタンク８４を通過するＸ線１００は遮蔽することがで
きない。このため、従来は、トランスタンク８４に入っ
たＸ線を遮蔽するために、トランスタンク８４の外壁に
鉛１０４を貼っていた。しかしながら、トランスタンク
８４の表面積は大きいため、その全体を鉛で覆うと、大
量の鉛を必要とするので、装置全体の重量が重くなり、
またコストも嵩むという問題があった。
【０００６】本発明は上記事情に基づいてなされたもの
であり、連結部及び電源部からＸ線が外部に漏出するの
を少量の鉛で防ぐことができる電子線照射装置を提供す
ることを目的とするものである。
であり、連結部及び電源部からＸ線が外部に漏出するの
を少量の鉛で防ぐことができる電子線照射装置を提供す
ることを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明は、電子線を発生して加速する電子線発生部
と、該電子線発生部に電力を供給する電源部と、前記電
子線発生部と前記電源部とを電気的に接続する導体を有
し、前記電子線発生部と前記電源部とを一体的に連結す
る連結部とを備える電子線照射装置において、前記導体
を通すために両端が開口された略円筒状の突起部と、該
突起部の側面に形成された鍔部とを有する鉛製のＸ線遮
蔽板を前記連結部に配置したことを特徴とするものであ
る。
めの本発明は、電子線を発生して加速する電子線発生部
と、該電子線発生部に電力を供給する電源部と、前記電
子線発生部と前記電源部とを電気的に接続する導体を有
し、前記電子線発生部と前記電源部とを一体的に連結す
る連結部とを備える電子線照射装置において、前記導体
を通すために両端が開口された略円筒状の突起部と、該
突起部の側面に形成された鍔部とを有する鉛製のＸ線遮
蔽板を前記連結部に配置したことを特徴とするものであ
る。
【０００８】また、少なくとも前記突起部内の前記導体
の周囲を絶縁材で覆うことが望ましい。
の周囲を絶縁材で覆うことが望ましい。
【０００９】
【作用】本発明は上記の構成によって、連結部にＸ線遮
蔽板を配置したことにより、連結部を通過しようとする
Ｘ線はＸ線遮蔽板で遮蔽される。すなわち、たとえ突起
部上端の開口された部分からＸ線が入射しても、突起部
を好適な高さのものとすることにより、そのＸ線は突起
部の側面に衝突して側面の鉛により吸収されるので、電
源部へのＸ線の入射を効果的に防止することができる。
蔽板を配置したことにより、連結部を通過しようとする
Ｘ線はＸ線遮蔽板で遮蔽される。すなわち、たとえ突起
部上端の開口された部分からＸ線が入射しても、突起部
を好適な高さのものとすることにより、そのＸ線は突起
部の側面に衝突して側面の鉛により吸収されるので、電
源部へのＸ線の入射を効果的に防止することができる。
【００１０】また、少なくとも突起部内の導体の周囲を
絶縁材で覆うことにより、導体とＸ線遮蔽板との距離が
狭い場合でも、導体とＸ線遮蔽板との間の放電を防止す
ることができる。
絶縁材で覆うことにより、導体とＸ線遮蔽板との距離が
狭い場合でも、導体とＸ線遮蔽板との間の放電を防止す
ることができる。
【００１１】
【実施例】以下に、本発明の一実施例を図面を参照して
説明する。図１は本発明の一実施例である電子線照射装
置の概略断面図である。
説明する。図１は本発明の一実施例である電子線照射装
置の概略断面図である。
【００１２】図１に示す電子線照射装置は、電子線発生
部２と、電源部４と、両者を一体的に連結する連結部６
とを有するものである。電子線発生部２は、電子線を発
生する円筒形ターミナル１２と、電子線を加速空間（真
空空間）１４で加速する電子加速管１６とを備える。電
子加速管１６の内部は、図示しない拡散ポンプ等により
真空に保たれている。
部２と、電源部４と、両者を一体的に連結する連結部６
とを有するものである。電子線発生部２は、電子線を発
生する円筒形ターミナル１２と、電子線を加速空間（真
空空間）１４で加速する電子加速管１６とを備える。電
子加速管１６の内部は、図示しない拡散ポンプ等により
真空に保たれている。
【００１３】また、ターミナル１２は、電子源であるフ
ィラメント（たとえば線状陰極）２２と、フィラメント
２２を支持する電子銃２４と、フィラメント２２で発生
した熱電子を制御する網状のグリッド（不図示）とを含
む。電子銃２４とターミナル１２との間は耐熱性の優れ
た絶縁物により電気的に絶縁されている。
ィラメント（たとえば線状陰極）２２と、フィラメント
２２を支持する電子銃２４と、フィラメント２２で発生
した熱電子を制御する網状のグリッド（不図示）とを含
む。電子銃２４とターミナル１２との間は耐熱性の優れ
た絶縁物により電気的に絶縁されている。
【００１４】一方、電源部４は、直流高電圧を発生する
直流高電圧電源３２と、直流高電圧電源３２を格納する
トランスタンク３４とを備える。電源部４内の空間３６
には、高電圧による不要な放電等を防止するために、絶
縁ガス（ＳＦ6 ）が充填されている。
直流高電圧電源３２と、直流高電圧電源３２を格納する
トランスタンク３４とを備える。電源部４内の空間３６
には、高電圧による不要な放電等を防止するために、絶
縁ガス（ＳＦ6 ）が充填されている。
【００１５】連結部６は、電子線発生部２と電源部４と
を連結するものであり、直流高電圧電源３２で発生した
直流高電圧をターミナル１２に供給するためのセンター
コンダクタ４２と、ターミナル１２を電子加速管１６の
加速空間１４において支持するセラミック製の絶縁ブッ
シング（bushing ）４３と、絶縁ブッシング４３を支持
するステンレス製のベースプレート４４と、帽子状の鉛
製遮蔽板４６と、センターコンダクタ４２の周囲を覆う
円筒形状の絶縁材４８とを備える。絶縁ブッシング４３
はターミナル１２と電子加速管１６との間を絶縁すると
ともに、電源部４内のガス雰囲気と電子加速管２内の真
空雰囲気とを仕切る。
を連結するものであり、直流高電圧電源３２で発生した
直流高電圧をターミナル１２に供給するためのセンター
コンダクタ４２と、ターミナル１２を電子加速管１６の
加速空間１４において支持するセラミック製の絶縁ブッ
シング（bushing ）４３と、絶縁ブッシング４３を支持
するステンレス製のベースプレート４４と、帽子状の鉛
製遮蔽板４６と、センターコンダクタ４２の周囲を覆う
円筒形状の絶縁材４８とを備える。絶縁ブッシング４３
はターミナル１２と電子加速管１６との間を絶縁すると
ともに、電源部４内のガス雰囲気と電子加速管２内の真
空雰囲気とを仕切る。
【００１６】ベースプレート４４の中央部には、センタ
ーコンダクタ（導体）４２を通すため開口部が形成され
ている。センターコンダクタ４２はターミナル１２のグ
リッドと電気的に接続されており、直流高電圧電源３２
からグリッドに直流高電圧を供給するものである。この
センターコンダクタ４２は円筒形状に形成され、その内
部にはフィラメント２２に接続される二本の導線４２ａ
が通っている。
ーコンダクタ（導体）４２を通すため開口部が形成され
ている。センターコンダクタ４２はターミナル１２のグ
リッドと電気的に接続されており、直流高電圧電源３２
からグリッドに直流高電圧を供給するものである。この
センターコンダクタ４２は円筒形状に形成され、その内
部にはフィラメント２２に接続される二本の導線４２ａ
が通っている。
【００１７】Ｘ線遮蔽板４６は略帽子状に形成され、そ
の上端は開口されている。Ｘ線遮蔽板４６は、その突起
部が絶縁ブッシング４３の内壁に沿うようにして、直流
高電圧電源３２側のベースプレート４４にビス止めされ
ている。ここで、Ｘ線遮蔽板４６の突起部と鍔部との境
界部を曲面状に形成したのは、直流高電圧電源３２との
放電を防止するためであり、また、Ｘ線遮蔽板４６を直
流高電圧電源３２側に装着したのは、電子加速管１６側
では絶縁ブッシング４３が支持されているので、Ｘ線遮
蔽板４６を装着し難いからである。尚、図示しないが、
Ｘ線遮蔽板４６の突起部の先端は、角張らないように丸
めた形状とすることにより、Ｘ線遮蔽板４６の突起部の
先端とセンターコンダクタ４２との間の放電を防止して
いる。
の上端は開口されている。Ｘ線遮蔽板４６は、その突起
部が絶縁ブッシング４３の内壁に沿うようにして、直流
高電圧電源３２側のベースプレート４４にビス止めされ
ている。ここで、Ｘ線遮蔽板４６の突起部と鍔部との境
界部を曲面状に形成したのは、直流高電圧電源３２との
放電を防止するためであり、また、Ｘ線遮蔽板４６を直
流高電圧電源３２側に装着したのは、電子加速管１６側
では絶縁ブッシング４３が支持されているので、Ｘ線遮
蔽板４６を装着し難いからである。尚、図示しないが、
Ｘ線遮蔽板４６の突起部の先端は、角張らないように丸
めた形状とすることにより、Ｘ線遮蔽板４６の突起部の
先端とセンターコンダクタ４２との間の放電を防止して
いる。
【００１８】上記の構成によって、フィラメント２２に
電力を供給すると、負の高電圧にされたフィラメント２
２から熱電子が遊離する。この状態で直流高電圧電源３
２によりフィラメント２２とグリッドとの間に百数十ボ
ルトの電圧を印加すると、熱電子はターミナル１２のグ
リッドより加速空間１４に飛び出し、カーテン状の電子
線５０として取り出され、被処理物に照射される。
電力を供給すると、負の高電圧にされたフィラメント２
２から熱電子が遊離する。この状態で直流高電圧電源３
２によりフィラメント２２とグリッドとの間に百数十ボ
ルトの電圧を印加すると、熱電子はターミナル１２のグ
リッドより加速空間１４に飛び出し、カーテン状の電子
線５０として取り出され、被処理物に照射される。
【００１９】ところで、電子線５０は気体分子や電子加
速管１６の内壁に衝突すると、その衝突の際に高エネル
ギーのＸ線６０を発生する。もちろんＸ線は生命体にと
って非常に有害であるので、Ｘ線６０が外部に漏出しな
いように、電子線照射装置にはＸ線遮蔽が施されてい
る。従来より電子加速管１６や被処理物を搬送する搬送
路（不図示）については、体積が比較的小さいので、そ
の外壁を鉛５２により包囲することによって、Ｘ線の外
部への漏出を防止している。しかし、電子加速管１６と
直流高電圧電源３２とが一体構造になっている電子線照
射装置においては、電子加速管１６の内部で発生したＸ
線６０が、連結部６のベースプレート４４を通過し、ト
ランスタンク３４から外部へ漏れることがある。
速管１６の内壁に衝突すると、その衝突の際に高エネル
ギーのＸ線６０を発生する。もちろんＸ線は生命体にと
って非常に有害であるので、Ｘ線６０が外部に漏出しな
いように、電子線照射装置にはＸ線遮蔽が施されてい
る。従来より電子加速管１６や被処理物を搬送する搬送
路（不図示）については、体積が比較的小さいので、そ
の外壁を鉛５２により包囲することによって、Ｘ線の外
部への漏出を防止している。しかし、電子加速管１６と
直流高電圧電源３２とが一体構造になっている電子線照
射装置においては、電子加速管１６の内部で発生したＸ
線６０が、連結部６のベースプレート４４を通過し、ト
ランスタンク３４から外部へ漏れることがある。
【００２０】本実施例の電子線照射装置では、ベースプ
レートを通過するＸ線を遮蔽するため、鉛製のＸ線遮蔽
板を直流高電圧電源側からベースプレートに装着し、こ
のＸ線遮蔽板の突起部が絶縁ブッシングの内壁に沿うよ
うに配置してある。このため、ベースプレートを通過し
ようとするＸ線はＸ線遮蔽板により遮蔽され、また、Ｘ
線遮蔽板の突起部上端の開口された部分に入射したＸ線
は、突起部の高さを好適なものとすることにより、突起
部の側面の鉛により吸収することができる。したがっ
て、帽子状のＸ線遮蔽板をベースプレートに取着したこ
とにより、トランスタンクの外壁を鉛で覆う必要がなく
なるので、従来の電子線照射装置に比べて少量の鉛でＸ
線を効率よく遮蔽することができ、また装置全体の重量
を軽くすることができ、しかもコストの低減化を図るこ
とができる。
レートを通過するＸ線を遮蔽するため、鉛製のＸ線遮蔽
板を直流高電圧電源側からベースプレートに装着し、こ
のＸ線遮蔽板の突起部が絶縁ブッシングの内壁に沿うよ
うに配置してある。このため、ベースプレートを通過し
ようとするＸ線はＸ線遮蔽板により遮蔽され、また、Ｘ
線遮蔽板の突起部上端の開口された部分に入射したＸ線
は、突起部の高さを好適なものとすることにより、突起
部の側面の鉛により吸収することができる。したがっ
て、帽子状のＸ線遮蔽板をベースプレートに取着したこ
とにより、トランスタンクの外壁を鉛で覆う必要がなく
なるので、従来の電子線照射装置に比べて少量の鉛でＸ
線を効率よく遮蔽することができ、また装置全体の重量
を軽くすることができ、しかもコストの低減化を図るこ
とができる。
【００２１】ところで、帽子状のＸ線遮蔽板とセンター
コンダクタとの距離が小さい場合には、絶縁ガス空間に
よる絶縁効果が低減するためセンターコンダクタよりＸ
線遮蔽板に向けて放電する可能性がある。しかし、本実
施例では、センターコンダクタの周囲を円筒形状の絶縁
材で覆っているため、センターコンダクタからＸ線遮蔽
板への放電を防止することができる。
コンダクタとの距離が小さい場合には、絶縁ガス空間に
よる絶縁効果が低減するためセンターコンダクタよりＸ
線遮蔽板に向けて放電する可能性がある。しかし、本実
施例では、センターコンダクタの周囲を円筒形状の絶縁
材で覆っているため、センターコンダクタからＸ線遮蔽
板への放電を防止することができる。
【００２２】尚、上記の実施例では、ベースプレートで
絶縁ブッシングを支持する場合を説明したが、本発明は
これに限定されるものではなく、ベースプレートを形成
せず、絶縁ブッシングを連結部の内壁で支持するように
してもよい。この場合、Ｘ線遮蔽板はベースプレートに
装着するのではなく、連結部の内壁に取り付けることに
なる。
絶縁ブッシングを支持する場合を説明したが、本発明は
これに限定されるものではなく、ベースプレートを形成
せず、絶縁ブッシングを連結部の内壁で支持するように
してもよい。この場合、Ｘ線遮蔽板はベースプレートに
装着するのではなく、連結部の内壁に取り付けることに
なる。
【００２３】また、上記の実施例では、突起部の下端に
鍔が形成されたＸ線遮蔽板について説明したが、Ｘ線遮
蔽板は突起部の中間に鍔が形成されたものでもよいし、
またその取着位置は、ベースプレートの上側であっても
よい。
鍔が形成されたＸ線遮蔽板について説明したが、Ｘ線遮
蔽板は突起部の中間に鍔が形成されたものでもよいし、
またその取着位置は、ベースプレートの上側であっても
よい。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、導
体を通すために両端が開口された略円筒状の突起部と、
該突起部の側面に形成された鍔部とを有する鉛製のＸ線
遮蔽板を前記連結部に配置したことにより、たとえ突起
部上端の開口された部分からＸ線が入射しても、そのＸ
線を突起部の側面により吸収することができるので、直
流高電圧電源を収納する筐体の外壁を鉛材で覆う必要が
なくなり、したがって装置全体の重量を軽くすることが
できると共にコストの低減化を図ることができ、特に実
験・研究用に好適な電子線照射装置を提供することがで
きる。
体を通すために両端が開口された略円筒状の突起部と、
該突起部の側面に形成された鍔部とを有する鉛製のＸ線
遮蔽板を前記連結部に配置したことにより、たとえ突起
部上端の開口された部分からＸ線が入射しても、そのＸ
線を突起部の側面により吸収することができるので、直
流高電圧電源を収納する筐体の外壁を鉛材で覆う必要が
なくなり、したがって装置全体の重量を軽くすることが
できると共にコストの低減化を図ることができ、特に実
験・研究用に好適な電子線照射装置を提供することがで
きる。
【図１】本発明の一実施例である電子線照射装置の概略
断面図である。
断面図である。
【図２】従来の電子線照射装置の概略断面図である。
２ 電子線発生部 ４ 電源部 ６ 連結部 １２ ターミナル １４ 加速空間 １６ 電子加速管 ２２ フィラメント ２４ 電子銃 ３２ 直流高電圧電源 ３４ トランスタンク ３６ 絶縁ガス空間 ４２ センターコンダクタ ４２ａ 導線 ４３ 絶縁ブッシング ４４ ベースプレート ４６ Ｘ線遮蔽板 ４８ 絶縁材 ５０ 電子線 ６０ Ｘ線
Claims (2)
- 【請求項１】 電子線を発生して加速する電子線発生部
と、該電子線発生部に電力を供給する電源部と、前記電
子線発生部と前記電源部とを電気的に接続する導体を有
し、前記電子線発生部と前記電源部とを一体的に連結す
る連結部とを備える電子線照射装置において、前記導体
を通すために両端が開口された略円筒状の突起部と、該
突起部の側面に形成された鍔部とを有する鉛製のＸ線遮
蔽板を前記連結部に配置したことを特徴とする電子線照
射装置。 - 【請求項２】 少なくとも前記突起部内の前記導体の周
囲を絶縁材で覆った請求項１記載の電子線照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27626591A JPH0587994A (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | 電子線照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27626591A JPH0587994A (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | 電子線照射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0587994A true JPH0587994A (ja) | 1993-04-09 |
Family
ID=17567031
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27626591A Pending JPH0587994A (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | 電子線照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0587994A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005300327A (ja) * | 2004-04-12 | 2005-10-27 | Iwasaki Electric Co Ltd | 電子線照射装置 |
| JP2010164582A (ja) * | 1997-01-02 | 2010-07-29 | Advanced Electron Beams Inc | 電子ビーム加速器 |
-
1991
- 1991-09-30 JP JP27626591A patent/JPH0587994A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010164582A (ja) * | 1997-01-02 | 2010-07-29 | Advanced Electron Beams Inc | 電子ビーム加速器 |
| JP2005300327A (ja) * | 2004-04-12 | 2005-10-27 | Iwasaki Electric Co Ltd | 電子線照射装置 |
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